SA08290722B1 - إلكترود أمامي للاستخدام في جهاز ڤٌلطائي ضوئي وطريقة لتصنيعه - Google Patents
إلكترود أمامي للاستخدام في جهاز ڤٌلطائي ضوئي وطريقة لتصنيعه Download PDFInfo
- Publication number
- SA08290722B1 SA08290722B1 SA08290722A SA08290722A SA08290722B1 SA 08290722 B1 SA08290722 B1 SA 08290722B1 SA 08290722 A SA08290722 A SA 08290722A SA 08290722 A SA08290722 A SA 08290722A SA 08290722 B1 SA08290722 B1 SA 08290722B1
- Authority
- SA
- Saudi Arabia
- Prior art keywords
- layer
- oxide
- tco
- film
- conductive
- Prior art date
Links
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 85
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims abstract description 43
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 36
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 36
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 328
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 68
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 44
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 27
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 25
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 14
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N aluminum zinc oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Al+3].[Zn+2] JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N stibanylidynetin;hydrate Chemical compound O.[Sn].[Sb] SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 claims description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910000611 Zinc aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 claims 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 40
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- -1 ITO Chemical compound 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 45
- 239000010408 film Substances 0.000 description 34
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 20
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 7
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 6
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N oxotin;zinc Chemical compound [Zn].[Sn]=O KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 3
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 2
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 2
- 101100004280 Caenorhabditis elegans best-2 gene Proteins 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000234435 Lilium Species 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010037180 Psychiatric symptoms Diseases 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006355 Tefzel Polymers 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N [C].[Si] Chemical compound [C].[Si] HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFLKVULQOLHBNW-UHFFFAOYSA-N [O-2].[In+3].[O-2].[Zn+2].[Ti+4] Chemical compound [O-2].[In+3].[O-2].[Zn+2].[Ti+4] DFLKVULQOLHBNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- IDZYHGDLWGVHQM-UHFFFAOYSA-N aluminum;calcium;sodium;silicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[Ca+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] IDZYHGDLWGVHQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- VOANFGTXELDUQQ-UHFFFAOYSA-N antimony;indium;oxotin Chemical compound [In].[Sb].[Sn]=O VOANFGTXELDUQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXLJGBGJDROPKW-UHFFFAOYSA-N antimony;oxotin Chemical compound [Sb].[Sn]=O XXLJGBGJDROPKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N ethene;1,1,2,2-tetrafluoroethene Chemical compound C=C.FC(F)=C(F)F QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFMKFCLXZSUVPI-UHFFFAOYSA-N ethyl but-3-enoate Chemical compound CCOC(=O)CC=C BFMKFCLXZSUVPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N indium zinc Chemical compound [Zn].[In] NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001699 photocatalysis Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002574 poison Substances 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-) Chemical group [O-2].[Zn+2] RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
- H01L31/022483—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers composed of zinc oxide [ZnO]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1884—Manufacture of transparent electrodes, e.g. TCO, ITO
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
الملخـــص: يتعلق الاختراع بإلكترود/ ملامس أمامي للاستخدام في جهاز الكتروني مثل جهاز ڤٌلطائي ضوئي. وفي بعض النماذج التمثيلية، يشتمل الإلكترود الأمامي لجهاز ڤٌلطائي ضوئي أو ما شابه ذلك على مادة تغليف متعددة الطبقات تشتمل على طبقة أكسيد موصلة منفذة (TCO) واحدة على الأقل (مثل، طبقة مصنعة من أو تشتمل على مادة مثل أكسيد قصدير، ITO، أكسيد زنك، أو ما شابه ذلك) و/ أو طبقة معدنية بشكل أساسي عاكسة للأشعة IR وموصلة واحدة على الأقل (مثل، طبقة أساسها الفضة، الذهب، أو ما شابه ذلك). وفي بعض الحالات التمثيلية يمكن أن تشتمل مادة تغليف الإلكترود الأمامي متعددة الطبقات على واحدة أو أكثر من طبقات الأكسيد (الأكاسيد) المعدني (المعدنية) الموصلة وواحدة أو أكثر من الطبقات المعدنية بشكل أساسي العاكسة للأشعة IR والموصلة من أجل تقليل انعكاس الضوء المرئي، وزيادة الموصلية، وخفض تكاليف التصنيع، و/ أو زيادة القدرة على عكس الأشعة تحت الحمراء (IR). شكل ( 1 ) .
Description
ض ا . إلكترود أمامي للاستخدام في جهاز فُلطائي ضوئي وطريقة لتصنيعه Front electrode for use in photovoltaic device and mehtod of making same : الوصف الكامل خلفية الاختراع
يتعلق هذا الاختراع بجهاز SU ضوئي يشتمل على الكترود مثل إلكترود/ ملامس أمامي. وفي بعض النماذج Adal) يشتمل الالكترود الأمامي للجهاز القلطائي الضوئي على مادة تغليف متعددة الطبقات تشمل طبقة معدنية بشكل أساسي واحدة على الأقل عاكسة للأشعة تحت الحمراء
(IR) 0 وموصلة إلى حدٍ كبير مصنعة من أو تشتمل على الفضة؛ الذهب؛ أو ما شابه ذلك» ومن الممكن أن تشتمل مادة التغليف على طبقة أكسيد موصلة منفذة (TCO) واحدة على الأقل (مثلاً مصنعة من أو تشتمل على مادة أكسيد قصدير؛ أكسيد زنك؛ أو ما شابه ذلك). وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يتم تصميم مادة تغليف الإلكترود الأمامي متعددة الطبقات من أجل تحقيق واحدة أو أكثر
من الخصائص المميزة الآتية: (أ) مقاومة لوحية (Rs) منخفضة ومن ثم زيادة الموصلية وتحسين
)18( قدرة الخرج الإجمالية لوحدة فلطائية ضوئية نمطية؛ (ب) زيادة انعكاس الأشعة تحت الحمراء ٠ وبالتالي تقليل درجة حرارة تشغيل الوحدة الفلطائية الضوئية النمطية من أجل زيادة قدرة الخرج - 450 للوحدة النمطية؛ (ج) تقليل انعكاس و/ أو زيادة انتقال الضوء في المنطقة التي تتراوح من
٠ نانو مترء و/ أو moe 100 تانومتر؛ وهذا يؤدي إلى زيادة قدرة الخرج للوحدة الفلطائية
الضوئية النمطية؛ (د) تقليل السمك الإجمالي لمادة تغليف الإلكترود الأمامي مما يمكن من تقليل
١٠ تكاليف و/ أو زمن التصنيع؛ و/ أو (ه) تحسين أو توسيع نافذة المعالجة عند تشكيل طبقة
(طبقات) ال TCO وذلك بسبب انخفاض تأثير موصلية (طبقة) طبقات ال TCO على الخواص عن
. الكهربية الإجمالية للوحدة النمطية بمعلومية وجود طبقة (طبقات) معدنية بشكل أساسي عاكسة للأشعة تحت الحمراء IR موصلة إلى حدٍ كبير. الأجهزة القلطائية الضوئية معروفة في المجال Je) سبيل المثال» أنظر» براءات الاختراع الأمريكية أرقام 6,784,361 و6,288,325 و6,613,603 و6,123,824؛ حيث تم تضمين الكشوفات ٠ الواردة بها في هذا الطلب كمرجع). وتشتمل الأجهزة AU الضوئية المصنعة من السيلكون غير lisa) على سبيل المثال؛ على إلكترود أو ملامس أمامي. ونمطياً؛ يتم تصنيع الالكترود الأمامي المنفذ من أكسيد حراري موصل منفذة (TCO) مثل أكسيد الزنك أو أكسيد القصدير المشكل على ركيزة Jie ركيزة زجاجية. وفي الكثير من الحالات؛ يتم تشكيل الالكترود الأمامي المنفذ من طبقة واحدة باستخدام طريقة من طريق التحلل الحراري الكيميائي حيث يتم رش مواد أولية منتجة لغيرها ٠ على الركيزة الزجاجية عند حوالي Eee إلى op Tov ويمكن أن يصل سمك طبقات TCO النمطية من أكسيد قصدير معالج بالإشابة بواسطة الفلور والتي تتحلل بالحرارة وتستخدم كإلكترودات أمامية؛ حوالي 5060 نانو مترء مما يوفر مقاومة لوحية (Rs) تبلغ حوالي 10 أوم/ مربع. وللحصول على قدرة خرج كبيرة؛ من المرغوب فيه أن يكون لدينا إلكترود أمامي له مقاومة لوحية منخفضة وتلامس أومي جيد بالطبقة العليا IAN ويسمح بأقصى طاقة شمسية في نطاقات معينة مرغوب فيها للنفاذ ve إلى أغشية أشباه الموصلات الماصة. ولسوء الحظ»؛ فإن الأجهزة الفلطائية الضوئية Jia) الخلايا الشمسية) التي تشتمل على الالكترودات الأمامية TCO التقليدية تعاني من المشكلات الآثية. ولا يكون لطبقة TCO من أكسيد القصدير المعالج بالإشابة بالفلور والتي تتحلل بالحرارة ويصل سمكها إلى حوالي 40١ نانومتر والمستخدمة كإلكترود أمامي كامل مقاومة لوحية (Rs) تبلغ حوالي Fora
٠ أوم/ مربع وهي مقاومة كبيرة بالنسبة للإلكترود الأمامي الكامل. ومن المرغوب فيه أن تكون المقاومة اللوحية أقل (وبالتالي تكون الموصلية أفضل) بالنسبة للإلكترود الأمامي لجهاز فلطائي ضوئي. ويمكن الوصول إلى مقاومة لوحية أقل بزيادة سمك طبقة TCO كهذه؛ ولكن هذا سوف يتسبب في انخفاض نفاذ الضوء خلال طبقة ال TCO مما يقلل من قدرة خرج الجهاز SBI ٠ الضوئي.
(Lis تسمح الكترودات TCO الأمامية التقليدية مثل أكسيد القصدير الذي ينحل بالحرارة بمرور كمية كبير إلى حدٍ ما من الأشعة تحت الحمراء (IR) خلالها مما يسمح لها بالوصول إلى طبقة (طبقات) شبه الموصل أو الطبقة الماصة من الجهاز القلطائي الضوئي. وتتسبب هذه الأشعة تحت الحمراء في حرارة تزيد من حرارة تشغيل الجهاز SU الضوئي وبالتالي تقليل قدرة الخرج A)
٠ ثالثاء تميل إلكترودات TCO الأمامية التقليدية Jie أكسيد القصدير الذي ينحل بالحرارة لأن تعكس كمية كبيرة إلى حدٍ ما من الضوء في المنطقة من حوالي 7٠00 - 48٠ نانومتر بحيث تصل نسبة لا تقل عن حوالي IAs من الطاقة الشمسية المفيدة إلى طبقة شبه الموصل الماصة؛ وهذا الانعكاس الكبير إلى حدٍ ما للضوء المرئي يعتبر إهداراً للطاقة ويؤدي إلى خفض قدرة الخرج للوحدة الفُلطائية الضوئية النمطية. وبسبب امتصاص طبقة 700 وانعكاسات الضوء التي تحدث بين طبقة
n) نانو متر) وغشاء شبه الموصل الرقيق 909٠ إلى ¥ عند طول موجي ٠,8 أل 100 (« حوالي ve والركيزة الزجاجية (« حوالي 1,0( فإن الزجاج المغلف TCO حوالي ؟ إلى 8( وبين طبقة ال عند مقدمة الجهاز الفلطائي الضوئي يسمح نمطياً بوصول نسبة تقل عن 2480 من TCO بطبقة ال الطاقة الشمسية المفيدة التي ترتطم بالجهاز إلى غشاء شبه الموصل الذي يقوم بتحويل الضوء إلى طاقة كهربية.
ض ّم
clad كما أن السمك الإجمالي الكبير Se) نانو متر) للإلكترود الأمامي في حالة طبقة TCO من أكسيد القصدير سمكها 5٠6٠ نانو مترء يتسبب في زيادة تكاليف التصنيع. خامساً نافذة المعالجة التي تتم لتشكيل طبقة 100 من أكسيد زنك أو أكسيد قصدير لتصنيع الكترود أمامي تكون صغيرة وهامة. وبهذا (asad) فإنه حتى التغييرات الضئيلة في نافذة ٠ المعالجة يمكن أن تؤثر سلباً على موصلية طبقة ال 100. وعندما تكون طبقة ال TCO عبارة عن طبقة موصلة وحيدة للإلكترود الأمامي؛ فإن Jia هذه التأثيرات السلبية يمكن أن تكون ضارة بشدة. وبناءً على هذاء يمكن إدراك أن هناك حاجة في المجال لإلكترود أمامي محسّن لجهاز Sb ضوئي يمكنه أن يحل أو يعالج واحدة أو أكثر من المشكلات الخمس السابق ذكرها. الوصف العام للاختراع ٠ وفي بعض النماذج التمثيلية لهذا الاختراع؛ فإن الإلكترود الأمامي لجهاز فُلطائي ضوئي يشتمل على مادة تغليف متعددة الطبقات تشتمل على طبقة معدنية بشكل أساسي عاكسة للأشعة IR وموصلة إلى حدٍ كبير Sia) طبقة أساسها الفضة؛ أو الذهب؛ أو ما شابه ذلك)؛ واختيارياً > على طبقة أكسيد موصلة منفذة (TCO) واحدة على الأقل Nie) مصنعة من أو تشتمل على مادة مثل أكسيد قصدير؛ أكسيد زنك؛ أو ما شابه ذلك). وفي بعض الحالات التمثيلية المعينة» يمكن أن تشتمل المادة المغلفة للإلكترود الأمامي متعددة الطبقات على مجموعة من طبقات TCO و/ أو مجموعة من الطبقات المعدنية العاكسة للأشعة IR الموصلة بشكل أساسي؛ مرتبة بطريقة تبادلية من أجل العمل على تقليل انعكاسات الضوء المرئي؛ وزيادة الموصلية؛ وزيادة القدرة على عكس الأشعة IR وهلم جرا. 89.١
وفي بعض النماذج التمثيلية لهذا cp pall يمكن تصميم مادة مغلفة متعددة الطبقات لالكترود أمامي من أجل تحقيق واحدة أو أكثر من الخصائص المميزة الآتية: (أ) مقاومة لوحية (Rs) منخفضة ومن ثم زيادة الموصلية وتحسين قدرة الخرج الإجمالية لوحدة فُلطائية ضوئية نمطية؛ (ب) زيادة انعكاس الأشعة تحت الحمراء (IR) وبالتالي تقليل درجة حرارة تشغيل الوحدة الفلطائية © الضوئية النمطية من أجل زيادة قدرة الخرج للوحدة النمطية؛ (ج) تقليل انعكاس و زيادة انتقال الضوء في المنطقة (المناطق) التي تتراوح من حوالي +49 - 700 نانو مترء و/ أو 456- Tov نانومتر؛ وهذا يؤدي إلى زيادة قدرة الخرج للوحدة الفلطائية الضوئية النمطية؛ (د) تقليل السمك الإجمالي لمادة تغليف الإلكترود الأمامي مما يمكن من تقليل تكاليف و/ أو زمن التصنيع؛ و/ أو (ه) تحسين أو توسيع نافذة المعالجة عند تشكيل طبقة (طبقات) ال TCO وذلك بسبب انخفاض ٠ تأثير موصلية طبقات ال TCO على الخواص الكهربية الإجمالية للوحدة النمطية بمعلومية وجود طبقة (طبقات) معدنية بشكل أساسي عاكسة للأشعة تحت الحمراء IR وموصلة إلى حدٍ aS وفي بعض النماذج التمثيلية لهذا الاختراع؛ تم تقديم جهاز SE ضوئي يشتمل على: ركيزة زجاجية أمامية؛ غشاء من أشباه الموصلات؛ إلكترود أمامي منفذ إلى حدٍ كبير يتواجد بين الركيزة الزجاجية الأمامية وغشاء شبه الموصل على الأقل ؛ حيث يشتمل الإلكترود الأمامي المنفذ إلى an ١ كبيرء عند التحرك بعيداً عن الركيزة الزجاجية الأمامية باتجاه غشاء شبه الموصل؛ على طبقة منفذة : إلى حدٍ كبير واحدة على الأقل حيث يمكن أن تكون موصلة أو غير موصلة؛ طبقة معدنية بشكل أساسي عاكسة للأشعة تحت الحمراء (IR) تشتمل على الفضة و/ أو الذهب؛ وغشاء (طبقة رقيقة) أول من أكسيد موصل (TCO) Mie يوضع على الأقل بين الطبقة العاكسة للأشعة تحت الحمراء IR وغشاء شبه الموصل.
وفي نماذج تمثيلية أخرى لهذا الاختراع؛ تم تقديم الكترود مهياً للاستخدام في جهاز الكتروني Jie جهاز فلطائي ضوئي يشتمل على غشاء مصنع من أشباه الموصلات؛ حيث يكون الإلكترود عبارة عن: إلكترود متعدد الطبقات موصل للكهرباء ومنفذ إلى حدٍ كبير مدعم بواسطة ركيزة زجاجية؛ حيث يشتمل الالكترود متعدد الطبقات المنفذ إلى aa كبير؛ عند التحرك بعيداً عن الركيزة الزجاجية؛ ٠ على طبقة معدنية بشكل أساسي واحدة على الأقل عاكسة للأشعة تحت الحمراء (IR) وموصلة ومنفذة إلى حد كبير تشتمل على الفضة و أو [Wt Al) وغشا ع أول من أكسيد موصل منفذ (TCO) وفي نماذج تمثيلية أخرى؛ تم تقديم جهاز فلطائي ضوئي يشتمل على: ركيزة زجاجية؛ غشاء من أشباه الموصلات؛ إلكترود منفذ إلى حدٍ كبير يتواجد على الأقل بين الركيزة والغشاء المصنع من ٠ أشباه الموصلات؛ وحيث يشتمل الالكترود المنفذ إلى aa كبير» عند التحرك بعيداً عن الركيزة الزجاجية باتجاه غشاء شبه الموصل؛ على طبقة معدنية بشكل أساسي موصلة ومنفذة إلى حدٍ كبير تشتمل على الفضة؛ وغشاء أول من أكسيد موصل منفذ (TCO) يتواجد على الأقل بين الطبقة المشتملة على الفضة وغشا ءِ شبه الموصل . شرح مختصر للرسومات ١ شكل :١ عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز Sb ضوئي تمثيلي وفقاً لنموذج تمثيلي لهذا الاختراع.
A
مقابل الطول الموجي (نانو متر)؛ حيث (n) عن منحنى يوضح معامل الانكسار ple :7 شكل غشاء رقيق من الفضة؛ وسيليكون مهدرج (TCO يوضح معاملات الانكسار («) للزجاج؛ وغشاء (في طور غير متبلرء أو دقيق البلورات أو عديد البلورات). شكل ؟: عبارة عن منحنى يوضح النسبة المئوية للنفاذية (77) مقابل الطول الموجي (نانو متر)؛ ضوئي lh حيث يوضح أطياف النفاذية في غشاء رقيق من السيليكون :8 المهدرج لجهاز ٠ مرجعي)؛ وهذا يُظهر أن أمثلة هذا الاختراع TCO) لمقارنة أمثلة هذا الاختراع بمثال مقارن متر تقريباً sili 700 -48 ٠ 7و 2) قد زادت من النفاذية في مدى الطول الموجي ٠ (الأمثلة وبالتالي قد ساعدت على زيادة قدرة الخرج للوحدة القّلطائية الضوئية النمطية؛ مقارنة بالمثال المقارن المرجعي). TCO) مقابل الطول الموجي (نانو (TR) عن منحنى يوضح النسبة المئوية للانعكاس ple :4 شكل ٠ المهدرج لجهاز Si متر)؛ حيث يوضح أطياف الانعكاس من على غشاء رقيق من السيليكون (F في شكل le) ء و ؟ المشار ١٠ قلطائي ضوئي من أجل مقارنة أمثلة هذا الاختراع (الأمثلة المرجعي المشار إليه في شكل 7)؛ وهذا يُظهر أن النموذج التمثيلي لهذا TCO) مقابل مثال مقارن وهذا أدى إلى تقليل حرارة تشغيل (IR الاختراع قد زاد من الانعكاس في مدى الأشعة تحت الحمراء
Jl الوحدة الفلطائية الضوئية النمطية من أجل زيادة قدرة الخرج للوحدة النمطية؛ مقارنة ve المرجعي) في TCO) ؟ والمثال المقارن -١ المقارن. وحيث أنه قد تمت الإشارة إلى نفس الأمثلة قد تم استخدام نفس الرموز والأرقام المرجعية الدالة على الأجزاء في كل من ald of الشكلين ؟ و .4 الشكلين “ و
شكل ©: عبارة عن منظر لمقطع عرضي للجهاز SUE الضوئي وفقاً للمثال رقم ١ لهذا الاختراع. شكل 11 عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فُلطائي ضوئي وفقاً للمثال رقم ؟ لهذا الاختراع. : شكل 7: Ble عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فلطائي ضوئي وفقاً للمثال رقم © لهذا الاختراع. ٠ شكل Ble tA عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فُلطائي ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر لهذا الاختراع. شكل 4: عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فلطائي ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي AT لهذا ا لاختراع . شكل :٠١ عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز Shab ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر لهذا ٠ الاختراع. شكل :١١ عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز Sab ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر لهذا الاختراع. بالإشارة الآن بشكل أكثر تحديداً للأشكال التي تشير فيها الأرقام المرجعية المتشابهة إلى أجزاء/ ١ طبقات متشابهة في المناظر المتعددة. تقوم الأجهزة القلطائية الضوئية WAY Jie الشمسية بتحويل الإشعاع الشمسي إلى طاقة كهربية يمكن استخدامها. ونمطياً فإن تحويل الطاقة يحدث نتيجة للتأثير UB الضوئي. حيث يقوم
0"
الإشعاع الشمسي (مثل؛ ضوء الشمس) الذي يسقط على جهاز Sh ضوئي ويُمتص بواسطة
منطقة فعالة من مادة مصنعة من أشباه الموصلات (مثل؛ غشاء من أشباه الموصلات يشتمل على
واحدة أو أكثر من الطبقات المصنعة من أشباه الموصلات مثل طبقات مصنعة من السيليكون Si وأحياناً يطلق على الطبقة المصنعة من أشباه الموصلات اسم الطبقة الماصة أو الغشاء الماص)؛
٠ بتوليد زوج عبارة عن إلكترون وثقب في المنطقة الفعالة. ويمكن فصل الالكترونات والثقوب بواسطة مجال كهربي لوصلة في الجهاز الفلطائي الضوئي. ويؤدي فصل اللالكترونات والثقوب بواسطة الوصلة إلى توليد تيار كهربي وجهد كهربي. وفي بعض النماذج التمثيلية؛ تتدفق الالكترونات
ض باتجاه المنطقة من sald) شبه الموصلة التي لها موصلية من النوع - en وتتدفق الثقوب باتجاه المنطقة من المادة شبه الموصلة التي لها موصلية من pm gsi ويمكن أن يتدفق التيار خلال
٠ دائرة خارجية تصل المنطقة من النوع -« بالمنطقة من النوع pm بينما يستمر الضوء في توليد
أزواج اللالكترونات والثقوب في الجهاز القلطائي الضوئي.
وفي بعض النماذج Ail تشتمل الأجهزة الفلطائية الضوئية المصنعة من سيليكون غير Jie أحادي الوصلة (وصلة Si واحدة) على ثلاث طبقات من أشباه الموصلات. dandy طبقة من
ْ النوع - (ء؛ طبقة من النوع - en وطبقة من النوع - : وهي طبقة أصلية. ويمكن أن يكون غشاء ٠ _السيليكون غير المتبلر (الذي يمكن أن يشتمل على طبقة واحدة أو أكثر Jie طبقات من النوع - (» «» و Ble (i عن سيليكون غير متبلر مهدرج في بعض الحالات؛ ولكنه يمكن أيضاً أن يكون
أو يمكن أن يشتمل على كربون سيليكا غير متبلر مهدرج أو جيرمانيوم سيكلون غير متبلر مهدرج؛
أو ما شابه ذلك؛ وذلك في بعض النماذج التمثيلية لهذا الاختراع. وعلى سبيل المثال لا الحصرء عندما يمتص فوتون ضوئي في الطبقة - 1 فإنه يؤدي إلى زيادة وحدة التيار الكهربي (زوج مكون
"١
من إلكترون وثقب). وتعمل الطبقتان - p و «» اللتان تحتويان على أيونات الإشابة المشحونة؛ على إنشاء مجال كهربي عبر الطبقة - 1 حيث يسحب الشحنة الكهربية إلى خارج الطبقة P= ويرسلها إلى دائرة خارجية اختيارية حيث يمكن أن توفر القدرة للمكونات الكهربية. وتجدر الإشارة
إلى أنه في حين أن بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع قد تم توجيهها تجاه أجهزة فُلطائية ضوئية
أساسها سيلكون غير متبلر إلا أن هذا الاختراع لا يقتصر عليها ويمكن استخدامه مع أنواع أخرى من الأجهزة الفُلطائية الضوئية وفي بعض الحالات التي تشمل على سبيل المثال لا الحصر الأجهزة التي تشتمل على أنواع أخرى من المواد شبه الموصلة؛ الخلايا الشمسية المزودة بغشاء رقيق أحادي أو مزدوج؛ والأجهزة القلطائية الضوئية CdS 5[ أو CdTe (وتشمل ((CdS/CdTe والأجهزة الفلطائية الضوئية عديدة السيليكون و/ أو المصنعة من :5 دقيق البلورات؛ وما شابه ذلك.
٠ شكل ١ عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فلطائي ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي لهذا الاختراع. ويشتمل الجهاز الفلطائي الضوئي على ركيزة زجاجية أمامية منفذة )١( (ويمكن Lad استخدام مادة مناسبة أخرى لتصنيع الركيزة بدلاً من الزجاج في بعض الحالات)؛ وطبقة (طبقات) عازلة اختيارية (7)؛ وإلكترود أمامي متعدد الطبقات oT) وغشاء شبه موصل نشط )0( مصنع من أو يشتمل على واحدة أو أكثر من طبقات أشباه الموصلات Jie) رصات طبقية ترادفية pinpin «pn «pin Jie
١ ء أو ما شابه ذلك)؛ والكترود/ ملامس خلفي (7) حيث يمكن أن يكون مصنوعاً من 700 أو معدن؛ ومادة كبسلة اختيارية )3( أو لاصق من مادة مثل أسيتات إيثيل فينيل (BVA) أو ما شابه ذلك وطبقة فوقية اختيارية )١١( من مادة Jie الزجاج. وبطبيعة الحال؛ يمكن إضافة طبقة (طبقات) أخرى؛ لم يتم توضيحها؛ في الجهاز. ويمكن تصنيع الركيزة الزجاجية الأمامية )١( و/ أو الطبقة الفوقية (الركيزة) الخلفية (VY) من زجاج أساسه الصودا - الجير (أكسيد الكالسيوم) - عنم
‘ ١ السيليكاء وذلك في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ ويمكن أن تحتوي على محتوى قليل من الحديد و/ أو طبقة مغلفة مضادة للانعكاس توضع عليها من أجل تحسين النفاذية بشكل مثالي في من الزجاج في بعض )١١ ؛٠( بعض الحالات التمثيلية. وفي حين أنه يمكن تصنيع الركيزتين النماذج التمثيلية لهذا الاختراع؛ فإنه يمكن استخدام مواد أخرى مثل الكوارتز؛ أو البلاستيك؛ أو ما بدلاً من الزجاج. وعلاوة على هذاء فإن )١١( و/ أو )١( شابه ذلك لتصنيع الركيزة (الركيزتين) 5 (OV) و/ أو )١( تكون اختيارية في بعض الحالات. ويمكن أن يكون الزجاج )١١( الطبقة الفوقية حرارياً و/ أو مشكل بنمط معين حرارياً؛ وذلك في بعض النماذج التمثلية لهذا be أو لا يكون؛ الاختراع. وعلاوة على هذاء يجب إدراك أن كلمة "على" كما هي مستخدمة في هذا الطلب تغطي من طبقة تكون موضوعة بشكل مباشر أو غير مباشر على جسم ماء بينما يمكن أن تتواجد JS
٠ طبقات أخرى فيما بينها وبين الجسم.
ويمكن أن تكون الطبقة (الطبقات) العازلة (؟) من أية مادة منفذة إلى حدٍ كبير Jia أكسيد معدن و أو نيتريد معدن» حيث يمكن أن يكون لها معامل انكسار يتراوح من حوالي ٠,9 إلى Yo والأفضل من حوالي ٠,3 إلى (Yio والأفضل من حوالي ٠,6 إلى VY والأفضل من حوالي ٠,6 إلى ؛ والأكثر تفضيلاً من حوالي 7 إلى A ومع ذلك؛ في بعض الحالات؛ يمكن أن يكون ve للطبقة العازلة (Y) معامل انكسار («) يتراوح من حوالي 7,7 إلى Yo وتشتمل أمثلة المواد التي تصنع منها الطبقة العازلة )1( على أكسيد السيليكون؛ نيتريد السيليكون» أوكسي نيتريد السيليكون؛ أكسيد الزنك؛ أكسيد القصدير؛ أكسيد التيتانيوم (مثل؛ (TIO; أوكسي نيتريد الألومينيوم؛ أكسيد الألومينيوم؛ أو خلائط مما سبق. وتعمل الطبقة (الطبقات) العازلة (7) كطبقة واقية في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع» من أجل منع المواد Jie الصوديوم من الانتقال all من الركيزة
VY
الزجاجية (V) والوصول إلى الطبقة (الطبقات) العاكسة للأشعة 18 و/ أو شبه الموصل. وعلاوة على da فإن الطبقة العازلة (؟) تكون عبارة عن مادة ذات معامل انكسار («) في المدى الموضح أعلاه؛ وذلك من أجل تقليل انعكاس الضوء المرئي وبالتالي زيادة نفاذية الضوء المرئي (مثل؛ الضوء الذي له طول موجي يتراوح من حوالي 86؛- Yer نانو متر و/ أو 456- Tov ٠ نانو متر) خلال الطبقة المغلّفة وإلى شبه الموصل (*) مما يؤدي إلى زيادة قدرة الخرج للوحدة الفلطائية الضوئية النمطية. وباستمرار الإشارة إلى شكل ١؛ فإن الإلكترود الأمامي متعدد الطبقات )7( في النموذج التمثيلي المبين في شكل ١ حيث تم تقديمه لأغراض التمثيل فقط وليس لأغراض الحصر والتقييد؛ يشتمل؛ بدءاً من الركيزة الزجاجية )١( وعند الاتجاه للخارج؛ على طبقة أكسيد موصلة منفذة (TCO) أو ٠ طبقة عازلة أولى (؟أ)؛ طبقة أولى معدنية بشكل أساسي عاكسة للأشعة تحت الحمراء TR وموصلة (”ب)؛ طبقة TCO ثانية (؟ج)؛ طبقة ثانية معدنية بشكل أساسي عاكسة للأشعة IR ومنفذة (a7) طبقة TCO ثالثة (aT) وطبقة واقية اختيارية (؟و). واختيارياً» يمكن أن تكون الطبقة (؟أ) عبارة عن طبقة عازلة بدلاً من طبقة TCO وذلك في بعض الحالات وتعمل كطبقة نواة للطبقة (؟ب). وهذا الغشاء متعدد الطبقات )7( هو الذي يكوّن الالكترود الأمامي في بعض النماذج التمثلية لهذا ve الاختراع. وبطبيعة (Jl يمكن إزالة بعض طبقات الالكترود (Y) في بعض النماذج التمثيلية البديلة لهذا الاختراع (مثلاً. يمكن إزالة واحدة أو أكثر من الطبقات ؟أء و/ أو اج و/ أو اد و/ أو كه ٠ كما يمكن أيضاً توفير طبقات إضافية في الالكترود متعدد الطبقات (7) ٠ ويمكن أن يكون الالكترود الأمامي (©) ممتداً بشكل متصل عبر الركيزة الزجاجية )١( بأكملها أو جزء كبير منهاء أو بدلاً من ذلك يمكن تشكيله بنمط معين ليكون له تصميم مرغوب فيه (مثل؛ شرائح)؛ وذلك في ا
VE
؟) منفذة إلى حدٍ كبير -١( نماذج تمثيلية مختلفة لهذا الاختراع. وتكون كل من الطبقات/ الأغشية في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع.
IR ويمكن أن يتم تصنيع كل من الطبقتين المعدنيتين بشكل أساسي والعاكستين للأشعة أو يمكن أن تشتملان على أية مادة مناسبة عاكسة للأشعة af والموصلتين الأولى والثانية "ب و وهذا IR مثل الفضة؛ الذهب؛ أو ما شابه ذلك. وهذه المواد تعكس كميات كبيرة من الأشعة 18 ٠ التي تصل إلى غشاء شبه الموصل (*). وحيث أن 18 تزيد من حرارة IR يؤدي إلى خفض كمية فإن تقليل كمية الأشعة 18 التي تصل إلى غشاء شبه الموصل © يكون مفيداً من حيث Sled الضوئية النمطية مما يؤدي إلى زيادة قدرة الخرج AU من درجة حرارة تشغيل الوحدة J أنه للوحدة الفلطائية الضوئية النمطية. وعلاوة على هذاء فإن الطبيعة عالية الموصلية لمثل هذه الطبقات المعدنية بشكل أساسي (ب) و/ أو )2%( تمكن من زيادة موصلة الالكترود الإجمالي ٠ وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ يكون للالكترود متعدد الطبقات )1( مقاومة لوحية ٠ (0) أوم/ مربع؛ والأفضل أقل من أو تساوي حوالي 4 أوم/ مربع؛ ١١ أقل من أو تساوي حوالي والأفضل من ذلك أقل من أو تساوي حوالي 3 أوم/ مربع. ومرة ثانية؛ فإن زيادة الموصلية (وهذا يعني أيضاً تقليل المقاومة اللوحية) تؤدي إلى زيادة قدرة الخرج الإجمالية للوحدة الفلطائية الضوئية النمطية؛ وذلك عن طريق تقليل الفقودات بسبب المقاومة في الاتجاه الجانبي الذي يراد فيه التحكم ١١ التيار عند حافة قطع الخلية. وتجدر الإشارة إلى أن الطبقتين الأولى والثانية المعدنيتين بشكل )3 أساسي العاكستين للأشعة 18 والموصلتين (”ب) و )37( (وكذلك الطبقات الأخرى للالكترود تكون رقيقة بدرجة كافية بحيث تكون منفذة بدرجة كبيرة للضوء المرئي. وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ يتراوح سمك كل من الطبقتين الأولى والثانية المعدنيتين بشكل أساسي العاكستين عنم
للأشعة IR والموصلتين (2F) و )7( من حوالي ؟ إلى ١١ نانو متر؛ والأفضل من حوالي ه إلى ٠١ نانو مترء والأكثر تفضيلاً من حوالي © إلى A نانو متر. وفي النماذج التي لا يتم فيها استخدام واحدة من الطبقتين "ب أو oY فإن سمك الطبقة المتبقية المعدنية بشكل أساسي العاكسة للأشعة IR والموصلة يمكن أن يتراوح من حوالي 7 إلى ١8 نانو مترء والأفضل من حوالي © إلى ١١ نانو مترء والأكثر تفضيلاً من حوالي ١ إلى ١١ نانو متر وذلك في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع. وهذه الأسماك (جمع (els تكون مرغوبة من حيث أنها تسمح للطبقتين "ب و/ أو “د بعكس كمية كبيرة من الأشعة IR بينما في الوقت نفسه تكون منفذة إلى حدٍ كبير للإشعاع المرئي الذي يسمح له بالوصول إلى شبه الموصل © لكي يقوم الجهاز SUB الضوئي بتحويله إلى طاقة كهربية. وتسهم الطبقتين )7( و (؟د) العاكستين للأشعة TR وعاليتي الموصلية في ٠ الموصلية الإجمالية للالكترود (3) بدرجة أكبر كثيراً من طبقات 100؛ وهذا يسمح بتوسيع نافذة (نوافذ) المعالجة لطبقة (طبقات) TCO التي تتمتع بمساحة نافذة محدودة لتحقيق كل من الموصلية والنفاذية المرتفعة. ويمكن أن تكون طبقات TCO الأولى؛ والثانية؛ والثالثةء Jv "جء cal على الترتيب؛ من أية sale TCO مناسبة بما في ذلك على سبيل المثال لا الحصرء؛ الصور الموصلة من أكسيد الزنك؛ أكسيد ١٠ زنك — ألومينيوم ٠ أكسيد القصدير؛ أكسيد إنديوم- قصدير؛ أكسيد إنديوم - زنك (حيث يمكن معالجتها بالإشابه بالفضة)؛ أو ما شابه ذلك. وهذه الطبقات تكون نمطياً ذات كميات فرعية متكافئة وذلك لجعلها موصلة وفقاً لما هو معروف في المجال. على سبيل المثال؛ يتم تصنيع هذه الطبقات من مادة (مواد) تكسبها مقاومة لا تزيد عن حوالي ٠١ أوم - سم ls) لأفضل 2 تزيد عن حوالي ١ أوم - سم؛ والأكثر تفضيلاً إلا تزيد عن حوالي ٠١ أوم - سم). ويمكن معالجة واحدة أو أكثر من ا
V1
هذه الطبقات بالإشابة بمواد أخرى Jie الفلور؛ الألومينيوم؛ الأنتيمون؛ أو ما شابه ely وذلك في بعض الحالات التمثيلية؛ طالما أنها تظل موصلة ومنفذة بدرجة كبيرة للضوء المرئي. وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ تكون طبقتا TCO (7ج) و/ أو "ه أكثر سمكاً من الطبقة (IY) ie) أكثر Caw بحوالي © نانو متر على الأقل؛ والأفضل حوالي ٠١ على الأقل؛ والأكثر
© تفضيلاً حوالي Ye أو 70 نانو متر على الأقل). وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع» يتراوح سمك طبقة (IF) TCO من حوالي 7 إلى Ae نانو مترء والأفضل من حوالي ٠١ نانو مترء حيث يكون لها سمك تمثيلي يبلغ حوالي ٠١ نانو متر. ويتم توفير الطبقة الاختيارية (؟أ) بشكل أساسي كطبقة نواة للطبقة (oF) و/ أو للأغراض المضادة للانعكاس؛ ولا تمثل موصليتها أهمية مثل موصلية الطبقات AT - OF (ولهذاء فإن الطبقة ؟أ يمكن أن تكون عازلة بدلاً من أن تكون طبقة
0٠ 100 في بعض النماذج التمثيلية). وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ يتراوح سمك طبقة TCO (7ج) من حوالي ٠ إلى حوالي ١٠5١ نانومتر؛ والأفضل من حوالي Ee إلى ١٠١ نانو «Je حيث يكون لها سمك تمثيلي حوالي VO - VE نانو متر. وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ يكون لطبقة (aT) TCO سمك يتراوح من حوالي 7١0 إلى ١8١ نانو مترء والأفضل من حوالي ٠ إلى ٠ نانو مترء حيث يكون لها سمك تمثيلي حوالي 44 أو ١١١ نانو متر. وفي
No بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع» يكون لجزء من الطبقة (؟ ه) سمك؛ Sle يتراوح من حوالي gli Yo -١ متر أو YO m0 نانو «fie وذلك عن الوصلة بين الطبقتين (aT) و )0( وقد يتم استبداله بغشاء منخفض الموصلية ذي معامل انكسار (n) كبير )57( مثل أكسيد تيتانيوم من أجل تعزيز نفاذية الضوء وكذلك تقليل انتشار حاملات الشحنة الكهربية المتولدة للخلف؛ وبهذه الطريقة
يمكن تحسين الأداء بشكل أفضل.
Yaya
0
وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ يمكن تصنيع الجهاز SUR الضوئي عن طريق توفير ركيزة زجاجية (١)؛ ثم ترسيب Sli) عن طريق الرشرشة أو أي سلوب آخر مناسب) الالكترود متعدد الطبقات (3) على الركيزة (1). وبعد ذلك يتم إقران البنية المشتملة على الركيزة )1( والالكترود الأمامي (3) مع بقية الجهاز من أجل تكوين الجهاز SUA الضوئي المبين في شكل .١ ١ على سبيل المثال؛ يمكن بعدئذٍ تكوين الطبقة شبه الموصلة )2( فوق الالكترود الأمامي على الركيزة .١ وبدلاً من ذلك؛ يمكن تصنيع/ تشكيل الملامس الخلفي (V) وشبه الموصل )0( على الركيزة ١١ (مثلاًء من الزجاج أو أية مادة مناسبة أخرى) أولاً؛ ثم يتم تشكيل الالكترود (3) والطبقة
العازلة (Y) على شبه الموصل )0( وكبسلته بواسطة الركيزة ١ بواسطة sale لاصقة EVA Jie كما أن الطبيعة المختلفة لطبقات fff TCO و/ أو 7ج؛ و/ أو ؟ aa والطبقتين المعدنيتين بشكل ٠ أساسي العاكستين للأشعة IR والموصلتين ب و/ أو oF تفيد Lad في تحقيق واحدة؛ أو اثنتين؛ أو ثلاث؛ أو أربع؛ أو جميع الفوائد الآتية: (أ) مقاومة لوحية (Ry) منخفضة للالكترود الإجمالي ؟ ومن ثم زيادة الموصلية وتحسين قدرة الخرج الإجمالية لوحدة فلطائية ضوئية نمطية؛ (ب) زيادة انعكاس الأشعة تحت الحمراء (IR) بواسطة الالكترود © وبالتالي تقليل درجة حرارة تشغيل جزء شبه الموصل 0 للوحدة الفلطائية الضوئية النمطية من أجل زيادة قدرة الخرج للوحدة النمطية؛ (ج) تقليل ٠ انعكاس و/ أو زيادة انتقال الضوء في المنطقة المرئية التي تتراوح من £00 - 700 نانو متر (و/ أو -+٠ 100 نانومتر) بواسطة الالكترود الأمامي © وهذا يؤدي إلى زيادة قدرة الخرج للوحدة القلطائية الضوئية النمطية؛ (د) تقليل السمك الإجمالي لمادة تغليف الإلكترود الأمامي © مما يمكن من تقليل تكاليف و/ أو زمن التصنيع؛ و/ أو (ه) تحسين أو توسيع نافذة المعالجة عند تشكيل طبقة (طبقات) اذ TCO وذلك بسبب انخفاض تأثير موصلية طبقات ال TCO على الخواص
ا الكهربية الإجمالية للوحدة النمطية بمعلومية وجود طبقة (طبقات) معدنية بشكل أساسي موصلة إلى حدٍ كبير. ويمكن أن تشتمل منطقة شبه الموصل النشطة أو الغشاء شبه الموصل النشط (5) على طبقة واحدة أو أكثر؛ ويمكن أن تكون من أية مادة مناسبة. على سبيل المثال؛ يشتمل غشاء شبه 0 الموصل النشط )0( لأحد أنواع الأجهزة الفلطائية الضوئية المزودة بسيليكون غير متبلر ذي وصلة أحادية (5-ه)؛ على ثلاث طبقات من أشباه الموصلات؛ وتحديداً هي طبقة - op طبقة — on طبقة - 1. ويمكن أن تشكل طبقة a-Si من النوع - م لغشاء شبه الموصل )0( الجزء الأعلى من غشاء شبه الموصل (9) في بعض النماذج hall لهذا الاختراع؛ ونمطياً تتواجد الطبقة - 1 بين الطبقتين النوعين م و on ويمكن أن تكون هذه الطبقات التي أساسها سيليكون غير متبلر للغشاء ٠ (*) مصنعة من سيليكون غير متبلر مهدرج في بعض الحالات؛ ولكن يمكن أن تصنع أيضاً أو يمكن أن تشتمل على كربون سيليكون غير متبلر مهدرج أو جيرمانيوم سيليكون غير متبلر مهدرج؛ أو سيليكون دقيق البلورات مهدرج؛ أو مادة (مواد) مناسبة أخرى في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع. ويمكن أن تكون المنطقة النشطة ذات وصلة مزدوجة أو من النوع ثلاثي الوصلات؛ وذلك في نماذج بديلة لهذا الاختراع. كما يمكن استخدام 0078 لتصنيع غشاء شبه الموصل )2( ve وذلك في نماذج بديلة لهذا الاختراع. ويمكن تصنيع الملامس و/ أو العاكس؛ و/ أو الالكترود الخلفي ١ من أية مادة مناسبة موصلة للكهرباء. على سبيل المثال لا الحصرء يمكن تصنيع الملامس أو الإلكترود الخلفي (V) من TCO و/ أو من معدن في بعض الحالات. وتشتمل أمثلة مواد 100 المناسبة للاستخدام كملامس أو إلكترود خلفي (V) على أكسيد إنديوم = زنك؛ أكسيد إنديوم - قصدير (ITO) أكسيد قصدير؛ و/ نب
أو أكسيد زنك حيث يمكن إشابته بالألومينيوم (حيث يمكن أن تتم إشابته أو لا تتم إشابته بالفضة).
ويمكن أن يكون الملامس الخلفي (V) من النوع أحادي الطبقة أو من نوع متعدد الطبقات في
حالات مختلفة. وعلاوة على هذا؛ يمكن أن يشتمل الملامس الخلفي (V) على JS من جزء TCO
وجزء معدني في بعض الحالات. على سبيل المثال؛ في مثال لنموذج متعدد الطبقات؛ يمكن أن
٠ يشتمل جزء TCO للملامس الخلفي (V) على طبقة من مادة مثل أكسيد إنديوم - زنك (حيث تكون
مُشابَّة أو غير مُشابة بالفضة)؛ أكسدي إنديوم - قصدير (ITO) أكسيد قصدير؛ و/ أو أكسيد
زنك؛ أقرب ما يكون من المنطقة النشطة )0( ويمكن أن يشتمل الملامس الخلفي على طبقة
موصلة أخرى ومن الممكن أن تكون عاكسة من مادة مثل mill الموليبدنيوم؛ البلاتينيوم؛
الصلب؛ الحديد؛ النيوبيوم؛ التيتانيوم؛ cag SIH البيزموث؛ الأنتيمون؛ أو الألومينيوم؛ أبعد ما يكون
٠ عن المنطقة النشطة )0( وأقرب إلى الطبقة الفوقية .)١١( ويمكن أن يكون الجزء المعدني أقرب إلى الطبقة الفوقية )١١( مقارنة بالجزء TCO للملامس الخلفي (7).
ويمكن كبسلة الوحدة الفلطائية الضوئية النمطية أو تغطيتها جزئياً بمادة كبسلة مثل مادة الكبسلة
(9) في بعض النماذج التمثلية. وتتمثل sale كبسلة تمثيلية أو sale لاصقة للطبقة (9) في EVA
أو 8. ومع ذلك؛ يمكن استخدام مواد أخرى مثل بلاستيك من نوع «16018؛ بلاستيك من نوع
Nuvasil ٠ بلاستيك من نوع Tefzel أو ما als ذلك للطبقة (9) في الحالات المختلفة.
ويسمح استخدام الطبقتين المعدنيتين بشكل أساسي والعاكستين للأشعة 18 والموصلتين بدرجة كبيرة
"ب و oF وطبقات TCO ؟أ؛ oz و a لتكوين إلكترود أمامي متعدد الطبقات oT) بتحسين
أداء الجهاز القلطائي الضوئي المشتمل على غشاء رقيق وذلك عن طريق خفض المقاومة اللوحية
(وزيادة الموصلية) وأطياف الانعكاس والنفاذ للضوء المخططة حسب الحاجة التي تناسب أفضل
: استجابة للجهاز SURE الضوئي. ولقد تم توضيح معاملات الانكسار للزجاج )5 a-Si المهدرج كمثال لشبه الموصل (*)؛ و Ag كمثال للطبقتين "ب و 0 ومثال لأكسيد TCO في شكل XY Sli على معاملات الانكسار (n) هذه؛ تم توضيح أطياف النفاذية المتوقعة للأشعة التي ترتطم بشبه الموصل )0( من سطح السقوط للركيزة (١)؛ في شكل 3. وتحديداً؛ فإن شكل 3 عبارة عن
0 متحنى يوضح النسبة المئوية للنفاذية (77) مقابل الطول الموجي (نانو متر)؛ حيث يوضح أطياف النفاذية إلى غشاء رقيق مكون من :5 المهدرج )0( لجهاز Sb ضوئي لمقارنة -١ AR) © الخاصة بهذا الاختراع (أنظر الأمثلة -١ © في الأشكال (V =o مقابل مثال مقارن TCO) مرجعي). ولقد تم تصنيع TCO المشار إليه كمرجع من ركيزة زجاجية )١( سمكها 3 cae وامتداداً للخارج بدءاً من الزجاج؛ نجد طبقة أكسيد قصدير سمكها © نانو مترء وطبقة أكسيد سيليكون
٠ سمكها ٠١ نانو مترء وطبقة TCO سمكها +79 نانو متر. وبالتالي فإن شكل 7 يظهر أن الأمثلة الخاصة بهذا الاختراع (الأمثلة -١ ؟ المبينة في الأشكال (V m0 قد زادت من النفاذية في مدى الأطوال الموجية من 496- 600 و 90؛- 100 نانو متر وهذا أدي إلى زيادة قدرة الخرج للوحدة
الفلطائية الضوئية النمطية؛ مقارنة بالمثال المقارن TCO) المرجعي).
ولقد تم تصنيع مثال ١ المبين في شكل 0 والموضح Lily في الأشكال ؟- 4 من ركيزة زجاجية
)١( ٠ سمكها ¥ مم؛ وطبقة عازلة )¥( من TiO; سمكها ١١ نانو jie « وطبقة TCO عبارة عن أكسيد زنك سمكها ٠١ نانو متر مُشابة ب اه (؟أ)؛ وطبقة Ag )1( عاكسة للأشعة 18 A Sale نانو «jie وطبقة TCO عبارة عن أكسيد زنك سمكها ١١١5 نانو متر مُشابة ب (AT) Al ولم تتواجد الطبقات af af و ؟ و في مثال .١ وتم تصنيع المثال 7 المبين في شكل 1 والموضح بيانياً في الأشكال =F 4 من ركيزة زجاجية )١( سمكها © مم؛ وطبقة عازلة (7) من TIO; سمكها
١ نانو مترء وطبقة TCO عبارة عن أكسيد زنك سمكها ٠١ نانو متر le ب اه )7( وطبقة
Ag )7( عاكسة للأشعة IR سسُمكها A نانو «jie وطبقة TCO عبارة عن أكسيد زنك سمكها
٠ نانو متر مُشابة ب له (7ه)؛ وطبقة )57( من شبه أكسيد تيتانيوم سمكها Ye نانو متر. وتم تصنيع المثال ؟ المبين في شكل V والموضح بيانياً في الأشكال = 4 من ركيزة زجاجية )١(
0 سمكها ؟ cpa وطبقة عازلة (Y) سمكها £0 نانو «jie وطبقة TCO من أكسيد زنك سمكها ٠١ نانو jie مُشابة ب oF) Al وطبقة (OF) Ag عاكسة للأشعة IR سمكها © نائنو fie ¢ وطبقة TCO من أكسيد زنك سمكها Vo نانو jie مشابة ب AL (7ج)؛ وطبقة (oF) Ag عاكسة للأشعة
IR سمكها 7 نانو fe ¢ وطبقة (؟و) من شبه أكسيد تيتانيوم سمكها ٠١ نانو متر. وكان لطبقات التغليف هذه المحتوية على طبقة فضة أحادية أو طبقتي فضة المستخدمة في الأمثلة ov
٠ مقاومة لوحية أقل من fash ٠١ مربع و 3 أوم/ مربع؛ على الترتيب؛ وكان لها سمك إجمالي أقل كثيراً من السمك الذي يبلغ 40860 pl متر المستخدم في الفن السابق. وكان للأمثلة -١ 3 أطياف نفاذية مخططة حسب الحاجة؛ كما هو مبين في شكل © ذات نفاذية تزيد من 780 إلى شبه الموصل (5) في جزء أو في كل مدى الطول الموجي الذي يتراوح من حوالي mgr 00 نانو متر و/ أو 5+6؛- ١56ل نانو مترء حيث كان ل 241.5 أقوى شدة ويمكن أن يكون للأجهزة
ve الفلطائية الضوئية أعلى أو lef كفاءة ES إلى حدٍ كبير.
وفي الوقت نفسه؛ فإن شكل 4 عبارة عن منحنى يبين النسبة المئوية للانعكاس (TR) مقابل الطول الموجي (نانو متر) حيث يوضح أطياف الانعكاس من على غشاء رقيق من Si المهدرج لجهاز فلطائي ضوئي لمقارنة بالأمثلة -١ © بالمثال المقارن السابق ذكره؛ وهذا يوضح أن الأمثلة -١ 3+ قد زادت من الانعكاس في مدى ال 18 مما يقلل من درجة حرارة تشغيل الوحدة الفلطائية الضوئية
A
النمطية مما يؤدي إلى زيادة خرج الوحدة النمطية؛ مقارنة بالمثال المقارن. وفي شكل 4؛ فإن انخفاض الانعكاس في المدى المرئي الذي يتراوح من m0 hia 100 نانو متر و/ أو 56؛- sb ٠ متر (مدى الكفاءة المرتفعة للخلية) يقترن بشكل مفيد بزيادة الانعكاس في مدى IR القريب والقصير الذي يزيد عن حوالي ٠ نانو متر؛ وتؤدي زيادة الانعكاس في مدى IR ٠ القريب والقصير إلى تقليل امتصاص الطاقة الحرارية الشمسية مما يؤدي إلى تحسين خرج الخلية وذلك بسبب انخفاض درجة حرارة الخلية والمقاومات الموصلة على التوالي في الوحدة. وكما هو مبين في شكل cf فإن DIS من الركيزة الزجاجية الأمامية )1( والالكترود الأمامي (3) مجتمعين يكون لهما درجة انعكاسية تبلغ حوالي 745 على الأقل (والأفضل حوالي 755 على الأقل) في جزء كبير إلى حدٍ ما أو في معظم مدى الطول الموجي القريب إلى القصير للأشعة 18 الذي يتراوح ٠ .من حوالي 000-٠٠١ نانو متر و/ أو ٠00١ إلى 77086 نانو متر. وفي بعض النماذج التمثيلية؛ فإنهما يعكسان ٠ 7.9 على الأقل من الطاقة الشميبة في المدى من eee = 79060 نانو متر و/ أو ١700 - 7300 نانو متر. وفي بعض النماذج Aa يكون للركيزة الزجاجية الأمامية والالكترود الأمامي )7( مجتمعين درجة انعكاسية للأشعة IR تبلغ حوالي 745 على الأقل و/ أو Too على الأقل في جزء كبير إلى حدٍ ما أو في معظم مدى الطول الموجي القريب للأشعة ٠ 18 الذي يتراوح من حوالي 0-٠٠٠١ 72.60 نانو مترء؛ ويمكن من YY er - ١0٠059 نانو متر. وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يمكنهما حجب ٠ 79 على الأقل من الطاقة الشمسية في المدى من -٠ 70.60 نانو متر. ّ| لخ
YY
وفي حين أنه يتم استخدام الالكترود (©) كالكترود أمامي في جهاز فُلطائي ضوئي في بعض النماذج التمثيلية لهذا الاختراع التي تم وصفها وتوضيحها في هذا الطلب؛ )3 أنه يمكن أيضاً استخدام الالكترود (3) كالكترود Led AT يتعلق بجهاز فُلطائي ضوئي أو ADA شكل A عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فلطائي ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر لهذا ٠ الاختراع. ويمكن توفير طبقة اختيارية (١أ) مضادة للانعكاس (AR) على الركيزة الزجاجية الأمامية )١( في أي من نماذج هذا الاختراع؛ وفقاً لما هو مشار إليه على سبيل المثال بالطبقة (الطبقات) AR (١أ) المبينة في شكل A (على سبيل المثال؛ أنظر أيضاً الأشكال 4- .)٠١ ويشتمل الجهاز SUL الضوئي في شكل A على BS) زجاجية (١)؛ طبقة (طبقات) عازلة (7) SY) مصنعة من أو تشتمل على واحد أو أكثر من بين أكسيد سيليكون؛ أوكسي نيتريد سيليكون؛ نيتريد سيليكون» ٠ أكسيد تيتانيوم؛ أكسيد نيوبيوم؛ و/ أو ما شابه ذلك) حيث يمكن أن تعمل كحاجز للصوديوم لمنع الصوديوم من التحرك خارجاً من الركيزة الزجاجية الأمامية (١)؛ والطبقة النواة Si) (wt) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير أنتيمون؛ أكسيد إنديوم زنك؛ أو ما شابه ذلك) حيث يمكن أن تكون طبقة TCO أو طبقة عازلة في نماذج تمثيلية مختلفة؛ وطبقة (؛ ج) عاكسة للأشعة 18 أساسها dad) وطبقة تغطية علوية أو ١ طبقة تلامس (af) اختيارية Oli) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد Ni و/ أو (Cr أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أو ما شابه ذلك) حيث يمكن أن تكون طبقة (TCO وطبقة TCO (4ه) Sl) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد زنك أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير أنتيمون؛ أكسيد إنديوم قصديرء أكسيد إنديوم زنك» أو ما شابه ذلك)؛ طبقة واقية اختيارية؛ و Si) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير YA
AR
أنتيمون؛ أكسيد إنديوم قصدير؛ أكسيد إنديوم زنك؛ أو ما شابه ذلك) حيث يمكن أن تكون موصلة أو ما شابه ذلك)؛ وملامس؛ و/ أو a-Si وشبه الموصل )©( (مثل؛ ع005/007؛ the إلى حدٍ و/ أو الكترود خلفي اختياري (7)؛ وطبقة لاصقة اختيارية (4)» وركيزة زجاجية خلفية cole هي (ot) وتجدر الإشارة إلى أنه في بعض النماذج التمثيلية؛ يمكن أن تكون الطبقة .١١ اختيارية هي نفسها الطبقة (gf) التي سبق وصفها أعلاه؛ ويمكن أن تكون الطبقة (IV) نفسها الطبقة ٠ على الأشكال 4- ١٠)؛ ويمكن أن Lad أو )37( التي سبق وصفها أعلاه؛ (وهذا ينطبق (<7) تكون الطبقة (؛و) هي نفسها الطبقة (و) التي سبق وصفها أعلاه (وهذا ينطبق أيضاً على (أنظر الوصف المتقدم أعلاه لشرح النماذج الأخرى في هذا الخصوص). (Ve -8 الأشكال أيضاً أعلاه فيما يتعلق بالنماذج ١١ و 9 67 8 ٠ وبالمتل؛ فإنه قد سبق مناقشة الطبقات الأخرى. ٠ كما يلي (لاحظ أن بعض الطبقات A سيتم تقديم مثال لنموذج شكل dads ولأغراض التمثيل بالإشارة إلى (JE) لم يتم استخدامها في هذا المثال). على سبيل A ا لاختيارية المبينة في شكل
Sie) (Y) وطبقة عازلة (po TY سمكها حوالي Sia) )١( تم استخدام ركيزة زجاجية A شكل نانو متر ويمكن أن تليها طبقة *110 عازلة بسمك حوالي ٠١ أوكسي نيتريد سيليكون بسمك حوالي أو أكسيد زنك TCO نواة (كب) (مثل؛ طبقة عازلة أو طبقة أكسيد زنك Ag وطبقة (Jie نانو ٠١ ١ (؟ ج) (من الفضة بسمك يتراوح 18 Aas نانو متر)؛ وطبقة عاكسة ٠١ ألومينيوم بسمك حوالي (؛ه) (مثل؛ طبقة أكسيد زنك؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد TCO من حوالي ©- 8 نانو متر)؛ طبقة -٠٠١ نانو متر) والأفضل من حوالي 790 -8 ٠ موصلة بسمك يتراوح من ITO زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد TCO نانو متر)؛ وطبقة واقية موصلة اختيارية (؛و) (أكسيد زنك ٠٠
Yor A
vo | زنك ألومينيوم (ITO أو ما شابه ذلك؛ بسمك يتراوح من حوالي ©٠ -٠١ نانو متر). وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يتم تصميم الطبقة الواقية و (أو ؟و) بحيث يكون لها معامل انكسار («) يتراوح من حوالي 1,١ إلى 7,4؛ والأفضل من حوالي AYO 7,75؛ حيث يتوافق معامل الانكسار إلى حدٍ بعيد مع شبه الموصل )0( (مثل؛ CS أو ما شابه ذلك) من أجل تحسين كفاءة الجهاز.
A مقاومة لوحية لا تزيد عن حوالي A الضوئي المبين في شكل SUE ويمكن أن يكون للجهاز ٠ ١“ والأفضل ألا تزيد عن حوالي 10 أوم/ مربع؛ والأفضل من ذلك ألا تزيد عن حوالي cee أوم/ مربع في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع. وعلاوة على هذاء يمكن أن يكون للنموذج [as] المبين في شكل 8« أطياف نفاذية مخططة حسب الحاجة تتميز بنفاذية أكبر من 7850 إلى شبه الموصل (*) في جزء من مدى الطول الموجي أو كل مدى الطول الموجي الذي يتراوح من حوالي
٠ 00-4860 نانو متر و/ أو ٠؛- Yew نانو مترء حيث 811.5 يمكن أن يكون لها أشد كثافة
وفي بعض الحالات التمثيلية يكون للخلية أعلى كفاءة كمي <ة أو الأعلى إلى حدٍ كبير.
| شكل 4 عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فلطائي ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر أيضاً لهذا الاختراع. ويشتمل الجهاز SUB الضوئي للنموذج المبين في شكل 9 على طبقة (AR) اختيارية مضادة للانعكاس (١أ) على جانب سقوط الضوء للركيزة الزجاجية الأمامية (١)؛ وطبقة عازلة أولى
٠ (؟)» وطبقة عازلة ثانية oY) وطبقة Ale ثالثة (ج) حيث يمكن أن تعمل اختيارياً كطبقة نواة Arias Se) من أو تشتمل على أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير أنتيمون ٠ أكسيد إنديوم زنك؛ أو ما شابه ذلك) للطبقة التي أساسها الفضة (؛ ج)؛ وطبقة موصلة عاكسة للأشعة تحت الحمراء TR أساسها الفضة (؛ ج)؛ وطبقة تغطية علوية أو طبقة تلامس (؛د) اختيارية (مثلاً؛ مصنعة من أو تشتمل على أكسيد Ni و/ أو (Cr أكسيد زنك؛ أكسيد زنك
ا
A
ألومينيوم؛ أو ما شابه ذلك) حيث يمكن أن تكون TCO أو عازلة؛ وطبقة Si) (41) RCO تشتمل على طبقة واحدة أو ie JS تصنع من أو تشتمل على أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير أنتيمون؛ أكسيد زنك قصدير؛ أكسيد إنديوم قصدير» أكسيد إنديوم زنك؛ أو ما شابه ذلك)؛ وطبقة واقية اختيارية (؛و) Sie) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير أنتيمون؛ أكسيد زنك قصدير؛ أكسيد إنديوم قصدير؛ أكسيد إنديوم زنك؛ أو ما شابه ذلك) حيث يمكن أن تكون موصلة إلى حدٍ le وشبه الموصل () Sia) طبقة واحدة أو أكثر Jin 008/0078؛ a-Si أو ما شابه ذلك)؛ وملامس» و/ أو عاكس؛ و/ أو الكترود (V) خلفي اختياري؛ وطبقة لاصقة اختيارية (9)؛ وركيزة زجاجية خلفية اختيارية .)١١( ويمكن أن يشتمل غشاء شبه الموصل (*) على بنية شبه موصل pin أو pn ٠ أحادية؛ أو بنية شبه موصل مزدوجة في نماذج مختلفة لهذا الاختراع. ويمكن أن يكون شبه الموصل oe Ble أو يمكن أن يشتمل على؛ سيليكون في بعض الحالات التمثيلية. وفي نماذج تمثيلية أخرى» يمكن أن يشتمل غشاء شبه الموصل )0( على طبقة أولى مصنعة من أو تشتمل على (Jie) CdS طبقة نافذة) مجاورة أو قريبة من الطبقة (الطبقات) (a2) و/ أو )5%( وطبقة شبه موصل ثانية مصنعة من أو تشتمل على 0078 (مثل؛ طبقة ماصة رئيسية) مجاورة أو قريبة من .7 الالكترود أو الملامس الخلفي ve وبالإشارة إلى نموذج شكل 9 (ونموذج SE ١٠)؛ في بعض النماذج التمثيلية؛ يتم استخدام طبقة عازلة أولى )11( ذات معامل انكسار («) منخفض نسبياً Se) « تتراوح من حوالي ١,7 إلى (XY والأفضل من حوالي 8 إلى X,Y والأفضل من ذلك من حوالي ٠,98 إلى 7١١ والأكثر تفضيلاً من حوالي ؟ إلى 1,08)» وطبقة عازلة ثانية (كب) ذات معامل انكسار )0( كبير نسبياً ل
ب (مقارنة بالطبقة Se) (IT) « تتراوح من حوالي 1,7 إلى 1.3 والأفضل من حوالي 1.3 إلى oT, والأكثر تفضيلاً من حوالي 1,35 إلى 7,45)؛ وطبقة عازلة ثالثة (7ج) ذات معامل انكسار (n) منخفض نسبياً (مقارنة بالطبقة Sie) (oF « تتراوح من حوالي ٠,8 إلى X,Y والأفضل من حوالي ٠,56 إلى (YY والأكثر تفضيلاً من حوالي 7 إلى 7,05). وفي بعض النماذج ALE يمكن تصنيع الطبقة العازلة الأولى (IY) ذات معامل الانكسار المنخفض من؛ أو يمكن أن تشتمل le نيتريد سيليكون؛ أوكسي نيتريد سيليكون؛ أو أية مادة أخرى مناسبة؛ ويمكن تصنيع الطبقة العازلة الثانية ("ب) ذات معامل الانكسار المرتفع من؛ أو يمكن أن تشتمل (le أكسيد تيتانيوم THO, (ie) أو ما شابه ذلك)؛ ويمكن تصنيع الطبقة العازلة الثالثة (7ج) من؛ أو يمكن أن تشتمل على؛ أكسيد زنك أو أية مادة أخرى مناسبة. وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يتم دمج الطبقات ؟أ- ٠ 7ج لتكوين طبقة مجمعة ذات معامل انكسار جيد متوافق وتعمل أيضاً كطبقة واقية ضد ارتحال الصوديوم من الزجاج .)١( وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يتراوح سمك الطبقة العازلة الأولى (؟أ) من حوالي ©- Te نانو مترء والأفضل من حوالي Yo -٠١ نانو مترء ويتراوح سمك الطبقة العازلة الثانية (ب) من حوالي *- Te نانو متر؛ والأفضل من حوالي ٠١ -٠١ نانو مترء وتكون الطبقة العازلة الثالثة (7ج) أقل Kau ويتراوح سمكها من حوالي sl Ye oF مترء 0 والأفضل من حوالي Ne =o نانو مترء والأكثر تفضيلاً من حوالي 7- ١4 نائو متر. وفي حين تكون الطبقات JY "بء و "ج عازلة في بعض نماذج هذا الاختراع؛ فإن واحدة أو اثنتين أو جميع هذه الطبقات الثلاث قد تكون عازلة أو TCO في بعض النماذج التمثيلية الأخرى لهذا الاختراع. وتكون الطبقتان (ب) و (7ج) Ble عن أكاسيد معدنية في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع؛ في حين تكون الطبقة (IY) عبارة عن أكسيد معدني أو نيتريد معدني؛ أو نيتريد سيليكون ل
YA
في بعض الحالات التمثيلية. ويمكن ترسيب الطبقات ؟أ - ١ج عن طريق الرش أو أي أسلوب al مناسب. وبالإشارة أيضاً إلى نموذج شكل 9 (ونماذج شكلي ٠١ - ١1)؛ يمكن أن تكون طبقة (طبقات) 0 (؛ه) مصنعة من أو يمكن أن تشتمل على TCO مناسب ويشمل على سبيل المثال لا الحصر؛ على أكسيد زنك؛ و/ أو أكسيد زنك ألومينيوم؛ و/ أو أكسيد قصدير؛ و/ أو ما شابه ذلك. ويمكن أن تشتمل طبقة TCO أو صف TCO (؛ه) على عدة طبقات في بعض الحالات التمثيلية. وعلى سبيل المثال؛ في بعض الحالات؛ تشتمل طبقة TCO )8( على طبقة أولى من أكسيد معدني 0 أول (Jie) أكسيد زنك) قريبة من طبقة Ag ) ج)؛ وطبقة التغطية العلوية Ag (؟د)؛ وطبقة ثانية من أكسيد معدني TCO (مثل؛ أكسيد قصدير) قريبة من طبقة التلامس )58( و/ أو )0( sabes ٠ التمثيل فقط؛ سيتم توضيح مثال لنموذج شكل 9 كما يلي. على سبيل JE بالإشارة إلى شكل 9؛ تم استخدام ركيزة زجاجية )١( (مثل؛ زجاج سائب بسمك حوالي 3,7 مم؛ ومعامل انكساره («) حوالي 1,0( وطبقة عازلة أولى (IY) (مثل نيتريد سيلكون بسمك حوالي ١5 نانو مترء ذات معامل انكسار («) حوالي 07 ,.7)؛ وطبقة عازلة ثانية )2( (مثل. أكسيد 71 Jie ض TiO, أو مادة مكافئة مناسبة أخرىء بسمك حوالي ١١ نانو مترء وذات معامل انكسار (n) حوالي 4 وسمكها حوالي (Al أكسيد زنك؛ من الممكن إشابته ب (Jia) وطبقة عازلة ثالثة (7ج) »)1,50 ٠ ج) (من الفضة 4( TR نانو متر؛ وذات معامل انكسار («) حوالي 7.07)؛ وطبقة عاكسة للأشعة نانو متر)؛ وطبقة تغطية علوية تشتمل على الفضة ١ بسمك يتراوح من 70 + نانو متر؛ مثل؛ متر حيث يمكن أن تكون أو لا تكون SLY -١ (؛د) مصنعة من ,100:0 بسمك يتراوح من متدرجة الأكسدة؛ وغشاء . 10©0(؛ه) (مثل؛ أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ و/ أو أكسيد
Ya
قصدير؛ موصل؛ بسمك يتراوح من ١5١ -٠١ نانو متر)؛ وغشاء شبه موصل )0( يشتمل على طبقة أولى من 005 Dia) حوالي 7١ نانو متر) أقرب ما يكون إلى الركيزة )1( وطبقة ثانية من CdTe أبعد ما يكون عن الركيزة (١)؛ وملامس أو إلكترود خلفي oY) وطبقة لاصقة اختيارية
)9(¢ وركيزة اختيارية AY ٠ ويمكن أن يكون للجهاز SUB الضوئي المبين في شكل 4 (و/ أو شكلي )١١ - ٠١ مقاومة لوحية لا تزيد عن حوالي VA أوم/ مربع؛ والأفضل ألا تزيد عن ١5 أوم/ مربع؛ والأفضل من ذلك أل تزيد عن ١١ أوم/ مربع في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع. وعلاوة على هذاء يمكن أن يكون لنموذج شكل 9 (و/ أو شكل )٠١ أطياف نفاذية مخططة حسب الحاجة ذات نفاذية تزيد عن ٠ في شبه الموصل (*) في جزء من أو في كل مدى الطول الموجي الذي يتراوح من جوالي
48460٠ 1.0 نانو متر و/ أو 5+6؛- Vee نانو مترء حيث يمكن أن يكون ل 111.5م أشد كثافة.
وشكل Ble ٠١ عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فلطائي ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر أيضاً لهذا الاختراع. ونموذج شكل ٠١ مشابه تماماً لنموذج شكل 9 الذي سبقت مناقشته أعلاه؛ باستثناء غشاء TCO (؛ه). في نموذج شكل Vo يشتمل غشاء TCO (؛ه) على طبقة أولى (a8) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد معدني TCO أول (مثل؛ أسيد زنك؛ حيث يمكن أن يكون أو لا ٠ يكون مُشاباً ب له أو ما شابه ذلك) مجاورة وملامسة للطبقة (؛د)؛ وطبقة ثائية )702( من أكسيد معدني TCO ثانٍ (مثل؛ أكسيد قصدير) مجاورة وملامسة للطبقة (؛و) و/ أو )0( ie) يمكن حذف الطبقة (؛و)؛ كما في النماذج السابقة). وتكون الطبقة (at) أكثر سمكاً إلى حدٍ كبير من الطبقة )28( في بعض النماذج التمثيلية. وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يكون لطبقة TCO الأولى (؛ه) مقاومية أثل من طبقة TCO الثانية (Cat) وفي بعض النماذج التمثيلية. يمكن أن تكون
. طبقة (a8) (AY) TCO عبارة عن أكسيد زنك؛ أكسيد زنك مُشاب ب Al أو ATO حيث يتراوح سمكها من ١٠5١-70 نانو Sia) ie حوالي ٠١١ نانو متر) وتكون ذات مقاومية لا تزيد عن حوالي ١ أوم. سم؛ ويمكن أن تكون طبقة TCO الثانية (Fat) مصنعة من أكسيد قصدير ويتراوح سمكها من حوالي 9٠ -٠١ نانو متر Se) حوالي "٠ نانو متر) وتكون ذات مقاومية تتراوح من ٠ حوالي ٠٠١ -٠١ أوم. سم؛ ومن الممكن أن تتراوح من حوالي ٠٠١ -١ أوم. سم. وتكون طبقة (ag) JY TCO أكثر سمكاً وأعلى موصلية عن طبقة TCO الثانية (Ft) في بعض النماذج lined وهذا يكون مفيداً حيث أن الطبقة (a8) تكون أقرب للطبقة (؟ج) الموصلة التي أساسها Ag وهذا يؤدي إلى تحسين كفاءة الجهاز Salil الضوئي. وعلاوة على هذاء فإن هذا التصميم يعتبر متميزاً من حيث أن 008 للغشاء (*) يلتصق أو يلتحم جيداً بأكسيد القصدير الذي يمكن أن ٠ يستخدم في الطبقة (Fat) أو يمكن أن تصنع منه. ويمكن ترسيب طبقتي TCO 4ه و/ أو (fat) عن طريق الرش أو بأي أسلوب مناسب آخر. وفي بعض الحالات lial يمكن أن تكون الطبقة 0 الأولى (؛ه) مصنعة من أو تشتمل على ITO (أكسيد إنديوم قصدير) بدلاً من أكسيد الزنك. وفي بعض الحالات التمثيلية؛ يمكن أن يشتمل أكسيد 170 للطبقة 4ه على حوالي 796 10» 71١ 80» أو بدلاً من ذلك حوالي dn Joe مد 5 Sn lov ويكون استخدام ثلاث طبقات عازلة على الأقل مثل ؟أ- 2Y مفيداً من حيث أنه يمكن خفض الانعكاسات مما يؤدي إلى الحصول على جهاز lab ضوئي أكثر كفاءة. وعلاوة على هذاء يمكن أن تكون طبقة التغطية العلوية كد (Sie) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد Ni و/ أو (Cr متدرجة الأكسدة؛ بشكل مستمر أو غير مستمر؛ في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع. وتحديداً من
يمكن تصميم الطبقة ؛د بحيث تكون معدنية بدرجة أكبر (أقل أكسدة) عند موضع فيها أقرب ولقد وجد (Ag عند موضع فيها أبعد عن الطبقة )08( التي أساسها Ag للطبقة )21( التي أساسها أن هذا يكون مفيداً بالنسبة لأغراض الثبات الحراري من حيث أن طبقة التغليف لا تتحل بدرجة كبيرة أثناء المعالجة ذات درجة الحرارة المرتفعة إلى حدٍ كبير التي يمكن أن تصاحب عملية تصنيع الضوئي أو أية عملية أخرى. SER الجهاز ١ وفي بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع» وجد بشكل مثير للاهتمام أن أي سمك يتراوح من حوالي نانو متر)؛ Ee نانو متر (مثل؛ ١50 IF نانو مترء والأفضل من حوالي VTL IY
TCO في هذا المدى. وبالنسبة لأغشية Tse (؛ه) يكون مفيداً من حيث أن قمم ال TCO لغشاء ال
TCO تقل بما يصل إلى حوالي 71,5 حتى تصل إلى أدناها عند سمك Tse الأرق؛ فإن قمم ال
TCO نانو مترء فإنها تزداد ثانية حتى الوصول إلى غشاء Te من Jil وعند jie نانو ٠١ حوالي ٠ نانو متر) فإنها تصبح جذابة؛ Ve -٠١ نانو متر (والأفضل YO -١١ (؛ه) بسمك يتراوح من ولكن طبقات التغليف هذه قد لا تكون مرغوبة في بعض الحالات التمثيلية غير الحصرية. ولهذاء للحصول على خفض في شدة تيار دائرة قصر للأجهزة القلطائية الضوئية المشتملة على (؛ه) بسمك في المدى TCO في بعض الحالات التمثيلية؛ فإنه قد يتم توفير غشاء ال 08/05
You SAF نانو متر أو ١10-١7١ 5؟ نانو مترء أو في المدى من حوالي -١١ من حوالي ١ نانو متر. عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز فلطائي ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر أيضاً ١١ وشكل التي سبقت مناقشتها أعلاه؛ ١١ - 4 مشابه تماماً لنماذج شكلي ١١ لهذا الاختراع. ونموذج شكل
Sab عبارة عن منظر لمقطع عرضي لجهاز ١١ باستثناء الاختلافات المبينة في الشكل. شكل 8.١
YY
ضوئي وفقاً لنموذج تمثيلي آخر أيضاً لهذا الاختراع. يمكن أن يشتمل الجهاز الفلطائي الضوئي المبين في شكل ١١ على: طبقة اختيارية مضادة للانعكاس (AR) (١أ) على جانب سقوط الضوء للركيزة الزجاجية الأمامية ١؛ طبقة عازلة أولى ("أ) مصنعة من أو تشتمل على واحد أو أكثر من بين نيتريد سيليكون (مثل؛ SING أو مكافئ كيميائي مناسب آخر)؛ أوكسي نيتريد سيليكون؛ أكسيد 0 سيليكون (مثل؛ SiO أو مكافئ كيميائي مناسب آخر)؛ و/ أو أكسيد قصدير (مثل؛ 500,2 أو مكافئ كيميائي مناسب آخر)؛ طبقة عازلة ثانية (IF) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد تيتانيوم (مثل؛ TIO; أو مكافئ كيميائي مناسب آخر) و/ أو أكسيد نيوبيوم؛ طبقة تالثة ("ج) (يمكن أن تكون عازلة أو طبقة (TCO حيث يمكن أن تعمل اختيارياً كطبقة نواة (Jia) طبقة مصنعة من أو تشتمل على أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم ٠ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير أنتيمون؛ أكسيد إنديوم ٠ زنك» أو ما شابه ذلك) للطبقة التي أساسها الفضة (؟ ج)؛ طبقة تغليف فوقية أو طبقة تلامس ؛د (حيث يمكن أن تكون عازلة أو موصلة) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد من [Ni أو (Cr ¢Ti NiCr أكسيد 71 أكسيد زنك ألومينيوم؛ أو ما شابه ذلك؛ طبقة TCO (؛ه) Sia) تشتمل على طبقة واحدة أو أكثر) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد زنك» أكسيد زنك ألومينيوم» أكسيد pad أكسيد قصدير أنتيمون؛ أكسيد زنك قصدير؛ أكسيد إنديوم قصديرء أكسيد إنديوم زنك» و/ ve أو أكسيد زنك جاليوم ألومينيوم؛ طبقة واقية اختيارية )58( يمكن أن تكون TCO في حالات معينة Sli) مصنعة من أو تشتمل على أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد قصدير أنتيمون؛ أكسيد زنك قصدير؛ أكسيد إنديوم قصدير؛ أكسيد إنديوم زنك أكسيد تيتانيوم؛ أو ما شابه ذلك) حيث يمكن أن تكون موصلة إلى حدٍ ما؛ غشاء شبه موصل )0( مصنع من أو يشتمل على طبقة واحدة أو أكثر Jia 008/0078؛ 8-51؛ أو ما شابه ذلك Sli) الغشاء )0( يمكن أن يصنع CdTe وطبقة مصنعة أو تشتمل على of 5%) مجاورة للطبقة CdS من طبقة مصنعة أو تشتمل على ٠
OVA ry لاصقة اختيارية 4 مصنعة من أو تشتمل sale من الألومينيوم أو ما شابه ذلك؛ (V) مجاورة للطبقة وفي بعض النماذج التمثيلية لهذا .١١ وركيزة خلفية زجاجية اختيارية PVB على بوليمر مثل والأفضل من pie نانو ١١ - ٠١ من حوالي IY الاختراع؛ يمكن أن يتراوح سمك الطبقة العازلة نانو مترء 70 -٠١ نانو متر؛ ويمكن أن يتراوح سمك الطبقة "ب من حوالي 8 IY حوالي Yo =o نانو متر ؛ ويمكن أن يتراوح سمك الطبقة "ج من حوالي YA ١ sa والأفضل من ٠ نانو متر (وتكون الطبقة "ج أرق من إحدى الطبقتين ؟أ و Ve m0 والأفضل من حوالي «jie نانو ~0 "ب أو كلتاهما في بعض النماذج التمثيلية)؛ ويمكن أن يتراوح سمك الطبقة ؛ج من حوالي نانو متر؛ ويمكن أن يتراوح سمك الطبقة ؛د من ٠١ -76 نانو مترء والأفضل من حوالي ٠١ إلى ؟ نانو متر؛ ويمكن أن يتراوح سمك ١.69 إلى © نانو مترء والأفضل من حوالي ١.7 حوالي sie نانو ١5١ -75 نانو مترء والأفضل من حوالي ٠٠١ mon (4ه) من حوالي TCO الغشاء ٠ ملي أوم في بعض الحالات التمثيلية؛ ويمكن ٠٠١ ويمكن أن تكون له مقاومة لا تزيد عن حوالي 40-7١0 نانو مترء والأفضل من حوالي 9٠ -٠١ أن يتراوح سمك الطبقة الحاجزة ؛و من حوالي ميجا أوم - سم في بعض الحالات ١ نانو متر ويمكن أن تكون ذات مقاومة لا تزيد عن حوالي الأقرب إلى الشمس ليكون له نمط تكراري ١ التمثبلية. وعلاوة على هذا؛ يمكن تشكيل سطح الزجاج لهذا الاختراع. Adal عن طريق الخدش أو ما شابه ذلك؛ في بعض النماذج Ve
ويمكن أن توفر الطبقة الحاجزة الاختيارية (؛و) توافقاً جوهرياً لمعامل الانكسار بين غشاء شبه الموصل )0( (مثل؛ الجزء Jia (CdS الغشاء TCO (؛ه) في بعض النماذج التمثيلية. من أجل
تحسين النفاذية الإجمالية لأشعة الشمس التي تصل إلى شبه الموصل.
ص وبالإشارة أيضاً إلى نماذج شكل )0 يمكن أن يشتمل غشاء شبه الموصل )0( على بنية شبه موصلة pin أو pn واحدة؛ أو بنية شبه موصلة ترادفية في نماذج مختلفة لهذا الاختراع. ويمكن أن يضع غشاء شبه الموصل )9( أو يشتمل على سيليكون في بعض الحالات التمثيلية. وفي نماذج تمثيلية أخرى؛ يمكن أن يشتمل غشاء شبه الموصل )0( على طبقة أولى مصنعة من أو تشتمل ٠ على CdS (مثل؛ طبقة نافذة) قريبة أو أقرب إلى الطبقة (الطبقات) ؛ه و/ أو ؛و وطبقة شبه موصل ثانية مصنعة من أو تشتمل على CdTe (مثل؛ مادة ماصة رئيسية) قريبة أو أقرب إلى الإلكترود أو الملامس الخلفي 7. وبالإشارة Lad إلى شكل ١٠١ في بعض النماذج التمثيلية؛ يكون للطبقة العازلة الأولى ؟أ معامل انكسار («) منخفض نسبياً (مثلاً؛ « تتراوح من حوالي 1١١ إلى 7,7 والأفضل من حوالي VA ٠ إلى VY والأفضل أيضاً من حوالي 1,49 إلى 1,١ والأكثر تفضيلاً من حوالي ؟ إلى 3,08)؛ ويكون للطبقة العازلة الثانية "ب معامل انكسار («) مرتفع نسبياً (مقارنة بالطبقة ؟أ) n Sa) تتراوح من حوالي 7,؟ إلى V1 والأفضل من حوالي 1,7 إلى (V0 والأكثر تفضيلاً من حوالي 8 إلى 45,)؛ ويمكن على نحو اختياري أن يكون للطبقة العازلة AEE "ج معامل انكسار (n) منخفض نسبياً (مقارنة بالطبقة "ب) Sia) « تتراوح من حوالي ٠,8 إلى 1,7؛ والأفضل من ١٠ حوالي ٠,98 إلى 7,١ والأكثر تفضيلاً من حوالي ؟ إلى 00( وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يتم دمج الطبقات ؟أ- 7١ج لتكوين رصة ذات توافق جيد لمعامل الانكسار للأغراض المضادة للانعكاس وحيث تعمل Lal كطبقة واقية لمنع ارتحال الصوديوم من الزجاج .١ وفي بعض النماذج التمثيلية؛ يتراوح سمك الطبقة العازلة الأولى "أ من حوالي Ve =o نانو متر؛ والأفضل من حوالي Te -٠١ نانو مترء ويتراوح سمك الطبقة العازلة الثانية "ب من حوالي m0 70 نانو مترء Y.\A ve
والأفضل من حوالي Ye -٠١ نانو «ie وتكون الطبقة الثالثة #ج أقل سمكاً ويتراوح سمكها من
حوالي 5١ TT نانو مترء والأفضل من حوالي ©- ١١ نانو مترء والأكثر تفضيلاً من حوالي 7-
VE نانو متر. وفي حين تكون الطبقات JY "بء ؟ج عازلة في بعض نماذج هذا الاختراع؛ فإن
واحدة أو اثنتين أو جميع هذه الطبقات الثلاث قد تكون عازلة أو TCO في بعض النماذج التمثيلية
٠ الأخرى لهذا الاختراع؛ بينما تكون الطبقة ؟أ عبارة عن أكسيد و/ أو نيتريد فلز أو نيتريد سيليكون
في حالات تمثيلية أخرى. ويمكن ترسيب الطبقات ؟أ- 1ج بالرش أو بأية طريقة أخرى مناسبة.
]00+[ وبالإشارة Lad إلى نموذج شكل ١١١ يمكن تصنيع الطبقة (الطبقات) TCO (4ه) أو
يمكن أن تشتمل على أي أكسيد 0 مناسب Le في ذلك على سبيل المثال لا الحصرء؛ أكسيد
زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ و/ أو ما شابه ذلك. ويمكن أن تشتمل طبقة أو غشاء
(af) 100 ٠ على عدة طبقات في بعض الحالات التمثيلية. على سبيل المثال؛ في بعض الحالات؛ تشتمل طبقة ال TCO (؛) على طبقة أولى من أكسيد معدني TCO أول (مثل؛ أكسيد زنك) قريبة
من طبقة Ag (4ج)؛ وطبقة Ag فوقية (4د)؛ وطبقة ثانية من أكسيد معدني TCO ثانٍ (مثل؛ أكسيد قصدير قريبة وملامسة للطبقة (؛و) و/ أو (*). ويمكن أن يكون للجهاز SUE الضوئي المبين في شكل ١١ مقاومة لوحية لا تزيد عن حوالي ١8 أوم/ مربع؛ والأفضل ألا تزيد عن sa
VO ٠ أوم/ مربع؛ والأفضل من ذلك ألا تزيد عن حوالي ١7 أوم/ مربع في بعض النماذج التمثلية لهذا الاختراع. وعلاوة على هذاء يمكن أن يكون للنموذج المبين في شكل ١١ أطياف نفاذية مخططة حسب الحاجة تتميز بنفاذية أكبر من 780 إلى شبه الموصل )0( في جزء من مدى الطول الموجي أو كل مدى الطول الموجي الذي يتراوح من حوالي ٠5؛- 100 نانو متر و/ أو لي
A
يمكن أن يكون لها أشد كثافة؛ في بعض النماذج التمثلية AMIS حيث pie نانو 0١-٠ لهذا الاختراع. في حين قد تم وصف الاختراع فيما يتعلق بما يمكن اعتباره في الوقت الراهن النموذج المفضل والأكثر قابلية للتطبيق العملي NE أنه يجب أن يفهم أن الاختراع لا يقتصر على النموذج الذي تم ٠ الكشف عنه؛ ولكن على العكس؛ تتجه النية لأن يغطي الاختراع مختلف التعديلات والترتيبات المكافئة التي تم تضمينها داخل فحوى ومجال عناصر الحماية المرفقة. ب
Claims (1)
- الام عناصر الحماية -١ ١ جهاز فلطائي ضوئي يشتمل على: Y ركيزة أمامية؛ F طبقة أولى تشتمل على واحد أو أكثر من بين نيتريد سيليكون؛ أكسيد سيليكون؛ أوكسي نيتريد؛ . سيليكون؛ و/ أو أكسيد قصدير؛ 0 طبقة ثائية تشتمل على واحد أو أكثر من بين أكسيد تيتانيوم و/ أو أكسيد نيوبيوم» حيث + تتواجد الطبقة الأولى على الأقل بين الركيزة الأمامية والطبقة الثانية؛ ١ طبقة ثالثة تشتمل على أكسيد زنك و/ أو أكسيد زنك ألومينيوم؛ A طبقة موصلة تشتمل على فضة؛ حيث يتم توفير الطبقة AE على JE) بين الطبقة 4 الموصلة التي تشتمل على الفضة والطبقة الثانية؛ و ٠ غشاء من أكسيد موصل منفذ (TCO) بسماكة تتراوح من حوالي ١5١-١١١ نانومتر و يتم ١ توفير الغشاء بين الطبقة الموصلة التي تشتمل على الفضة وغشاء من أشباه الموصلات ١" للجهاز الفلطائي الضوئي. =F) الجهاز القلطائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم )0 حيث يكون للطبقة الأولى معامل Y انكسار (n) يتراوح من حوالي ٠١7 إلى VY يكون للطبقة الثانية معامل انكسار («) يتراوح " من حوالي oF, YLT وحيث يكون للطبقة الثانية معامل انكسار أكبر من الطبقة الأولى. =F) الجهاز SUN الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ٠؛ حيث يشتمل الغشاء TCO على " واحد أو أكثر من بين أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم ٠ أكسيد قصدير؛ أكسيد إنديوم - " قصديرء أكسيد إنديوم زنك؛ أكسيد قصدير أنتيمون؛ و أكسيد زنك جاليوم ألومينيوم. اYA — -— ١ ؛- الجهاز الفلطائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ١؛ حيث يشتمل أيضاً على طبقة واقبة يتم توفيرها بين الغشاء TCO والغشاء المصنع من أشباه الموصلات. ١ #- الجهاز SUI الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ١ حيث يشتمل الغشاء المصنع من Y أشباه الموصلات على طبقة أولى تشتمل على CdS وطبقة dpb تشتمل على CdTe ١ +- الجهاز القلطائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ٠؛ حيث يشتمل الغشاء TCO على " طبقتين أولى وثانية مصنعتين أو تشتملان على أكاسيد معدنية مختلفة. ١ 7- الجهاز SUB الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ٠ حيث تشتمل الطبقة الثانية على 7 أكسيد تيتانيوم . =A) الجهاز القلطائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ٠؛ حيث تشتمل الطبقة الأولى على واحد أو أكثر من بين أكسيد سيليكون؛ نيتريد سيليكون؛ وأوكسي نيتريد سيليكون. ١ 4- الجهاز الفلطائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ٠؛ حيث يشتمل أيضاً على طبقة وتتلامس معها مباشرة. -٠١ ١ الجهاز LEI ائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ١؛ حيث يتراوح سمك الطبقة " الموصلة المشتملة على الفضة من حوالي © إلى ١١ نانو متر._ 8 7 _— -١١ ١ الجهاز القلطائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ١ حيث يكون للركيزة الأمامية " وجميع طبقات الجهاز SU الضوئي على جانب أمامي للغشاء المصنع من أشباه " الموصلات مجتمعة نسبة انعكاس للأشعة TR تبلغ حوالي 748 على الأقل في جزء كبير إلى 4 حدٍ ما على الأقل من نطاق للطول الموجي للأشعة IR يتراوح من حوالي Yor = Ee 0 ناأنو متر. VY الجهاز الفلطائي الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ١٠ حيث يكون للركيزة الأمامية " وجميع طبقات الجهاز AUB الضوئي على جانب أمامي للغشاء المصنع من أشباه VF الموصلات مجتمعة نسبة انعكاس للأشعة 18 تبلغ حوالي 745 على الأقل معظم نطاق؛ . للطول الموجي للأشعة IR على الأقل يتراوح من حوالي -٠٠٠١ 7900 نانو متر. OY) الجهاز SUN الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ٠؛ حيث يشتمل الغشاء المصنع من " أشباه الموصلات على CdS أو ع0017. ١ 4؟١- الجهاز SUB الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ٠؛ حيث يشتمل الغشاء المصنع من " أشباه الموصلات على a-Si -\e \ الجهاز Salil الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم ١ حيث يشتمل الغشاء TCO Y المذكور على طبقة أولى تشتمل على أكسيد معدني أول وطبقة ثانية تشتمل على أكسيد " معدني ثان؛ ويكون للطبقة الأولى للغشاء TCO مقاومة أقل إلى aa كبير من تلك التي للطبقة ¢ الثانية للغشاء «TCO وحيث تتواجد الطبقة الأولى للغشاء TCO أقرب إلى الركيزة الأمامية منٍ وا0 الطبقة الثانية للغشاء TCOVT) جهاز فلطائي ضوئي يشتمل على:؟" ركيزة أمامية؛Y طبقة أولى تشتمل على واحد أو أكثر من بين نيتريد سيليكون؛ أكسيد سيليكون» أوكسي نيتريد " ميليكون؛ و/ أو أكسيد قصدير؛؛؟ طبقة ثانية تشتمل على واحد أو أكثر من بين أكسيد تيتانيوم و/ أو أكسيد نيوبيوم»؛ حيث 2 تتواجد الطبقة الأولى على الأقل بين الركيزة الأمامية والطبقة الثانية؛1 طبقة ثالثة تشتمل على أكسيد معدني؛Y طبقة موصلة تشتمل على فضة و/ أو ذهب؛ حيث يتم توفير الطبقة الثالثة على الأقل بين A الطبقة الموصلة التي تشتمل على الفضة و/ أو الذهب والطبقة الثانية؛ و4 غشاء من أكسيد موصل منفذ (TCO) بسماكة تتراوح من حوالي 9-١١ ؟ نانومتر و يتم توفير ٠ الغشاء بين الطبقة الموصلة التي تشتمل على الفضة و/ أو الذهب وغشاء من أشباه ١ الموصلات للجهاز الفلطائي الضوئي.-١١7 ١ الجهاز SURED الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم VT حيث يكون للطبقة الأولى " معامل انكسار (n) يتراوح من حوالي ١ إلى 7,7 يكون للطبقة الثانية معامل انكسار (n) TF يتراوح من حوالي YY إلى TT وحيث يكون للطبقة الثانية معامل انكسار أكبر من الطبقة ؛ الأولى.يخVA) الجهاز SEN الضوئي وفقاً لعنصر الحماية OT) حيث يشتمل الغشاء TCO على " واحد أو أكثر من بين أكسيد زنك؛ أكسيد زنك ألومينيوم؛ أكسيد قصدير؛ أكسيد إنديوم - " قصديرء؛ أكسيد إنديوم زنك؛ أكسيد قصدير أنتيمون ٠ و أكسيد زنك جاليوم ألومينيوم . -١١ ١ الجهاز SU الضوئي وفقاً لعنصر الحماية رقم O07 حيث يشتمل Load على طبقة Y واقية يثم توفيرها بين الغشاء TCO والغشاء المصنع من أشباه الموصلات .ع
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/984,092 US20080302414A1 (en) | 2006-11-02 | 2007-11-13 | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SA08290722B1 true SA08290722B1 (ar) | 2012-11-19 |
Family
ID=40639367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SA08290722A SA08290722B1 (ar) | 2007-11-13 | 2008-11-10 | إلكترود أمامي للاستخدام في جهاز ڤٌلطائي ضوئي وطريقة لتصنيعه |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080302414A1 (ar) |
EP (1) | EP2218105A2 (ar) |
BR (1) | BRPI0820070A2 (ar) |
SA (1) | SA08290722B1 (ar) |
WO (1) | WO2009064331A2 (ar) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080105293A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8076571B2 (en) * | 2006-11-02 | 2011-12-13 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US7964788B2 (en) * | 2006-11-02 | 2011-06-21 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8012317B2 (en) | 2006-11-02 | 2011-09-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US8203073B2 (en) * | 2006-11-02 | 2012-06-19 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8334452B2 (en) | 2007-01-08 | 2012-12-18 | Guardian Industries Corp. | Zinc oxide based front electrode doped with yttrium for use in photovoltaic device or the like |
US20080308145A1 (en) * | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Guardian Industries Corp | Front electrode including transparent conductive coating on etched glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US7888594B2 (en) * | 2007-11-20 | 2011-02-15 | Guardian Industries Corp. | Photovoltaic device including front electrode having titanium oxide inclusive layer with high refractive index |
US8501522B2 (en) * | 2008-05-30 | 2013-08-06 | Gtat Corporation | Intermetal stack for use in a photovoltaic cell |
US7915522B2 (en) | 2008-05-30 | 2011-03-29 | Twin Creeks Technologies, Inc. | Asymmetric surface texturing for use in a photovoltaic cell and method of making |
US8022291B2 (en) | 2008-10-15 | 2011-09-20 | Guardian Industries Corp. | Method of making front electrode of photovoltaic device having etched surface and corresponding photovoltaic device |
EP2454755A4 (en) * | 2009-07-13 | 2016-03-30 | First Solar Inc | CONTACT DOPING OF ANTERIOR FACE OF SOLAR CELL |
US20110168252A1 (en) * | 2009-11-05 | 2011-07-14 | Guardian Industries Corp. | Textured coating with etching-blocking layer for thin-film solar cells and/or methods of making the same |
US8502066B2 (en) * | 2009-11-05 | 2013-08-06 | Guardian Industries Corp. | High haze transparent contact including insertion layer for solar cells, and/or method of making the same |
US20110186120A1 (en) * | 2009-11-05 | 2011-08-04 | Guardian Industries Corp. | Textured coating with various feature sizes made by using multiple-agent etchant for thin-film solar cells and/or methods of making the same |
US8257561B2 (en) | 2010-03-30 | 2012-09-04 | Primestar Solar, Inc. | Methods of forming a conductive transparent oxide film layer for use in a cadmium telluride based thin film photovoltaic device |
US20110240115A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | Benyamin Buller | Doped buffer layer |
KR101224282B1 (ko) | 2011-03-04 | 2013-01-21 | 주식회사 엘지화학 | 전도성 구조체 및 이의 제조방법 |
JP6048526B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2016-12-21 | Tdk株式会社 | 透明導電体及びタッチパネル |
JP6601199B2 (ja) | 2015-12-11 | 2019-11-06 | Tdk株式会社 | 透明導電体 |
US9887497B1 (en) * | 2016-06-10 | 2018-02-06 | Amazon Technologies, Inc. | Device connector with reduced electromagnetic noise |
Family Cites Families (99)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL127148C (ar) * | 1963-12-23 | |||
US4155781A (en) * | 1976-09-03 | 1979-05-22 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of manufacturing solar cells, utilizing single-crystal whisker growth |
US4162505A (en) * | 1978-04-24 | 1979-07-24 | Rca Corporation | Inverted amorphous silicon solar cell utilizing cermet layers |
US4163677A (en) * | 1978-04-28 | 1979-08-07 | Rca Corporation | Schottky barrier amorphous silicon solar cell with thin doped region adjacent metal Schottky barrier |
US4213798A (en) * | 1979-04-27 | 1980-07-22 | Rca Corporation | Tellurium schottky barrier contact for amorphous silicon solar cells |
JPS56138701A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-29 | Minolta Camera Co Ltd | Antireflection film |
US4378460A (en) * | 1981-08-31 | 1983-03-29 | Rca Corporation | Metal electrode for amorphous silicon solar cells |
US4554727A (en) * | 1982-08-04 | 1985-11-26 | Exxon Research & Engineering Company | Method for making optically enhanced thin film photovoltaic device using lithography defined random surfaces |
JPS59175166A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-10-03 | Agency Of Ind Science & Technol | アモルファス光電変換素子 |
US4598306A (en) * | 1983-07-28 | 1986-07-01 | Energy Conversion Devices, Inc. | Barrier layer for photovoltaic devices |
US4598396A (en) * | 1984-04-03 | 1986-07-01 | Itt Corporation | Duplex transmission mechanism for digital telephones |
US4689438A (en) * | 1984-10-17 | 1987-08-25 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Photovoltaic device |
JPS61108176A (ja) * | 1984-11-01 | 1986-05-26 | Fuji Electric Co Ltd | 粗面化方法 |
DE3446807A1 (de) * | 1984-12-21 | 1986-07-03 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Duennschichtsolarzelle mit n-i-p-struktur |
US4663495A (en) * | 1985-06-04 | 1987-05-05 | Atlantic Richfield Company | Transparent photovoltaic module |
AU616736B2 (en) * | 1988-03-03 | 1991-11-07 | Asahi Glass Company Limited | Amorphous oxide film and article having such film thereon |
EP0364780B1 (en) * | 1988-09-30 | 1997-03-12 | Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Solar cell with a transparent electrode |
US4940495A (en) * | 1988-12-07 | 1990-07-10 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Photovoltaic device having light transmitting electrically conductive stacked films |
EP0436741B1 (en) * | 1989-08-01 | 1996-06-26 | Asahi Glass Company Ltd. | DC sputtering method and target for producing films based on silicon dioxide |
WO1992007386A1 (en) * | 1990-10-15 | 1992-04-30 | United Solar Systems Corporation | Monolithic solar cell array and method for its manufacture |
DE4126738A1 (de) * | 1990-12-11 | 1992-06-17 | Claussen Nils | Zr0(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-haltiger keramikformkoerper |
US5256858A (en) * | 1991-08-29 | 1993-10-26 | Tomb Richard H | Modular insulation electrically heated building panel with evacuated chambers |
US5230746A (en) * | 1992-03-03 | 1993-07-27 | Amoco Corporation | Photovoltaic device having enhanced rear reflecting contact |
FR2710333B1 (fr) * | 1993-09-23 | 1995-11-10 | Saint Gobain Vitrage Int | Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire et/ou infra-rouge. |
CN1112734C (zh) * | 1993-09-30 | 2003-06-25 | 佳能株式会社 | 具有三层结构表面覆盖材料的太阳能电池组件 |
JP3029178B2 (ja) * | 1994-04-27 | 2000-04-04 | キヤノン株式会社 | 薄膜半導体太陽電池の製造方法 |
GB9500330D0 (en) * | 1995-01-09 | 1995-03-01 | Pilkington Plc | Coatings on glass |
FR2730990B1 (fr) * | 1995-02-23 | 1997-04-04 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent a revetement anti-reflets |
EP0733931B1 (en) * | 1995-03-22 | 2003-08-27 | Toppan Printing Co., Ltd. | Multilayered conductive film, and transparent electrode substrate and liquid crystal device using the same |
FR2734811B1 (fr) * | 1995-06-01 | 1997-07-04 | Saint Gobain Vitrage | Substrats transparents revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire |
CZ297518B6 (cs) * | 1995-09-15 | 2007-01-03 | Rhodia Chimie | Podklad opatřený povlakem, majícím fotokatalytické vlastnosti, zasklívací materiál obsahující uvedený podklad, použití uvedeného podkladu, způsob výroby tohoto podkladu, disperze protento způsob a použití této disperze při uved |
JP3431776B2 (ja) * | 1995-11-13 | 2003-07-28 | シャープ株式会社 | 太陽電池用基板の製造方法および太陽電池用基板加工装置 |
DE19604699C1 (de) * | 1996-02-09 | 1997-11-20 | Ver Glaswerke Gmbh | Wärmedämmendes Schichtsystem für transparente Substrate |
US6433913B1 (en) * | 1996-03-15 | 2002-08-13 | Gentex Corporation | Electro-optic device incorporating a discrete photovoltaic device and method and apparatus for making same |
US6046621A (en) * | 1996-09-30 | 2000-04-04 | Advanced Micro Devices, Inc. | Differential signal generator with dynamic beta ratios |
US6406639B2 (en) * | 1996-11-26 | 2002-06-18 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Method of partially forming oxide layer on glass substrate |
US6123824A (en) * | 1996-12-13 | 2000-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing photo-electricity generating device |
JP3805889B2 (ja) * | 1997-06-20 | 2006-08-09 | 株式会社カネカ | 太陽電池モジュールおよびその製造方法 |
JPH1146006A (ja) * | 1997-07-25 | 1999-02-16 | Canon Inc | 光起電力素子およびその製造方法 |
US6222117B1 (en) * | 1998-01-05 | 2001-04-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Photovoltaic device, manufacturing method of photovoltaic device, photovoltaic device integrated with building material and power-generating apparatus |
US6344608B2 (en) * | 1998-06-30 | 2002-02-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Photovoltaic element |
FR2781062B1 (fr) * | 1998-07-09 | 2002-07-12 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage a proprietes optiques et/ou energetiques electrocommandables |
US6077722A (en) * | 1998-07-14 | 2000-06-20 | Bp Solarex | Producing thin film photovoltaic modules with high integrity interconnects and dual layer contacts |
FR2791147B1 (fr) * | 1999-03-19 | 2002-08-30 | Saint Gobain Vitrage | Dispositif electrochimique du type dispositif electrocommandable a proprietes optiques et/ou energetiques variables |
TW463528B (en) * | 1999-04-05 | 2001-11-11 | Idemitsu Kosan Co | Organic electroluminescence element and their preparation |
NO314525B1 (no) * | 1999-04-22 | 2003-03-31 | Thin Film Electronics Asa | Fremgangsmåte ved fremstillingen av organiske halvledende innretninger i tynnfilm |
US6380480B1 (en) * | 1999-05-18 | 2002-04-30 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd | Photoelectric conversion device and substrate for photoelectric conversion device |
US6187824B1 (en) * | 1999-08-25 | 2001-02-13 | Nyacol Nano Technologies, Inc. | Zinc oxide sol and method of making |
DE19958878B4 (de) * | 1999-12-07 | 2012-01-19 | Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh | Dünnschicht-Solarzelle |
JP4434411B2 (ja) * | 2000-02-16 | 2010-03-17 | 出光興産株式会社 | アクティブ駆動型有機el発光装置およびその製造方法 |
US7267879B2 (en) * | 2001-02-28 | 2007-09-11 | Guardian Industries Corp. | Coated article with silicon oxynitride adjacent glass |
US6576349B2 (en) * | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
US6521883B2 (en) * | 2000-07-18 | 2003-02-18 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Photovoltaic device |
US6784361B2 (en) * | 2000-09-20 | 2004-08-31 | Bp Corporation North America Inc. | Amorphous silicon photovoltaic devices |
JP2002260448A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-09-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 導電膜、その製造方法、それを備えた基板および光電変換装置 |
KR100768176B1 (ko) * | 2001-02-07 | 2007-10-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 광학적 전기적 특성을 지닌 기능성 박막 |
US6774300B2 (en) * | 2001-04-27 | 2004-08-10 | Adrena, Inc. | Apparatus and method for photovoltaic energy production based on internal charge emission in a solid-state heterostructure |
WO2002091483A2 (en) * | 2001-05-08 | 2002-11-14 | Bp Corporation North America Inc. | Improved photovoltaic device |
US6589657B2 (en) * | 2001-08-31 | 2003-07-08 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Anti-reflection coatings and associated methods |
US6936347B2 (en) * | 2001-10-17 | 2005-08-30 | Guardian Industries Corp. | Coated article with high visible transmission and low emissivity |
FR2832706B1 (fr) * | 2001-11-28 | 2004-07-23 | Saint Gobain | Substrat transparent muni d'une electrode |
US6830817B2 (en) * | 2001-12-21 | 2004-12-14 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
US7037869B2 (en) * | 2002-01-28 | 2006-05-02 | Guardian Industries Corp. | Clear glass composition |
US7169722B2 (en) * | 2002-01-28 | 2007-01-30 | Guardian Industries Corp. | Clear glass composition with high visible transmittance |
US6919133B2 (en) * | 2002-03-01 | 2005-07-19 | Cardinal Cg Company | Thin film coating having transparent base layer |
KR100505536B1 (ko) * | 2002-03-27 | 2005-08-04 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 투명한 도전성 박막, 그것의 제조방법, 그것의 제조를위한 소결 타겟, 디스플레이 패널용의 투명한 전기전도성기재, 및 유기 전기루미네선스 디바이스 |
FR2844136B1 (fr) * | 2002-09-03 | 2006-07-28 | Corning Inc | Materiau utilisable dans la fabrication de dispositifs d'affichage lumineux en particulier de diodes electroluminescentes organiques |
FR2844364B1 (fr) * | 2002-09-11 | 2004-12-17 | Saint Gobain | Substrat diffusant |
TW583466B (en) * | 2002-12-09 | 2004-04-11 | Hannstar Display Corp | Structure of liquid crystal display |
TWI232066B (en) * | 2002-12-25 | 2005-05-01 | Au Optronics Corp | Manufacturing method of organic light emitting diode for reducing reflection of external light |
JP4241446B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2009-03-18 | キヤノン株式会社 | 積層型光起電力素子 |
JP5068946B2 (ja) * | 2003-05-13 | 2012-11-07 | 旭硝子株式会社 | 太陽電池用透明導電性基板およびその製造方法 |
US7087309B2 (en) * | 2003-08-22 | 2006-08-08 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under IR reflecting layer and corresponding method |
JP4761706B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2011-08-31 | 京セラ株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
US7700869B2 (en) * | 2005-02-03 | 2010-04-20 | Guardian Industries Corp. | Solar cell low iron patterned glass and method of making same |
US7531239B2 (en) * | 2005-04-06 | 2009-05-12 | Eclipse Energy Systems Inc | Transparent electrode |
US7597964B2 (en) * | 2005-08-02 | 2009-10-06 | Guardian Industries Corp. | Thermally tempered coated article with transparent conductive oxide (TCO) coating |
JP2007067194A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Fujifilm Corp | 有機光電変換素子、および積層型光電変換素子 |
US20070184573A1 (en) * | 2006-02-08 | 2007-08-09 | Guardian Industries Corp., | Method of making a thermally treated coated article with transparent conductive oxide (TCO) coating for use in a semiconductor device |
US20070193624A1 (en) * | 2006-02-23 | 2007-08-23 | Guardian Industries Corp. | Indium zinc oxide based front contact for photovoltaic device and method of making same |
US7557053B2 (en) * | 2006-03-13 | 2009-07-07 | Guardian Industries Corp. | Low iron high transmission float glass for solar cell applications and method of making same |
US8648252B2 (en) * | 2006-03-13 | 2014-02-11 | Guardian Industries Corp. | Solar cell using low iron high transmission glass and corresponding method |
US20080047602A1 (en) * | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Guardian Industries Corp. | Front contact with high-function TCO for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080047603A1 (en) * | 2006-08-24 | 2008-02-28 | Guardian Industries Corp. | Front contact with intermediate layer(s) adjacent thereto for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080178932A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-07-31 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US8203073B2 (en) * | 2006-11-02 | 2012-06-19 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080105299A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode with thin metal film layer and high work-function buffer layer for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080105293A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8012317B2 (en) * | 2006-11-02 | 2011-09-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080105298A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
WO2008063305A2 (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-29 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8076571B2 (en) * | 2006-11-02 | 2011-12-13 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8334452B2 (en) * | 2007-01-08 | 2012-12-18 | Guardian Industries Corp. | Zinc oxide based front electrode doped with yttrium for use in photovoltaic device or the like |
US20080169021A1 (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-17 | Guardian Industries Corp. | Method of making TCO front electrode for use in photovoltaic device or the like |
US20080223430A1 (en) * | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Guardian Industries Corp. | Buffer layer for front electrode structure in photovoltaic device or the like |
US20080223436A1 (en) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Guardian Industries Corp. | Back reflector for use in photovoltaic device |
US7888594B2 (en) * | 2007-11-20 | 2011-02-15 | Guardian Industries Corp. | Photovoltaic device including front electrode having titanium oxide inclusive layer with high refractive index |
US20090194155A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode having etched surface for use in photovoltaic device and method of making same |
US20090194157A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode having etched surface for use in photovoltaic device and method of making same |
-
2007
- 2007-11-13 US US11/984,092 patent/US20080302414A1/en not_active Abandoned
-
2008
- 2008-09-15 WO PCT/US2008/010717 patent/WO2009064331A2/en active Application Filing
- 2008-09-15 EP EP08848619A patent/EP2218105A2/en not_active Withdrawn
- 2008-09-15 BR BRPI0820070A patent/BRPI0820070A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2008-11-10 SA SA08290722A patent/SA08290722B1/ar unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009064331A2 (en) | 2009-05-22 |
EP2218105A2 (en) | 2010-08-18 |
BRPI0820070A2 (pt) | 2019-09-24 |
WO2009064331A3 (en) | 2010-06-24 |
US20080302414A1 (en) | 2008-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SA08290722B1 (ar) | إلكترود أمامي للاستخدام في جهاز ڤٌلطائي ضوئي وطريقة لتصنيعه | |
RU2435250C2 (ru) | Фронтальный контакт с тсо с высокой работой выхода для применения в фотоэлектрическом устройстве и способ его получения | |
RU2413333C2 (ru) | Передний контакт на основе оксида индия-цинка для фотоэлектрического прибора и способ его изготовления | |
US8076571B2 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US8203073B2 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US7964788B2 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US7888594B2 (en) | Photovoltaic device including front electrode having titanium oxide inclusive layer with high refractive index | |
EP2494607B1 (en) | Polarization resistant solar cell | |
US20080105302A1 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US20080105298A1 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US20080047603A1 (en) | Front contact with intermediate layer(s) adjacent thereto for use in photovoltaic device and method of making same | |
US11309445B2 (en) | Thin-film photovoltaic cell series structure and preparation process of thin-film photovoltaic cell series structure | |
US20170162731A1 (en) | Photovoltaic module | |
WO2008063305A2 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
JP5409675B2 (ja) | 薄膜太陽電池およびその製造方法 | |
JPH05145095A (ja) | 光起電力素子 | |
JP5935047B2 (ja) | 太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽電池の製造方法 | |
JP6191995B2 (ja) | 太陽電池モジュール | |
CN115347056A (zh) | 太阳能电池 | |
KR20140007032A (ko) | 박막 태양전지 모듈 | |
WO2014151514A1 (en) | Photovoltaic device with a zinc oxide layer and method of formation |