JPS6143297A - 分子ポンプのガスパ−ジ装置 - Google Patents
分子ポンプのガスパ−ジ装置Info
- Publication number
- JPS6143297A JPS6143297A JP16459184A JP16459184A JPS6143297A JP S6143297 A JPS6143297 A JP S6143297A JP 16459184 A JP16459184 A JP 16459184A JP 16459184 A JP16459184 A JP 16459184A JP S6143297 A JPS6143297 A JP S6143297A
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- JP
- Japan
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- gas
- intake passage
- housing
- molecular pump
- pump
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は核物理研究用粒子加速器、核融合実験装置、表
面分析装置、半導体製造装置としてのイオン注入装置、
スパッタリング装置等の種々の装置において高真空を得
るために用いられるターボ分子ポンプのガスパージ装置
に関する。
面分析装置、半導体製造装置としてのイオン注入装置、
スパッタリング装置等の種々の装置において高真空を得
るために用いられるターボ分子ポンプのガスパージ装置
に関する。
（ロ）従来の技術
ターボ分子ポンプとして静翼を内周面に形成した外部ハ
ウジングと、該外部ハウジング内に設けた内部ハウジン
グと、該内部ハウジングに軸支され外周面に動翼を形成
したロータと、前記内部ハウジング内に設けられ回転軸
を介して前記ロータを回転させるモータとからなるもの
が知られており、このターボ分子ポンプの従来のガスパ
ージ装置として前記内部ハウジングにガス吐出口を設け
、該ガス吐出口から該内部ハウジング内にガスパージし
て前記モータ等の駆動装置やその配線等が有毒ガスによ
り腐食するのを防止するようにしていた。
ウジングと、該外部ハウジング内に設けた内部ハウジン
グと、該内部ハウジングに軸支され外周面に動翼を形成
したロータと、前記内部ハウジング内に設けられ回転軸
を介して前記ロータを回転させるモータとからなるもの
が知られており、このターボ分子ポンプの従来のガスパ
ージ装置として前記内部ハウジングにガス吐出口を設け
、該ガス吐出口から該内部ハウジング内にガスパージし
て前記モータ等の駆動装置やその配線等が有毒ガスによ
り腐食するのを防止するようにしていた。
（ハ）発明が解決しようとする問題点
前記回転軸を軸受を介して前記内部ハウジングに回転自
在に支持させている該軸受等に使用する油の蒸気は、高
分子量で圧縮比が高いためにポンプが所定の回転数以上
で回転しているときにはポンプ内の吸気路に流出するこ
とがないが、該ポンプの起動時又は停止時の低速回転時
には油蒸気が吸気路に流出すること及び停止時吸気路内
から有毒ガスを排出できないことの不都合があった。
在に支持させている該軸受等に使用する油の蒸気は、高
分子量で圧縮比が高いためにポンプが所定の回転数以上
で回転しているときにはポンプ内の吸気路に流出するこ
とがないが、該ポンプの起動時又は停止時の低速回転時
には油蒸気が吸気路に流出すること及び停止時吸気路内
から有毒ガスを排出できないことの不都合があった。
本発明はこのような不都合を解消しポンプの起動又は停
止時においても吸気路に油蒸気を流出させず、且つ停止
時ポンプ内全体から有毒ガスを排出させるガスバージ装
置を提供することを目的とする。
止時においても吸気路に油蒸気を流出させず、且つ停止
時ポンプ内全体から有毒ガスを排出させるガスバージ装
置を提供することを目的とする。
（ニ）問題点を解決するための手段
この目的を達成すべく本発明は前記外部ハウジング内の
吸気路内に更にガスパージするガス吐出口を該外部ハウ
ジングに設けたことを特徴とする。
吸気路内に更にガスパージするガス吐出口を該外部ハウ
ジングに設けたことを特徴とする。
（ホ）作用
外部ハウジング内の吸気路内に更にガスパージするガス
吐出口を該外部ハウジングに設けたので、ポンプの起動
又は停止時に該ガス吐出口より吸気路内にガスパージす
れば該吸気路内のガス圧が高くなって該吸気路に向って
油蒸気の流出がなくなり、且つ停止時内部ハウジング内
だけでなく吸気路内からも有毒ガスを排出できる。
吐出口を該外部ハウジングに設けたので、ポンプの起動
又は停止時に該ガス吐出口より吸気路内にガスパージす
れば該吸気路内のガス圧が高くなって該吸気路に向って
油蒸気の流出がなくなり、且つ停止時内部ハウジング内
だけでなく吸気路内からも有毒ガスを排出できる。
（へ）実施例
本発明の１実施例を図面に従って説明
する。
（１）は筒状の外部ハウジング、（２）は該外部ハウジ
ング（１）の下端部に固着した内部ハウジング、（３）
はロータを示し、該ロータ（３）の下方凹部に前記内部
ハウジング（２）の上半部を嵌入すると共に、該ロータ
（３）に回転軸（４）を連結して前記内部ハウジング（
２）に軸支し、前記内部ハウジング（２）内に設置した
電動モータ（５）により前記回転軸（４）を介して前記
ロータ（３）を回転させるようにした。
ング（１）の下端部に固着した内部ハウジング、（３）
はロータを示し、該ロータ（３）の下方凹部に前記内部
ハウジング（２）の上半部を嵌入すると共に、該ロータ
（３）に回転軸（４）を連結して前記内部ハウジング（
２）に軸支し、前記内部ハウジング（２）内に設置した
電動モータ（５）により前記回転軸（４）を介して前記
ロータ（３）を回転させるようにした。
（６）（６）は前記回転軸（４）を前記内部ハウジング
（２）内に軸支する軸受、（５ａ）はモータステータ、
（５ｂ）はモータロータを示す。
（２）内に軸支する軸受、（５ａ）はモータステータ、
（５ｂ）はモータロータを示す。
（７）は前記内部ハウジング（２）内の下端部に設けた
潤滑油槽を示し、該潤滑油槽（７）内に下端部が突入す
る前記回転軸（４）は、該下端部間口と上端部両側の開
口とを連通ずる潤滑油流路（８）を有している。
潤滑油槽を示し、該潤滑油槽（７）内に下端部が突入す
る前記回転軸（４）は、該下端部間口と上端部両側の開
口とを連通ずる潤滑油流路（８）を有している。
（９）は前記内部ハウジング（２）上半部の外周面の前
記ロータ（３）の嵌入部に形成したねし溝を示し、該ね
じ溝（９）内の気体が前記ロータ（３）の回転により下
方に圧送されるようにした。
記ロータ（３）の嵌入部に形成したねし溝を示し、該ね
じ溝（９）内の気体が前記ロータ（３）の回転により下
方に圧送されるようにした。
（１０）は前記外部ハウジング（１）の内周面に形成し
た静翼、（１１）は前記ロータ（３）の外周面に形成し
た動翼、（１４）は吸気路を示し、該吸気路（１４）は
外部ノ＼ウジング（１）内においてその上端吸気口（１
２）から静！（１０）動翼（１１）を経て下端排出口（
１３）に至り形成されている。
た静翼、（１１）は前記ロータ（３）の外周面に形成し
た動翼、（１４）は吸気路を示し、該吸気路（１４）は
外部ノ＼ウジング（１）内においてその上端吸気口（１
２）から静！（１０）動翼（１１）を経て下端排出口（
１３）に至り形成されている。
（１５）は前記内部ハウジング（２）に形成されその内
部に開口する第１ガス吐出孔、（１６）は前記外部ハウ
ジング（１）に形成され前記吸気路（１４）の吸気口（
１２）に開口する第２ガス吐出孔を示し、これらガス吐
出孔（１５）（１６）はそれぞれ共通のパージガス供給
源（１７）に連通ずると共に、前記第１ガス吐出孔（１
５）に連通ずる管路（１８）の途中には絞り弁Ａ（１９
）、開閉弁Ａ（２０）及び安全弁（２１）を介在し、前
記第２ガス吐出孔（１６）に連通ずる管路（２２）の途
中には絞り弁Ｂ（２３）及び開閉弁Ｂ（２４）を介在し
た。（２５）は被吸引体（２６）と前記吸気口（１２）
との間を連通する管路に介在した主弁、（２７）、（２
８）は前記各々の管路（１８）（２２）と前記パージガ
ス供給源（１７）とを連通ずる共通管路（２９）の途中
に介在した元弁及び減圧弁、（３０）は補助ポンプ、（
３１）は該補助ポンプ（３０）と排気口（１３）間の管
路に介在した補助弁を示す。
部に開口する第１ガス吐出孔、（１６）は前記外部ハウ
ジング（１）に形成され前記吸気路（１４）の吸気口（
１２）に開口する第２ガス吐出孔を示し、これらガス吐
出孔（１５）（１６）はそれぞれ共通のパージガス供給
源（１７）に連通ずると共に、前記第１ガス吐出孔（１
５）に連通ずる管路（１８）の途中には絞り弁Ａ（１９
）、開閉弁Ａ（２０）及び安全弁（２１）を介在し、前
記第２ガス吐出孔（１６）に連通ずる管路（２２）の途
中には絞り弁Ｂ（２３）及び開閉弁Ｂ（２４）を介在し
た。（２５）は被吸引体（２６）と前記吸気口（１２）
との間を連通する管路に介在した主弁、（２７）、（２
８）は前記各々の管路（１８）（２２）と前記パージガ
ス供給源（１７）とを連通ずる共通管路（２９）の途中
に介在した元弁及び減圧弁、（３０）は補助ポンプ、（
３１）は該補助ポンプ（３０）と排気口（１３）間の管
路に介在した補助弁を示す。
次に本実施例の動作について説明する。
分子ポンプの起動時は、先ず主弁（２５）を閉じた状態
において元弁（２７）を開いてから開閉弁Ｂ（２４）を
開いて第２ガス吐出口（１６）より不活性ガスをパージ
して分子ポンプ内の吸気路（１４）内に該不活性ガスを
充満し、更に開閉弁Ａ（２０）を開いて第１ガス吐出口
（１５）からも不活性ガスをパージして内部ハウジング
（２）内も該不活性ガスを充満する。ここで第２ガス吐
出口（１６）からのガス量を第１ガス吐出口（１５）か
らのガス量よりも大にして、吸気路（１４）内のガス圧
を内部ハウジング（２）内のガス圧よりも大にしておく
、そしてこの状態において補助弁（３１）を開いて補助
ポンプ（３０）を起動すると共に主弁（２５）を開いて
予備吸引を開始し、その後分子ポンプを起動する。この
起動により分子ポンプのロータ（３）の回転が徐々に高
速になっていくと共に遠心力により潤滑油がその流路（
８）を経て軸受（６）に供給され始めるのであるが、該
ロータ（３）が未だ低速回転時において前述の如く吸気
路（１４）内のガス圧が内部ハウジング（２）内のガス
圧よりも大の状態が保持されているので軸受（６）の潤
滑油の蒸気が内部ハウジング（２）の上端面の間隙とね
じ溝（９）を経て吸気路（１４）内に流出することがな
い、そしてロータ（３）の回転が所定の回転数以上にな
ると、開閉弁Ｂ（２４）を閉じて第２吐出孔（１６）か
らの不活性ガスの供給を停止して吸気路（１４）内に残
る該不活性ガスが吸気されてそのガス圧が低下していく
、このガス圧の低下によっても分子ポンプのロータが所
定の回転数以上であるので前述の如く潤滑油の蒸気は吸
気路（１４）内に流出することがない。
において元弁（２７）を開いてから開閉弁Ｂ（２４）を
開いて第２ガス吐出口（１６）より不活性ガスをパージ
して分子ポンプ内の吸気路（１４）内に該不活性ガスを
充満し、更に開閉弁Ａ（２０）を開いて第１ガス吐出口
（１５）からも不活性ガスをパージして内部ハウジング
（２）内も該不活性ガスを充満する。ここで第２ガス吐
出口（１６）からのガス量を第１ガス吐出口（１５）か
らのガス量よりも大にして、吸気路（１４）内のガス圧
を内部ハウジング（２）内のガス圧よりも大にしておく
、そしてこの状態において補助弁（３１）を開いて補助
ポンプ（３０）を起動すると共に主弁（２５）を開いて
予備吸引を開始し、その後分子ポンプを起動する。この
起動により分子ポンプのロータ（３）の回転が徐々に高
速になっていくと共に遠心力により潤滑油がその流路（
８）を経て軸受（６）に供給され始めるのであるが、該
ロータ（３）が未だ低速回転時において前述の如く吸気
路（１４）内のガス圧が内部ハウジング（２）内のガス
圧よりも大の状態が保持されているので軸受（６）の潤
滑油の蒸気が内部ハウジング（２）の上端面の間隙とね
じ溝（９）を経て吸気路（１４）内に流出することがな
い、そしてロータ（３）の回転が所定の回転数以上にな
ると、開閉弁Ｂ（２４）を閉じて第２吐出孔（１６）か
らの不活性ガスの供給を停止して吸気路（１４）内に残
る該不活性ガスが吸気されてそのガス圧が低下していく
、このガス圧の低下によっても分子ポンプのロータが所
定の回転数以上であるので前述の如く潤滑油の蒸気は吸
気路（１４）内に流出することがない。
次に分子ポンプの停止時は先ず主弁
（２５）を閉じてから分子ポンプの電源を切り、次に開
閉弁Ｂ （２４）を開く。かくて分子ポンプの電源が切
られたことによりロータは慣性力により暫く回転を続行
するがその回転数が徐々に低下して所定の回転数以下に
なってきても、第２吐出孔（１６）から不活性ガスが吸
気路（１４）に充満してそのガス圧が高くなるので、潤
滑油の蒸気は該吸気路（１４）内に流出することがない
。分子ポンプの回転の停止後補助弁（３１）を閉じると
共に補助ポンプ（３０）を停止し、その後開閉弁Ａ（２
０）を閉じて内部ハウジング（２）への不活性ガスのパ
ージを停止し、次に開閉弁Ｂ（２４）を閉じて吸気路（
１４）内への不活性ガスのパージも停止し、最後に元弁
（２５）を閉じる。この操作により、吸気路（１４）内
からも有毒ガスを排出して停止させる事ができる。
閉弁Ｂ （２４）を開く。かくて分子ポンプの電源が切
られたことによりロータは慣性力により暫く回転を続行
するがその回転数が徐々に低下して所定の回転数以下に
なってきても、第２吐出孔（１６）から不活性ガスが吸
気路（１４）に充満してそのガス圧が高くなるので、潤
滑油の蒸気は該吸気路（１４）内に流出することがない
。分子ポンプの回転の停止後補助弁（３１）を閉じると
共に補助ポンプ（３０）を停止し、その後開閉弁Ａ（２
０）を閉じて内部ハウジング（２）への不活性ガスのパ
ージを停止し、次に開閉弁Ｂ（２４）を閉じて吸気路（
１４）内への不活性ガスのパージも停止し、最後に元弁
（２５）を閉じる。この操作により、吸気路（１４）内
からも有毒ガスを排出して停止させる事ができる。
ここでこのような動作手順はシーケンス制御又はマイク
ロコンピュータによる制御によって達成される。
ロコンピュータによる制御によって達成される。
尚、前記実施例では吸気路（１４）の吸気口（１２）に
第２吐出孔（１６）の開口を設けた場合を示したが、外
部ハウジング（１）の内周面で静翼（１０）の形成個所
に前記第２吐出孔（１６）の開口を設けてもよく、更に
静翼と動翼からなるターボ分子ポンプ部と共にねし溝ポ
ンプ部を有するような複合分子ポンプにおいては、外部
ハウジング（１）の内周面でこれらターボ分子ポンプ部
とねじ溝ポンプ部の中間位置に前記第２吐出孔 （１６）の開口を形成する等任意である。
第２吐出孔（１６）の開口を設けた場合を示したが、外
部ハウジング（１）の内周面で静翼（１０）の形成個所
に前記第２吐出孔（１６）の開口を設けてもよく、更に
静翼と動翼からなるターボ分子ポンプ部と共にねし溝ポ
ンプ部を有するような複合分子ポンプにおいては、外部
ハウジング（１）の内周面でこれらターボ分子ポンプ部
とねじ溝ポンプ部の中間位置に前記第２吐出孔 （１６）の開口を形成する等任意である。
（ト）発明の効果
このように本発明によると外部ハウジング内の吸気路内
に更にガスパージするガス吐出口を該外部ハウジングに
設けたので、ポンプの起動又は停止時に該ガス吐出口よ
り吸気路内にガスパージすれば該吸気路内のガス圧が高
くなって該吸気路に向って油蒸気の流出がなくなり、か
くて油蒸気による悪影響を生じないで各種実験や製造等
を行うことができ、且つ停止時ポンプ内全体から有毒ガ
スが排出されているのでポンプの耐久性及びメンテナン
ス時の安全性が向上する効果を有する。
に更にガスパージするガス吐出口を該外部ハウジングに
設けたので、ポンプの起動又は停止時に該ガス吐出口よ
り吸気路内にガスパージすれば該吸気路内のガス圧が高
くなって該吸気路に向って油蒸気の流出がなくなり、か
くて油蒸気による悪影響を生じないで各種実験や製造等
を行うことができ、且つ停止時ポンプ内全体から有毒ガ
スが排出されているのでポンプの耐久性及びメンテナン
ス時の安全性が向上する効果を有する。
第１図は本発明装置の１実施例の縦断面図、第２図はそ
の配管図を示す。 （１）・・・外部ハウジング、 （２）・・・内部ハウジング、（３）・・・ロータ、（
４）・・・回転軸、（５）・・・モータ、（１０）・・
・静翼、（１１）・・・動翼、（１４）・・・吸気路、 （１５）、（１６）・・・ガス吐出口 第１図 第２図
の配管図を示す。 （１）・・・外部ハウジング、 （２）・・・内部ハウジング、（３）・・・ロータ、（
４）・・・回転軸、（５）・・・モータ、（１０）・・
・静翼、（１１）・・・動翼、（１４）・・・吸気路、 （１５）、（１６）・・・ガス吐出口 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 静翼を内周面に形成した外部ハウジング と、該外部ハウジング内に設けた内部ハウジングと、該
内部ハウジングに軸支され外周面に動翼を形成したロー
タと、前記内部ハウジング内に設けられ回転軸を介して
前記ロータを回転させるモータと、前記内部ハウジング
に設けられ該内部ハウジング内にガスパージするガス吐
出孔とからなるものにおいて、前記外部ハウジング内の
吸気路内に更にガスパージするガス吐出口を該外部ハウ
ジングに設けたことを特徴とする分子ポンプのガスパー
ジ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16459184A JPS6143297A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 分子ポンプのガスパ−ジ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16459184A JPS6143297A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 分子ポンプのガスパ−ジ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6143297A true JPS6143297A (ja) | 1986-03-01 |
| JPH0457878B2 JPH0457878B2 (ja) | 1992-09-14 |
Family
ID=15796088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16459184A Granted JPS6143297A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 分子ポンプのガスパ−ジ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6143297A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5209631A (en) * | 1990-07-16 | 1993-05-11 | Arthur Pfeiffer Vakummtechnik Wetzlar Gmbh | Arrangement for flooding high speed vacuum pumps |
| JPH0664946A (ja) * | 1991-10-01 | 1994-03-08 | Flachglas Ag | ことに原動機走行車輌用の、単純弯曲ないし二重弯曲積層窓ガラス板の製造方法 |
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
| JP2003083468A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-19 | Advance Denki Kogyo Kk | バルブにおけるガスパージ方法及び構造 |
| US8052376B2 (en) * | 2007-03-29 | 2011-11-08 | Tokyo Electron Limited | Turbo-molecular pump, substrate processing apparatus, and method for suppressing attachment of depositions to turbo-molecular pump |
| JP2020051317A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 株式会社荏原製作所 | 気体移送装置および気体移送装置の使用方法 |
| CN113518863A (zh) * | 2019-03-05 | 2021-10-19 | 普发真空公司 | 涡轮分子真空泵和净化方法 |
-
1984
- 1984-08-06 JP JP16459184A patent/JPS6143297A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5209631A (en) * | 1990-07-16 | 1993-05-11 | Arthur Pfeiffer Vakummtechnik Wetzlar Gmbh | Arrangement for flooding high speed vacuum pumps |
| JPH0664946A (ja) * | 1991-10-01 | 1994-03-08 | Flachglas Ag | ことに原動機走行車輌用の、単純弯曲ないし二重弯曲積層窓ガラス板の製造方法 |
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
| JP2003083468A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-19 | Advance Denki Kogyo Kk | バルブにおけるガスパージ方法及び構造 |
| US8052376B2 (en) * | 2007-03-29 | 2011-11-08 | Tokyo Electron Limited | Turbo-molecular pump, substrate processing apparatus, and method for suppressing attachment of depositions to turbo-molecular pump |
| JP2020051317A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 株式会社荏原製作所 | 気体移送装置および気体移送装置の使用方法 |
| CN113518863A (zh) * | 2019-03-05 | 2021-10-19 | 普发真空公司 | 涡轮分子真空泵和净化方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0457878B2 (ja) | 1992-09-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |