JP2005171766A - ドライポンプ及びドライポンプの運転方法 - Google Patents
ドライポンプ及びドライポンプの運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005171766A JP2005171766A JP2003408482A JP2003408482A JP2005171766A JP 2005171766 A JP2005171766 A JP 2005171766A JP 2003408482 A JP2003408482 A JP 2003408482A JP 2003408482 A JP2003408482 A JP 2003408482A JP 2005171766 A JP2005171766 A JP 2005171766A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- rotor chamber
- rotor
- dry pump
- ballast
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】 それぞれロータ11、12、13、14、15、16を収容し、直列に接続された多段(6段)のロータ室20と、例えば3段目より下流の少なくとも1つのロータ室20に接続され、そのロータ室20内にガスバラストガスを導入するガスバラスト手段2と、ロータ室20内に導入される前のガスバラストガスをロータ室20の外部で加熱し、ロータ室20内の気体温度より高い温度にする加熱手段3とを備える。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- ロータの回転により、容器内の気体を排出するドライポンプであって、
前記ロータを収容するロータ室と、
前記ロータ室に接続され、前記ロータ室内にガスバラストガスを導入するガスバラスト手段と、
前記ガスバラストガスを前記ロータ室の外部で加熱し、前記ロータ室内の気体温度より高い温度にする加熱手段と、
を備えることを特徴とするドライポンプ。 - 3段以上の前記ロータ室が直列に接続され、
前記ガスバラスト手段は、中間段もしくは3段目より下流の少なくとも1つのロータ室に接続される
ことを特徴とする請求項1に記載のドライポンプ。 - 前記ガスバラストガスは不活性ガスである
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のドライポンプ。 - 前記気体は、凝縮性もしくは凝固性のガスを含む
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のドライポンプ。 - 容器内の気体を排出するドライポンプの運転方法であって、
ロータを回転させてロータ室内に前記気体を吸気するステップと、
吸気された前記気体を前記ロータの回転により前記ロータ室内で圧縮するステップと、
圧縮された前記気体に、前記気体より温度が高いガスバラストガスを混合するステップと、
前記気体と前記ガスバラストガスとを前記ロータ室外へ排出するステップと、
を含むことを特徴とするドライポンプの運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003408482A JP2005171766A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | ドライポンプ及びドライポンプの運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003408482A JP2005171766A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | ドライポンプ及びドライポンプの運転方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005171766A true JP2005171766A (ja) | 2005-06-30 |
Family
ID=34730161
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003408482A Pending JP2005171766A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | ドライポンプ及びドライポンプの運転方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005171766A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008248754A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tokyo Electron Ltd | ターボ分子ポンプ、基板処理装置、及びターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法 |
JP2010098092A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法 |
WO2010134427A1 (ja) | 2009-05-20 | 2010-11-25 | 三菱重工業株式会社 | ドライ真空ポンプ |
US8083507B2 (en) | 2007-03-16 | 2011-12-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Vacuum pump having rotation body cleaning unit with spraying holes on an output surface of the cleaning body surrounding a shaft |
KR101195984B1 (ko) | 2010-10-08 | 2012-10-30 | 디에이치엠(주) | 진공펌프 |
JP2012248867A (ja) * | 2012-07-25 | 2012-12-13 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法 |
US8529231B2 (en) | 2009-02-09 | 2013-09-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for cleaning rotation body and vacuum pump having the same |
WO2017167584A1 (de) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | Leybold Gmbh | Vakuumpumpe mit schalldämpfung |
-
2003
- 2003-12-08 JP JP2003408482A patent/JP2005171766A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8083507B2 (en) | 2007-03-16 | 2011-12-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Vacuum pump having rotation body cleaning unit with spraying holes on an output surface of the cleaning body surrounding a shaft |
JP2008248754A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tokyo Electron Ltd | ターボ分子ポンプ、基板処理装置、及びターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法 |
JP2010098092A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法 |
US8529231B2 (en) | 2009-02-09 | 2013-09-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for cleaning rotation body and vacuum pump having the same |
KR101310490B1 (ko) * | 2009-05-20 | 2013-09-24 | 가부시키가이샤 아루박 | 드라이 진공 펌프 |
WO2010134427A1 (ja) | 2009-05-20 | 2010-11-25 | 三菱重工業株式会社 | ドライ真空ポンプ |
CN102282371A (zh) * | 2009-05-20 | 2011-12-14 | 三菱重工业株式会社 | 干式真空泵 |
KR101195984B1 (ko) | 2010-10-08 | 2012-10-30 | 디에이치엠(주) | 진공펌프 |
JP2012248867A (ja) * | 2012-07-25 | 2012-12-13 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法 |
WO2017167584A1 (de) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | Leybold Gmbh | Vakuumpumpe mit schalldämpfung |
CN109072918A (zh) * | 2016-03-30 | 2018-12-21 | 莱宝有限公司 | 具有消音器的真空泵 |
JP2019510166A (ja) * | 2016-03-30 | 2019-04-11 | レイボルド ゲーエムベーハー | 消音器を備えた真空ポンプ |
JP6997719B2 (ja) | 2016-03-30 | 2022-01-18 | レイボルド ゲーエムベーハー | 消音器を備えた真空ポンプ |
US11274668B2 (en) | 2016-03-30 | 2022-03-15 | Leybold Gmbh | Vacuum pump having a silencer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9541088B2 (en) | Evacuation apparatus | |
EP0256234B1 (en) | Vacuum generating system | |
JP3673743B2 (ja) | スクリュー式真空ポンプ | |
WO2003023229A1 (fr) | Systeme de pompe a vide et procede de fonctionnement d'un systeme de pompe a vide | |
KR100730073B1 (ko) | 진공 배기 장치 | |
JPH0874765A (ja) | 無段圧縮形スクリュー式真空ポンプ | |
KR20130050488A (ko) | 다단형 건식 진공펌프 | |
TWI554684B (zh) | 真空泵 | |
JP2010501766A (ja) | 真空ポンプ装置で自己点火する粉塵を反応させるための方法 | |
JP2825673B2 (ja) | 乾燥圧縮型の多段式の真空ポンプの運転法および該運転法を実施するための真空ポンプ | |
JP2005171766A (ja) | ドライポンプ及びドライポンプの運転方法 | |
JP4180265B2 (ja) | 真空排気装置の運転方法 | |
JP2005307978A (ja) | 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備 | |
KR102504556B1 (ko) | 드라이 펌프 및 배기가스 처리 방법 | |
US20080206072A1 (en) | Vacuum Apparatus | |
JP2004324644A (ja) | ドライ真空ポンプ及びその起動方法 | |
WO2004083643A1 (en) | Positive-displacement vacuum pump | |
KR102581752B1 (ko) | 다단 회전 피스톤 펌프 | |
JP2003129957A (ja) | 真空排気方法および真空排気装置 | |
JP2003172282A (ja) | 多段式真空ポンプ | |
JP3961605B2 (ja) | 真空ポンプの改良 | |
JP4111763B2 (ja) | 縦置きスクリュー式真空ポンプ | |
JP4045362B2 (ja) | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプ | |
JP2017031892A (ja) | 真空排気装置及びその運転方法 | |
JP2004293377A (ja) | 多段式ドライポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061031 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Effective date: 20071110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090212 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090403 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20091006 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |