RU2370471C2 - Мишень, предназначенная для испарения под действием электронного луча, способ ее получения, полученные из мишени тепловой барьер и покрытие, и механическая деталь, имеющая такое покрытие - Google Patents

Мишень, предназначенная для испарения под действием электронного луча, способ ее получения, полученные из мишени тепловой барьер и покрытие, и механическая деталь, имеющая такое покрытие Download PDF

Info

Publication number
RU2370471C2
RU2370471C2 RU2004129632/03A RU2004129632A RU2370471C2 RU 2370471 C2 RU2370471 C2 RU 2370471C2 RU 2004129632/03 A RU2004129632/03 A RU 2004129632/03A RU 2004129632 A RU2004129632 A RU 2004129632A RU 2370471 C2 RU2370471 C2 RU 2370471C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
target
zirconia
mixture
ceramic
electron beam
Prior art date
Application number
RU2004129632/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2004129632A (ru
Inventor
Бертран СЭН-РАМОН (FR)
Бертран СЭН-РАМОН
Андре МАЛИ (FR)
Андре Мали
Кристоф ШАПЮ (FR)
Кристоф ШАПЮ
Изабель ПОРТ (FR)
Изабель ПОРТ
Сириль ДЕЛАЖ (FR)
Сириль ДЕЛАЖ
Original Assignee
Снекма
Снекма Сервис
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Снекма, Снекма Сервис filed Critical Снекма
Publication of RU2004129632A publication Critical patent/RU2004129632A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2370471C2 publication Critical patent/RU2370471C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B38/00—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
    • C04B38/007—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof characterised by the pore distribution, e.g. inhomogeneous distribution of pores
    • C04B38/0074—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof characterised by the pore distribution, e.g. inhomogeneous distribution of pores expressed as porosity percentage
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/486—Fine ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B38/00—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
    • C04B2111/00474—Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00
    • C04B2111/00612—Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00 as one or more layers of a layered structure
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
    • C04B2111/20—Resistance against chemical, physical or biological attack
    • C04B2111/2084—Thermal shock resistance
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
    • C04B2111/20—Resistance against chemical, physical or biological attack
    • C04B2111/28—Fire resistance, i.e. materials resistant to accidental fires or high temperatures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
    • C04B2111/34—Non-shrinking or non-cracking materials
    • C04B2111/343—Crack resistant materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2201/00—Mortars, concrete or artificial stone characterised by specific physical values
    • C04B2201/30—Mortars, concrete or artificial stone characterised by specific physical values for heat transfer properties such as thermal insulation values, e.g. R-values
    • C04B2201/32—Mortars, concrete or artificial stone characterised by specific physical values for heat transfer properties such as thermal insulation values, e.g. R-values for the thermal conductivity, e.g. K-factors
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5409—Particle size related information expressed by specific surface values
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60—Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/604—Pressing at temperatures other than sintering temperatures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/77—Density
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9607—Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9607—Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient
    • C04B2235/9615—Linear firing shrinkage
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T50/00—Aeronautics or air transport
    • Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

Изобретение относится к композитной мишени в форме стержня, образованной из керамических порошков и предназначенной для испарения под действием электронного луча, содержащей диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония. В качестве стабилизатора используют по меньшей мере один элемент из группы оксидов редкоземельных элементов, оксида тантала и оксида ниобия. Мишень отличается тем, что указанный стабилизатор диоксида циркония содержится в молярной концентрации от 2 до 30%, а указанный диоксид циркония более чем на 90% образован моноклинной фазой, при этом она имеет плотность менее 3,9 г/см3, средний диаметр пор d50 менее 2 мкм и пористость от 30 до 50%. Мишень применяется при получении теплового барьера с низкой теплопроводностью и высокими термическим сопротивлением и механической прочностью из керамики, образующейся путем испарения под действием электронного луча. Технический результат изобретения - получение мишени с оптимальными механическими свойствами и термостойкостью. 5 н. и 11 з.п. ф-лы.

Description

Изобретение относится к композитной мишени в форме стержня, образованной из керамических порошков и предназначенной для испарения под действием электронного луча, содержащей диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, а также к способу ее получения.
Настоящее изобретение также относится к реализации теплового барьера с низкой теплопроводностью и высокими термическим сопротивлением и механической прочностью из керамики, образованной путем испарения такой мишени под действием электронного луча.
Изобретение также относится к керамическому покрытию, включающему в себя такой тепловой барьер, и к механической детали из суперсплава, имеющей такое покрытие.
Стремление к повышению коэффициента полезного действия (к.п.д.) газотурбинных двигателей, особенно в области авиации, и снижению расхода топлива и загрязняющих атмосферу выбросов газов и несгоревших компонентов топлива вынуждает исследователей приближаться к стехиометрии в реакции сгорания топлива. Эта ситуация сопровождается повышением температуры газов, выходящих из камеры сгорания в направлении турбины.
Следовательно, необходимо приспосабливать материалы турбины к такому повышению температуры путем усовершенствования способов охлаждения лопаток турбин (полых лопаток) и/или путем улучшения свойств этих материалов в отношении сопротивляемости повышенным температурам. Этот второй путь, в сочетании с использованием суперсплавов на основе никеля и/или кобальта, привел к созданию нескольких технических решений, одно из которых представляет собой нанесение теплоизоляционного покрытия, называемого тепловым барьером.
Это керамическое покрытие позволяет создавать на охлаждаемой детали в постоянном рабочем режиме термический градиент по толщине покрытия, полная амплитуда которого может превышать 200°С в случае покрытия толщиной около 150 мкм. Рабочая температура нижележащего металла, образующего подложку для такого покрытия, снижается соответственно тому градиенту, что приводит к значительным выигрышам в отношении необходимого для охлаждения объема воздуха, срока службы детали и удельного расхода топлива газотурбинным двигателем.
Разумеется, что в целях улучшения свойств теплового барьера, в частности, соединения с подложкой, может быть предусмотрено введение подслоя между подложкой и покрытием. В частности, можно использовать подслой, образованный одним или несколькими алюминидами, включая, в частности, алюминид никеля, и содержащий, в случае необходимости, металл, выбираемый из платины, хрома, палладия, рутения, иридия, осмия, родия, или смесь этих металлов, и/или реакционноспособный элемент, выбираемый из циркония (Zr), гафния (Hf) и иттрия (Y), и/или сплав типа MCrAlY, где М обозначает металл, выбираемый из никеля, кобальта, железа, или смесь этих металлов.
Керамические покрытия обычно наносят на покрываемую деталь либо способом напыления (в частности, плазменного напыления), либо способом физического осаждения (конденсации) из паровой фазы, то есть путем испарения (в частности, способом EB-PVD от англ. «Electron Beam Physical Vapour Deposition», т.е. «физическое осаждение паров электронным лучом», согласно которому покрытие образуется за счет осаждения в испарительной камере под вакуумом при бомбардировке электронами).
В случае напыляемого покрытия нанесение оксида на основе оксида циркония осуществляют способами типа плазменного напыления, что приводит к образованию покрытия, образованного наслоением расплавленных, а затем быстро охлажденных, сплюснутых и уложенных друг на друга при соударении капелек, так что в результате получают неполностью уплотненное покрытие толщиной, составляющей обычно от 50 микрометров до 1 миллиметра.
Покрытие, наносимое физическим осаждением из паровой фазы, и, в частности, путем испарения при бомбардировке электронами представляет собой покрытие, образованное совокупностью столбиков (колонок), направленных по существу перпендикулярно к покрываемой поверхности, с толщиной от 20 до 600 микрометров. Преимущественно, зазор между столбиками позволяет покрытию эффективно компенсировать термомеханические нагрузки, возникающие при температурах эксплуатации вследствие разницы в тепловом расширении относительно подложки из суперсплава, и центробежные механические напряжения при вращении лопаток. Таким образом, получают детали с увеличенными сроками службы в отношении термической усталости при высокой температуре.
Итак, обычно такие тепловые барьеры обеспечивают скачок (прерывистость) в теплопроводности между наружным покрытием механической детали, включающим в себя этот тепловой барьер, и подложкой этого покрытия, представляющей собой основной материал детали.
Обычно отмечают, что тепловые барьеры, создающие значительный скачок в теплопроводности, взамен приводят к опасности значительного отслоения покрытия от подложки или, более конкретно, на границе раздела между подслоем и тепловым барьером из керамики.
В настоящее время стремятся получать такие составы тепловых барьеров, которые обеспечивают стойкость механических деталей вплоть до температуры около 1500°С на поверхности или вплоть до температуры около 1300°С в подложке. Используемые же в настоящее время тепловые барьеры обеспечивают стойкость механических деталей вплоть до температуры около 1200-1300°С на поверхности или 1000-1100°С в подложке.
Известно использование теплового барьера, получаемого из основного материала, образованного диоксидом циркония, который имеет коэффициент расширения, близкий к коэффициенту расширения образующего подложку суперсплава, и довольно низкую удельную теплопроводность.
Настоящее изобретение относится именно к покрытиям того типа, которые получают путем испарения мишени под действием электронного луча. Используемые мишени подвергаются тепловому удару при их облучении электронным лучом, причем этот тепловой удар может приводить к разрушению мишени, в особенности если последняя имеет дефекты и/или неоднородности. Если происходит разрушение мишени, то ее практически нельзя далее использовать, так как она более не позволяет регулярно поставлять материал за счет испарения.
Заявка на Европейский патент ЕР 1055743 относится к материалу, который может быть нанесен путем испарения под действием электронного луча и в котором стремятся компенсировать, по меньшей мере частично, вызываемое тепловым расширением изменение объема материала, которое возникает во время индуцируемого облучением повышения температуры, за счет уменьшения объема на 4%, имеющего место при фазовом переходе от моноклинного диоксида циркония, который превращается в тетрагональный диоксид циркония при повышении температуры от 500 до 1200°С. Говоря более конкретно, "играют" на широком распределении размеров частиц порошка с моноклинной структурой, в случае которого эта компенсация имеет место в довольно широком диапазоне значений температуры.
ЕР 1055743 также предусматривает наличие моноклинного диоксида циркония на уровне от 25 до 90%, а предпочтительно - от 40 до 85%, для улучшения рабочих характеристик по сопротивлению тепловому удару. Это повышенное сопротивление обусловлено, согласно DE 4302167, появлением во время фазового перехода от тетрагональной фазы к моноклинной фазе во время снижения температуры микротрещин, которые способны поглощать энергию теплового удара, таким образом предотвращая распространение трещин и, следовательно, разрушение материала. Согласно ЕР 1055743, вышеуказанная двойная роль моноклинного диоксида циркония позволяет повысить сопротивление тепловым ударам.
Согласно ЕР 1055743, вне указанных диапазонов значений мишени использованы быть не могут. Говоря более конкретно, в случае содержания моноклинной фазы диоксида циркония менее 25% тепловое расширение во время испарения меньше компенсируется за счет уменьшения объема при фазовом переходе, а доля микротрещин является слишком незначительной, что ограничивает сопротивление тепловым ударам. В случае содержания моноклинной фазы диоксида циркония более 90% увеличение объема, вызываемое фазовым переходом от тетрагонального диоксида циркония, который превращается в моноклинный диоксид циркония во время охлаждения, следующего за присущим испарению повышением температуры, является слишком значительным, следствием чего появляются трещины (надрывы или коробления), сильно уменьшающие механическую прочность мишени и ставящие под угрозу ее физическую целостность.
Целью настоящего изобретения является поиск решения, позволяющего получить композитную мишень в форме стержня, образованную из одной или нескольких смесей керамических порошков, содержащих диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, и предназначенную для испарения под действием электронного луча, которое может быть легко осуществлено воспроизводимым образом, приводя к мишени хорошего качества.
Следовательно, целью настоящего изобретения является получение керамической мишени, предназначенной для испарения под действием электронного луча с целью получения осажденного керамического слоя, имеющего такой же состав, что и состав мишени.
Таким образом, согласно настоящему изобретению предлагается композитная мишень в форме стержня, образованная из керамических порошков и предназначенная для испарения под действием электронного луча, содержащая диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, отличающаяся тем, что указанный стабилизатор диоксида циркония содержится в молярной концентрации от 2 до 30%, а указанный диоксид циркония более чем на 90% образован моноклинной фазой.
Действительно, в противоположность основным принципам ЕР 1055743, было неожиданным образом установлено, что содержание моноклинного диоксида циркония более 90% полностью совместимо с искомыми свойствами мишеней в отношении механической прочности при охлаждении и при тепловом ударе.
Согласно настоящему изобретению действительно можно получать мишени с оптимальными для такого применения механическими свойствами, а именно с довольно малой механической прочностью, позволяющей одновременно иметь хорошее сопротивление тепловым ударам и достаточную механическую прочность для обеспечения возможности манипулирования мишенями без их повреждения.
Установлено, что поведение при испарении мишеней, обладающих содержанием моноклинной фазы диоксида циркония выше 90%, менее чувствительно к изменениям других характеристик мишеней, в частности диаметра пор, плотности и степени пористости.
В самом деле, наблюдали, например, что вариации диаметров пор в диапазоне от 0,4 до 1,5 мкм при постоянной плотности или вариации плотностей в диапазоне от 2,8 до 3,3 г/см3 при постоянном диаметре пор приводят к идентичным результатам, которые соответствуют уровню поведения во время нанесения покрытий путем испарения или характеристикам покрытий, получаемым при таком нанесении.
Эти вариации характеристик мишеней могут быть вызваны изменением партий порошков и, следовательно, среднего диаметра и удельной площади поверхности частиц порошка. В самом деле, от одной партии порошка к другой обычно наблюдаются некоторые отклонения в размере частиц или удельной площади поверхности.
Таким образом, благодаря предусматриваемому выбору содержания моноклинной фазы диоксида циркония в мишени выше 90% можно использовать один и тот же способ получения мишеней без модификации параметров изготовления, несмотря на отклонения характеристик используемых порошков.
Предпочтительно, указанный диоксид циркония в мишени более чем на 98% образован моноклинной фазой.
Согласно предпочтительному варианту осуществления указанный стабилизатор содержит по меньшей мере один элемент, принадлежащий к группе, состоящей из оксидов редкоземельных элементов, оксида тантала и оксида ниобия. В данном случае под редкоземельными элементами понимаются лантаноиды (лантан, церий, празеодим, неодим, прометий, самарий, европий, гадолиний, тербий, диспрозий, гольмий, эрбий, туллий, иттербий и лютеций), а также скандий и иттрий.
Предпочтительно, мишень имеет плотность менее 3,9 г/см3, более предпочтительно - от 2,5 до 3,3 г/см3.
Также предпочтительно, когда мишень имеет средний диаметр пор d50 менее 2 мкм (более предпочтительно - от 0,2 до 1,5 мкм, а еще более предпочтительно - от 0,4 до 1,2 мкм) и пористость от 30 до 50%.
Эти два параметра, представляющие собой средний диаметр пор и плотность мишеней, влияют на механическое состояние (прочность) мишеней и их поведение во время испарения, в частности на сопротивление тепловым ударам. Этими факторами можно управлять путем выбора исходных материалов и параметров изготовления.
Настоящее изобретение относится также к мишени, которая имеет изменяющийся (изменяемый) по высоте состав.
Настоящее изобретение относится также к способу получения композитной мишени в форме стержня согласно любому из предыдущих предпочтительных вариантов осуществления, образованной из керамических порошков и предназначенной для испарения под действием электронного луча. Согласно настоящему изобретению способ отличается тем, что он включает в себя следующие стадии:
a) приготовление по меньшей мере первой смеси, имеющей первый состав, из связующего и порошков, содержащих диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, где указанный диоксид циркония более чем на 90%, а предпочтительно - примерно на 100%, образован моноклинной фазой;
b) введение указанной смеси в пресс-форму;
c) прессование смеси в указанной пресс-форме;
d) спекание прессованной смеси при температуре ниже температуры стабилизации рассматриваемой смеси.
Эта температура стабилизации зависит от рассматриваемой системы порошков: обычно она составляет менее 1500°С, предпочтительно - от 900 до 1100°С.
Эта температура спекания должна быть достаточно низкой в целях сохранения содержания моноклинной фазы в мишени на уровне выше 90%, то есть для ограничения стабилизации диоксида циркония, которая сопровождается образованием «мостиков» (т.е. мест спекания) между частицами порошка и вызывает уменьшение сопротивления тепловым ударам.
Использование порошка чистого, т.е. нестабилизированного, диоксида циркония на стадии а) позволяет получать очень разные по составу мишени с меньшей стоимостью. В самом деле, обычно имеются в продаже диоксиды циркония, стабилизированные самыми обычными стабилизаторами, представляющими собой Y2O3, MgO, СаО и СеО2, с фиксированными содержаниями (в частности, с содержанием 3, 4 или 5 мол.% Y2O3 по отношению к количеству ZrO2). Синтез порошков, стабилизированных другими типами стабилизаторов (таких как, например, оксиды редкоземельных элементов) или имеющих особые процентные содержания, является дорогостоящим: его осуществляют либо химическим путем (дорогостоящие предшественники), либо физическим путем (прокаливание смеси, затем измельчение и просеивание для получения желательного гранулометрического состава). Более того, использование смеси или нескольких смесей сырых порошков позволяет управлять химическим составом на всех участках, простирающихся по длине мишени, что позволяет, в случае необходимости, изменять содержание соединения по толщине покрытия. Следовательно, в данном способе при получении композитных мишеней, состоящих из нескольких участков с различными составами, избегают предварительного синтеза множества смесей стабилизированного диоксида циркония.
Указанное связующее предпочтительно представляет собой связующее на водной основе, включая воду, однако оно также может включать в себя органическое связующее, такое как поливиниловый спирт.
Согласно предпочтительному варианту осуществления указанный стабилизатор содержит по меньшей мере один элемент, принадлежащий к группе, состоящей из оксидов редкоземельных элементов, оксида тантала и оксида ниобия. В данном случае под редкоземельными элементами понимаются лантаноиды (лантан, церий, празеодим, неодим, прометий, самарий, европий, гадолиний, тербий, диспрозий, гольмий, эрбий, туллий, иттербий и лютеций), а также скандий и иттрий.
Предпочтительно, указанная стадия а) включает в себя приготовление по меньшей мере одной второй смеси, имеющей второй состав, из связующего и порошков, содержащих диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, где указанный диоксид циркония более чем на 90% образован моноклинной фазой, а стадия b) включает в себя последовательное введение первой смеси и второй смеси, в результате чего получают мишень, имеющую изменяющийся по высоте состав.
Предпочтительно, указанные керамические порошки имеют средний диаметр частиц, составляющий от 5 до 30 мкм, или удельную площадь поверхности, составляющую менее 10 м2/г, предпочтительно - удельную площадь поверхности, составляющую от 3 до 8 м2/г.
Согласно другому варианту осуществления указанные керамические порошки имеют средний диаметр частиц менее 5 мкм, а стадия а) включает в себя подстадию прокаливания порошка перед введением связующего.
Такая стадия прокаливания позволяет доводить размер зерен порошка до величины, составляющей от 5 до 30 мкм.
Настоящее изобретение также относится к тепловому барьеру с низкой теплопроводностью и высокими термическим сопротивлением и механической прочностью из керамики, образованной за счет испарения под действием электронного луча мишени указанного выше типа, отличающемуся тем, что он нанесен на подложку из суперсплава.
Настоящее изобретение также относится к керамическому покрытию, включающему в себя соединительный подслой, первый керамический слой на основе стабилизированного оксидом иттрия диоксида циркония, содержащего оксид иттрия в молярной концентрации от 4 до 12%, и второй керамический слой, образованный тепловым барьером согласно приведенному выше абзацу, причем указанный первый керамический слой расположен между указанным соединительным подслоем и указанным вторым керамическим слоем.
Наконец, настоящее изобретение относится также к механической детали из суперсплава, отличающейся тем, что она имеет керамическое покрытие, включающее в себя тепловой барьер, полученный из мишени указанного типа.
В частности, согласно настоящему изобретению используют следующие предпочтительные варианты осуществления в отношении механической детали:
- она дополнительно имеет соединительный подслой, на который нанесено указанное керамическое покрытие;
- указанный соединительный подслой состоит из сплава, способного образовывать за счет окисления защитный слоя оксида алюминия;
- указанный соединительный подслой состоит из сплава типа MCrAlY, где М обозначает металл, выбираемый из никеля, кобальта, железа, или смесь этих металлов;
- указанный соединительный подслой состоит из алюминида никеля, содержащего, в случае необходимости, металл, выбираемый из платины, хрома, палладия, рутения, иридия, осмия, родия, или смесь этих металлов, и/или реакционноспособный элемент, выбираемый из циркония (Zr), гафния (Hf) и иттрия (Y); и/или
- указанное керамическое покрытие дополнительно включает в себя расположенный на указанном подслое керамический слой на основе стабилизированного оксидом иттрия диоксида циркония, содержащего оксид иттрия в молярной концентрации от 4 до 12%.
Другие преимущества и характерные признаки изобретения следуют из приведенного ниже описания не ограничивающих объема охраны примеров получения мишеней согласно настоящему изобретению.
Пример 1
Мишень получали при следующих условиях:
- смешивали порошок ZrO2 (моноклинный на 100%, средний диаметр частиц d50=25 мкм, а удельная площадь поверхности 1,20 м2/г) и порошок Y2O3 (4 мол.% по отношению к количеству ZrO2, средний диаметр частиц d50=5,16 мкм), причем эти порошки имели чистоту >99,9%;
- добавляли связующее в виде поливинилового спирта в количестве 3,5 мас.%, по отношению к смеси в целом;
- помещали эту смесь в пресс-форму;
- проводили прессование под давлением 100 бар (изостатическое прессование);
- спекали при температуре 1300°С в течение 1 часа.
Полученная таким образом мишень имела плотность 3,27 г/см3, средний диаметр пор d50=2,04 мкм, пористость 44%, содержание моноклинной кристаллической фазы 91,7%, коэффициент теплового расширения 6,8·10-2 и общее уменьшение объема 3,7%.
Однако нанесение покрытия не может быть осуществлено, так как образующий мишень стержень растрескивался после предварительного нагревания до 850°С.
Пример 2
Мишень получали при следующих условиях:
- смешивали порошок ZrO2 (моноклинный на 100%, средний диаметр частиц d50=16,7 мкм и удельная площадь поверхности 4,4 м2/г) и порошок Y2O3 (4 мол.% по отношению к количеству ZrO2, средний диаметр частиц d50=0,99 мкм), причем эти порошки имели чистоту >99,9%;
- добавляли связующее в виде поливинилового спирта в количестве 3,0 мас.%, по отношению к смеси в целом;
- помещали эту смесь в пресс-форму;
- проводили прессование под давлением 1600 бар (изостатическое прессование);
- спекали при температуре 1000°С в течение 1 часа.
Полученная таким образом мишень имела плотность 3,11 г/см3, средний диаметр пор d50=0,75 мкм, пористость 44%, содержание моноклинной кристаллической фазы 100%, коэффициент теплового расширения 0,78·10-2 и общее уменьшение объема 7,4%.
С использованием этого стержня успешно осуществляли нанесение керамического покрытия, образующего тепловой барьер.
Пример 3
Мишень получали при следующих условиях:
- смешивали порошок ZrO2 (моноклинный на 100%, средний диаметр частиц d50=21,8 мкм и удельная площадь поверхности 7,7 м2/г) и порошок Dy2O3 (12 мол.% по отношению к количеству ZrO2, средний диаметр частиц d50=2,97 мкм), причем эти порошки имели чистоту >99,9%;
- добавляли связующее в виде поливинилового спирта в количестве 4,0 мас.%, по отношению к смеси в целом;
- помещали эту смесь в пресс-форму;
- проводили прессование под давлением 1600 бар (изостатическое прессование);
- обжиг при температуре 1000°С в течение 1 часа.
Полученная таким образом мишень имела плотность 3,14 г/см3, средний диаметр пор d50=0,40 мкм, пористость 4 9%, содержание моноклинной кристаллической фазы 95%, коэффициент теплового расширения 0,55·10-2 и общее уменьшение объема 9,5%.
С использованием этого стержня успешно осуществляли нанесение керамического покрытия, образующего тепловой барьер.

Claims (16)

1. Композитная мишень в форме стержня, образованная из керамических порошков и предназначенная для испарения под действием электронного луча, содержащая диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, отличающаяся тем, что указанный стабилизатор диоксида циркония содержится в молярной концентрации от 2 до 30%, тем, что после спекания указанной мишени указанный диоксид циркония в мишени содержит более чем 90% моноклинной фазы, тем, что она имеет плотность менее 3,9 г/см3, тем, что она имеет средний диаметр пор d50 менее 2 мкм, и тем, что она имеет пористость от 30 до 50%.
2. Мишень по п.1, отличающаяся тем, что указанный стабилизатор содержит по меньшей мере один элемент, принадлежащий к группе, состоящей из оксидов редкоземельных элементов, оксида тантала и оксида ниобия.
3. Мишень по п.1, отличающаяся тем, что она имеет изменяющийся по высоте состав.
4. Способ получения композитной мишени в форме стержня по любому из предыдущих пунктов, образованной из керамических порошков и предназначенной для испарения под действием электронного луча, отличающийся тем, что он включает в себя следующие стадии:
а) приготовление по меньшей мере первой смеси, имеющей первый состав, из связующего и порошков, содержащих диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, причем указанный диоксид циркония более чем на 90% образован моноклинной фазой;
b) введение указанной смеси в пресс-форму;
c) прессование смеси в указанной пресс-форме;
d) спекание прессованной смеси при температуре от 900 до 1100°С.
5. Способ получения по п.4, отличающийся тем, что указанный стабилизатор содержит по меньшей мере один элемент, принадлежащий к группе, состоящей из оксидов редкоземельных элементов, оксида тантала и оксида ниобия.
6. Способ получения по п.4 или 5, отличающийся тем, что стадия а) включает в себя приготовление по меньшей мере одной второй смеси, имеющей второй состав, из связующего и порошков, содержащих диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония, причем указанный диоксид циркония более чем на 90% образован моноклинной фазой, а стадия b) включает в себя последовательное введение первой смеси и второй смеси, в результате чего получают мишень, имеющую изменяющийся по высоте состав.
7. Способ получения по п.4, отличающийся тем, что указанные керамические порошки имеют средний диаметр частиц от 5 до 30 мкм.
8. Способ получения по п.4, отличающийся тем, что указанные керамические порошки имеют средний диаметр частиц менее 5 мкм, а стадия а) включает в себя подстадию прокаливания порошка перед введением связующего.
9. Тепловой барьер с низкой теплопроводностью и высокими термическим сопротивлением и механической прочностью из керамики, образованной путем испарения под действием электронного луча мишени по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что он нанесен на подложку из суперсплава.
10. Керамическое покрытие, включающее в себя соединительный подслой, первый керамический слой на основе стабилизированного оксидом иттрия диоксида циркония, содержащего оксид иттрия в молярной концентрации от 4 до 12%, и второй керамический слой, образованный тепловым барьером по п.9, причем указанный первый керамический слой расположен между указанным соединительным подслоем и указанным вторым керамическим слоем.
11. Механическая деталь из суперсплава, отличающаяся тем, что она имеет керамическое покрытие, включающее в себя тепловой барьер, полученный из мишени по любому из пп.1-3.
12. Механическая деталь из суперсплава по п.11, отличающаяся тем, что она дополнительно имеет соединительный подслой, на который нанесено указанное керамическое покрытие.
13. Механическая деталь из суперсплава по п.11 или 12, отличающаяся тем, что указанный соединительный подслой состоит из сплава, способного образовывать за счет окисления защитный слой оксида алюминия.
14. Механическая деталь из суперсплава по п.11, отличающаяся тем, что указанный соединительный подслой состоит из сплава типа MCrAlY, где М обозначает металл, выбранный из никеля, кобальта, железа, или смесь этих металлов.
15. Механическая деталь из суперсплава по п.11, отличающаяся тем, что указанный соединительный подслой состоит из алюминида никеля, содержащего, в случае необходимости, металл, выбранный из платины, хрома, палладия, рутения, иридия, осмия, родия, или смесь этих металлов, и/или реакционноспособный элемент, выбранный из циркония (Zr), гафния (Hf) и иттрия (Y).
16. Механическая деталь из суперсплава по п.11, отличающаяся тем, что указанное керамическое покрытие дополнительно включает в себя расположенный на указанном подслое керамический слой на основе стабилизированного оксидом иттрия диоксида циркония, содержащего оксид иттрия в молярной концентрации от 4 до 12%.
RU2004129632/03A 2003-10-09 2004-10-08 Мишень, предназначенная для испарения под действием электронного луча, способ ее получения, полученные из мишени тепловой барьер и покрытие, и механическая деталь, имеющая такое покрытие RU2370471C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0311812A FR2860790B1 (fr) 2003-10-09 2003-10-09 Cible destinee a etre evaporee sous faisceau d'electrons, son procede de fabrication, barriere thermique et revetement obtenus a partir d'une cible, et piece mecanique comportant un tel revetement
FR0311812 2003-10-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004129632A RU2004129632A (ru) 2006-03-20
RU2370471C2 true RU2370471C2 (ru) 2009-10-20

Family

ID=34307519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004129632/03A RU2370471C2 (ru) 2003-10-09 2004-10-08 Мишень, предназначенная для испарения под действием электронного луча, способ ее получения, полученные из мишени тепловой барьер и покрытие, и механическая деталь, имеющая такое покрытие

Country Status (7)

Country Link
US (3) US7335616B2 (ru)
EP (1) EP1522533B1 (ru)
JP (2) JP4571472B2 (ru)
CA (1) CA2481932C (ru)
DE (1) DE602004026522D1 (ru)
FR (1) FR2860790B1 (ru)
RU (1) RU2370471C2 (ru)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2506247C1 (ru) * 2012-10-05 2014-02-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Способ получения циркониевой керамики
RU2566697C2 (ru) * 2011-04-13 2015-10-27 Роллс-Ройс Корпорейшн Граничный барьерный для диффузии слой, включающий в себя иридий, на металлической подложке
US9689069B2 (en) 2014-03-12 2017-06-27 Rolls-Royce Corporation Coating system including diffusion barrier layer including iridium and oxide layer
RU2624264C2 (ru) * 2011-08-03 2017-07-03 Конинклейке Филипс Н.В. Мишень для диспенсерного катода на основе скандата бария
RU2709069C1 (ru) * 2019-06-03 2019-12-13 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" Способ электронно-лучевого нанесения упрочняющего покрытия на изделия из полимерных материалов

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8208198B2 (en) * 2004-01-14 2012-06-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Catadioptric projection objective
US10242888B2 (en) 2007-04-27 2019-03-26 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing apparatus with a ceramic-comprising surface which exhibits fracture toughness and halogen plasma resistance
US10622194B2 (en) 2007-04-27 2020-04-14 Applied Materials, Inc. Bulk sintered solid solution ceramic which exhibits fracture toughness and halogen plasma resistance
JP5164250B2 (ja) * 2007-06-08 2013-03-21 株式会社Ｉｈｉ 遮熱コーティング部材とその製造方法
EP2194158B1 (en) * 2007-09-27 2015-03-25 Mitsubishi Materials Corporation ZnO VAPOR DEPOSITION MATERIAL AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
EP2166128B1 (de) * 2008-09-19 2011-11-09 Oerlikon Trading AG, Trübbach Verfahren zum Herstellen von Metalloxidschichten durch Funkenverdampfung
KR101850667B1 (ko) 2009-09-25 2018-05-31 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘 입방정계 지르코니아 층의 제조방법
KR101113157B1 (ko) * 2010-01-29 2012-02-13 한국원자력연구원 자기펄스 압축 성형장치를 이용한 산화지르코늄 분말의 성형방법 및 이에 의하여 제조된 산화지르코늄 성형 소결체
JP5477084B2 (ja) * 2010-03-17 2014-04-23 豊田合成株式会社 半導体発光素子およびその製造方法、ランプ、電子機器、機械装置
ITMI20112051A1 (it) * 2011-11-11 2013-05-12 Getters Spa Composizione organico-inorganica per il rilascio in fase vapore di metalli alcalini ed alcalino-terrosi
CN105764872B (zh) * 2013-11-26 2020-08-14 日本碍子株式会社 多孔材料及绝热膜
JP6645012B2 (ja) * 2015-01-29 2020-02-12 日亜化学工業株式会社 蒸着材料
EP3517518A4 (en) 2016-09-20 2020-05-13 Kuraray Noritake Dental Inc. ZIRCONE COMPOSITION, CALCINATED AND SINTERED COMPACT OBJECT, AND PRODUCTION METHOD THEREOF
US11014853B2 (en) 2018-03-07 2021-05-25 Applied Materials, Inc. Y2O3—ZrO2 erosion resistant material for chamber components in plasma environments
JP6630460B1 (ja) * 2019-07-26 2020-01-15 松田産業株式会社 蒸着材料
US20230052915A1 (en) * 2019-12-26 2023-02-16 Kuraray Noritake Dental Inc. Production method for machinable zirconia composite sintered body, raw material composition for machinable zirconia composite sintered body, and machinable zirconia composite pre-sintered body
CN114262861A (zh) * 2021-12-23 2022-04-01 江苏迪丞光电材料有限公司 钇稳定氧化锆旋转靶材的制备方法及不锈钢管固定设备

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4360598A (en) * 1980-03-26 1982-11-23 Ngk Insulators, Ltd. Zirconia ceramics and a method of producing the same
WO1983004247A1 (en) * 1982-06-01 1983-12-08 Commonwealth Scientific And Industrial Research Or Zirconia ceramic materials and method of making same
JPS60190580A (ja) * 1984-03-08 1985-09-28 Hitachi Ltd 遮熱コ−テイング用粉末および遮熱コ−テイング層を有する金属部材
JPS60263356A (ja) * 1984-06-08 1985-12-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学情報記録薄膜の製造方法
US4923830A (en) * 1989-09-18 1990-05-08 Swiss Aluminum Ltd. Ceramic bodies formed from partially stabilized zirconia
US5023217A (en) * 1989-09-18 1991-06-11 Swiss Aluminum Ltd. Ceramic bodies formed from partially stabilized zirconia
DE4302167C1 (de) * 1993-01-27 1994-02-10 Degussa Target aus Zirkoniumdioxid und Verfahren zu seiner Herstellung
JP2607039B2 (ja) * 1993-06-28 1997-05-07 品川白煉瓦株式会社 耐熱被覆用蒸着材及びその製造方法
JPH08217447A (ja) * 1995-02-14 1996-08-27 Toshiba Corp 単斜晶ジルコニアとその製造方法、およびそれを用いたジルコニア部材
JPH1081957A (ja) * 1996-06-13 1998-03-31 Tosoh Corp 蒸着材
DE69700448T2 (de) * 1996-06-13 2000-01-13 Tosoh Corp., Shinnanyo Material zur Gasphasenabscheidung
JP2945935B2 (ja) * 1996-10-01 1999-09-06 松下電工株式会社 ジルコニア系複合セラミック焼結体、及びその製法
US5804131A (en) * 1997-10-07 1998-09-08 Eastman Kodak Company Method of manufacturing a ceramic article
JPH11124687A (ja) * 1997-10-17 1999-05-11 Hitachi Ltd セラミックス被覆耐熱部材及びそれを用いたガスタービン用動翼と静翼並びにガスタービンと複合発電プラントシステム
JP4253855B2 (ja) * 1998-01-23 2009-04-15 東ソー株式会社 蒸着材
EP0987345B1 (en) * 1998-09-18 2004-02-04 General Electric Company Thermal barrier coating system
JP2000327417A (ja) * 1999-05-25 2000-11-28 Tosoh Corp 蒸着材
FR2798654B1 (fr) * 1999-09-16 2001-10-19 Snecma Composition de barriere thermique de faible conductivite thermique, piece mecanique en superalliage protegee par un revetement de ceramique ayant une telle composition, et methode de realisation du revetement de ceramique
FR2814473B1 (fr) 2000-09-25 2003-06-27 Snecma Moteurs Procede de realisation d'un revetement de protection formant barriere thermique avec sous-couche de liaison sur un substrat en superalliage et piece obtenue
FR2838752B1 (fr) 2002-04-22 2005-02-25 Snecma Moteurs Procede de formation d'un revetement ceramique sur un substrat par depot physique en phase vapeur sous faisceau d'electrons
FR2858613B1 (fr) 2003-08-07 2006-12-08 Snecma Moteurs Composition de barriere thermique, piece mecanique en superalliage munie d'un revetement ayant une telle composition, revetement de ceramique, et procede de fabrication du revetement

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2566697C2 (ru) * 2011-04-13 2015-10-27 Роллс-Ройс Корпорейшн Граничный барьерный для диффузии слой, включающий в себя иридий, на металлической подложке
US9719353B2 (en) 2011-04-13 2017-08-01 Rolls-Royce Corporation Interfacial diffusion barrier layer including iridium on a metallic substrate
RU2624264C2 (ru) * 2011-08-03 2017-07-03 Конинклейке Филипс Н.В. Мишень для диспенсерного катода на основе скандата бария
RU2506247C1 (ru) * 2012-10-05 2014-02-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Способ получения циркониевой керамики
US9689069B2 (en) 2014-03-12 2017-06-27 Rolls-Royce Corporation Coating system including diffusion barrier layer including iridium and oxide layer
RU2709069C1 (ru) * 2019-06-03 2019-12-13 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" Способ электронно-лучевого нанесения упрочняющего покрытия на изделия из полимерных материалов

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010209472A (ja) 2010-09-24
RU2004129632A (ru) 2006-03-20
DE602004026522D1 (de) 2010-05-27
JP4571472B2 (ja) 2010-10-27
US20080088067A1 (en) 2008-04-17
EP1522533B1 (fr) 2010-04-14
US7335616B2 (en) 2008-02-26
JP2005133210A (ja) 2005-05-26
US7396592B2 (en) 2008-07-08
CA2481932C (fr) 2012-07-03
FR2860790A1 (fr) 2005-04-15
US7429350B2 (en) 2008-09-30
CA2481932A1 (fr) 2005-04-09
FR2860790B1 (fr) 2006-07-28
EP1522533A1 (fr) 2005-04-13
US20080090100A1 (en) 2008-04-17
US20070237971A1 (en) 2007-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2370471C2 (ru) Мишень, предназначенная для испарения под действием электронного луча, способ ее получения, полученные из мишени тепловой барьер и покрытие, и механическая деталь, имеющая такое покрытие
US20210261465A1 (en) Ceramic material for high temperature service
US20080069959A1 (en) Thermal barrier composition, a superalloy machine part provided with a coating having such a composition, a ceramic coating, and a method of fabricating the coating
US6333118B1 (en) Heat barrier composition, a mechanical superalloy article provided with a ceramic coating having such a composition, and a method of making the ceramic coating
JP5893180B2 (ja) 最適化された高温断熱層
EP1621647B1 (en) Dispersion strengthened rare earth stabilized zirconia
EP1484426B1 (en) Sinter resistant abradable thermal barrier coating
RU2325467C2 (ru) Способ получения создающего термический барьер покрытия
CN101768380A (zh) 成分梯度变化的热防护涂层及制备方法
EP2767525B1 (en) Ceramic powders and methods therefor
US7258934B2 (en) Thermal barrier coating and a method of applying such a coating
EP2778250A2 (en) Coating systems and methods therefor
KR20200040231A (ko) 열 분사를 위한 지르코늄 옥사이드 분말
US6312832B1 (en) Low thermal conductivity heat barrier coating, a metal article having such a coating, and a process for depositing the coating
Di Girolamo et al. Microstructure and thermal properties of plasma-sprayed ceramic thermal barrier coatings
US20060121294A1 (en) Low thermal conductivity thermal barrier coating system and method therefor
US12043550B2 (en) CMAS resistant thermal barrier coating system
US20100028549A1 (en) Dispersion Strengthened Rare Earth Stabilized Zirconia
Pasupuleti et al. Thermal fatigue characteristics of 8Y2O3-ZrO2, La2Zr2O7, La2 (Zr0. 7Ce0. 3) 2O7 and La2Ce2O7 thermal barrier coatings in duplex, multilayer functionally graded and multilayer configurations
CN117756520A (zh) 热障陶瓷材料及其制备方法、热障涂层、燃气轮机
JPH0782018A (ja) ジルコニア

Legal Events

Date Code Title Description
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20130703

PD4A Correction of name of patent owner