JPH0648185B2 - シート厚さ測定装置 - Google Patents
シート厚さ測定装置Info
- Publication number
- JPH0648185B2 JPH0648185B2 JP63256459A JP25645988A JPH0648185B2 JP H0648185 B2 JPH0648185 B2 JP H0648185B2 JP 63256459 A JP63256459 A JP 63256459A JP 25645988 A JP25645988 A JP 25645988A JP H0648185 B2 JPH0648185 B2 JP H0648185B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- magnetic field
- distance measurement
- measurement value
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
Description
紙シート等のシートの厚さを測定するためのシート厚さ
測定装置に関するものである。
図に概略的に示すように、金属性バックアッププレート
1の上に載置した紙シート2の上にそって磁気センサー
や渦電流センサー等の磁界利用センサー3と光センサー
4とを一体化保持して含むセンサー組合せ体5を走査し
ていくことにより、紙シート2の厚さを測定している。
原理的には、金属性バックアッププレート1の表面まで
の距離l1を磁界利用センサー3にて測定し、紙シート
2の上面までの距離l2を光センサー4にて測定し、そ
の点での紙シート2の厚さtを、次の式にて求めること
によっている。
て実際に測定してみると、1/100mm程度の精度では
問題なく測定できるのであるが、1/1000mm程度の
精度まで測定しようとすると問題があった。この問題
は、金属性バックアッププレートに対してセンサーを移
動させながら測定する場合に特に著しい。
ッププレート1の表面上にそってセンサー組合せ体5を
走査させて、その時の磁気センサー3の出力特性と光セ
ンサー4の出力特性を記録してみると、第6図に示すよ
うになった。第6図(A) は、磁気センサー3の出力特性
の一例を示し、第6図 (B)は、光センサー4の出力特性
の一例を示している。この場合における磁気センサー3
の出力特性と光センサーの出力特性とは、同一の面を測
定しているのであるから、同一形状とならなければなら
ないのであるが、第6図 (A)と第6図(B) とを比較する
と明らかなように、磁気センサー3の出力特性は、光セ
ンサー4の出力特性の変化に比べて大きく複雑に変化し
ている。この原因は、各種の実験、文献調査等から推察
できることであるが、金属性バックアッププレートの局
部的な帯磁、材質の不均一等が磁気センサーの誤差原因
となっているものと思われる。また、金属性バックアッ
ププレートに磁性体を使用した場合、一部にマグネット
等を付け局部的に帯磁(数ガウス程度)させた後、走査
すると、磁気利用センサーの出力は、数十μm分の変動
を示す。また、ガウスメーターでバックアッププレート
の表面を調べ、変動の全くないところ(ガウスメーター
の分解能は、0.1ガウス)でも、大きな変動を示すとこ
ろがある。このようなことは、金属性バックアッププレ
ートに非磁性体を使用し、渦電流型磁気センサーを使用
しても同様の問題が生じてしまう。このような、特に、
磁界利用センサーによる誤差が、この種のシート厚さ測
定装置の測定精度を上げる上での支障となっているもの
と考えられる。
たシート厚さ測定装置を提供することである。
センサーおよび光センサーを、金属性バックアップ面の
上のシートにそって走査して、前記磁界利用センサーの
距離測定値と前記光センサーの距離測定値との差に基づ
いて、前記シート厚さを測定するシート厚さ測定装置に
おいて、前記シートの載置されていない状態にて、前記
金属性バックアップ面上にそって測定した前記磁界利用
センサーによる補正用距離測定値および前記光センサー
による補正用距離測定値に基づく補正用測定値を記憶す
るための記憶手段と、前記金属性バックアップ面の上に
前記シートが載置された状態にて測定された前記磁界利
用センサーによる距離測定値および前記光センサーによ
る距離測定値の差を、前記記憶手段に記憶された前記補
正用測定値を用いて、前記磁界利用センサーによる前記
補正用距離測定値と前記光センサーによる前記補正用距
離測定値との差として表される前記磁界利用センサーに
よる距離測定の誤差が補償されるように、補正する補正
手段とを備えることを特徴とする。本発明のシート厚さ
測定装置は、補正手段によって、磁界利用センサーによ
る距離測定の誤差を補正することにより、シート厚さの
測定精度を向上させることができる。
の実施例について本発明をより詳細に説明する。
装置の概略構造を示す正面図、第2図は、その側面図で
ある。第1図によく示されるように、両側の支持フレー
ム10の間に水平に金属性バックアッププレート11が
支持されている。また、支持フレーム10の間には、金
属性バックアッププレート11の上にそれと平行に間隔
を置いてリニアベアリング12が支持されている。この
リニアベアリング12には、磁界利用センサーと光セン
サーとを組み合わせて有する紙厚さセンサー50がスラ
イド可能に支持されている。この紙厚さセンサー50
は、走査用ステッピングモーター13によって駆動され
るスプロケット14の間に掛けられたチェーン15に接
続されていて、走査用ステッピングモーター13の作動
により、リニアベアリング12にそって移動させられる
ようになっている。さらに、図において左側のスプロケ
ット14の近傍には、原点検出用近接スイッチ16が配
置されている。
属性バックアッププレート11の上の紙シートの厚さの
測定に入る前に、金属性バックアッププレート11の上
に紙シートのない状態において、次のようにして、磁気
利用センサーの誤差原因である、その金属性バックアッ
ププレート11の磁気パターンを読み込む作業を行う。
装置の制御部の構成を略示したブロック図であり、この
第3図に示されるように、この制御部は、主として、マ
イクロコンピュータ等で構成される中央処理装置CPU
と、各種測定データを記憶しておくためのメモリー17
と、紙厚さセンサー50の磁界利用センサー51による
距離測定信号を増幅する増幅器18と、紙厚さセンサー
50の光センサー52による距離測定信号を増幅する増
幅器19と、各増幅器18および19によって増幅され
たアナログ値である各距離測定信号をそれぞれデジタル
データに変換するためのA/Dコンバーター20および
21と、走査用ステッピングモーター13の作動を制御
するためのステッピングモーターコントロール回路22
と、原点検出用近接スイッチ16およびその他の制御用
近接スイッチ16A(第1図及び第2図には示していな
い)のための入出力回路23と、測定結果をCRT、レ
コーダー、プリンタ等へ出力するための出力回路24と
を備えている。
グモーター13へ指令を送り、紙厚さセンサー50が原
点位置にくるようにせしめる。すなわち、紙厚さセンサ
ー50によって原点検出用近接スイッチ16が作動され
る位置まで、走査用ステッピングモーター13を作動さ
せて、紙厚さセンサー50を移動させる。次に、その原
点位置より、紙厚さセンサー50による走査を開始させ
る。この走査は、基準値の読み込みのための記憶走査と
称する。走査用ステッピングモーター13によって、紙
厚さセンサー50が一定距離送られる毎に、磁界利用セ
ンサー51の距離測定信号を、増幅器18およびA/D
コンバーター20を介してメモリー17にデジタルデー
タとして記憶させ、且つ光センサー52の距離測定信号
を、増幅器19およびA/Dコンバーター21を介して
デジタルデータとしてメモリー17に記憶させる。すな
わち、紙シートを載置していない金属性バックアッププ
レート11の上にそって紙厚さセンサー50を走査させ
ながら、各点における測定データは、第4図 (A)および
(B)に示すようなイメージで、中央処理装置CPUを介
してメモリー17に記憶されていく。第4図 (A)は、磁
界利用センサー51による各測定ポイントにおける測定
データの変化を示し、第4図 (B)は、光センサー52に
よる各測定ポイントにおける測定データの変化を示して
いる。各測定点での磁界利用センサー51による距離測
定値(金属性バックアッププレート11の上面から磁界
利用センサー51までの距離)を、llstdとし、光セン
サー52による距離測定値(金属性バックアッププレー
ト11の上面までの距離)を、l2stdとする。
アッププレート11の上の測定すべき紙シートを載置し
た状態において行う。紙厚さセンサー50を再び原点か
ら移動させて、紙厚さセンサー50が各測定ポイントに
達する毎に、中央処理装置CPUは、その時々の磁界利
用センサー51による距離測定値(金属性バックアップ
プレート11の上面までの距離)をl1MES、光センサー
52による距離測定値(紙シートの上面までの距離)を
l2MESとして、前の記憶走査において取り込んだ基準値
l1stdおよびl2stdとの間のそれぞれの差し引き変化分
Δl1およびΔl2を次の式に従って算出する。
る。
界利用センサー51に与える悪影響を取り除くことがで
きる。
l2std値を一々記憶しなくとも理論的には可能である
が、この場合には、紙厚さセンサー50と金属性バック
アッププレート11との間の距離をどの走査位置におい
ても同一に保つ必要がある。しかしながら、センサー5
0とバックアッププレート(ロール)11との間を常に
完全に一定に保つことはセンサーを走査する装置の機械
的精度上、あるいは振動、熱膨張による影響等から実際
には不可能なことである。本発明の意図するところは、
このように走査する毎に微妙に変化するセンサー50と
バックアッププレート(ロール)11との間を光センサ
ーと一体化した磁界利用センサーで正確に計測し、同時
に光センサーで紙面までの距離を計測して正確に紙厚さ
を測定せんとするものである。また、前述の実施例で
は、l1stdおよびl2stdを各々別々にメモリー17に記
憶させたのであるが、次のような式に従ってtstd を算
出してそのtstd を記憶し、 tstd =l1std−l2std・・・・・・(5) 計測走査時のデータl1MES、l2MESとから、次の式に従
って紙シートの厚さtを求めるようにしてもよい。
む。
片方向走査のみで説明したが、精度向上のためには、基
準値の記憶走査を、紙厚さセンサーの往復移動によって
行うようにしてもよい。また、紙厚さセンサー50の走
査動力にステッピングモーターを使用し、駆動と位置制
御とをオープンループ方式にて行う場合について説明し
たのであるが、サーボモーターとロータリーエンコーダ
ーとを使用してフィードバック方式にて行うようにする
こともできる。
バックアッププレートを用いた場合であったが、被測定
材によってはプレートに擦れることを嫌う場合がある。
この場合には、測定基準面をロールとする必要がある。
測定基準面をロールにした場合には、紙厚さセンサーと
ロール面との相対位置の変化は、走査方向だけでなく、
ロールの回転方向成分も加わることになる。従って、ロ
ール表面の第一位置を螺旋状に記憶および計測走査して
やらなければならない。そのためには、ロールの回転量
を計測するセンサー(ロータリーエンコーダー等)と回
転方向の原点信号を計測するセンサーを追加設置する必
要がある。この回転量信号と原点信号をもとに、紙厚さ
センサーの移動速度および移動開始点をロールの回転量
に同期して適切に制御すれば、常に、ロールの同一面を
走査することができる。
そって磁界利用センサーおよび光センサーを走査して、
前記磁界利用センサーの距離測定値と前記光センサーの
距離測定値とに基づいて、前記シートの厚さを測定する
シート厚さ測定装置において、前記磁界利用センサーに
よる距離測定の誤差を補正することができるので、シー
ト厚さの測定精度を向上させることができる。
造を概略的に示す正面図、第2図は、第1図のシート厚
さ測定装置の構造を概略的に示す側面図、第3図は、第
1図および第2図のシート厚さ測定装置の制御部の構成
を概略的に示すブロック図、第4図は、第3図の制御部
による基準値の記憶走査における各センサーによるデー
タの取り込み態様を説明するための図、第5図は、従来
のシート厚さ測定装置の原理を説明するための概略図、
第6図は、第5図のシート厚さ測定装置の磁界利用セン
サーおよび光センサーによる距離測定値の変化を例示す
る図である。 2……紙シート、10……支持フレーム、 11……金属性バックアッププレート、 12……リニアベアリング、 13……走査用ステッピングモーター、 14……スプロケット、15……チェーン、 16……原点検出用近接スイッチ、 17……メモリー、18、19……増幅器、 20、21……A/Dコンバーター、 22……ステッピングモーターコントロール回路、 23……入出力回路、24……出力回路、 50……紙厚さセンサー、 51……磁界利用センサー、52……光センサー。
Claims (1)
- 【請求項1】互いに一体化して保持された磁界利用セン
サーおよび光センサーを、金属性バックアップ面の上の
シートにそって走査して、前記磁界利用センサーの距離
測定値と前記光センサーの距離測定値との差に基づい
て、前記シート厚さを測定するシート厚さ測定装置にお
いて、前記シートの載置されていない状態にて、前記金
属性バックアップ面上にそって測定した前記磁界利用セ
ンサーによる補正用距離測定値および前記光センサーに
よる補正用距離測定値に基づく補正用測定値を記憶する
ための記憶手段と、前記金属性バックアップ面の上に前
記シートが載置された状態にて測定された前記磁界利用
センサーによる距離測定値および前記光センサーによる
距離測定値の差を、前記記憶手段に記憶された前記補正
用測定値を用いて、前記磁界利用センサーによる前記補
正用距離測定値と前記光センサーによる前記補正用距離
測定値との差として表される前記磁界利用センサーによ
る距離測定の誤差が補償されるように、補正する補正手
段とを備えることを特徴とするシート厚さ測定装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63256459A JPH0648185B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | シート厚さ測定装置 |
SE8902579A SE467551B (sv) | 1988-10-12 | 1989-07-20 | Apparat foer maetning av arktjocklek |
FI893921A FI96137C (fi) | 1988-10-12 | 1989-08-21 | Arkin paksuudenmittauslaite |
DE3929469A DE3929469C2 (de) | 1988-10-12 | 1989-09-05 | Gerät zur Messung der Blattdicke |
US07/405,281 US5001356A (en) | 1988-10-12 | 1989-09-11 | Sheet thickness measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63256459A JPH0648185B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | シート厚さ測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02103408A JPH02103408A (ja) | 1990-04-16 |
JPH0648185B2 true JPH0648185B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=17292932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63256459A Expired - Lifetime JPH0648185B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | シート厚さ測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5001356A (ja) |
JP (1) | JPH0648185B2 (ja) |
DE (1) | DE3929469C2 (ja) |
FI (1) | FI96137C (ja) |
SE (1) | SE467551B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3024338U (ja) * | 1995-11-02 | 1996-05-21 | 株式会社エレム | ア−ス端子を有するプラグ |
JP2008304471A (ja) * | 2000-03-28 | 2008-12-18 | Toshiba Corp | 膜厚測定装置、膜厚測定方法および記録媒体 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5355083A (en) * | 1988-11-16 | 1994-10-11 | Measurex Corporation | Non-contact sensor and method using inductance and laser distance measurements for measuring the thickness of a layer of material overlaying a substrate |
US5485082A (en) * | 1990-04-11 | 1996-01-16 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Method of calibrating a thickness measuring device and device for measuring or monitoring the thickness of layers, tapes, foils, and the like |
DE9206076U1 (de) * | 1992-05-07 | 1993-09-09 | Hermann Gmbh Co Heinrich | Etikettiermaschine |
IT1263789B (it) * | 1993-01-22 | 1996-08-29 | Alessandro Masotti | Metodo e apparecchio comprendente due sensori magnetici ed un misuratore laser per misurare lo spessore di un film |
JP3548196B2 (ja) * | 1993-06-21 | 2004-07-28 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
US5466143A (en) * | 1993-09-29 | 1995-11-14 | Oshikiri Machinery Ltd. | Dough sheet former with closed loop control |
DE59403176D1 (de) * | 1993-10-29 | 1997-07-24 | Ferag Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke von Druckereierzeugnissen, wie Zeitungen, Zeitschriften und Teilen hiervon |
DE4402463C2 (de) * | 1994-01-28 | 1998-01-29 | Amepa Eng Gmbh | Vorrichtung zur diskontinuierlichen Erfassung der Dicke einer Schicht auf einer Metallschmelze |
US5569835A (en) * | 1994-08-10 | 1996-10-29 | Ultrasonic Arrays, Inc. | Reference wire compensation method and apparatus |
US5617645A (en) * | 1995-05-02 | 1997-04-08 | William R. W. Wick | Non-contact precision measurement system |
JPH08313223A (ja) * | 1995-05-16 | 1996-11-29 | Ls Electro Galvanizing Co | 移動ストリップを監視する方法と装置 |
US5805291A (en) * | 1996-08-14 | 1998-09-08 | Systronics, Inc. | Traversing thickness measurement apparatus and related method |
JP3844857B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2006-11-15 | 株式会社東芝 | 厚さ検知装置 |
US6580519B1 (en) | 1999-03-16 | 2003-06-17 | William R. W. Wick | Method and apparatus for determining the alignment of rotational bodies |
WO2001029504A1 (de) * | 1999-10-18 | 2001-04-26 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor zum berührenden vermessen von materialien |
US6707540B1 (en) | 1999-12-23 | 2004-03-16 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements |
US6433541B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-08-13 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current measurements during the process for removing the film |
US6608495B2 (en) * | 2001-03-19 | 2003-08-19 | Applied Materials, Inc. | Eddy-optic sensor for object inspection |
US6966816B2 (en) * | 2001-05-02 | 2005-11-22 | Applied Materials, Inc. | Integrated endpoint detection system with optical and eddy current monitoring |
US6937350B2 (en) * | 2001-06-29 | 2005-08-30 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and methods for optically monitoring thickness |
US6811466B1 (en) * | 2001-12-28 | 2004-11-02 | Applied Materials, Inc. | System and method for in-line metal profile measurement |
US20040061873A1 (en) * | 2002-09-26 | 2004-04-01 | Davis Brett L. | Method and apparatus for detecting media thickness |
US6961133B2 (en) * | 2003-08-29 | 2005-11-01 | The Boeing Company | Method and apparatus for non-contact thickness measurement |
EP1681531B1 (de) * | 2005-01-13 | 2008-04-23 | Plast-Control GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur kapazitiven Vermessung von Materialien |
US8337278B2 (en) * | 2007-09-24 | 2012-12-25 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge characterization by successive radius measurements |
DE102011107771B4 (de) * | 2011-04-15 | 2013-10-17 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3221379A1 (de) * | 1982-06-05 | 1983-12-08 | M.A.N.- Roland Druckmaschinen AG, 6050 Offenbach | Messvorrichtung fuer bogendicken in der transportbahn von boegen bei papierverarbeitungsmaschinen |
DE3523414A1 (de) * | 1985-06-29 | 1987-01-02 | Deuta Werke Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum messen insbesondere der dicke oder breite von koerpern, insbesondere von platten, folien, strangprofilen oder dergleichen |
US4849694A (en) * | 1986-10-27 | 1989-07-18 | Nanometrics, Incorporated | Thickness measurements of thin conductive films |
DE3701558A1 (de) * | 1987-01-21 | 1988-08-04 | Buehler Ag Geb | Vorrichtung zum bestimmen der schichtdicke |
-
1988
- 1988-10-12 JP JP63256459A patent/JPH0648185B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-07-20 SE SE8902579A patent/SE467551B/sv not_active IP Right Cessation
- 1989-08-21 FI FI893921A patent/FI96137C/fi not_active IP Right Cessation
- 1989-09-05 DE DE3929469A patent/DE3929469C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-11 US US07/405,281 patent/US5001356A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3024338U (ja) * | 1995-11-02 | 1996-05-21 | 株式会社エレム | ア−ス端子を有するプラグ |
JP2008304471A (ja) * | 2000-03-28 | 2008-12-18 | Toshiba Corp | 膜厚測定装置、膜厚測定方法および記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI96137C (fi) | 1996-05-10 |
SE8902579D0 (sv) | 1989-07-20 |
JPH02103408A (ja) | 1990-04-16 |
US5001356A (en) | 1991-03-19 |
FI893921A (fi) | 1990-04-13 |
FI96137B (fi) | 1996-01-31 |
DE3929469A1 (de) | 1990-04-19 |
SE8902579L (sv) | 1990-04-13 |
FI893921A0 (fi) | 1989-08-21 |
DE3929469C2 (de) | 2001-06-13 |
SE467551B (sv) | 1992-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0648185B2 (ja) | シート厚さ測定装置 | |
JP2622885B2 (ja) | シート厚さ測定装置 | |
KR102518930B1 (ko) | 시트 두께 측정 장치 | |
GB2261961A (en) | Film instability compensation. | |
JPH04369409A (ja) | 光学式厚さ測定装置 | |
US4442389A (en) | Apparatus for measuring a metal surface position | |
JPH11238113A (ja) | 画像入力装置 | |
EP0067668B1 (en) | Apparatus for measuring a metal surface position | |
JP2698069B2 (ja) | ポールねじの熱変位補正装置 | |
JPH0979838A (ja) | 真直度測定装置 | |
JP3070967B2 (ja) | 磁気ディスク装置 | |
JP2869711B2 (ja) | 磁性塗料塗布量計測装置 | |
JPH0453640Y2 (ja) | ||
JP3113395B2 (ja) | プレス用フィーダ制御装置 | |
JP2675662B2 (ja) | 自動板厚測定装置 | |
JPH0825255A (ja) | 直線移動型ロボット | |
JP2979708B2 (ja) | 精密磁束密度測定装置 | |
JP2548720Y2 (ja) | データ記録装置 | |
US20080062476A1 (en) | Image forming device capable of controlling scanning unit and method to control scanning unit thereof | |
JPS6331876Y2 (ja) | ||
JPH07161798A (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
JPS587521A (ja) | 記録装置 | |
JPH0212570Y2 (ja) | ||
JPH0814481B2 (ja) | 物体表面状態アクセスシステム | |
GB2335817A (en) | Film frame steadiness correction in film to video conversion |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080622 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090622 Year of fee payment: 15 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090622 Year of fee payment: 15 |