SE467551B - Apparat foer maetning av arktjocklek - Google Patents
Apparat foer maetning av arktjocklekInfo
- Publication number
- SE467551B SE467551B SE8902579A SE8902579A SE467551B SE 467551 B SE467551 B SE 467551B SE 8902579 A SE8902579 A SE 8902579A SE 8902579 A SE8902579 A SE 8902579A SE 467551 B SE467551 B SE 467551B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- sensor
- magnetic field
- measured
- sheet
- thickness
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
Description
10
15
20
25
30
35
40
467 551 2
sensorn 3 ändrad avsevärt samt komplicerad jämförd med kurvan
för den optiska sensorn 4. Skälen till detta kan vara olika
experiment, referenser och studier och det anses att den
lokala magnetiseringen samt oregelbunden kvalitet hos materia-
len i metallstödplattan synes förorsaka ett fel hos magnetsen-
sorn. Om ett magnetmaterial använts såsom magnetstödplatta,
när en magnet är fäst delvis och lokalt magnetiserad (flera
gauss) och avsöks, uppvisar utsignalen hos den magnetismut- -
nyttjande sensorn en variation av flera tiotal mikron. När
stödplattans yta undersöks medelst en gaussmätare så finns det
ett läge, som uppvisar en stor variation även om det inte har
någon variation i utsignalen hos sensorn (där upplösningen för
gaussmätaren är 0,1 gauss). Liknande problem uppträder även om
ett icke magnetiskt material används såsom metallstödplatta .
och en magnetsensor av virvelströmtyp används. Detta gäller
eftersom felet hos den magnetfältutnyttjande sensorn anses
störa, för att öka mätnoggrannheten hos arktjockleksmätappara-
ten av denna typ.
Ett syfte med denna uppfinning är att åstadkomma en ark-
tjockleksmätapparat, som kan eliminera de ovan beskrivna kon-
ventionella problem.
SAMMANFATTNING AV UPPFINNINGEN
Enligt en aspekt av denna uppfinning åstadkommes en
apparat för att mäta tjockleken hos ett ark på basis av de
uppmätta avståndsvärdena för en magnetfältutnyttjande sensor
samt en optisk sensor genom avsökning medelst nämnda
magnetfältutnyttjande sensor och nämnda optiska sensor utmed
arket på en metallstödyta, innefattande minnesorgan för att
lagra ett uppmätt korrigeringsvärde baserat på ett uppmätt
avståndsvärde, som uppmätts utmed metallstödytan medelst
åtminstone den magnetfältutnyttjande sensorn av nämnda
magnetfältutnyttjande sensor och nämnda optiska sensor i det
tillstånd, varvid arket inte är placerat, samt korrigerings-
organ för att korrigera åtminstone det uppmätta avståndsvärde,
som uppmätts av nämnda magnetfältutnyttjande sensor,~av upp-
mätta avståndsvärden, som uppmätts medelst nämnda magnet-
fältutnyttjande sensor och nämnda optiska sensor i det tillstånd,
varvid arket är placerat på metallstödytan, med nämnda upp-
mätta korrigeringsvärde lagrat i minnesorganet.
Uppfinningen kommer nu att beskrivas närmare i detalj
10
15
20
25
30
35
40
3 467 551
under hänvisning till föredragna utföringsformer, såsom åskåd-
liggöres på de bifogade ritningarna.
KORT BESKRIVNING AV RITNINGARNA
Fig. 1 visar en framifrån sedd vy, som schematiskt
åskådliggör konstruktionen för en arktjockleksmätapparat en-
ligt en utföringsform av denna uppfinning;
Fig. 2 visar en sidovy, som schematiskt åskådliggör kon-
struktionen av arktjockleksapparaten i fig. 1; -
Fig. 3 visar ett blockschema, som schematiskt åskådlig-
gör konstruktionen av styrenheten för arktjockleksmätapparaten
i figurerna 1 och 2;
Fig. 4 visar en vy för förklaring av datauppsamlings-
tillståndet för sensorer vid minnesavsökning av referensvärde
o
genom styrenheten i fig. 3;
Fig. 5 visar en schematisk vy för att förklara principen
med den konventionella arktjockleksmätapparaten;
Fig. 6 visar en vy för att exemplifiera en variation i
de uppmätta avståndsvärdena för magnetfältutnyttjande sensor
och optisk sensor hos arktjockleksmätapparaten i fig. 5.
BESKRIVNING AV DE FÖREDRAGNA UTFÖRINGSFORMERNA
Såsom visas i figur 1 är en metallstödplatta 11 horison-
tellt uppburen mellan stödramar 10 vid båda sidorna. Denna
metallstödplatta 11 kan vara gjord av ett magnet- och metall-
material eller av ett icke magnetiskt och metalliskt material,
såsom aluminium, koppar, rostfritt stål, etc., beroende på de
typer av magnetsensorer,-som användes (sensorer av typen med
statiskt magnetfält, av typen med virvelström etc.). Vidare
uppbärs ett linjärt bärlager 12 på visst avstånd parallellt
över metallstödplattan 11 mellan stödramarna 10. En tjockleks-
sensor 50, som i kombination har en magnetfältutnyttjande sen-
sor och en optisk sensor, uppbärs glidbart på det linjära bär-
lagret 12. Tjocklekssensorn 50 är ansluten till en kedja 15,
som är anordnad mellan kedjehjul 14, vilka drivs av en avsök-
ningsstegemotor för förflyttning utmed det linjära bärlagret
12 genom motorns 13 drift. En startpunktdetekterande-närhets-
omkopplare 16 är anordnad nära kedjehjulet 14 vid den vänstra
sidan i figur 1.
I arktjockleksmätapparaten enligt denna uppfinning, som
beskrivits ovan, läses - innan tjockleken hos arket på metall-
stödplattan 11 uppmäts - magnetegenskapsmönstret för metall-
10
15
20
25
30
35
40
467 551 4
stödplattan 11, vilket är orsaken till ett fel hos magnetsen-
sorn, enligt nedan, i det tillståndet, varvid inget ark finns
på metallstödplattan 11.
Såsom visas i figur 3 har styrenheten en centralenhet
CPU, som huvudsakligen består av en mikrodator, ett minne 17
för lagring av olika uppmätta data, en förstärkare 18 för för-
stärkning av avståndsmätsignalen för den magnetfältutnyttjande
sensorn 51 hos tjocklekssensorn 50, en förstärkare 19 för för-
stärkning av en avståndsmätsignal hos den optiska sensorn 52
hos tjocklekssensorn 50, analog/digital-omvandlare 20 och 21
för omvandling av avståndsmätsignalerna för analoga värden,
förstärkta av förstärkarna 18 och 19, till digitala data, en
stegmotorstyrkrets 22 för styrning av en avsökningsstegmotors
13 drift, en in/ut-krets 23 för den startpunktdetekterande
närhetsomkopplaren 16 och en annan styr-gränsomkopplare 16A
(inte visad i figurerna 1 och 2) samt en utkrets 24 för utmat-
ning av ett uppmätt resultat till ett katodstrålerör, en
registreringsanordning eller en skrivare etc.
Först matar centralenheten CPU ett kommando till avsök-
ningsstegmotorn 13, så att tjocklekssensorn 50 placeras vid
startläget. Med andra ord drivs avsökningsstegmotorn 13 till ~
den position, där den startpunktdetekterande närhetsomkopp-
laren 16 påverkas av tjocklekssensorn 50 för förflyttning av
tjocklekssensorn 50. Därvid åstadkommer den avsökning med
tjocklekssensorn 60 från startpositionen. Denna avsöknings be-
nämns "en lagrande avsökning" för avläsning av ett referens-
värde. Närhelst tjocklekssensorn 51 frammatas ett förutbe-
stämt avstånd medelst avsökningsstegmotorn 13 lagras den mag-
netfält- utnyttjande sensorns 51 avståndsmätsignal via
förstär- karen 18 och analog/digital-omvandlaren 20 i minnet
17 såsom digital- data och den optiska sensorns 52
avståndsmätsignal lagras via förstärkaren 19 och
analog/digital-omvandlaren 21 i minnet 17 såsom digitaldata.
Närmare bestämd lagras vid de respektive punkterna uppmätta
data genom centralenheten CPU i minnet 17 genom bilder, såsom
visas i figurerna 4(A) och 4(B), under det att
tjocklekssensorn 50 avsöker på metallstöd- plattan 11, på
vilken inget ark är placerat. Fig. 4(A) visar en variation i
uppmätta data vid de respektive mätpunkterna för den magnet-
fältutnyttjande sensorn 51 och figur 4(B) visar en variation i
10
15
20
25
30
35
40
5 467 551
uppmätta data vid de respektive mätpunkterna för den optiska
sensorn 51. De uppmätta avståndsvärdena (av- ståndet från den
övre ytan hos metallstödplattan 11 till den magnetfältut-
nyttjande sensorn 51) för den magnetfältutnyttjan- de sensorn
51 vid de respektive mätpunkterna är lhm och de uppmätta av-
ståndsvärdena (avståndet till metallstödplattans ll övre yta)
för den optiska sensorn 52 är law.
Avsökningen från den följande tidpunkten (vilken avsök--
ning benämns "mätavsökning“) utförs i det tillstånd, varvid
det för mätning avsedda arket är placerat på metallstödplattan
11. Tjocklekssensorn 50 förflyttas åter från utgångspunkten
och närhelst tjocklekssensorn 50 anländer till de respektive
mätpunkterna beräknar centralenheten CPU subtraktionsvaria-
tioner AJ1 och Ala mellan ingångsreferensvärdena lhu och
lhm vid den tidigare minnesavsökningen enligt följande ekva-
tioner, där det uppmätta avståndsvärdet (avståndet till me-
tallstödplattans ll övre yta) för den magnetfältutnyttjande
sensorn 51 är l1ME och det uppmätta värdet (avståndet till
arkets övre yta) för den optiska sensorn 51 är JQMB.
11 = lma ' lmns (2)
11 = law ' lnaæ (3)
Från resultaten erhålles arkets tjocklek t enligt föl-
jande ekvation:
t = A12 _ Al
Sålunda kan den skadliga inverkan av metallstödplattan
11 på den magnetfältutnyttjande sensorn 5 elimineras.
Även om den optiska sensorns 52 värde law inte lagras
vid de respektive tidpunkterna vid referensminnesavsökningen
så kan det beräknas teoretiskt. I detta fall är det nödvändigt
att bibehålla avståndet mellan tjocklekssensorn 50 och metall-
stödplattan 11 likadant vid varje avsökningsposition. I den
ovan beskrivna utföringsformen lagras llstd respektive law i
minnet 17. Arkets tjocklek t kan emellertid erhållas genom
följande ekvation:
tm: lma ' lzsm (5)
från data ]4Mß och lâwæ vid tidpunkten för mätavsökning
10
15
20
25
30
35
40
467 551 6
genom beräkning av tm enligt följande ekvation och lagring
av tm:
t = luß ' bum ' tm (5)
Denna metod kan minska minnets 17 kapacitet med hälften
eller mindre.
Vid den ovan beskrivna utföringsformen har, vidare, '
referensvärdets minnesavsökning beskrivits endast vid enkel-
riktad avsökning. För att förbättra noggrannheten kan emeller-
tid referensvärdets minnesavsökning utföras genom fram- och
återgående rörelse hos tjocklekssensorn. Vid ovanstående ut-
föringsform används dessutom stegmotorn såsom drivkraft för
tjocklekssensorn 50 och drivningen och positionsstyrningen ut-
förs i ett system med öppen slinga. Detta kan emellertid ut-
föras i ett återkopplingssystem med en servomotor och en rote-
rande kodare.
Vid den ovan beskrivna utföringsformen används metall-
stödplattan såsom mätreferensyta. En del för mätning avsedda
material föredrar emellertid inte kontakten med plattan. I
detta fall är det nödvändigt att rulla den för mätning avsedda
referensytan. När den för mätning avsedda referensytan är
rullad påförs variationen i relativt läge mellan tjockleksav-
kännaren och den rullande ytan inte endast på avsökningsrikt-
ningskomponenten utan också på rotationsriktningskomponenten
hos rullen. Följaktligen är det nödvändigt att spiralformigt
lagra och mäta för att avsöka samma position hos rullens yta.
För detta ändamål är det nödvändigt att dessutom montera en
sensor (roterbar kodare) för att mäta storleken av rullens
rotation samt en sensor för att mäta startpunktsignalen för
rotationsriktningen. När rörelsehastigheten och rörelsestart-
punkten för tjocklekssensorn är på lämpligt sätt styrda syn-
kront med storleken av rullens rotation enligt rotationsbe-
loppsignalen och startpunktsignalen är det möjligt att alltid
avsöka samma yta hos rullen.
Dessutom kan den magnetfältutnyttjande sensorn vid den
ovan beskrivna utföringsformen vara en sensor av typen med
statiskt magnetfält, en sensor av typen med virvelström etc.
men istället för dessa sensorer kan en sensor av högfrekvens-
svängningstyp användas.
7 467 551
Enligt denna uppfinning kan felet för avstândsmätningen
hos den magnetfältutnyttjande sensorn korrigeras i arktjock-
leksmätapparaten för mätning av arkets tjocklek på basis av de
uppmätta avståndsvärdena för den magnetfältutnyttjande sensorn
och den optiska sensorn genom att den magnetfältutnyttjande
sensorn och den optiska sensorn avsöker utmed arket på metall-
stödplattan. Därför kan arktjocklekens noggrannhet förbättras.
Claims (4)
1. Apparat för att mäta tjockleken hos ett ark på basis av de uppmätta avståndsvärdena för en magnetfältutnyttjande sensor samt en optisk sensor genom avsökning medelst nämnda magnetfältutnyttjande sensor och nämnda optiska sensor utmed arket på en metallstödyta, innefattande minnesorgan för att lagra ett uppmätt korrigeringsvärde baserat på ett uppmätt avståndsvärde, som uppmätts utmed metallstödytan medelst X åtminstone den magnetfältutnyttjande sensorn av nämnda magnet- fältutnyttjande sensor och nämnda optiska sensor i det till- stånd, varvid arket inte är placerat, samt korrigeringsorgan för att korrigera åtminstone_det uppmätta avståndsvärde, som - uppmätts av nämnda magnetfältutnyttjande sensor, av uppmätta avståndsvärden, som uppmätts medelst nämnda magnetfältutnyttj- ande sensor och nämnda optiska sensor i det tillstånd, varvid arket är placerat på metallstödytan, med nämnda uppmätta korrigeringsvärde lagrat i minnesorganet.
2. Apparat enligt kravet 1, varvid nämnda magnetfältut- nyttjande sensor innefattar en sensor av typen med statiskt magnetfält.
3. Apparat enligt kravet l, varvid nämnda magnetfältut- nyttjande sensor innefattande en sensor av typen med virvel- ström.
4. Apparat enligt kravet 1, varvid nämnda magnetfältut- nyttjande sensor innefattar en sensor av högfrekvenssvängnings- typ. 1 IP]
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63256459A JPH0648185B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | シート厚さ測定装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE8902579D0 SE8902579D0 (sv) | 1989-07-20 |
SE8902579L SE8902579L (sv) | 1990-04-13 |
SE467551B true SE467551B (sv) | 1992-08-03 |
Family
ID=17292932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE8902579A SE467551B (sv) | 1988-10-12 | 1989-07-20 | Apparat foer maetning av arktjocklek |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5001356A (sv) |
JP (1) | JPH0648185B2 (sv) |
DE (1) | DE3929469C2 (sv) |
FI (1) | FI96137C (sv) |
SE (1) | SE467551B (sv) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5355083A (en) * | 1988-11-16 | 1994-10-11 | Measurex Corporation | Non-contact sensor and method using inductance and laser distance measurements for measuring the thickness of a layer of material overlaying a substrate |
US5485082A (en) * | 1990-04-11 | 1996-01-16 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Method of calibrating a thickness measuring device and device for measuring or monitoring the thickness of layers, tapes, foils, and the like |
DE9206076U1 (de) * | 1992-05-07 | 1993-09-09 | Hermann Gmbh Co Heinrich | Etikettiermaschine |
IT1263789B (it) * | 1993-01-22 | 1996-08-29 | Alessandro Masotti | Metodo e apparecchio comprendente due sensori magnetici ed un misuratore laser per misurare lo spessore di un film |
JP3548196B2 (ja) * | 1993-06-21 | 2004-07-28 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
US5466143A (en) * | 1993-09-29 | 1995-11-14 | Oshikiri Machinery Ltd. | Dough sheet former with closed loop control |
DE59403176D1 (de) * | 1993-10-29 | 1997-07-24 | Ferag Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke von Druckereierzeugnissen, wie Zeitungen, Zeitschriften und Teilen hiervon |
DE4402463C2 (de) * | 1994-01-28 | 1998-01-29 | Amepa Eng Gmbh | Vorrichtung zur diskontinuierlichen Erfassung der Dicke einer Schicht auf einer Metallschmelze |
US5569835A (en) * | 1994-08-10 | 1996-10-29 | Ultrasonic Arrays, Inc. | Reference wire compensation method and apparatus |
US5617645A (en) * | 1995-05-02 | 1997-04-08 | William R. W. Wick | Non-contact precision measurement system |
JPH08313223A (ja) * | 1995-05-16 | 1996-11-29 | Ls Electro Galvanizing Co | 移動ストリップを監視する方法と装置 |
JP3024338U (ja) * | 1995-11-02 | 1996-05-21 | 株式会社エレム | ア−ス端子を有するプラグ |
US5805291A (en) * | 1996-08-14 | 1998-09-08 | Systronics, Inc. | Traversing thickness measurement apparatus and related method |
JP3844857B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2006-11-15 | 株式会社東芝 | 厚さ検知装置 |
US6580519B1 (en) | 1999-03-16 | 2003-06-17 | William R. W. Wick | Method and apparatus for determining the alignment of rotational bodies |
WO2001029504A1 (de) * | 1999-10-18 | 2001-04-26 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor zum berührenden vermessen von materialien |
US6707540B1 (en) | 1999-12-23 | 2004-03-16 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements |
US6433541B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-08-13 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current measurements during the process for removing the film |
TWI241398B (en) * | 2000-03-28 | 2005-10-11 | Toshiba Corp | Eddy current loss measuring sensor, film thickness measuring device, film thickness measuring method and recording medium |
US6608495B2 (en) * | 2001-03-19 | 2003-08-19 | Applied Materials, Inc. | Eddy-optic sensor for object inspection |
US6966816B2 (en) * | 2001-05-02 | 2005-11-22 | Applied Materials, Inc. | Integrated endpoint detection system with optical and eddy current monitoring |
US6937350B2 (en) * | 2001-06-29 | 2005-08-30 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and methods for optically monitoring thickness |
US6811466B1 (en) * | 2001-12-28 | 2004-11-02 | Applied Materials, Inc. | System and method for in-line metal profile measurement |
US20040061873A1 (en) * | 2002-09-26 | 2004-04-01 | Davis Brett L. | Method and apparatus for detecting media thickness |
US6961133B2 (en) * | 2003-08-29 | 2005-11-01 | The Boeing Company | Method and apparatus for non-contact thickness measurement |
EP1681531B1 (de) * | 2005-01-13 | 2008-04-23 | Plast-Control GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur kapazitiven Vermessung von Materialien |
US8337278B2 (en) * | 2007-09-24 | 2012-12-25 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge characterization by successive radius measurements |
DE102011107771B4 (de) * | 2011-04-15 | 2013-10-17 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3221379A1 (de) * | 1982-06-05 | 1983-12-08 | M.A.N.- Roland Druckmaschinen AG, 6050 Offenbach | Messvorrichtung fuer bogendicken in der transportbahn von boegen bei papierverarbeitungsmaschinen |
DE3523414A1 (de) * | 1985-06-29 | 1987-01-02 | Deuta Werke Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum messen insbesondere der dicke oder breite von koerpern, insbesondere von platten, folien, strangprofilen oder dergleichen |
US4849694A (en) * | 1986-10-27 | 1989-07-18 | Nanometrics, Incorporated | Thickness measurements of thin conductive films |
DE3701558A1 (de) * | 1987-01-21 | 1988-08-04 | Buehler Ag Geb | Vorrichtung zum bestimmen der schichtdicke |
-
1988
- 1988-10-12 JP JP63256459A patent/JPH0648185B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-07-20 SE SE8902579A patent/SE467551B/sv not_active IP Right Cessation
- 1989-08-21 FI FI893921A patent/FI96137C/sv not_active IP Right Cessation
- 1989-09-05 DE DE3929469A patent/DE3929469C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-11 US US07/405,281 patent/US5001356A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI96137C (sv) | 1996-05-10 |
SE8902579L (sv) | 1990-04-13 |
JPH0648185B2 (ja) | 1994-06-22 |
SE8902579D0 (sv) | 1989-07-20 |
US5001356A (en) | 1991-03-19 |
FI893921A (sv) | 1990-04-13 |
JPH02103408A (ja) | 1990-04-16 |
FI96137B (sv) | 1996-01-31 |
FI893921A0 (sv) | 1989-08-21 |
DE3929469C2 (de) | 2001-06-13 |
DE3929469A1 (de) | 1990-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE467551B (sv) | Apparat foer maetning av arktjocklek | |
US5075622A (en) | Sheet thickness measuring apparatus with magnetic and optical sensors | |
CA2091576A1 (en) | Photographic processing apparatus | |
US11796303B2 (en) | Sheet thickness measurement device | |
EP1804031A2 (en) | Magnetic line-type position-angle detecting device | |
JP2019517001A (ja) | 膜厚の検出装置 | |
EP0496867B1 (en) | Apparatus for locating perforation | |
JPS63128890A (ja) | 走行商品経路の表面領域の像検出装置 | |
JP2856815B2 (ja) | X線厚み計 | |
JP2791170B2 (ja) | 圧延制御装置 | |
JPS56145305A (en) | Detecting device for uneven thickness of covered wire material | |
JPS58126045A (ja) | 工作機械の位置決め補正方法および装置 | |
JP3230295B2 (ja) | ガイドローラのフランジ間寸法の測定方法及びその装置 | |
JP2869711B2 (ja) | 磁性塗料塗布量計測装置 | |
JPS55140146A (en) | Surface flaw detection for continuous casting slab | |
JPS5822086Y2 (ja) | 金属板の幅変位検出装置 | |
KR100245986B1 (ko) | 피측정물의 형상오차 및 운동오차측정장치 및그 방법 | |
RU2017218C1 (ru) | Устройство для вывода графической информации | |
GB2202997A (en) | Dynamometer | |
JPH0458106A (ja) | スチールコードの角度検出方法及び装置 | |
JPH11273178A (ja) | 磁気テープの動的湾曲測定方法 | |
JPS6250016A (ja) | 圧延長さ測長装置 | |
JPH0635152Y2 (ja) | リニアモータの試験装置 | |
JPH10206138A (ja) | 刷版の絵柄面積率測定装置 | |
JPS58105542A (ja) | 電子ビ−ム露光装置のマ−ク検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NAL | Patent in force |
Ref document number: 8902579-5 Format of ref document f/p: F |
|
NUG | Patent has lapsed |