DE3929469C2 - Gerät zur Messung der Blattdicke - Google Patents
Gerät zur Messung der BlattdickeInfo
- Publication number
- DE3929469C2 DE3929469C2 DE3929469A DE3929469A DE3929469C2 DE 3929469 C2 DE3929469 C2 DE 3929469C2 DE 3929469 A DE3929469 A DE 3929469A DE 3929469 A DE3929469 A DE 3929469A DE 3929469 C2 DE3929469 C2 DE 3929469C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sensor
- sheet
- magnetic field
- metallic base
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
Description
Diese Erfindung betrifft ein Blattdicken-Meßgerät zur Messung der Dicke
eines Blattes, z. B. eines Blattes Papier, eines undurchsichtigen Kunst
stoffilmes, einer Metallfolie oder dgl. mit einem ein Magnetfeld ausnutzen
den Sensor und einem optischen Sensor.
Wie schematisch in Fig. 5 der beiliegenden Zeichnungen dargestellt
ist, mißt ein bekanntes Blattdicken-Meßgerät dieser Art in der Weise die
Dicke eines Blattes 2, daß ein Sensoraufbau 5 mit einem ein Magnetfeld aus
nutzenden Sensor 3, z. B. einem magnetischen Sensor, einem Wirbelstromsen
sor oder dgl., und mit einem optischen Sensor 4 das auf eine metallische
Grundplatte 1 gelegte Blatt 2 der Länge nach abtastet. Im Grunde wird der
Abstand l1 zu der Oberfläche der metallischen Grundplatte 1 von dem ein Ma
gnetfeld ausnutzenden Sensor 3 und der Abstand l2 zu der äußeren Oberfläche
des Blattes 2 von dem optischen Sensor 4 gemessen, und die Dicke t des Blat
tes 2 wird an dem Punkt durch die folgende Gleichung erhalten:
t = l1 - l2 (1)
Wenn die Dicke des Blattes tatsächlich durch solch ein bekanntes Blatt
dicken-Meßgerät gemessen wird, kann sie jedoch ohne Schwierigkeiten mit ei
ner Genauigkeit bis zu annähernd 1/100 mm bestimmt werden; aber es entsteht
eine gewisse Mühe, wenn sie mit einer Genauigkeit bis zu annähernd 1/1000 mm
gemessen werden soll. Diese Schwierigkeit tritt besonders merkbar auf, wenn
sie während einer Bewegung des Sensors bezüglich der metallischen Grundplat
te gemessen wird.
Wenn beispielsweise vom Sensoraufbau 5 die Oberfläche der metallischen
Grundplatte 1, ohne daß das Blatt 2 darauf gelegt ist, abgetastet wird und
in diesem Zeitpunkt die Charakteristik des magnetischen Sensors 3 und die
Charakteristik des optischen Sensors 4 aufgezeichnet werden, ergeben sich
das magnetische Ausgangssignal und das optische Ausgangssignal in den Ab
tastpositionen, die in Fig. 6 gezeigt sind. Fig. 6(A) stellt ein Beispiel
für die Charakteristik des magnetischen Sensors 3 und Fig. 6(B) für die
Charakteristik des optischen Sensors 4 dar. Da der magnetische Sensor 3 und
der optische Sensor 4 dieselbe Oberfläche ausmessen, müßten die Charakteri
stik des magnetischen Sensors 3 und die des optischen Sensors 4 in diesem
Fall dieselbe Gestalt annehmen; wie jedoch bei einem Vergleich der Fig.
6(A) mit Fig. 6(B) ersichtlich ist, ändert sich die Charakteristik des ma
gnetischen Sensors 3 in weitem und kompliziertem Maße, wenn sie mit der des
optischen Sensors 4 verglichen wird. Aus verschiedenen Experimenten, Litera
turstellen und Studien können Annahmen über die Ursachen gemacht werden; es
wird in Betracht gezogen, daß die örtliche Magnetisierung und die unregelmä
ßige Qualität der Materialien für die metallische Grundplatte die Ursachen
eines Fehlers des magnetischen Sensors zu sein scheinen. Wenn für die metal
lische Grundplatte ein magnetisches Material verwendet, ein Magnet teilweise
angeheftet und die Grundplatte örtlich (um mehrere Gauß) magnetisiert und
abgetastet wird, weisen die Signale, die von dem den Magnetismus ausnutzen
den Sensor abgegeben werden, eine Schwankung von mehreren Zehnern eines Mi
krons auf. Wenn die Oberfläche der Grundplatte von einem magnetischen Induk
tions-Meßgerät, einem sog. "Gaußmesser" geprüft wird, tritt eine Position
mit einer sehr großen Änderung zutage, selbst wenn das vom Sensor abgegebe
ne Signal keine Schwankung zeigt (bei einer Auflösung des "Gaußmessers" von
0,1 Gauß). Ein ähnliches Problem tritt selbst dann auf, wenn als metallische
Grundplatte ein nichtmagnetisches Material und ein auf Wirbelströme anspre
chender, magnetischer Sensor benutzt werden. Dieser Fehler des ein Magnet
feld ausnutzenden Sensors wird somit als Störung für eine Erhöhung der Meß
genauigkeit des Blattdicken-Meßgerätes dieser Art betrachtet.
JP 61-254812 A1 (Patents Abstracts of Japan P 563, 4. April 1987, Band 11/Nr. 107) be
schreibt ein Gerät zur Messung der Dicke eines Blattes mit einer metallischen Grundfläche
zum Haltern des Blattes, mit einem ein Magnetfeld ausnutzenden Sensor, der oberhalb der
metallischen Grundfläche zum berührungslosen Messen eines Abstandes bis zu der metal
lischen Grundfläche angeordnet ist, mit einem optischen Sensor, der oberhalb der metalli
schen Grundfläche zur berührungslosen Messung eines Abstandes bis zu einer Oberseite
des auf der metallischen Grundfläche gehalterten Blattes angeordnet ist, und mit einer
Vorrichtung zur Berechnung der Dicke des Blattes auf Grundlage des Abstandes, der von
dem ein Magnetfeld benutzenden Sensor gemessen wird, und des Abstandes, der von
dem optischen Sensor gemessen wird.
Eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke einer Beschichtung auf einer metallischen
Walze, bei der zwei berührungslos arbeitende Meßeinrichtungen vorgesehen sind, von
denen eine auf induktivem Weg die Entfernung zur Walzenoberfläche und die andere auf
optischem Weg die Entfernung zur Oberfläche der Beschichtung mißt, ist aus DE 37 01 558 A1
bekannt.
DE 32 21 379 A1 beschreibt eine Vorrichtung zur Messung der Dicke von Papierbögen mit
einem Wirbelstrommeßverfahren.
Bei einer Vorrichtung zur Messung der Dicke von plattenförmigen Meßobjekten gemäß DE 35 23 414 A1
wird ein Sensorelementenpaar in einem genau einstellbaren Abstand über
die Meßflächen geführt und der Anzeigewert aus der Differenz von Meßergebnis und Sen
sorabstand gebildet bzw. ein Sensorelement über das auf einem Tisch aufliegende Meßob
jekt in einem einstellbaren Abstand über die Meßfläche geführt.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein verbessertes Blattdicken-Meßgerät an
zugeben, bei dem die oben beschriebenen, bekannten Probleme ausgeschaltet werden
können. Diese Aufgabe wird durch ein Blattdicken-Meßgerät mit den Merkmalen des An
spruchs 1 gelöst.
Fig. 1 zeigt schematisch in einer Vorderansicht den Aufbau eines
Blattdicken-Meßgerätes gemäß einer Ausführungsform dieser Erfindung,
Fig. 2 zeigt schematisch als Seitenansicht den Aufbau des Blattdicken-
Meßgerätes der Fig. 1,
Fig. 3 ist ein Blockschaltbild, das schematisch die Form der Steuerung
des Blattdicken-Meßgerätes der Fig. 1 und 2 zeigt,
Fig. 4 ist eine Ansicht, um den Datensammelzustand der Sensoren bei
einer Speicherabtastung eines Bezugswertes durch die Steuerung der Fig. 3
zu erläutern,
Fig. 5 ist eine schematische Ansicht zur Erläuterung des Prinzips des
bekannten Blattdicken-Meßgerätes, und
Fig. 6 ist eine Ansicht, um eine Schwankung der Abstandsmeßwerte eines
ein Magnetfeld ausnutzenden Sensors und eines optischen Sensors des Blatt
dicken-Meßgerätes der Fig. 5 als Beispiele wiederzugeben.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist eine metallische Grundplatte 11 hori
zontal zwischen beiderseitigen Tragständern 10 gehaltert. Diese metallische
Grundplatte 11 kann aus einem magnetischen, metallischen Material oder aus
einem nichtmagnetischen, metallischen Material, z. B. Aluminium, Kupfer,
rostfreiem Stahl usw. angefertigt sein, was von der Art der gerade angewen
deten, magnetischen Sensoren (mit einem statischen Magnetfeld arbeitender
Sensor, mit Wirbelströmen arbeitender Sensor usw.) abhängt. Oberhalb der me
tallischen Grundplatte 11 ist zwischen den Tragständern 10 ferner ein lini
enförmiges Lager 12 in einem Intervall parallel abgestützt. An dem linien
förmigen Lager 12 ist ein Dickensensor 50 im Gleitsitz getragen, der eine
Kombination aus einem ein Magnetfeld ausnutzenden Sensor und einem optischen
Sensor ist. Der Dickensensor 50 ist mit einer Kette 15 verbunden, die an
Kettenrädern 14 eingreift, die von einem abtastenden Schrittschaltmotor 13
angetrieben werden, um bei der Arbeit des abtastenden Schrittschaltmotors 13
den Dickensensor 50 längs des linienförmigen Lagers 12 zu bewegen. Nahe an
dem linken Kettenrad 14 der Fig. 1 ist ein Näherungsschalter 16 zur Wahr
nehmung der Nullstellung angeordnet.
Bei dem oben erläuterten Blattdicken-Meßgerät dieser Erfindung wird der
Verlauf der magnetischen Charakteristik der metallischen Grundplatte 11, die
eine Ursache für einen Fehler des den Magnetismus ausnutzenden Sensors ist,
wie unten, in dem Zustand ausgelesen, in dem sich kein Blatt auf der metal
lischen Grundplatte 11 befindet, ehe die Dicke des auf der metallischen
Grundplatte 11 befindlichen Blattes gemessen wird.
Wie in Fig. 3 dargestellt ist, weist die Steuerung einen zentralen
Prozessor CPU auf, der hauptsächlich aus einem Mikrocomputer zusammengesetzt
ist, einen Speicher 17 zur Aufbewahrung verschiedener Meßdaten, einen Ver
stärker 18 zur Verstärkung eines Abstandsmeßsignals des das Magnetfeld aus
nutzenden Sensors 51 des Dickensensors 50, einen Verstärker 19 zur Verstär
kung eines Abstandsmeßsignals des optischen Sensors 52 des Dickensensors 50,
Analog/Digitalwandler 20 und 21 zur Umwandlung der analogen Abstandsmeßsi
gnale, die von den Verstärkern 18 und 19 verstärkt werden, in digitale Da
ten, eine Motorsteuerschaltung 22 zur Beeinflussung der Arbeitsweise eines
abtastenden Schrittschaltmotors 13, eine Ein-/Ausgabeschaltung 23 für den
Näherungsschalter 16, der die Nullstellung wahrnimmt, und andere Begren
zungsschalter 16A (die in den Fig. 1 und 2 nicht gezeigt sind), und eine
Ausgabeschaltung 24 auf, die ein Meßergebnis an eine Kathodenstrahlröhre,
ein Schreibgerät oder einen Drucker usw. liefert.
Zuerst führt der zentrale Prozessor CPU einen Befehl dem Schrittschalt
motor 13 zu, damit der Dickensensor 50 an die Nullstellung gebracht wird.
Mit anderen Worten ausgedrückt, wird der abtastende Schrittschaltmotor 13
in die Lage geschaltet, in der der die Nullstellung wahrnehmende Näherungs
schalter 16 von dem Dickensensor 50 betätigt wird, um den Dickensensor 50 zu
bewegen. Von der Nullstellung aus wird sie dann durch den Dickensensor 50 ab
getastet. Diese Abtastung bezeichnet man als "Speicherabtastung", um einen
Bezugswert abzulesen. Jedesmal wenn der Dickensensor 51 von dem abtastenden
Schrittschaltmotor 13 um einen vorgegebenen Abstand weitergeführt wird, wird
das Abstandsmeßsignal des das Magnetfeld ausnutzenden Sensors 51 über den
Verstärker 18 und den Analog/Digital-Wandler 20 in Form digitaler Daten im
Speicher 17 abgelegt, und das Abstandsmeßsignal des optischen Sensors 52
wird über einen Verstärker 19 und den Analog/Digital-Wandler 21 ebenfalls
in Form digitaler Daten im Speicher 17 untergebracht. Im einzelnen werden
die an den jeweiligen Punkten gemessenen Daten mit Hilfe des Prozessors CPU
in dem Speicher 17 als Bilder aufbewahrt, wie in den Fig. 4(A) und 4(B)
gezeigt ist, während der Dickensensor 50 die metallische Grundplatte 11 ab
tastet, auf der kein Blatt aufgelegt ist. Fig. 4(A) gibt eine Schwankung
von den gemessenen Daten an den jeweiligen Meßpunkten des das Magnetfeld
ausnutzenden Sensors 51 an; Fig. 4(B) zeigt eine Schwankung der gemessenen
Daten an den jeweiligen Meßpunkten des optischen Sensors 52. Die Abstands
meßwerte des das Magnetfeld ausnutzenden Sensors 51 an den jeweiligen Meß
punkten (der Abstand von der Oberseite der metallischen Grundplatte 11 bis
zu dem das Magnetfeld ausnutzenden Sensor 51) sind l1std' und die Abstands
meßwerte des optischen Sensors 52 (der Abstand zu der Oberseite der metalli
schen Grundplatte 11) sind l2std.
Beim nächsten Mal wird das Abtasten (was als "Meßabtastung" bezeichnet
wird,) in dem Zustand durchgeführt, in dem das auszumessende Blatt auf die
metallische Grundplatte 11 gelegt ist. Der Dickenmesser 50 wird wieder von
der Nullstellung aus bewegt; jedesmal wenn er bei den jeweiligen Meßpunkten
ankommt, errechnet der zentrale Prozessor CPU die Differenz-Änderungen Δ11
und Δ12 zwischen den bei der vorherigen Speicherabtastung eingegebenen Be
zugswerten l1std und l2std nach den folgenden Gleichungen:
Δ11 = l1std - l1MES (2)
Δ11 = l1std - l1MES (2)
Δ12 = l2std - l2MES (3),
in denen der Abstandsmeßwert des ein Magnetfeld ausnutzenden Sensors 51 (al
so der Abstand zu der Oberseite der metallischen Grundplatte 11) l1MES und
der Abstandsmeßwert des optischen Sensors 52 (also der Abstand zu der Ober
seite des Blattes) l2MES beträgt.
Aus den Ergebnissen wird die Dicke t des Blattes nach der folgenden
Gleichung erhalten:
t = Δ12 - D11 (4).
Folglich kann der nachteilige Einfluß der metallischen Grundplatte 11 auf
den das Magnetfeld ausnutzenden Sensor 51 ausgeschaltet werden.
Selbst wenn der Bezugswert l2std des optischen Sensors 52 bei der dem
Bezug dienenden "Speicherabtastung" nicht zu den jeweiligen Zeiten gespei
chert wird, kann er doch theoretisch errechnet werden. In diesem Fall muß
der Abstand zwischen dem Dickensensor 50 und der metallischen Grundplatte 11
in jeder Abtastposition gleich gehalten werden. Bei der oben erläuterten
Ausführungsform werden die Bezugswerte l1std und l2std in dem Speicher 17
aufbewahrt. Die Dicke t des Blattes kann jedoch durch die folgende Glei
chung:
tstd = l1std - l2std (5)
aus den Daten l1MES und l2MES im Zeitpunkt der dem Messen dienenden Abta
stung in der Weise erhalten werden, daß tstd gemäß der folgenden Gleichung
errechnet und gespeichert wird:
t = l1MES - l2MES - tstd (6).
Mit Hilfe dieses Verfahrens kann die Kapazität des Speichers 17 um die
Hälfte oder weniger verringert werden.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform wurde die "Speicherabta
stung" des Bezugswertes nur als Abtastung in einer einzigen Richtung erläu
tert. Um die Genauigkeit zu verbessern, kann die "Speicherabtastung" des
Bezugswertes jedoch von einem hin- und hergehenden Dickensensor ausgeführt
werden. Ferner wird bei der obigen Ausführungsform der Schrittschaltmotor
als Abtastkraftquelle für den Dickensensor 50 verwendet; der Antrieb und die
Lageeinstellung werden in dem als offene Schleife gebildeten System gelenkt.
Diese können jedoch in einem Rückkopplungssystem mit einem Servomotor und
einem drehbaren Codierer ausgeführt werden.
Bei der oben erklärten Ausführungsform wird die metallische Grundplatte
als Bezugsmeßfläche benutzt. Ein gewisses zu messendes Material hat jedoch
eine Abneigung gegen die Berührung mit der Platte. In diesem Fall muß die
auszumessende Bezugsfläche eingerollt werden. Sobald die auszumessende Be
zugsfläche gerollt wird, wird die Änderung der relativen Position zwischen
dem Dickensensor und der Rollfläche nicht nur auf die Abtastrichtung, son
dern auch auf die Komponente in der Drehrichtung der Rolle angewendet. Dem
entsprechend muß in Spiral- bzw. Schraubenform gespeichert und gemessen wer
den, um dieselbe Position der Rollenoberfläche abzutasten. Zu diesem Zweck
ist es nötig, zusätzlich einen Sensor (drehbaren Codierer) zum Messen des
Drehweges der Rolle und einen Sensor zum Messen des Ursprungs- oder Nullstel
lungssignals der Drehrichtung anzubringen. Wenn die Geschwindigkeit und der
Ausgangspunkt der Bewegung des Dickensensors in passender Weise synchron zu
dem Drehweg der Rolle in Übereinstimmung mit dem Drehwegsignal und dem
Ursprungs- oder Nullstellungssignal eingestellt werden, kann auch dieselbe
Rollenoberfläche abgetastet werden.
Darüberhinaus kann der ein Magnetfeld ausnutzende Sensor der oben er
läuterten Ausführungsform ein mit einem statischen Magnetfeld arbeitender
Sensor, ein Wirbelstromsensor usw. sein; an ihrer Stelle kann auch ein mit
hochfrequenten Schwingungen arbeitender Sensor benutzt werden.
Gemäß dieser Erfindung kann der Fehler der Abstandsmessung des ein Ma
gnetfeld ausnutzenden Sensors in dem Blattdicken-Meßgerät zur Messung der
Blattdicke auf der Grundlage der Abstandsmeßwerte des ein Magnetfeld ausnut
zenden Sensors und des optischen Sensors korrigiert werden, wenn der ein
Magnetfeld ausnutzende Sensor und der optische Sensor längs des Blattes auf
der metallischen Grundplatte zur Abtastung entlanggeführt werden. Daher kann
die Meßgenauigkeit der Blattdicke verbessert werden.
Claims (5)
1. Blattdicken-Meßgerät zur Messung der Dicke eines Blattes auf der Grundlage von
Abstandsmeßwerten, die von einem ein Magnetfeld benutzenden Sensor (51) und ei
nem optischen Sensor (52) gemessen werden, wenn diese beiden Sensoren das auf
einer metallischen Grundfläche (11) befindliche Blatt in seiner Längsrichtung abtasten,
mit einem Speicher zur Ablage von Korrekturwerten, die auf einer Abstandsmessung beruhen, die längs der metallischen Grundfläche zumindest von dem ein Magnetfeld benutzenden Sensor in einem Zustand aufgenommen ist, in dem kein Blatt aufgelegt ist, und
mit Korrekturmitteln zum Korrigieren zumindest der Abstandsmessung, die von dem ein Magnetfeld benutzenden Sensor (51) in einem Zustand aufgenommen ist, in dem das Blatt auf die metallische Grundfläche (11) aufgelegt ist, mit Korrekturwerten, die in dem Speicher abgelegt sind.
mit einem Speicher zur Ablage von Korrekturwerten, die auf einer Abstandsmessung beruhen, die längs der metallischen Grundfläche zumindest von dem ein Magnetfeld benutzenden Sensor in einem Zustand aufgenommen ist, in dem kein Blatt aufgelegt ist, und
mit Korrekturmitteln zum Korrigieren zumindest der Abstandsmessung, die von dem ein Magnetfeld benutzenden Sensor (51) in einem Zustand aufgenommen ist, in dem das Blatt auf die metallische Grundfläche (11) aufgelegt ist, mit Korrekturwerten, die in dem Speicher abgelegt sind.
2. Blattdicken-Meßgerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der ein Magnetfeld benutzende Sensor (51) einen mit einem statischen Magnetfeld ar
beitenden Sensor umfaßt.
3. Blattdicken-Meßgerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der ein Magnetfeld benutzende Sensor (51) einen mit Wirbelströmen arbeitenden Sen
sor umfaßt.
4. Blattdicken-Meßgerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der ein Magnetfeld benutzende Sensor (51) einen mit hochfrequenten Schwingungen
arbeitenden Sensor umfaßt.
5. Blattdicken-Meßgerät nach einem der vorherigen Ansprüche,
gekennzeichnet durch
einen Speicher zur Ablage von Korrekturwerten, die auf Abstandsmessungen beruhen, die längs der metallischen Grundfläche (11) von dem ein Magnetfeld benutzenden Sen sor (51) und dem optischen Sensor (52) in einem Zustand aufgenommen sind, in dem kein Blatt aufgelegt ist, und
durch Korrekturmittel zum Korrigieren der Abstandsmessungen des ein Magnetfeld benutzenden Sensors (51) und des optischen Sensors (52), die in einem Zustand auf genommen sind, in dem das Blatt auf die metallische Grundfläche (11) aufgelegt ist.
einen Speicher zur Ablage von Korrekturwerten, die auf Abstandsmessungen beruhen, die längs der metallischen Grundfläche (11) von dem ein Magnetfeld benutzenden Sen sor (51) und dem optischen Sensor (52) in einem Zustand aufgenommen sind, in dem kein Blatt aufgelegt ist, und
durch Korrekturmittel zum Korrigieren der Abstandsmessungen des ein Magnetfeld benutzenden Sensors (51) und des optischen Sensors (52), die in einem Zustand auf genommen sind, in dem das Blatt auf die metallische Grundfläche (11) aufgelegt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63256459A JPH0648185B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | シート厚さ測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3929469A1 DE3929469A1 (de) | 1990-04-19 |
DE3929469C2 true DE3929469C2 (de) | 2001-06-13 |
Family
ID=17292932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3929469A Expired - Fee Related DE3929469C2 (de) | 1988-10-12 | 1989-09-05 | Gerät zur Messung der Blattdicke |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5001356A (de) |
JP (1) | JPH0648185B2 (de) |
DE (1) | DE3929469C2 (de) |
FI (1) | FI96137C (de) |
SE (1) | SE467551B (de) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5355083A (en) * | 1988-11-16 | 1994-10-11 | Measurex Corporation | Non-contact sensor and method using inductance and laser distance measurements for measuring the thickness of a layer of material overlaying a substrate |
US5485082A (en) * | 1990-04-11 | 1996-01-16 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Method of calibrating a thickness measuring device and device for measuring or monitoring the thickness of layers, tapes, foils, and the like |
DE9206076U1 (de) * | 1992-05-07 | 1993-09-09 | Hermann Gmbh Co Heinrich | Etikettiermaschine |
IT1263789B (it) * | 1993-01-22 | 1996-08-29 | Alessandro Masotti | Metodo e apparecchio comprendente due sensori magnetici ed un misuratore laser per misurare lo spessore di un film |
JP3548196B2 (ja) * | 1993-06-21 | 2004-07-28 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
US5466143A (en) * | 1993-09-29 | 1995-11-14 | Oshikiri Machinery Ltd. | Dough sheet former with closed loop control |
DE59403176D1 (de) * | 1993-10-29 | 1997-07-24 | Ferag Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke von Druckereierzeugnissen, wie Zeitungen, Zeitschriften und Teilen hiervon |
DE4402463C2 (de) * | 1994-01-28 | 1998-01-29 | Amepa Eng Gmbh | Vorrichtung zur diskontinuierlichen Erfassung der Dicke einer Schicht auf einer Metallschmelze |
US5569835A (en) * | 1994-08-10 | 1996-10-29 | Ultrasonic Arrays, Inc. | Reference wire compensation method and apparatus |
US5617645A (en) * | 1995-05-02 | 1997-04-08 | William R. W. Wick | Non-contact precision measurement system |
JPH08313223A (ja) * | 1995-05-16 | 1996-11-29 | Ls Electro Galvanizing Co | 移動ストリップを監視する方法と装置 |
JP3024338U (ja) * | 1995-11-02 | 1996-05-21 | 株式会社エレム | ア−ス端子を有するプラグ |
US5805291A (en) * | 1996-08-14 | 1998-09-08 | Systronics, Inc. | Traversing thickness measurement apparatus and related method |
JP3844857B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2006-11-15 | 株式会社東芝 | 厚さ検知装置 |
US6580519B1 (en) | 1999-03-16 | 2003-06-17 | William R. W. Wick | Method and apparatus for determining the alignment of rotational bodies |
WO2001029504A1 (de) * | 1999-10-18 | 2001-04-26 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor zum berührenden vermessen von materialien |
US6707540B1 (en) | 1999-12-23 | 2004-03-16 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements |
US6433541B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-08-13 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current measurements during the process for removing the film |
TWI241398B (en) * | 2000-03-28 | 2005-10-11 | Toshiba Corp | Eddy current loss measuring sensor, film thickness measuring device, film thickness measuring method and recording medium |
US6608495B2 (en) * | 2001-03-19 | 2003-08-19 | Applied Materials, Inc. | Eddy-optic sensor for object inspection |
US6966816B2 (en) * | 2001-05-02 | 2005-11-22 | Applied Materials, Inc. | Integrated endpoint detection system with optical and eddy current monitoring |
US6937350B2 (en) * | 2001-06-29 | 2005-08-30 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and methods for optically monitoring thickness |
US6811466B1 (en) * | 2001-12-28 | 2004-11-02 | Applied Materials, Inc. | System and method for in-line metal profile measurement |
US20040061873A1 (en) * | 2002-09-26 | 2004-04-01 | Davis Brett L. | Method and apparatus for detecting media thickness |
US6961133B2 (en) * | 2003-08-29 | 2005-11-01 | The Boeing Company | Method and apparatus for non-contact thickness measurement |
EP1681531B1 (de) * | 2005-01-13 | 2008-04-23 | Plast-Control GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur kapazitiven Vermessung von Materialien |
US8337278B2 (en) * | 2007-09-24 | 2012-12-25 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge characterization by successive radius measurements |
DE102011107771B4 (de) * | 2011-04-15 | 2013-10-17 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3221379A1 (de) * | 1982-06-05 | 1983-12-08 | M.A.N.- Roland Druckmaschinen AG, 6050 Offenbach | Messvorrichtung fuer bogendicken in der transportbahn von boegen bei papierverarbeitungsmaschinen |
DE3523414A1 (de) * | 1985-06-29 | 1987-01-02 | Deuta Werke Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum messen insbesondere der dicke oder breite von koerpern, insbesondere von platten, folien, strangprofilen oder dergleichen |
DE3701558A1 (de) * | 1987-01-21 | 1988-08-04 | Buehler Ag Geb | Vorrichtung zum bestimmen der schichtdicke |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4849694A (en) * | 1986-10-27 | 1989-07-18 | Nanometrics, Incorporated | Thickness measurements of thin conductive films |
-
1988
- 1988-10-12 JP JP63256459A patent/JPH0648185B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-07-20 SE SE8902579A patent/SE467551B/sv not_active IP Right Cessation
- 1989-08-21 FI FI893921A patent/FI96137C/fi not_active IP Right Cessation
- 1989-09-05 DE DE3929469A patent/DE3929469C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-11 US US07/405,281 patent/US5001356A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3221379A1 (de) * | 1982-06-05 | 1983-12-08 | M.A.N.- Roland Druckmaschinen AG, 6050 Offenbach | Messvorrichtung fuer bogendicken in der transportbahn von boegen bei papierverarbeitungsmaschinen |
DE3523414A1 (de) * | 1985-06-29 | 1987-01-02 | Deuta Werke Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum messen insbesondere der dicke oder breite von koerpern, insbesondere von platten, folien, strangprofilen oder dergleichen |
DE3701558A1 (de) * | 1987-01-21 | 1988-08-04 | Buehler Ag Geb | Vorrichtung zum bestimmen der schichtdicke |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP 61-254812 A1. In: Patents Abstracts of Japan, April 4, 1987, Vol. 11/No. 107 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI96137C (fi) | 1996-05-10 |
SE8902579L (sv) | 1990-04-13 |
JPH0648185B2 (ja) | 1994-06-22 |
SE8902579D0 (sv) | 1989-07-20 |
US5001356A (en) | 1991-03-19 |
FI893921A (fi) | 1990-04-13 |
SE467551B (sv) | 1992-08-03 |
JPH02103408A (ja) | 1990-04-16 |
FI96137B (fi) | 1996-01-31 |
FI893921A0 (fi) | 1989-08-21 |
DE3929469A1 (de) | 1990-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3929469C2 (de) | Gerät zur Messung der Blattdicke | |
DE4011717C2 (de) | ||
DE2829222C3 (de) | Vorrichtung zum Überwachen der Stellung eines beweglichen Organs | |
DE3590145C2 (de) | ||
EP0506605B1 (de) | Einrichtung zum Auffinden magnetisierbaren Materials in Bauwerken | |
EP2137499B1 (de) | Verfahren und sensoranordnung zum bestimmen der position und/oder positionsänderung eines messobjekts relativ zu einem sensor | |
DE2617707C2 (de) | Vorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche | |
DE3432987A1 (de) | Vorrichtung zum messen des pegels eines geschmolzenen metalls in der giessform einer stranggiessmaschine | |
DE2146422C3 (de) | Einrichtung zum mittigen Einstellen eines Gerätes auf die Schweißnaht endlos geschweißter Metallrohre | |
DE3106534C2 (de) | ||
DE2002198B2 (de) | ||
DE3701775C2 (de) | Dickenmonitor | |
DE3019540C2 (de) | Einrichtung zur Messung der Dicke von festen Überzügen auf einem Grundmaterial | |
DE1005741B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Abstandes zweier Punkte, die auf Begrenzungen eines linearen, flaechenhaften oder raeumlichen Koerpers liegen, insbesondere zur Breitenmessung von kontinuierlich durchlaufendem, bandfoermigem Gut | |
DE3245155C1 (de) | Vorrichtung zum Ermitteln des Verlaufes von Bewehrungseisen in Stahlbetonkonstruktionen | |
DE2617624A1 (de) | Linearisierung fuer induktiven stellungsgeber | |
DE3608384C2 (de) | ||
DE3129733A1 (de) | Einrichtung fuer magnetometer zum kompensieren des magnetischen erdfeldes | |
EP0614083A1 (de) | Gerät zur Bestimmung paramagnetischer Eigenschaften von Stoffen mit einer magnetischen Signalkompensationsvorrichtung | |
DE2655645A1 (de) | Verfahren zum automatischen eichen von geschwindigkeits- und laengenmessgeraeten | |
DD159362B1 (de) | Anordnung zur ausschaltung von volumenaenderungseffekten bei einer anordnung zur gerad- u. ebenheitsmessung | |
DE3500011A1 (de) | Verfahren und anordnung zur geregelten entmagnetisierung stabfoermiger, ferromagnetischer und vergueteter halb- oder fertigfabrikate im laufenden produktionsprozess | |
DE2946206C2 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der Tonerdichte in einem Entwickler für ein elektrostatisches Aufzeichnungsgerät | |
DE2705624A1 (de) | Messgeraet | |
EP0245587B1 (de) | Elektromagnetisch kraftkompensierende Waage |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |