JP5190214B2 - ターボ分子ポンプ、基板処理装置、及びターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法 - Google Patents
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Description
1.構成部品全体が加熱されるため、構成部品の熱膨張量が大きくなり、構成部品の破損を招く虞がある。
2.一旦構成部品にデポが付着すると、デポは断熱層を形成するため、デポの表面温度を上昇させることができず、デポの表面にさらに新たなデポが付着するのを抑制することができない。
3.加熱装置と物理的に接続されてない構成部品の温度を上昇させることができないので、全ての構成部品にデポが付着するのを抑制することができる訳ではない。
請求項13記載のターボ分子ポンプは、請求項6記載のターボ分子ポンプにおいて、前記回転体は、前記回転軸に沿って形成される、前記高温ガスの通路を内蔵し、前記通路は分岐して前記複数のガス供給口に連通することを特徴とする。
請求項14記載の基板処理装置は、請求項8記載の基板処理装置において、前記回転体は、前記回転軸に沿って形成される、前記高温ガスの通路を内蔵し、前記通路は分岐して前記複数のガス供給口に連通することを特徴とする。
10 基板処理装置
11 チャンバ
17 APCバルブ
18 ターボ分子ポンプ
36 回転軸
37 ロータ
38 ケース
39 回転翼
40 静止翼
41 回転翼群
42 静止翼群
43,46 ガス供給口
44 レーザ発振器
45 検出器
Claims (14)
- 基板に処理を施す処理室から堆積物付着要因ガスを排出するターボ分子ポンプであって、
排気流に沿う回転軸を有する回転体と、該回転体を収容する筒状体と、該回転体から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の回転翼と、前記筒状体における前記回転体との対向面から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の静止翼とを備え、前記複数の回転翼は複数の回転翼群に分割されると共に、前記複数の静止翼は複数の静止翼群に分割され、各前記回転翼群及び各前記静止翼群は前記回転軸に沿って交互に配されるターボ分子ポンプにおいて、
前記排気流に関して最下流側に位置する前記回転翼群よりも上流側において開口する複数のガス供給口を有し、該複数のガス供給口は分子量の大きい気体分子を含む堆積物付着抑制ガスを供給し、前記複数のガス供給口は前記回転体において開口し、
前記回転体は、前記回転軸に沿って形成される、前記堆積物付着抑制ガスの通路を内蔵し、前記通路は分岐して前記複数のガス供給口に連通することを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 前記分子量はアルゴンの原子量以上であることを特徴とする請求項1記載のターボ分子ポンプ。
- 前記堆積物付着抑制ガスは高温に加熱されていることを特徴とする請求項1又は2記載のターボ分子ポンプ。
- 前記ガス供給口は前記堆積物付着抑制ガスに加えクリーニングガスを供給することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のターボ分子ポンプ。
- 前記クリーニングガスは、オゾン、アンモニア、三弗化塩素からなる群から選択された少なくとも1つからなることを特徴とする請求項4記載のターボ分子ポンプ。
- 基板に処理を施す処理室から堆積物付着要因ガスを排出するターボ分子ポンプであって、
排気流に沿う回転軸を有する回転体と、該回転体を収容する筒状体と、該回転体から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の回転翼と、前記筒状体における前記回転体との対向面から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の静止翼とを備え、前記複数の回転翼は複数の回転翼群に分割されると共に、前記複数の静止翼は複数の静止翼群に分割され、各前記回転翼群及び各前記静止翼群は前記回転軸に沿って交互に配されるターボ分子ポンプにおいて、
前記排気流に関して前記複数の回転翼群よりも下流側において排気管と連通し、前記排気流に関して最下流側に位置する前記回転翼群及び前記排気管の間において開口する複数のガス供給口を有し、該複数のガス供給口は高温ガスを供給し、前記複数のガス供給口は前記回転体において開口することを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 基板に処理を施す処理室と、該処理室から堆積物付着要因ガスを排出するターボ分子ポンプとを備える基板処理装置において、
前記ターボ分子ポンプは、排気流に沿う回転軸を有する回転体と、該回転体を収容する筒状体と、該回転体から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の回転翼と、前記筒状体における前記回転体との対向面から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の静止翼とを有し、前記複数の回転翼は複数の回転翼群に分割されると共に、前記複数の静止翼は複数の静止翼群に分割され、各前記回転翼群及び各前記静止翼群は前記回転軸に沿って交互に配され、
前記ターボ分子ポンプは、さらに、前記排気流に関して最下流側に位置する前記回転翼群よりも上流側において開口する複数のガス供給口を有し、該複数のガス供給口は分子量の大きい気体分子を含む堆積物付着抑制ガスを供給し、前記複数のガス供給口は前記回転体において開口し、
前記回転体は、前記回転軸に沿って形成される、前記堆積物付着抑制ガスの通路を内蔵し、前記通路は分岐して前記複数のガス供給口に連通することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す処理室と、該処理室から堆積物付着要因ガスを排出するターボ分子ポンプとを備える基板処理装置において、
前記ターボ分子ポンプは、排気流に沿う回転軸を有する回転体と、該回転体を収容する筒状体と、該回転体から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の回転翼と、前記筒状体における前記回転体との対向面から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の静止翼とを有し、前記複数の回転翼は複数の回転翼群に分割されると共に、前記複数の静止翼は複数の静止翼群に分割され、各前記回転翼群及び各前記静止翼群は前記回転軸に沿って交互に配され、
前記ターボ分子ポンプは、さらに、前記排気流に関して前記複数の回転翼群よりも下流側において排気管と連通し、前記排気流に関して最下流側に位置する前記回転翼群及び前記排気管の間において開口する複数のガス供給口を有し、該複数のガス供給口は高温ガスを供給し、前記複数のガス供給口は前記回転体において開口することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を施す処理室と開閉弁を介して接続され、前記処理室から堆積物付着要因ガスを排出するターボ分子ポンプであって、排気流に沿う回転軸を有する回転体と、該回転体を収容する筒状体と、該回転体から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の回転翼と、前記筒状体における前記回転体との対向面から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の静止翼とを備え、前記複数の回転翼は複数の回転翼群に分割されると共に、前記複数の静止翼は複数の静止翼群に分割され、各前記回転翼群及び各前記静止翼群は前記回転軸に沿って交互に配されるターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法であって、
前記開閉弁を閉弁すると共に、前記排気流に関して最下流側に位置する前記回転翼群よりも上流側に設けられ、且つ前記回転体において開口する複数のガス供給口から分子量の大きい気体分子を含む堆積物付着抑制ガスを供給する供給ステップと、
前記開閉弁を開弁すると共に、前記基板に前記処理を施す処理ステップとを有し、
前記回転体は、前記回転軸に沿って形成される、前記堆積物付着抑制ガスの通路を内蔵し、前記通路は分岐して前記複数のガス供給口に連通し、
前記供給ステップにおいて、前記堆積物付着抑制ガスは前記通路を経由して前記複数のガス供給口から供給されることを特徴とする堆積物付着抑制方法。 - 前記供給ステップに先立って、前記ターボ分子ポンプ内における堆積物の付着状況を検査する検査ステップと、
該検査の結果に応じて前記供給ステップを実行するか否かを判別する判別ステップとをさらに有することを特徴とする請求項9記載の堆積物付着抑制方法。 - 前記処理ステップでは、前記複数のガス供給口から前記堆積物付着抑制ガスを供給することを特徴とする請求項9又は10記載の堆積物付着抑制方法。
- 基板に処理を施す処理室と開閉弁を介して接続され、前記処理室から堆積物付着要因ガスを排出するターボ分子ポンプであって、排気流に沿う回転軸を有する回転体と、該回転体を収容する筒状体と、該回転体から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の回転翼と、前記筒状体における前記回転体との対向面から前記回転軸に対して垂直に突出する複数のブレード状の静止翼とを備え、前記複数の回転翼は複数の回転翼群に分割されると共に、前記複数の静止翼は複数の静止翼群に分割され、各前記回転翼群及び各前記静止翼群は前記回転軸に沿って交互に配され、前記排気流に関して前記複数の回転翼群よりも下流側において排気管と連通するターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法であって、
前記開閉弁を閉弁すると共に、前記排気流に関して最下流側に位置する前記回転翼群及び前記排気管の間に設けられ、且つ前記回転体において開口する複数のガス供給口から高温ガスを供給する供給ステップと、
前記開閉弁を開弁すると共に、前記基板に前記処理を施す処理ステップとを有することを特徴とする堆積物付着抑制方法。 - 前記回転体は、前記回転軸に沿って形成される、前記高温ガスの通路を内蔵し、前記通路は分岐して前記複数のガス供給口に連通することを特徴とする請求項6記載のターボ分子ポンプ。
- 前記回転体は、前記回転軸に沿って形成される、前記高温ガスの通路を内蔵し、前記通路は分岐して前記複数のガス供給口に連通することを特徴とする請求項8記載の基板処理装置。
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