TW200300820A - Vacuum pump - Google Patents

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200300820 A7 B7 五、發明説明（1 ) 〔發明所屬之技術領域〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是有關使用於半導體製造裝置、電子顯微鏡、 表面分析裝置、質量分析裝置、粒子加速器、核子反應實 驗裝置等的真空泵浦，尤其是關於具備藉著固定在高速轉 動轉子的圓筒面之螺旋定子間的相互作用進行氣體分子的 排氣之螺紋槽泵浦機構部的真空泵浦。 〔先前技術〕 以往，如半導體製造步驟之乾蝕刻或CVD等的處理， 高真空之處理室內進行處理的步驟中，將處理室內的氣體 排氣形成一定之高真空度的手段有，例如使用如渦輪分子 泵浦的真空泵浦。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該種渦輪分子泵浦是在圓筒形轉子外圍面上設置複數 個刃狀的轉子葉片，同時將定位在轉子葉片間固定的複數 個定子葉片安裝在泵浦箱內所成，轉子是一體安裝在轉子 軸上。該渦輪分子泵浦是以較驅動馬達高速轉動轉子軸， 藉高速轉動的轉子葉片與固定的定子葉片間的相互作用， 將氣體吸入口所吸入的氣體排氣至下段的氣體排氣口，使 連接氣體吸氣口的處理室內形成高度真空。 以上之渦輪分子泵浦中，轉子葉片形成高背式壓力狀 態從分子泵浦領域形成黏性泵浦領域時，會有急速降低壓 縮性能的同時，增大轉動阻力，導致大幅度性能降低及轉 動體發熱的增加，並且維持轉子等轉動體的轉動，增加必 要動力的缺點。因此，補強此一缺點的手段係採用在轉子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 200300820 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 葉片與定子葉片所成之渦輪分子泵浦機構部的後段側上’ 安裝轉子的圓筒部與螺紋槽所成輪紋槽泵浦機構部，利用 轉子的圓筒面與螺紋槽的相互作用提昇壓縮率，泵浦背壓 上昇時可保持低於轉子葉片的背壓，不會降低壓縮率的構 造。 組合以上螺紋槽泵浦機構部與渦輪分子泵浦機構部的 複合式渦輪分子泵浦中，泵浦靜止時，轉動體與固定體之 間一律形成狹窄間隙。另一方面，壓力狀態在中間泵浦領 域的壓力領域中，分子的平均自由步驟形成一定的間隙以 下時，會使轉動體的圓筒面與螺紋槽之間狹窄間隙所導致 密封效果的急速降低，由於螺紋槽機構部之壓縮性能的降 低，上述間隙盡可能求得狹窄地設定。 但是，將此間隙設定極度狹窄的場合，由於泵浦靜止 時的間隙一定，實際泵浦運轉時，高速轉動轉子等的轉動 體時，圓筒形轉動葉片以圓筒端部之離芯例的位移最大， 藉著泵浦運轉時作用於葉片體使其間隙形成狹窄的圓筒端 部側，其相反側較爲寬廣。 經濟部智慧財產笱0(工消費合作社印製 又，轉動體與固定體之間的間隙，除此以外其他的夕f 在要因，例如來自外部的振動、轉動體溫度上昇所產生的 熱膨脹、機械式組合公差或零件公差等，會形成狹窄的圓 筒端部側。如上述，該圓筒端部側中，會提高轉動體與固 定體間接觸的危險性，其相反側形成較寬時會減弱轉動體 的圓筒面與固定體之圓筒面的密封性，會有大幅降低螺紋 槽的壓縮性能的問題點。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6- 200300820 A7 B7 五、發明説明（3 ) 〔發明內容〕 〔發明所欲解決之課題〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明有鑑於上述的問題點，其目的是在泵浦運轉時 ，可防範高速轉動之轉子的圓筒部與定子接觸造成的破損 於未然，同時提供可維持兩者的密封性防止泵浦壓縮性能 的降低之可靠度高的高真空泵浦。 〔解決課題的手段〕 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 爲達成上述目的，本發明之真空泵浦，其特徵爲’具 備：在上面開設氣體吸氣口，下方側面可自由轉動地支撐 開設有氣體排氣口之泵浦箱內的轉子軸；轉動上述轉子軸 用的驅動馬達；固定於上述轉子軸，相對於轉子軸心具有 同心圓形直徑不同的複數個圓筒部之多重圓筒體的轉子； 上述轉子的複數個圓筒部；具有交互定位於該圓筒部間固 定在上述泵浦箱內的複數個圓筒部之多重圓筒體所成的定 子；及，刻設在與該定子的上述轉子之圓筒面的壁面之螺 紋槽所成的螺紋槽泵浦機構部，使上述轉子圓筒部外壁面 與定子壁面所區劃的間隙及上述轉子圓筒部內壁面與定子 壁面所區劃的間隙同時形成隨遠離上述軸心而增大，且將 上述轉子圓筒部外壁面與定子壁面所區劃的間隙大於上述 轉子圓筒部內壁面與定子壁面所區劃的間隙。 又，本發明之真空泵浦，其特徵爲：將上述轉子圓筒 部壁面與定子壁面所區劃的間隙形成端部側大於轉子圓筒 部的基部側，且上述轉子圓筒部之基部側的間隙與上述轉 子圓筒部之端部側的間隙平均値形成隨著遠離上述轉子軸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 200300820 A7 B7 五、發明説明（4 ) 心而增大。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此外，本發明之真空泵浦，其特徵爲··將上述轉子圓 筒部外壁面與上述定子內壁面所區劃的間隙形成端部側大 於轉子圓筒部的基部側，且上述轉子圓筒部內壁面與與上 述定子外壁面所區劃的間隙，形成端部側小於轉子圓筒部 的基部側。 轉子可以具有包圍定子柱內徑的圓筒型內筒轉子，及 具有包圍該內筒轉子內徑的圓筒型外筒轉子的2構件所構 成。 轉子與轉子軸的安裝構造可考慮例如將內筒轉子的圓 板形安裝部重疊在轉子軸的緣部下面而固定在轉子軸的軸 線方向，外筒轉子的圓板形安裝部重疊在轉子軸的緣部上 面而固定在轉子軸之軸線方向的構造，或將內筒轉子的圓 板形安裝部與外筒轉子的圓板形安裝部重疊外加於轉子軸 的緣部一體固定在轉子軸的軸線方向。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，轉子也可以採用在轉子軸的軸線方向所固定之圓 筒形轉子本體的下端部形成段部，在此段部接合小直徑的 圓筒體，在轉子本體的下端部外壁接合大直徑之圓筒體的 構造。 其中，上述螺紋槽泵浦機構部中，可採用在上述轉子 的複數個圓筒部壁面刻設螺紋槽’將上述定子壁面形成平 坦圓筒面的構成。 此外，上述泵浦箱內也可以具備一體設置於上述轉子 之多重圓筒體的最外壁面上的複數個刃狀轉子葉片，及交 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 200300820 A7 B7 五、發明説明（5 ) 互定位在該轉子葉片間，固定於泵浦箱內的複數片刃狀定 子葉片所成的渦輪分子泵浦機構部。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔實施方式〕 針對本發明之真空泵浦的最佳實施型態，參閱添附圖 示詳細說明如下。 首先，第1圖是表示本發明之真空泵浦的第1實施型 態之構成的縱剖視圖。同圖所示，該真空泵浦P1之泵浦機 構部是採用收容於泵浦箱1 1內部之渦輪分子泵浦機構部 P A與螺紋槽泵浦機構部PB所構成的複合式泵浦機構。 栗浦相11爲圓筒部11-1及安裝於其下端之基座11_2 所成，在泵浦箱1 1的上面開口，形成氣體吸氣口 1 2。在該 氣體吸氣口 12上將未圖示之處理室等的真空容器以螺栓栓 鎖固定在泵浦箱1 1的突緣部1 1 -1 a上，在泵浦箱1 1的下部 一側面上開設氣體排氣口 1 3，安裝有排氣管23。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，在泵浦箱1 1的下部底面以裏蓋1 1 - 3覆蓋，在裏 蓋1 1 -3上方將朝著泵浦箱1 1內部豎立設置的定子柱1 4固 定在基座11-2。該定子柱14上藉設於定子柱14內部之徑 向電磁鐵16-1及軸向電磁鐵16-2，使貫穿其端面間之轉子 軸1 5可自由轉動地分別軸支在轉子軸1 5的徑向及軸向。 並且，符號1 7是塗敷乾式潤滑劑的軸承，徑向電磁鐵丨6_ 與軸向電磁鐵1 6-2所成的磁性軸承在電源異常時，可保護 轉子軸15與電磁鐵16-1、16-2的接觸，作爲支撐轉子軸 1 5之用，一般運轉時不接觸轉子軸1 5。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 200300820 A7 B7 五、發明説明（6 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中，安裝於轉子軸1 5的轉子1 8是採用具有相對於 轉子軸心L呈同心圓形直徑不同之複數個圓筒部的多重元 筒體所成的構造。亦即，本實施型態中，轉子1 8爲具有包 圍定子柱14的內徑之圓筒形內筒轉子18-1，及具有包圍該 內筒轉子18-1之內徑的圓筒形外筒轉子18-2的2構件所構 成。內筒轉子18-1是將圓板形安裝部18-la重疊在轉子軸 1 5的緣部1 5 a下面藉複數個螺栓栓鎖固定在轉子軸1 5的軸 線方向。另一方面，外筒轉子18-2是將圓板形安裝部18-2a重疊在轉子軸15的緣部15a上面藉複數個螺栓栓鎖固定 在轉子軸1 5的軸線方向。藉組裝定子柱1 4內的高頻馬達 所成的驅動馬達1 9使轉子軸1 5高速轉動時，內筒轉子1 8-1與外筒轉子1 8-2是與轉子軸1 5同步構成可在同心圓上相 對於轉子軸心L高速轉動。 又，外筒轉子1 8 -2由於形成後述之刃狀轉子葉片，以 使用較軟質可容易加工，且比強度優異的鋁合金等的輕合 金爲佳。另一方面，內筒轉子1 8- 1由於構造較爲單純，因 此除了上述鋁合金之外，碳樹脂、不銹鋼等的異種材料。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，轉子1 8與轉子軸1 5的安裝構造不僅限於上述 例，例如可以採用重疊內1¾轉子1 8 -1的圓板形安裝部1 8 · 1 a與外筒轉子1 8 - 2的圓板形安裝部1 8 · 2 a相對於轉子軸1 5 的緣部1 5 a以相同的螺栓一體栓鎖固定於轉子軸1 5之軸線 方向的安裝構造。又，如第2圖所示，也可以在栓鎖固定 於轉子軸15之軸線方向的圓筒形轉子本體18_3的下端部 形成段部18-3b，該段部18-3b將小直徑的圓筒體18-4，轉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） *10- 200300820 A7 B7 五、發明説明（7 ) 子本體1S-3之下端部的外壁18-3a將大直徑的圓筒體18-5 分別以焊接或燒嵌等安裝結合的構造。轉子1 8與轉子軸i 5 的安裝構造只要使內筒轉子1 8-1、外筒轉子1 8-2所成多重 圓筒體與轉子軸1 5在以轉子轉動軸心L爲中心的同心圓上 不偏心轉動之構成即可。 另外，在多重圓筒體的最外壁，即本實施型態之外筒 轉子1 8 - 2的外壁面上，一體設置從氣體吸氣口 1 2側至轉 子轉動軸心L方向的複數個刃狀轉子葉片20、2〇···。交互 定位於該等轉子葉片20、20間的複數片刃狀定子葉片21、 21…是藉間隔件22、22…安裝固定在泵浦箱π內壁。轉子 葉片2〇與定子葉片21是藉著兩者的互相作用構成將氣體 吸氣口 1 2側的氣體分子送入下段側的渦輪分子泵浦機構部 PA。 並且’該渦輪分子泵浦機構部P A的下段側設有螺紋槽 泵浦機構部PB，以下是針對該螺紋槽泵浦機構部pb的構 造說明之。 第1圖至第3圖所示，螺紋槽泵浦機構部PB爲上述高 速轉動的內筒轉子18-1及外筒轉子18-2所成的多重圓筒體 ’及交互定位在該多重筒體的各圓筒部間形成圓筒形的圓 筒定子24-1與外筒定子24-2所構成。螺紋槽泵浦機構部 PB是採用此多重圓筒體的轉子18-1、18-2、…，及與此相 對之多重圓筒體的定子24-1、24-2、…所產生的摺疊構造 〇 又，內筒轉子18-1的內壁面及外壁面與外筒轉子18-2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（210x 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) %衣· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 200300820 A7 B7 五、發明説明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 的內壁面及外壁面是形成平坦的圓筒面。另一方面，經由 該圓筒面的預定間隙安裝於泵浦箱1 1內之基座1 1 -2的定 子24是在與外筒轉子18-2外壁面相對的外筒定子24-2內 壁面、與外筒轉子18-2內壁面相對的內筒定子24-1外壁面 及與內筒轉子18-1外壁面相對的內筒定子24-1內壁面上分 別刻設有同圖中點線表示的螺紋槽2 5。 並且，本實施型態之螺紋槽泵浦機構部PB，其特徵爲 :在泵浦靜止時，轉子18之圓筒部壁面與定子24壁面所 區劃的間隙、轉子1 8圓筒部外壁面與定子24壁面所區劃 的間隙及轉子1 8之圓筒部內壁面與定子24壁面所區劃的 間隙同時形成隨著遠離轉子軸心L而增大。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即，如第3圖所示，泵浦靜止時以gl作爲外筒轉子 18-2外壁面與該外壁面相對之外筒定子24_2內壁面所區劃 的間隙，以g2作爲外筒轉子1 8-2內壁面與該內壁面相對 之內筒定子24-1外壁面所區劃的間隙，以g3作爲內筒轉 子18-1外壁面與該外壁面相對之內筒定子24-1內壁面所區 劃的間隙。此時’間隙g 1、g2、g3之尺寸的相互關係爲滿 足g 1 > g2，g 1 > g3條件的關係，即形成隨著從轉子軸心L 的遠離而增大。 其中’於轉子1 8之端部側中形成大的轉子1 8壁面與 定子24壁面所區劃的間隙時，轉子1 8之圓筒部基部側的 間隙與端部側之間隙的平均値隨著從轉子軸L的遠離而形 成逐漸增大。亦即，如第4圖所示，泵浦靜止時以g 1 1作 爲外筒轉子18-2外壁面與外筒定子24-2內壁面所區劃之間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 200300820 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 隙的基部側，以gl 2作爲端部側，以g21作爲外筒轉子18-2內壁面與內筒定子24-1外壁面所區劃之間隙的基部側， 以g22作爲端部側，以g31作爲內筒轉子18-1外壁面與內 筒定子24- 1內壁面所區劃之間隙的基部側，以g3 2作爲端 咅β 側時，可滿足（gll+gl2)/2> (g21+g22)/2，（gll+gl2)/2> (g3 l+g32)/2 的條件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述，將轉子18之內筒部壁面與定子24壁面所區 劃的間隙隨著從轉子軸L的遠離而形成逐漸增大的理由如 下。一體安裝於轉子軸1 5之多重圓筒體所成的轉子1 8係 於泵浦運轉時產生因高速轉動之離心力的位移。該轉子1 8 的位移量是由於轉子1 8以轉子軸心L爲中心之同心圓的多 重圓筒體，因此離轉子軸心L最遠端的圓筒部（本實施型 態爲外筒轉子1 8-2 )側大於最近端的圓筒部（本實施型態 爲內筒轉子1 8-1 )側。因此隨著從轉子軸心L的遠離形成 逐漸增大的轉子1 8之圓筒部壁面與定子24壁面所區劃的 間隙，泵浦運轉時即使轉子1 8因離心力或熱膨脹而位移時 ，仍可確保轉子1 8之圓筒部壁面與定子24壁面所區劃之 間隙g 1、g2、g3的預定餘隙，防止轉子1 8之圓筒部與定 子24接觸的同時，可維持兩者密封性之用。 根據上述構成之本實施型態的真空泵浦，藉驅動馬達 19高速轉動轉子軸15時，以一體安裝於此之內筒轉子18-1、外筒轉子1 8-2所成多重圓筒體係以轉子軸心L爲中心 在同心圓上高速轉動，如第1圖中箭頭表示，從氣體吸氣 口 12吸入氣體，利用高速轉動的轉子葉片20與固定之定 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS^A4規格（210X297公釐） -13- 200300820 A7 B7 五、發明説明（1〇 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 子葉片2 1的相互作用，將高真空之氣體吸氣口丨2側的氣 體分子送入下段的螺紋槽泵浦機構部PB內。於螺紋槽泵浦 機構部PB中分別藉著高速轉動之外筒轉子18-2外壁面與 外筒定子24-2內壁面、外筒轉子18-2內壁面與內筒定子 24-1外壁面及內筒轉子18-1外壁面與內筒定子24-1內壁 面的相互作用將渦輪分子泵浦機構部PA所送入的氣體分子 沿著螺紋槽25送入氣體排氣口 1 3側，進行真空度略低狀 態之氣體的排氣動作。其中，尤其螺紋槽泵浦機構部PB是 採用上述多重圓筒體的轉子18_1、18-2及與該等相對之多 重圓筒體的定子24-1、24-2所產生的摺疊構造。因此，可 更多量確保氣體分子流路的距離，且維持其密封性防止分 子的逆流，提高泵浦的壓縮律，藉此即使轉子葉片20、20 …的背壓上昇仍可防止整體壓縮性能的降低。 此外，螺紋槽泵浦機構部PB是採用隨著轉子軸心L的 遠離而形成逐漸增大之轉子1 8的圓筒部壁面與定子24壁 面所區劃間隙的構造。因此，泵浦運轉時可確保其預定的 餘隙，可防止轉子1 8之圓筒部及定子24的接觸於未然。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，根據第5圖說明本發明之真空泵浦的第2實施 型態如下。並且本實施型態之真空泵浦的基本構成是與第1 實施型態相同，因此省略重複部分的說明，僅說明不同的 部分。 本實施型態之真空泵浦P2於螺紋槽泵浦機構部PB中 ，其特徵爲：泵浦靜止時，轉子之圓筒部壁面與定子壁面 所區劃的間隙中，除了使轉子外壁面與定子內壁面的間隙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -14- 200300820 A7 B7 五、發明説明（11 ) 其端部側形成大於轉子的基部側，另一方面使轉子內壁面 與定子外壁面的間隙其端部側形成小於轉子的基部側。 亦即，如第5圖所示，泵浦靜止時以g 1 1作爲外筒轉 子1 8-2外壁面與外筒定子24-2內壁面所區劃之間隙的基部 側，以g 1 2作爲端部側，以g 2 1作爲外筒轉子1 8 - 2內壁面 與內筒定子24-1外壁面所區劃之間隙的基部側，以g22作 爲端部側，以g3 1作爲內筒轉子1 8-1外壁面與內筒定子 24-1內壁面所區劃之間隙的基部側，以g32作爲端部側。 此時，設定間隙的尺寸使轉子外壁面與定子內壁面的間隙 形成端部側大於轉子的基部側，即滿足g 1 1 < g 1 2、g3 1 < g3 2的條件，轉子內壁面與定子外壁面的間隙相反地形成端 部側小於轉子的基部側，即滿足g2 1 > g22的條件。此外， 基部側與端部側的間隙差可設定與泵浦運轉中之轉子的位 移量0.1〜0.5mm左右。 如上述，對於轉子18外壁面與定子24內壁面的間隙 形成端部側大於轉子1 8的基部側，而對於轉子1 8內壁面 與定子24外壁面的間隙形成端部側小於轉子1 8基部側的 理由如下。一體安裝於轉子軸1 5之多重圓筒體所成的轉子 1 8於泵浦運轉時造成因高速轉動的離心力產生的位移。該 轉子1 8的位移量由於是轉子1 8以轉子軸心L爲中心之同 心、圓狀的多重圓筒體，因此離轉子軸心L最遠端的圓筒部 (本實施型態爲外筒轉子1 8-2 )側大於最近端的圓筒部（ 本實施型態爲內筒轉子18-1)側，且比較轉子18的基部側 與端部側的位移量時，由於遠離轉子軸心L，端部側的位移 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 200300820 A7 B7 五、發明説明（12 ) 量較大。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，轉子18外壁面與定子24內壁面的間隙形成端 部側大於轉子1 8的基部側，且轉子1 8內壁面與定子24外 壁面的間隙形成端部側小於轉子1 8基部側。藉此泵浦運轉 時轉子1 8即使因離心力或熱膨脹而位移時，仍可確保轉子 1 8的內筒部壁面與定子24壁面所區劃之間隙的預定餘隙， 防止轉子1 8的圓筒部與定子24的接觸，同時可維持兩者 的密封性，獲得與上述第1實施型態的作用效果。 再者，上述各實施型態是針對螺紋槽泵浦機構部PB， 以平坦的圓筒面作爲轉子18的複數個圓筒部壁面，在與此 圓筒部壁面相對之定子24的壁面刻設螺紋槽25的例已作 說明，但是也可以與此相反採用於轉子1 8之複數個圓筒部 壁面刻設螺紋槽25，以平坦的圓筒面作爲與此圓筒部壁面 相對之定子24的壁面的構成。此時同樣藉著圓筒部壁面的 螺紋槽25與定子24壁面之圓筒面的相互作用，可期待與 上述各實施型態的作用效果之相同的作用效果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔發明效果〕 如以上詳細之說明，根據本發明真空泵浦，尤其是在 螺紋槽泵浦機構部中，採用多重圓筒體的轉子及與此相對 的多重圓筒體之定子所產生的摺疊構造，設定隨著遠離轉 子軸心而形成逐漸增大之泵浦靜止時轉子的圓筒部壁面與 定子之圓筒部壁面所區劃的間隙。藉此，泵浦運轉時可確 保其預定的餘隙，可防止轉子與定子的接觸於未然，且確 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x^97公慶)-—- -16- 200300820 A7 B7 五、發明説明（13 ) 保較長之氣體分子的流路距離，維持密封性防止分子的逆 流，提高泵浦的壓縮率，即使轉子葉片的背壓上昇仍具有 可防止泵浦整體之壓縮性能的降低之可靠度高的真空泵浦 〇 〔圖式簡單說明〕 第1圖是表示本發明真空泵浦之第1實施型態的構成 之縱剖視圖。 第2圖是表示本真空泵浦之轉子的安裝構造之其他例 的縱剖視圖。 第3圖是表示本真空泵浦之泵浦靜止時的狀態之一例 的要部擴大剖視圖。 第4圖是表示本真空泵浦之泵浦靜止時的狀態之其他 例的要部擴大剖視圖。 第5圖是表示本發明真空泵浦之第2實施型態的構成 之縱剖視圖。 〔符號說明〕 11 泵浦箱 12 氣體吸氣口 13 氣體排氣口 15 轉子軸 15a 突緣部 18 轉子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ··裝. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 200300820 A7 _B7 五、發明説明（14 ) 18-1 內筒轉子 1 8-2 外筒轉子 18-3 轉子本體 1 8-3a 轉子本體外壁 1 8-3b 段部 18-4' 18-5 圓同體 19 驅動馬達 2 0 轉子葉片 2 1 定子葉片 22 間隔件 24-1 內筒定子 24-2 外筒定子 25 螺紋槽 L 轉子軸心 P 真空泵浦 PA 渦輪分子泵浦機構部 PB 螺紋槽泵浦機構部 g1 外筒轉子外壁面與外筒定子內壁面的間隙 g2 外筒轉子內壁面與內筒定子外壁面的間隙 g3 內筒轉子外壁面與內筒定子內壁面的間隙 gl 1 外筒轉子外壁面與外筒定子內壁面之基部側的間隙 g 1 2 外筒轉子外壁面與外筒定子內壁面之端部側的間隙 g2 1 外筒轉子內壁面與內筒定子外壁面之基部側的間隙 g22 外筒轉子內壁面與內筒定子外壁面之端部側的間隙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 200300820 A7 B7 五、發明説明（15 ) g3 1 內筒轉子外壁面與內筒定子內壁面之基部側的間隙 §32 內筒轉子外壁面與內筒定子內壁面之端部側的間隙 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19-

Claims (1)

1. 200300820 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 ” (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 1. 一種真空泵浦，其特徵爲，具備：在上面開設氣體 吸氣口，下方側面可自由轉動地支撐開設有氣體排氣口之 泵浦箱內的轉子軸； 轉動上述轉子軸用的驅動馬達； 固定於上述轉子軸，相對於轉子軸心具有同心圓形直 徑不同的複數個圓筒部之多重圓筒體所成的轉子；及， 上述轉子的複數個圓筒部；具有交互定位於該圓筒部 間固定在上述泵浦箱內的複數個圓筒部之多重圓筒體所成 的定子；及，刻設在與該定子的上述轉子之圓筒面的壁面 之螺紋槽所成的螺紋槽泵浦機構部， 使上述轉子圓筒部外壁面與定子壁面所區劃的間隙及 上述轉子圓筒部內壁面與定子壁面所區劃的間隙同時形成 隨遠離上述軸心而增大，且將上述轉子圓筒部外壁面與定 子壁面所區劃的間隙形成大於上述轉子圓筒部內壁面與定· 子壁面所區劃的間隙。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2. 如申請專利範圍第1項之真空泵浦，其中，將上述 轉子圓筒部壁面與定子壁面所區劃的間隙形成轉子圓筒部 的端部側大於基部側，且上述轉子圓筒部之基部側的間隙 與上述轉子圓筒部之端部側的間隙平均値，形成隨著遠離 上述轉子軸心而增大。 3. 如申請專利範圍第1項之真空栗浦，其中，將上述 轉子圓筒部外壁面與上述定子內壁面所區劃的間隙形成轉 子圓筒部的端部側大於基部側，且上述轉子圓筒部內壁面 與上述定子外壁面所區劃的間隙’形成轉子圓筒部的端部 本&張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------- -20- 200300820 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 側小於基部側。 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) 4.如申請專利範圍第1項之真空泵浦，其中，上述轉 子係以具有包圍定子柱內徑的圓筒型內筒轉子，及具有包 圍該內筒轉子內徑的圓筒型外筒轉子的2構件所構成。 5 .如申請專利範圍第4項之真空泵浦，其中，上述轉 子與轉子軸的安裝構造是將內筒轉子的圓板形安裝部重疊 在轉子軸的緣部下面而固定在轉子軸的軸線方向，外筒轉 子的圓板形安裝部係重疊於轉子軸之緣部上面而固定在轉 子軸之軸線方向的構造。 6-如申請專利範圍第4項之真空泵浦，其中，上述轉 子與轉子軸的安裝構造是將內筒轉子的圓板形安裝部與外 筒轉子的圓板形安裝部重疊而相對於轉子軸的緣部一體固 定在轉子軸之軸線方向的構造。 7. 如申請專利範圍第1項之真空泵浦，其中，上述轉_ 子係於轉子軸的軸線方向所固定之圓筒形轉子本體的下端 部形成段部，在此段部接合小直徑的圓筒體，並在轉子本 體的下端部外壁接合大直徑之圓筒體的構造。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8. 如申請專利範圍第1項之真空泵浦，其中，上述螺 紋槽泵浦機構部中，在上述轉子的複數個圓筒部壁面刻設 螺紋槽，使上述定子壁面形成平坦圓筒面。 9. 如申請專利範圍第1項至第8項中任一項之真空栗 浦’其中，在上述泵浦箱內，具備：一體設置於上述轉子 之多重圓筒體的最外壁面上的複數個刃狀轉子葉片，及交 互定位在該轉子葉片間，固定於泵浦箱內的複數片刃狀定 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 200300820 A8 B8 C8 D8 3 六、申請專利範圍 子葉片所成的渦輪分子泵浦機構部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ ·· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公嫠） -22-