JP2000327417A - 蒸着材 - Google Patents
蒸着材Info
- Publication number
- JP2000327417A JP2000327417A JP11144897A JP14489799A JP2000327417A JP 2000327417 A JP2000327417 A JP 2000327417A JP 11144897 A JP11144897 A JP 11144897A JP 14489799 A JP14489799 A JP 14489799A JP 2000327417 A JP2000327417 A JP 2000327417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition material
- diameter
- zirconia
- monoclinic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/486—Fine ceramics
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T50/00—Aeronautics or air transport
- Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
- Y10T428/249953—Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
- Y10T428/249955—Void-containing component partially impregnated with adjacent component
- Y10T428/249956—Void-containing component is inorganic
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
- Y10T428/249953—Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
- Y10T428/249986—Void-containing component contains also a solid fiber or solid particle
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
- Y10T428/249953—Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
- Y10T428/249987—With nonvoid component of specified composition
- Y10T428/24999—Inorganic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の目的はＥＢ−ＰＶＤ法によっても十分
に耐熱性および耐熱衝撃性に優れている耐熱性被覆が形
成できる新規な被覆用蒸着材およびその蒸着材を使用す
る蒸着方法を提供することにある。 【解決手段】安定化剤を含むジルコニア焼結体であり、
その焼結体中の単斜晶の含有比率が２５〜９０％であ
り、加熱した際の室温を基準とした熱膨張率の最大値
が、室温から1200℃までの温度範囲内において６×１０
-3を超えないジルコニア焼結体からなり、さらにかさ密
度が３．０〜５．５ｇ／ｃｍ3で、気孔率が５〜５０
％、気孔のモード径が０．３〜１０μｍでありかつ０．
１〜１０μｍの気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占
めることを特徴とするジルコニア焼結体からなる蒸着
材、並びに、その蒸着材を使用する蒸着方法。
に耐熱性および耐熱衝撃性に優れている耐熱性被覆が形
成できる新規な被覆用蒸着材およびその蒸着材を使用す
る蒸着方法を提供することにある。 【解決手段】安定化剤を含むジルコニア焼結体であり、
その焼結体中の単斜晶の含有比率が２５〜９０％であ
り、加熱した際の室温を基準とした熱膨張率の最大値
が、室温から1200℃までの温度範囲内において６×１０
-3を超えないジルコニア焼結体からなり、さらにかさ密
度が３．０〜５．５ｇ／ｃｍ3で、気孔率が５〜５０
％、気孔のモード径が０．３〜１０μｍでありかつ０．
１〜１０μｍの気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占
めることを特徴とするジルコニア焼結体からなる蒸着
材、並びに、その蒸着材を使用する蒸着方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は耐熱性及び耐熱衝撃
性に優れ、安定した溶融プールを形成し、蒸着を行うこ
とができる被覆用蒸着材に関する。
性に優れ、安定した溶融プールを形成し、蒸着を行うこ
とができる被覆用蒸着材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の耐熱性被膜の形成方法は溶射法が
一般的であったが、耐熱性被膜の性能向上の要求に伴っ
てＰｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法（以下ＰＶＤ法と略す）による耐熱性被膜の形成方
法が工業化されている。中でもＥｌｅｃｔｒｏｎ−ｂｅ
ａｍを使用するＥＢ−ＰＶＤ法が注目され文献（ＡＤＶ
ＡＮＣＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬ＆ＰＲＯＣＥＳＳ， Ｖ
ｏｌ．１４０，Ｎｏ．６，Ｎｏ．１２，ｐ．１８〜２２
（１９９１））に記載されているようなＥＢ−ＰＶＤ法
による耐熱性被膜の形成方法が開発されている。
一般的であったが、耐熱性被膜の性能向上の要求に伴っ
てＰｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法（以下ＰＶＤ法と略す）による耐熱性被膜の形成方
法が工業化されている。中でもＥｌｅｃｔｒｏｎ−ｂｅ
ａｍを使用するＥＢ−ＰＶＤ法が注目され文献（ＡＤＶ
ＡＮＣＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬ＆ＰＲＯＣＥＳＳ， Ｖ
ｏｌ．１４０，Ｎｏ．６，Ｎｏ．１２，ｐ．１８〜２２
（１９９１））に記載されているようなＥＢ−ＰＶＤ法
による耐熱性被膜の形成方法が開発されている。
【０００３】上記のＥＢ−ＰＶＤ法による耐熱性被膜の
形成方法は、主に航空機エンジン等の部品に対する耐熱
被覆に使用されている。この被覆材として使用される材
料は、高温の燃焼ガスが直接当たる部分の部品に被覆さ
れるため、優れた耐熱性が必要であり、そのため融点が
高く高純度であることが必要である。また、金属部品と
の密着性、熱サイクルにより剥離しないこと、燃焼ガス
の成分により腐食しないこと、さらにはこの被膜の目的
である金属部品の耐久性を増すために熱伝導度が低く、
金属部品の温度ができるだけ低くなるような材料である
ことが望ましい。これらの要求を満たす材料として、現
在イットリアなどの安定化剤を含有したジルコニアが主
に用いられている。
形成方法は、主に航空機エンジン等の部品に対する耐熱
被覆に使用されている。この被覆材として使用される材
料は、高温の燃焼ガスが直接当たる部分の部品に被覆さ
れるため、優れた耐熱性が必要であり、そのため融点が
高く高純度であることが必要である。また、金属部品と
の密着性、熱サイクルにより剥離しないこと、燃焼ガス
の成分により腐食しないこと、さらにはこの被膜の目的
である金属部品の耐久性を増すために熱伝導度が低く、
金属部品の温度ができるだけ低くなるような材料である
ことが望ましい。これらの要求を満たす材料として、現
在イットリアなどの安定化剤を含有したジルコニアが主
に用いられている。
【０００４】この耐熱性被覆を形成するための、安定化
剤を含有したジルコニア蒸着材は、融点が高く、更に高
速で蒸着皮膜を形成する必要が有ることから、蒸着材を
高エネルギーで蒸発されることのできるエレクトロンビ
ームを用いたＥＢ蒸着方法を用いて製膜に供せられる。
剤を含有したジルコニア蒸着材は、融点が高く、更に高
速で蒸着皮膜を形成する必要が有ることから、蒸着材を
高エネルギーで蒸発されることのできるエレクトロンビ
ームを用いたＥＢ蒸着方法を用いて製膜に供せられる。
【０００５】このＥＢ蒸着法は、ルツボにセットされた
上記蒸着材に高エネルギーの電子ビームを急激に照射す
るため、成形体の特性を制御したものでなければEB照射
時の熱衝撃により破壊を生じる。この蒸着材に破壊が生
じた場合、蒸着材の供給に支障をきたすことになるた
め、電子ビームにより破損する蒸着材は実用上使用に耐
えないものである。
上記蒸着材に高エネルギーの電子ビームを急激に照射す
るため、成形体の特性を制御したものでなければEB照射
時の熱衝撃により破壊を生じる。この蒸着材に破壊が生
じた場合、蒸着材の供給に支障をきたすことになるた
め、電子ビームにより破損する蒸着材は実用上使用に耐
えないものである。
【０００６】そこでこの電子ビームの衝撃による破壊を
解決する手段として、蒸着材を多孔質化して耐熱衝撃性
を向上させることが開示されている。
解決する手段として、蒸着材を多孔質化して耐熱衝撃性
を向上させることが開示されている。
【０００７】例えば、ＤＥ４３０２１６７Ｃ１に、Ｙ2
Ｏ3を０．５〜２５重量％、密度３．０〜４．５ｇ／ｃ
ｍ3、単斜晶率を５〜８０％、残部が正方晶又は立方晶
であるジルコニア焼結体が記載されている。ここではジ
ルコニアが安定化されていない場合、蒸着材製造の熱処
理の際、高温では正方晶で安定であるが、降温時に正方
晶が単斜晶へ相変化をおこし、この相変化に伴ってマイ
クロクラックが発生する。この熱処理により生じる単斜
晶の存在に伴うマイクロクラックの存在により耐割れ性
が向上し、また平均粒径が５０μｍ以下で、０．４μｍ
以上の粒子が９０％以上で１μｍ以上の粒子が５０％以
上と、粒径の大きくすることによっても耐割れ性が向上
することが記載されている。
Ｏ3を０．５〜２５重量％、密度３．０〜４．５ｇ／ｃ
ｍ3、単斜晶率を５〜８０％、残部が正方晶又は立方晶
であるジルコニア焼結体が記載されている。ここではジ
ルコニアが安定化されていない場合、蒸着材製造の熱処
理の際、高温では正方晶で安定であるが、降温時に正方
晶が単斜晶へ相変化をおこし、この相変化に伴ってマイ
クロクラックが発生する。この熱処理により生じる単斜
晶の存在に伴うマイクロクラックの存在により耐割れ性
が向上し、また平均粒径が５０μｍ以下で、０．４μｍ
以上の粒子が９０％以上で１μｍ以上の粒子が５０％以
上と、粒径の大きくすることによっても耐割れ性が向上
することが記載されている。
【０００８】しかしながら単斜晶の働きによるマイクロ
クラックの存在により亀裂の進展が抑制される場合や、
粒径を大きくし耐割れ性を向上させた場合でも、焼結助
剤として働くＹ2Ｏ3とジルコニア粒子の混合および固溶
状態や気孔サイズによってはＥＢ照射時の急激な加熱に
より焼結が急激に進行して、焼結による収縮に伴う応力
に耐えられず破壊を生じてしまうことがある。
クラックの存在により亀裂の進展が抑制される場合や、
粒径を大きくし耐割れ性を向上させた場合でも、焼結助
剤として働くＹ2Ｏ3とジルコニア粒子の混合および固溶
状態や気孔サイズによってはＥＢ照射時の急激な加熱に
より焼結が急激に進行して、焼結による収縮に伴う応力
に耐えられず破壊を生じてしまうことがある。
【０００９】また特開平７−８２０１９に、純度９９．
８％以上、かつ粒径０．１〜１０μｍのジルコニア粒子
と粒径１μｍ以下のイットリア粒子を混合して、全体の
７０％以上が４５〜３００μｍの粒径となるように球状
に造粒した混合粉末を熱処理し、球状集合粒子全体の５
０％以上が４５〜３００μｍとなるジルコニア造粒粒子
を焼結してなる焼結体が記載されており、その焼結体の
気孔率が２５〜５０％で、かつ０．１〜５．０μｍの気
孔径が全気孔の７０％以上を占めるジルコニア質多孔焼
結体からなる耐熱被覆用蒸着材が提案されている。
８％以上、かつ粒径０．１〜１０μｍのジルコニア粒子
と粒径１μｍ以下のイットリア粒子を混合して、全体の
７０％以上が４５〜３００μｍの粒径となるように球状
に造粒した混合粉末を熱処理し、球状集合粒子全体の５
０％以上が４５〜３００μｍとなるジルコニア造粒粒子
を焼結してなる焼結体が記載されており、その焼結体の
気孔率が２５〜５０％で、かつ０．１〜５．０μｍの気
孔径が全気孔の７０％以上を占めるジルコニア質多孔焼
結体からなる耐熱被覆用蒸着材が提案されている。
【００１０】しかしながらこの焼結体は、従来の蒸着材
よりもＥＢ照射による耐割れ性は改善されるが、このジ
ルコニア焼結体は粒子が大きく、その分布も広くまたそ
の形状も不揃いであり蒸着材の微細構造が不均一とな
り、蒸着を行うためＥＢ照射により蒸着材を溶融させる
際に、安定した溶融プールの形成がしにくく、蒸着速度
を上げるためにEBの出力を上げると融液の飛散等が生じ
易くなるという問題があった。
よりもＥＢ照射による耐割れ性は改善されるが、このジ
ルコニア焼結体は粒子が大きく、その分布も広くまたそ
の形状も不揃いであり蒸着材の微細構造が不均一とな
り、蒸着を行うためＥＢ照射により蒸着材を溶融させる
際に、安定した溶融プールの形成がしにくく、蒸着速度
を上げるためにEBの出力を上げると融液の飛散等が生じ
易くなるという問題があった。
【００１１】このようにこれまでに公知の技術では、Ｅ
Ｂ照射時の耐熱衝撃性の改善、EB照射により溶融した溶
融液の突沸現象の防止により、安定した溶融プールの形
成及び蒸発速度の安定性を得るのには不十分であった。
Ｂ照射時の耐熱衝撃性の改善、EB照射により溶融した溶
融液の突沸現象の防止により、安定した溶融プールの形
成及び蒸発速度の安定性を得るのには不十分であった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、これ
ら従来の蒸着材が有する問題点であるＥＢ照射時の耐熱
衝撃性の改善、EB照射により溶融した溶融液の突沸現象
の防止により、安定した溶融プールの形成及び蒸発速度
の安定性を改善した新規な耐熱被覆用蒸着材およびその
蒸着材を使用する蒸着方法を提供するものである。
ら従来の蒸着材が有する問題点であるＥＢ照射時の耐熱
衝撃性の改善、EB照射により溶融した溶融液の突沸現象
の防止により、安定した溶融プールの形成及び蒸発速度
の安定性を改善した新規な耐熱被覆用蒸着材およびその
蒸着材を使用する蒸着方法を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、かかる課
題を解決するために鋭意検討した結果、本願発明に至っ
た。
題を解決するために鋭意検討した結果、本願発明に至っ
た。
【００１４】すなわち、本願発明は安定化剤を含むジル
コニア焼結体であり、その焼結体中の単斜晶の含有比率
が２５〜９０％であり、加熱した際の室温を基準とした
熱膨張率の最大値が、室温から1200℃までの温度範囲内
において６×１０-3を超えないジルコニア焼結体からな
り、ＥＢ照射時の耐衝撃性の改善、EB照射により溶融し
た溶融液の突沸現象の防止により、安定した溶融プール
の形成及び蒸発速度の安定性を改善した新規な耐熱被覆
用蒸着材およびその蒸着材を使用する蒸着方法を提供す
るものである。
コニア焼結体であり、その焼結体中の単斜晶の含有比率
が２５〜９０％であり、加熱した際の室温を基準とした
熱膨張率の最大値が、室温から1200℃までの温度範囲内
において６×１０-3を超えないジルコニア焼結体からな
り、ＥＢ照射時の耐衝撃性の改善、EB照射により溶融し
た溶融液の突沸現象の防止により、安定した溶融プール
の形成及び蒸発速度の安定性を改善した新規な耐熱被覆
用蒸着材およびその蒸着材を使用する蒸着方法を提供す
るものである。
【００１５】更に本発明を詳しく説明する。本発明は安
定化剤を含むジルコニア焼結体であり、その焼結体中の
単斜晶の含有比率が２５〜９０％であり、加熱した際の
室温を基準とした熱膨張率の最大値が、室温から1200℃
までの温度範囲内において６×１０-3を超えないジルコ
ニア焼結体からなることを特徴とする蒸着材であり、よ
り好ましくは上記耐熱被覆用蒸着材はかさ密度が３．０
〜５．５ｇ／ｃｍ3で、気孔率が５〜５０％、気孔のモ
ード径が０．３〜１０μｍでありかつ０．１〜１０μｍ
の気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めることを特
徴とする。
定化剤を含むジルコニア焼結体であり、その焼結体中の
単斜晶の含有比率が２５〜９０％であり、加熱した際の
室温を基準とした熱膨張率の最大値が、室温から1200℃
までの温度範囲内において６×１０-3を超えないジルコ
ニア焼結体からなることを特徴とする蒸着材であり、よ
り好ましくは上記耐熱被覆用蒸着材はかさ密度が３．０
〜５．５ｇ／ｃｍ3で、気孔率が５〜５０％、気孔のモ
ード径が０．３〜１０μｍでありかつ０．１〜１０μｍ
の気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めることを特
徴とする。
【００１６】以下に本発明の特徴点を詳細に説明する。
【００１７】EB照射により蒸着材に亀裂が発生または破
壊が生じる最も大きな原因は、電子ビ−ムの照射により
蒸着材の一部が急激に加熱されそれに伴う熱膨張による
応力である。このため蒸着材の熱膨張率を小さくするこ
とでEB照射時の亀裂、破壊の発生を抑制することができ
る。
壊が生じる最も大きな原因は、電子ビ−ムの照射により
蒸着材の一部が急激に加熱されそれに伴う熱膨張による
応力である。このため蒸着材の熱膨張率を小さくするこ
とでEB照射時の亀裂、破壊の発生を抑制することができ
る。
【００１８】この蒸着材の熱膨張率を制御する方法とし
ては単斜晶から正方晶の相転移を利用することができ
る。単斜晶は500℃〜1200℃の温度で単斜晶から正方晶
に相転移を起こし、この時ジルコニア粒子の体積が約4%
減少する。この際の膨張率の温度変化を図１の曲線Ａで
示す。
ては単斜晶から正方晶の相転移を利用することができ
る。単斜晶は500℃〜1200℃の温度で単斜晶から正方晶
に相転移を起こし、この時ジルコニア粒子の体積が約4%
減少する。この際の膨張率の温度変化を図１の曲線Ａで
示す。
【００１９】この相転移を生じる温度は、単斜晶ジルコ
ニア粒子中の安定化剤の固溶量や結晶サイズにより変化
する。この相転移による体積変化を利用して加熱による
熱膨張を相転移による体積収縮で打ち消すことで蒸着材
の見かけの熱膨張率を小さくし、EB照射時の亀裂、破壊
の発生を抑制することができる。すなわち相転移温度の
異なる単斜晶ジルコニア粒子を組み合わせ、広い温度域
にわたって徐々に相転移が起こるようにすることによ
り、その温度域での加熱による膨張を相転移による体積
収縮で打ち消して蒸着材のみかけの熱膨張率を小さくす
ることができる。
ニア粒子中の安定化剤の固溶量や結晶サイズにより変化
する。この相転移による体積変化を利用して加熱による
熱膨張を相転移による体積収縮で打ち消すことで蒸着材
の見かけの熱膨張率を小さくし、EB照射時の亀裂、破壊
の発生を抑制することができる。すなわち相転移温度の
異なる単斜晶ジルコニア粒子を組み合わせ、広い温度域
にわたって徐々に相転移が起こるようにすることによ
り、その温度域での加熱による膨張を相転移による体積
収縮で打ち消して蒸着材のみかけの熱膨張率を小さくす
ることができる。
【００２０】この際の膨張率の温度変化を図１の曲線B
で示す。
で示す。
【００２１】すなわち室温から１２００℃までの温度範
囲において、従来の蒸着材の室温と比較したの熱膨張率
の最大値は約９×１０-3 （図１のCに対応）であるが、
この値を６×１０-3以下（図１のDに対応）とすること
で、EB照射の加熱による熱膨張に伴う応力を小さくし、
EB照射時の亀裂、破壊を防止することができる。熱膨張
率の最大値が６×１０-3を超えるとEB照射時の熱膨張に
よる応力が大きくなり耐熱衝撃性が低下するため好まし
くない。熱応力の発生を抑制し、EB照射時の熱衝撃によ
る破壊を防止するためには熱膨張率の最大値は３．０×
１０-3以下であることがより望ましい。
囲において、従来の蒸着材の室温と比較したの熱膨張率
の最大値は約９×１０-3 （図１のCに対応）であるが、
この値を６×１０-3以下（図１のDに対応）とすること
で、EB照射の加熱による熱膨張に伴う応力を小さくし、
EB照射時の亀裂、破壊を防止することができる。熱膨張
率の最大値が６×１０-3を超えるとEB照射時の熱膨張に
よる応力が大きくなり耐熱衝撃性が低下するため好まし
くない。熱応力の発生を抑制し、EB照射時の熱衝撃によ
る破壊を防止するためには熱膨張率の最大値は３．０×
１０-3以下であることがより望ましい。
【００２２】上記のように見かけの熱膨張率を小さくす
ることでEB照射による応力発生を抑制することが可能で
あるが、EB照射による加熱に伴う熱膨張を完全に無くす
ことは困難である。したがって発生する応力で破壊を生
じないためさらに蒸着材の結晶相、および微細構造を制
御する必要がある。
ることでEB照射による応力発生を抑制することが可能で
あるが、EB照射による加熱に伴う熱膨張を完全に無くす
ことは困難である。したがって発生する応力で破壊を生
じないためさらに蒸着材の結晶相、および微細構造を制
御する必要がある。
【００２３】このため蒸着材に使用するジルコニア焼結
体中の単斜晶率は２５％以上９０％以下であることを特
徴とする。蒸着材中の単斜晶は、蒸着材を製造する際の
熱処理時に高温では正方晶で存在しているが、室温への
冷却時に正方晶から単斜晶に相転移する。この冷却時の
相転移に伴い体積膨張が生じ単斜晶の周辺にはマイクロ
クラックが発生する。このように単斜晶の存在により焼
結体中に多くのマイクロクラックが生成し、熱衝撃によ
りクラックが発生した場合でもそのクラックの伝播がマ
イクロクラックによって妨害され、クラックの伝播が曲
がりくねった経路をたどるためにマイクロクラックは熱
衝撃による破壊エネルギ−を吸収する効果を有し熱衝撃
による破壊を抑制する効果がある。このように単斜晶の
存在は耐熱衝撃性の向上に寄与する。そのため蒸着材の
単斜晶率が２５％未満の場合、単斜晶の量が少ないため
マイクロクラックによる熱衝撃による破壊を抑制する効
果が不十分となり、また単斜晶から正方晶への相転位を
利用した熱膨張率の低下の効果が小さくなるため耐熱衝
撃性を損なうので好ましくない。また単斜晶率が９０％
を越える場合、蒸着材製造の際の加熱後の冷却時に正方
晶から単斜晶への相転移量が多すぎて相転移に伴う体積
の変化により割れが生じたり、強度が著しく低下するす
るために好ましくない。この単斜晶率は特に４０〜８５
％が耐熱衝撃性の維持及び相転移に伴う焼成時の亀裂発
生の抑制の面からより好ましい。
体中の単斜晶率は２５％以上９０％以下であることを特
徴とする。蒸着材中の単斜晶は、蒸着材を製造する際の
熱処理時に高温では正方晶で存在しているが、室温への
冷却時に正方晶から単斜晶に相転移する。この冷却時の
相転移に伴い体積膨張が生じ単斜晶の周辺にはマイクロ
クラックが発生する。このように単斜晶の存在により焼
結体中に多くのマイクロクラックが生成し、熱衝撃によ
りクラックが発生した場合でもそのクラックの伝播がマ
イクロクラックによって妨害され、クラックの伝播が曲
がりくねった経路をたどるためにマイクロクラックは熱
衝撃による破壊エネルギ−を吸収する効果を有し熱衝撃
による破壊を抑制する効果がある。このように単斜晶の
存在は耐熱衝撃性の向上に寄与する。そのため蒸着材の
単斜晶率が２５％未満の場合、単斜晶の量が少ないため
マイクロクラックによる熱衝撃による破壊を抑制する効
果が不十分となり、また単斜晶から正方晶への相転位を
利用した熱膨張率の低下の効果が小さくなるため耐熱衝
撃性を損なうので好ましくない。また単斜晶率が９０％
を越える場合、蒸着材製造の際の加熱後の冷却時に正方
晶から単斜晶への相転移量が多すぎて相転移に伴う体積
の変化により割れが生じたり、強度が著しく低下するす
るために好ましくない。この単斜晶率は特に４０〜８５
％が耐熱衝撃性の維持及び相転移に伴う焼成時の亀裂発
生の抑制の面からより好ましい。
【００２４】上記のように単斜晶の存在は成形体中に多
くのマイクロクラックを生成させており、このマイクロ
クラックは熱衝撃によるエネルギ−を吸収する効果を有
し、単斜晶の存在は耐熱衝撃性の向上に寄与する。単斜
晶から正方晶への転移温度を制御することで、EB照射時
の加熱による熱膨張に伴う応力の発生を抑制している場
合でも、見かけの熱膨張をなくして応力発生を完全に防
ぐことは難しく、その応力による破壊を防ぐために単斜
晶の存在による耐熱衝撃性の向上は重要である。
くのマイクロクラックを生成させており、このマイクロ
クラックは熱衝撃によるエネルギ−を吸収する効果を有
し、単斜晶の存在は耐熱衝撃性の向上に寄与する。単斜
晶から正方晶への転移温度を制御することで、EB照射時
の加熱による熱膨張に伴う応力の発生を抑制している場
合でも、見かけの熱膨張をなくして応力発生を完全に防
ぐことは難しく、その応力による破壊を防ぐために単斜
晶の存在による耐熱衝撃性の向上は重要である。
【００２５】また本発明におけるジルコニア焼結体のか
さ密度は３．０〜５．５ｇ／ｃｍ3であることが好まし
い。密度が５．５ｇ／ｃｍ3をこえる場合、ＥＢ照射時
の局部的な加熱による熱応力が増大し破壊が生じるため
好ましくなく、一方、かさ密度が３．０ｇ／ｃｍ3未満
の場合、機械的強度が低下して取り扱いが困難となるた
め好ましくない このときの気孔率は５〜５０％であり、かつ０．１〜１
０μｍの気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めるこ
とを特徴とし、９５％以上にすることが望ましい。気孔
率が５％未満の場合、ＥＢ照射時の局部的な加熱による
熱応力により破壊が生じるため好ましくなく、逆に。気
孔率が５０％をこえる場合、機械的強度が低下して取り
扱いが困難となり好ましくないからである。また、０．
１〜１０μｍの気孔径の気孔体積が９０％を下まわると
耐熱衝撃性が不十分なものとなり好ましくない。
さ密度は３．０〜５．５ｇ／ｃｍ3であることが好まし
い。密度が５．５ｇ／ｃｍ3をこえる場合、ＥＢ照射時
の局部的な加熱による熱応力が増大し破壊が生じるため
好ましくなく、一方、かさ密度が３．０ｇ／ｃｍ3未満
の場合、機械的強度が低下して取り扱いが困難となるた
め好ましくない このときの気孔率は５〜５０％であり、かつ０．１〜１
０μｍの気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めるこ
とを特徴とし、９５％以上にすることが望ましい。気孔
率が５％未満の場合、ＥＢ照射時の局部的な加熱による
熱応力により破壊が生じるため好ましくなく、逆に。気
孔率が５０％をこえる場合、機械的強度が低下して取り
扱いが困難となり好ましくないからである。また、０．
１〜１０μｍの気孔径の気孔体積が９０％を下まわると
耐熱衝撃性が不十分なものとなり好ましくない。
【００２６】また、更に本発明は、電子ビーム蒸着装置
により、本願発明の蒸着材を使用して、金属、セラミッ
クス等の基板上にジルコニア薄膜を形成する方法、及び
この方法によって得られた金属等の部品を提供するもの
である。
により、本願発明の蒸着材を使用して、金属、セラミッ
クス等の基板上にジルコニア薄膜を形成する方法、及び
この方法によって得られた金属等の部品を提供するもの
である。
【００２７】更に本発明をその一般的な製造方法を示す
ことによって詳しく説明する。
ことによって詳しく説明する。
【００２８】原料となるジルコニア粉末と、安定化剤を
所定量調合した後、ボールミル、ヘンシェルミキサ−な
どの混合装置を用い、水やエタノール等の有機溶媒を用
いた湿式、または乾式法により分散混合される。使用す
る原料粉末の酸化ハフニウムを除く不純物総量は０．３
ｗｔ％以下の高純度である事が望ましく、０．１５ｗｔ
％以下であることがより望ましい。また不純物のうちSi
O2は０．３ｗｔ％未満、、MgO、CaO、TiO2は０．２ｗｔ
％未満、Fe2O3、Al2Ｏ3は０．１ｗｔ％未満である事が
望ましい。不純物量が多い場合、膜の遮熱性や耐久性が
低下するため好ましくない。また使用するジルコニア粉
末および安定化剤のBET値と粒径は、蒸着材を加熱した
際の単斜晶から正方晶への相転移温度を制御するため、
単一のまたは数種類の物性を持つ粉末を混合して使用す
る。ジルコニア粒子とイットリア粒子の組み合わせとし
ては、焼成後の蒸着材でジルコニア粒子に対する安定化
剤の固溶状態を粒子ごとに異なるようにして固溶量に幅
を持たせることで、相転移温度に幅を持たせることが可
能であるので様々な物性の粉末の組み合わせが可能であ
るが、一例としてBET値２５ｍ2／ｇ、平均粒径６μmと
一次粒子が小さく、二次粒子径の大きいジルコニア粉末
とBET値３．５ｍ2／ｇ、平均粒径２．５μmのイットリ
ア粉末を使用することで、所望の熱膨張特性をもつ蒸着
材を作製することができる。またたとえばBET値０．７
ｍ2／ｇ、平均粒径６μmのジルコニア粉末と、BET値３
０ｍ2／ｇ、平均粒径２μmのジルコニア粉末を使用し、
BET値３．２ｍ2／ｇ、平均粒径２μmのイットリアを使
用することで、ジルコニア粉末の粒径の違いによりイッ
トリアとの反応性が異なる事を利用して、イットリアの
固溶状態を変えて熱膨張率を小さくすることができる。
所定量調合した後、ボールミル、ヘンシェルミキサ−な
どの混合装置を用い、水やエタノール等の有機溶媒を用
いた湿式、または乾式法により分散混合される。使用す
る原料粉末の酸化ハフニウムを除く不純物総量は０．３
ｗｔ％以下の高純度である事が望ましく、０．１５ｗｔ
％以下であることがより望ましい。また不純物のうちSi
O2は０．３ｗｔ％未満、、MgO、CaO、TiO2は０．２ｗｔ
％未満、Fe2O3、Al2Ｏ3は０．１ｗｔ％未満である事が
望ましい。不純物量が多い場合、膜の遮熱性や耐久性が
低下するため好ましくない。また使用するジルコニア粉
末および安定化剤のBET値と粒径は、蒸着材を加熱した
際の単斜晶から正方晶への相転移温度を制御するため、
単一のまたは数種類の物性を持つ粉末を混合して使用す
る。ジルコニア粒子とイットリア粒子の組み合わせとし
ては、焼成後の蒸着材でジルコニア粒子に対する安定化
剤の固溶状態を粒子ごとに異なるようにして固溶量に幅
を持たせることで、相転移温度に幅を持たせることが可
能であるので様々な物性の粉末の組み合わせが可能であ
るが、一例としてBET値２５ｍ2／ｇ、平均粒径６μmと
一次粒子が小さく、二次粒子径の大きいジルコニア粉末
とBET値３．５ｍ2／ｇ、平均粒径２．５μmのイットリ
ア粉末を使用することで、所望の熱膨張特性をもつ蒸着
材を作製することができる。またたとえばBET値０．７
ｍ2／ｇ、平均粒径６μmのジルコニア粉末と、BET値３
０ｍ2／ｇ、平均粒径２μmのジルコニア粉末を使用し、
BET値３．２ｍ2／ｇ、平均粒径２μmのイットリアを使
用することで、ジルコニア粉末の粒径の違いによりイッ
トリアとの反応性が異なる事を利用して、イットリアの
固溶状態を変えて熱膨張率を小さくすることができる。
【００２９】本願発明で用いられる安定化剤としては酸
化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化マグネシウ
ム、酸化カルシウムおよび周期表IIIB族第６周期の希土
類元素（ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジ
ム、プロメチウム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリ
ニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エ
ルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテチウム）の
酸化物が例示され、これら安定化剤は単独で使用して
も、２種以上の安定化剤を使用してもよい。安定化剤は
その用途に応じて０．１〜４０ｗｔ％添加する。
化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化マグネシウ
ム、酸化カルシウムおよび周期表IIIB族第６周期の希土
類元素（ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジ
ム、プロメチウム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリ
ニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エ
ルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテチウム）の
酸化物が例示され、これら安定化剤は単独で使用して
も、２種以上の安定化剤を使用してもよい。安定化剤は
その用途に応じて０．１〜４０ｗｔ％添加する。
【００３０】混合されたスラリーは、スプレードライヤ
ー、減圧乾燥、フィルタープレス等の通常の乾燥装置に
より乾燥される。乾式法による混合の場合、そのまま次
の工程に進む。また粉末調製の際に、粉末の成形を容易
にするため有機バインダーを添加することもできる。
ー、減圧乾燥、フィルタープレス等の通常の乾燥装置に
より乾燥される。乾式法による混合の場合、そのまま次
の工程に進む。また粉末調製の際に、粉末の成形を容易
にするため有機バインダーを添加することもできる。
【００３１】本願発明の成形体を得るために調製された
ジルコニア粉末及び安定化剤を含んだ粉末は、通常ゴム
型等に充填して、冷間静水圧成形（ＣＩＰ）装置を使用
し、成形される。成形圧は本発明では特に限定されない
が、一般的には１００MPaの圧力が用いられる。
ジルコニア粉末及び安定化剤を含んだ粉末は、通常ゴム
型等に充填して、冷間静水圧成形（ＣＩＰ）装置を使用
し、成形される。成形圧は本発明では特に限定されない
が、一般的には１００MPaの圧力が用いられる。
【００３２】このようにして、成形された成形体は、通
常熱処理が行われる。この熱処理温度は１１００℃以上
で焼成することが好ましく、１３００℃以上で焼成され
ることがより好ましい。蒸着材作製時の焼成温度が低
く、ＥＢ照射時の加熱で焼結が進行し大きな収縮が起こ
る場合、それに伴い収縮による応力の発生範囲も広がる
ため割れが起こりやすくなることから、この焼成は電子
ビームによる加熱時の焼結進行による収縮を減らし、割
れの抑制に効果がある。
常熱処理が行われる。この熱処理温度は１１００℃以上
で焼成することが好ましく、１３００℃以上で焼成され
ることがより好ましい。蒸着材作製時の焼成温度が低
く、ＥＢ照射時の加熱で焼結が進行し大きな収縮が起こ
る場合、それに伴い収縮による応力の発生範囲も広がる
ため割れが起こりやすくなることから、この焼成は電子
ビームによる加熱時の焼結進行による収縮を減らし、割
れの抑制に効果がある。
【００３３】このようにして得られたジルコニア焼結体
は、単斜晶から正方晶への相転移温度が異なる粒子から
なり、この焼結体を加熱した際の室温を基準とした熱膨
張率の最大値は、室温から１２００℃までの温度範囲に
おいて６×１０-3以下となる。この温度域での熱膨張率
を小さくすることにより、EBを照射した際の熱応力の発
生が抑制され、蒸着材のEB照射時の耐割れ性の向上に大
きな効果がある。この熱膨張率の最大値は３×１０-3以
下であることがより望ましい。
は、単斜晶から正方晶への相転移温度が異なる粒子から
なり、この焼結体を加熱した際の室温を基準とした熱膨
張率の最大値は、室温から１２００℃までの温度範囲に
おいて６×１０-3以下となる。この温度域での熱膨張率
を小さくすることにより、EBを照射した際の熱応力の発
生が抑制され、蒸着材のEB照射時の耐割れ性の向上に大
きな効果がある。この熱膨張率の最大値は３×１０-3以
下であることがより望ましい。
【００３４】またジルコニア焼結体中の単斜晶率は２５
〜９０％で、４０％以上８５％以下であることがより好
ましい。
〜９０％で、４０％以上８５％以下であることがより好
ましい。
【００３５】単斜晶は加熱時に、ある温度で単斜晶から
正方晶に相転移を起こす。この時体積が約4%減少する。
そのため、熱膨張による成形体の膨張をこの相転移によ
る収縮が減少させる。また、単斜晶の存在は成形体中に
多くのマイクロクラックを生成させており、これらマイ
クロクラックは、熱衝撃のエネルギ−を吸収し破壊時の
クラックの進行を抑制させる効果を有している。このよ
うに単斜晶の存在は耐熱衝撃性の向上に寄与している。
単斜晶の含有率が３０％以上散在する場合、これらの効
果は耐熱衝撃性の向上に効果的に寄与する。単斜晶率が
多すぎると相転移による体積変化が大きくなりすぎ蒸着
材に亀裂を発生させるため好ましくない。
正方晶に相転移を起こす。この時体積が約4%減少する。
そのため、熱膨張による成形体の膨張をこの相転移によ
る収縮が減少させる。また、単斜晶の存在は成形体中に
多くのマイクロクラックを生成させており、これらマイ
クロクラックは、熱衝撃のエネルギ−を吸収し破壊時の
クラックの進行を抑制させる効果を有している。このよ
うに単斜晶の存在は耐熱衝撃性の向上に寄与している。
単斜晶の含有率が３０％以上散在する場合、これらの効
果は耐熱衝撃性の向上に効果的に寄与する。単斜晶率が
多すぎると相転移による体積変化が大きくなりすぎ蒸着
材に亀裂を発生させるため好ましくない。
【００３６】またこのようにして得られたジルコニア焼
結体の気孔率はその気孔率は５〜５０％であり、気孔の
モ−ド径が０．３〜１０μmでかつ０．１〜１０μｍの
気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めるこが好まし
い。多孔質化することによりＥＢを照射した際の局部的
な加熱に伴う熱膨張による破壊を防ぐことができるが、
気孔率が１５％未満の場合、ＥＢ照射時の局部的な加熱
に伴う熱膨張よる応力により破壊が生じるため好ましく
ない。気孔率が５０％をこえる場合、機械的強度が低下
して取り扱いが困難となるため好ましくない。また気孔
径があまり小さいとＥＢの照射による加熱の際に気孔が
容易に消滅してしまうため有効に機能せず、また焼結も
進みやすく耐熱衝撃性が低下する。気孔径が大きい場合
にも蒸着材の機械的強度の低下や、蒸着時の溶融プール
の安定性を損なうなどの問題がある。このため気孔のモ
−ド径は０．３〜１０μmでかつ０．１〜１０μｍの気
孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めることが好まし
い。気孔径０．１〜１０μｍの気孔体積が全気孔体積の
９５％以上となるとさらに好ましい。このような適度の
径の気孔を持つ構造とすることにより耐熱衝撃性が向上
する。
結体の気孔率はその気孔率は５〜５０％であり、気孔の
モ−ド径が０．３〜１０μmでかつ０．１〜１０μｍの
気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めるこが好まし
い。多孔質化することによりＥＢを照射した際の局部的
な加熱に伴う熱膨張による破壊を防ぐことができるが、
気孔率が１５％未満の場合、ＥＢ照射時の局部的な加熱
に伴う熱膨張よる応力により破壊が生じるため好ましく
ない。気孔率が５０％をこえる場合、機械的強度が低下
して取り扱いが困難となるため好ましくない。また気孔
径があまり小さいとＥＢの照射による加熱の際に気孔が
容易に消滅してしまうため有効に機能せず、また焼結も
進みやすく耐熱衝撃性が低下する。気孔径が大きい場合
にも蒸着材の機械的強度の低下や、蒸着時の溶融プール
の安定性を損なうなどの問題がある。このため気孔のモ
−ド径は０．３〜１０μmでかつ０．１〜１０μｍの気
孔体積が全気孔体積の９０％以上を占めることが好まし
い。気孔径０．１〜１０μｍの気孔体積が全気孔体積の
９５％以上となるとさらに好ましい。このような適度の
径の気孔を持つ構造とすることにより耐熱衝撃性が向上
する。
【００３７】蒸着材に使用するジルコニア焼結体が上に
説明したような好ましい範囲の物性を持つように原料粉
末の物性や混合条件を選定し、得られた混合粉末を成
形、焼成することにより、ＥＢ照射時の耐熱衝撃性の改
善、EB照射により溶融した溶融液の突沸現象の防止によ
り、安定した溶融プールの形成及び蒸発速度の安定性を
改善した新規な耐熱被覆用蒸着材を作製することができ
る。
説明したような好ましい範囲の物性を持つように原料粉
末の物性や混合条件を選定し、得られた混合粉末を成
形、焼成することにより、ＥＢ照射時の耐熱衝撃性の改
善、EB照射により溶融した溶融液の突沸現象の防止によ
り、安定した溶融プールの形成及び蒸発速度の安定性を
改善した新規な耐熱被覆用蒸着材を作製することができ
る。
【００３８】また、更に本願発明は、電子ビーム蒸着装
置により、本願発明の蒸着材を使用して、金属、セラミ
ックス等の基板上にジルコニア薄膜を形成する蒸着方法
を提供するものである。
置により、本願発明の蒸着材を使用して、金属、セラミ
ックス等の基板上にジルコニア薄膜を形成する蒸着方法
を提供するものである。
【００３９】
【実施例】以下の実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例により何等限定されるも
のではない。
るが、本発明はこれらの実施例により何等限定されるも
のではない。
【００４０】実施例１ BET値２５ｍ2／ｇ、平均粒径６μmのジルコニア粉末８
３．６ｇとBET値３．５ｍ2／ｇ、平均粒径２．５μｍの
イットリア粉末６．４ｇに有機バインダーを２．５ｗｔ
％を加えたスラリ−を１時間攪拌後、乾燥して得られた
粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１４００℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
３．６ｇとBET値３．５ｍ2／ｇ、平均粒径２．５μｍの
イットリア粉末６．４ｇに有機バインダーを２．５ｗｔ
％を加えたスラリ−を１時間攪拌後、乾燥して得られた
粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１４００℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
【００４１】実施例２ BET値０．７ｍ2／ｇ、平均粒径６μmのジルコニア粉末
４１．８ｇと、BET値３０ｍ2／ｇ、平均粒径２μmのジ
ルコニア粉末４１．８ｇと、BET値３．２ｍ2／ｇ、平均
粒径２μｍのイットリア粉末６．４ｇに有機バインダー
を２．５ｗｔ％を加えて１時間攪拌後、乾燥して得られ
た粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１４５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
４１．８ｇと、BET値３０ｍ2／ｇ、平均粒径２μmのジ
ルコニア粉末４１．８ｇと、BET値３．２ｍ2／ｇ、平均
粒径２μｍのイットリア粉末６．４ｇに有機バインダー
を２．５ｗｔ％を加えて１時間攪拌後、乾燥して得られ
た粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１４５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
【００４２】実施例３ BET値１ｍ2／ｇのジルコニア粉末４１．８ｇと、BET値
３０ｍ2／ｇのジルコニア粉末４１．８ｇと、平均粒径
２μｍのイットリア粉末３．２ｇと平均粒径０．２μm
のイットリア粉末３．２ｇに有機バインダーを２．５ｗ
ｔ％を加えて１時間攪拌後、乾燥して得られた粉末をゴ
ム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍｍ）、湿式
冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ×１５０Ｄ
×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で成形し１４
５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍのジルコニ
ア焼結体からなる蒸着材を作製した。
３０ｍ2／ｇのジルコニア粉末４１．８ｇと、平均粒径
２μｍのイットリア粉末３．２ｇと平均粒径０．２μm
のイットリア粉末３．２ｇに有機バインダーを２．５ｗ
ｔ％を加えて１時間攪拌後、乾燥して得られた粉末をゴ
ム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍｍ）、湿式
冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ×１５０Ｄ
×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で成形し１４
５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍのジルコニ
ア焼結体からなる蒸着材を作製した。
【００４３】実施例４ BET値５ｍ2／ｇ、平均粒径2μmのジルコニア粉末２７．
９ｇと、BET値０．７ｍ2／ｇ、平均粒径６μmのジルコ
ニア粉末２７．９ｇと、BET値３０ｍ2／ｇ、平均粒径２
μmのジルコニア粉末２７．９ｇと、平均粒径２μｍの
イットリア粉末６．４ｇに有機バインダーを２．５ｗｔ
％を加えて１時間攪拌後、乾燥して得られた粉末をゴム
型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍｍ）、湿式冷
間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ×１５０Ｄ×
５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で成形し１４５
０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍのジルコニア
焼結体からなる蒸着材を作製した。
９ｇと、BET値０．７ｍ2／ｇ、平均粒径６μmのジルコ
ニア粉末２７．９ｇと、BET値３０ｍ2／ｇ、平均粒径２
μmのジルコニア粉末２７．９ｇと、平均粒径２μｍの
イットリア粉末６．４ｇに有機バインダーを２．５ｗｔ
％を加えて１時間攪拌後、乾燥して得られた粉末をゴム
型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍｍ）、湿式冷
間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ×１５０Ｄ×
５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で成形し１４５
０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍのジルコニア
焼結体からなる蒸着材を作製した。
【００４４】比較例１ 平均粒径５μｍのジルコニア粉末１３９３．６ｇと平均
粒径２μｍのイットリア粉末１０６．４ｇを加えてボー
ルミル（容量２．５リットル、ボール７．５ｋｇ）で１
時間混合後、乾燥して得られた粉末をゴム型に詰めて
（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍｍ）、湿式冷間静水圧加
圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ×１５０Ｄ×５００Ｌ
型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で成形し１４９０℃で焼
成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍのジルコニア焼結体か
らなる蒸着材を作製した。
粒径２μｍのイットリア粉末１０６．４ｇを加えてボー
ルミル（容量２．５リットル、ボール７．５ｋｇ）で１
時間混合後、乾燥して得られた粉末をゴム型に詰めて
（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍｍ）、湿式冷間静水圧加
圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ×１５０Ｄ×５００Ｌ
型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で成形し１４９０℃で焼
成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍのジルコニア焼結体か
らなる蒸着材を作製した。
【００４５】比較例２ 平均粒径１．５μｍのジルコニア粉末８３．６ｇと平均
粒径０．２μｍのイットリア粉末６．４ｇに有機バイン
ダーを５ｗｔ％（１０ｇ）を加えてボールミル（容量１
リットル、ボール２．５ｋｇ）で１時間混合後得られた
粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１３５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
粒径０．２μｍのイットリア粉末６．４ｇに有機バイン
ダーを５ｗｔ％（１０ｇ）を加えてボールミル（容量１
リットル、ボール２．５ｋｇ）で１時間混合後得られた
粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１３５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
【００４６】比較例３ 平均粒径０．２μｍの４Ｙイットリア固溶ジルコニア粉
末１００ｇをゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１０
０ｍｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４
ＫＢ×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ
2で成形し１１５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６
ｍｍのジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
末１００ｇをゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１０
０ｍｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４
ＫＢ×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ
2で成形し１１５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６
ｍｍのジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
【００４７】比較例４ 平均粒径０．２μｍの４Ｙイットリア固溶ジルコニア粉
末を平均粒径１００μｍの顆粒に造粒し、これを１２０
０℃で仮焼した後、この粉末９５ｇに有機バインダー５
ｇを加えボールミルで１時間粉砕混合し乾燥して得られ
た粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１３５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
末を平均粒径１００μｍの顆粒に造粒し、これを１２０
０℃で仮焼した後、この粉末９５ｇに有機バインダー５
ｇを加えボールミルで１時間粉砕混合し乾燥して得られ
た粉末をゴム型に詰めて（直径３５ｍｍ、厚さ１００ｍ
ｍ）、湿式冷間静水圧加圧装置（神戸製鋼社製、４ＫＢ
×１５０Ｄ×５００Ｌ型、）により圧力１ｔ／ｃｍ2で
成形し１３５０℃で焼成して直径２０ｍｍ、厚さ６ｍｍ
のジルコニア焼結体からなる蒸着材を作製した。
【００４８】実施例１〜４及び比較例１〜４で得られた
蒸着材の最大熱膨張率、嵩密度、気孔率（％）気孔モー
ド径（μｍ）、０．１〜５μｍの気孔径分布（％）、単
斜晶率（％）、および正方晶率（％）、並びに、各蒸着
材の6mm×6mmの正方形表面部分に出力０．５ｋｗのＥＢ
で照射を行い蒸着材の亀裂の発生の有無を検討した結果
を以下の表１に示す。
蒸着材の最大熱膨張率、嵩密度、気孔率（％）気孔モー
ド径（μｍ）、０．１〜５μｍの気孔径分布（％）、単
斜晶率（％）、および正方晶率（％）、並びに、各蒸着
材の6mm×6mmの正方形表面部分に出力０．５ｋｗのＥＢ
で照射を行い蒸着材の亀裂の発生の有無を検討した結果
を以下の表１に示す。
【００４９】
【表１】
【００５０】表１に示された蒸着材の各物性値は、以下
に示す方法により求めた。
に示す方法により求めた。
【００５１】嵩密度： 蒸着材の嵩密度は、円柱状をし
た試料を電子天秤で測定した重量とマイクロメータで測
定した形状寸法から算出した。
た試料を電子天秤で測定した重量とマイクロメータで測
定した形状寸法から算出した。
【００５２】気孔率、気孔モード径、０．１〜５μｍの
気孔径分布（％）： 水銀のポロシメトリにもとづいた
水銀ポロシメーター（ポアサイザ；島津製作所社製、Ｍ
ＩＣ−９３２０型）により測定した。
気孔径分布（％）： 水銀のポロシメトリにもとづいた
水銀ポロシメーター（ポアサイザ；島津製作所社製、Ｍ
ＩＣ−９３２０型）により測定した。
【００５３】水銀ポロシメーターで得られる測定値は、
水銀に圧力を掛けて気孔を有するサンプル中に水銀を圧
入し、圧力と浸入した水銀の積算容積の関係から得られ
る。すなわち、ある直径を有する気孔に水銀が入るため
の圧力は、Washburnの方程式があり、この式を用いるこ
とにより、圧入圧力と浸入した水銀の積算容積の関係が
気孔の直径とその直径よりも大きな直径を有する気孔に
浸入した水銀の容積の関係として求めることができる。
そして、この浸入した水銀の容積は、その気孔径よりも
大きな気孔の容積を示す。
水銀に圧力を掛けて気孔を有するサンプル中に水銀を圧
入し、圧力と浸入した水銀の積算容積の関係から得られ
る。すなわち、ある直径を有する気孔に水銀が入るため
の圧力は、Washburnの方程式があり、この式を用いるこ
とにより、圧入圧力と浸入した水銀の積算容積の関係が
気孔の直径とその直径よりも大きな直径を有する気孔に
浸入した水銀の容積の関係として求めることができる。
そして、この浸入した水銀の容積は、その気孔径よりも
大きな気孔の容積を示す。
【００５４】この気孔径と気孔容積の関係は通常、水銀
の表面張力、接触角や測定装置の構造からくる水銀頭な
どの必要な補正がなされる。
の表面張力、接触角や測定装置の構造からくる水銀頭な
どの必要な補正がなされる。
【００５５】水銀ポロシメーターで得られた気孔径と気
孔の積算容積の関係から以下の値が求められる。更に、
以下の測定値の説明の中で使用したAからBの意味を図２
中に説明した。
孔の積算容積の関係から以下の値が求められる。更に、
以下の測定値の説明の中で使用したAからBの意味を図２
中に説明した。
【００５６】気孔率（％） ： （得られた全気孔容積
／サンプルの見かけ容積）×100% 気孔のモード径(μｍ)：気孔径と積算気孔容積の関係の
変化率（微分値）の曲線(A)、すなわち、気孔径分布曲
線(A)における最大ピーク値に相当する気孔径（Ｂ） ０．１〜５μｍの気孔径分布（％）：（０．１〜５μｍ
の気孔の気孔容積／得られた全気孔容積）×100％ 単斜晶率および正方晶率：Ｘ線回折装置（マックサイエ
ンス社製、ＭＸＰ３ＶＡ型）により回折ピークを得て、
以下の計算式、数１および数２により求めた。
／サンプルの見かけ容積）×100% 気孔のモード径(μｍ)：気孔径と積算気孔容積の関係の
変化率（微分値）の曲線(A)、すなわち、気孔径分布曲
線(A)における最大ピーク値に相当する気孔径（Ｂ） ０．１〜５μｍの気孔径分布（％）：（０．１〜５μｍ
の気孔の気孔容積／得られた全気孔容積）×100％ 単斜晶率および正方晶率：Ｘ線回折装置（マックサイエ
ンス社製、ＭＸＰ３ＶＡ型）により回折ピークを得て、
以下の計算式、数１および数２により求めた。
【００５７】
【数１】
【００５８】
【数２】
【００５９】熱膨張率の最大値：TMA（株式会社リガク
製、TMA高温形CN8098F2）により得られた、蒸着材を室
温から１４００℃まで２００℃／hで昇温した際の熱膨
張率曲線から、室温から１２００℃までの間での熱膨張
率の最大の値を求めた。
製、TMA高温形CN8098F2）により得られた、蒸着材を室
温から１４００℃まで２００℃／hで昇温した際の熱膨
張率曲線から、室温から１２００℃までの間での熱膨張
率の最大の値を求めた。
【００６０】
【発明の効果】本発明の方法により、ＥＢ照射によって
も割れの生じない被覆用蒸着材が得られ、この蒸着材
は、例えば航空機エンジン等の部品に対する耐熱被覆に
使用される。
も割れの生じない被覆用蒸着材が得られ、この蒸着材
は、例えば航空機エンジン等の部品に対する耐熱被覆に
使用される。
【図１】従来の蒸着材及び本願発明の蒸着材の熱膨張曲
線を示す図である。
線を示す図である。
【図２】水銀ポロシメーターで得られた気孔径と積算気
孔容積との関係を示す図である。
孔容積との関係を示す図である。
Claims (4)
- 【請求項１】安定化剤を含むジルコニア焼結体であり、
その焼結体中の単斜晶の含有比率が２５〜９０％であ
り、加熱した際の室温を基準とした熱膨張率の最大値
が、室温から1200℃までの温度範囲内において６×１０
-3を超えないジルコニア焼結体からなることを特徴とす
る蒸着材。 - 【請求項２】請求項１に記載の蒸着材において、かさ密
度が３．０〜５．５ｇ／ｃｍ3で、気孔率が５〜５０
％、気孔のモード径が０．３〜１０μｍでありかつ０．
１〜１０μｍの気孔体積が全気孔体積の９０％以上を占
めるジルコニア焼結体からなることを特徴とする蒸着
材。 - 【請求項３】上記請求項１、２に記載の蒸着材を使用す
る蒸着方法。 - 【請求項４】請求項３に記載の蒸着方法において、蒸着
方法がエレクトロンビーム照射による蒸着方法であるこ
とを特徴とする蒸着方法
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11144897A JP2000327417A (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 蒸着材 |
| DE60012625T DE60012625T2 (de) | 1999-05-25 | 2000-05-17 | Material zur Gasphasenabscheidung |
| EP00110499A EP1055743B1 (en) | 1999-05-25 | 2000-05-17 | Vapor deposition material |
| US09/573,203 US6395381B1 (en) | 1999-05-25 | 2000-05-19 | Vapor deposition material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11144897A JP2000327417A (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 蒸着材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000327417A true JP2000327417A (ja) | 2000-11-28 |
Family
ID=15372881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11144897A Pending JP2000327417A (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 蒸着材 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6395381B1 (ja) |
| EP (1) | EP1055743B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000327417A (ja) |
| DE (1) | DE60012625T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006248858A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-09-21 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | イットリア安定化ジルコニア質焼結体及びその製造方法 |
| KR100707118B1 (ko) | 2005-12-27 | 2007-04-16 | 한국에너지기술연구원 | 전자빔 물리기상증착법으로 제조한 고체 전해질 박막 및 그제조방법 |
| JP2008255481A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-23 | Mitsubishi Materials Corp | 蒸着材 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6946208B2 (en) | 1996-12-10 | 2005-09-20 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Sinter resistant abradable thermal barrier coating |
| US6930066B2 (en) | 2001-12-06 | 2005-08-16 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Highly defective oxides as sinter resistant thermal barrier coating |
| JP2002187231A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-07-02 | Dainippon Printing Co Ltd | バリア性フィルムおよびその製造法 |
| CN1193824C (zh) * | 2001-10-19 | 2005-03-23 | 松下电器产业株式会社 | 纯化催化剂、其制备方法和气体纯化装置 |
| UA74150C2 (uk) * | 2002-01-09 | 2005-11-15 | Дженерал Електрік Компані | Спосіб формування покриття для створення теплового бар'єра та покриття для створення теплового бар'єра |
| KR100467783B1 (ko) * | 2002-12-20 | 2005-01-25 | 동부아남반도체 주식회사 | 반도체 소자의 금속배선 형성방법 |
| KR100688761B1 (ko) * | 2002-12-30 | 2007-02-28 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체의 금속배선 형성방법 |
| FR2860790B1 (fr) | 2003-10-09 | 2006-07-28 | Snecma Moteurs | Cible destinee a etre evaporee sous faisceau d'electrons, son procede de fabrication, barriere thermique et revetement obtenus a partir d'une cible, et piece mecanique comportant un tel revetement |
| US20050142393A1 (en) * | 2003-12-30 | 2005-06-30 | Boutwell Brett A. | Ceramic compositions for thermal barrier coatings stabilized in the cubic crystalline phase |
| US6887595B1 (en) | 2003-12-30 | 2005-05-03 | General Electric Company | Thermal barrier coatings having lower layer for improved adherence to bond coat |
| US6858334B1 (en) | 2003-12-30 | 2005-02-22 | General Electric Company | Ceramic compositions for low conductivity thermal barrier coatings |
| US8133553B2 (en) | 2007-06-18 | 2012-03-13 | Zimmer, Inc. | Process for forming a ceramic layer |
| WO2009031467A1 (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-12 | Kuraray Chemical Co., Ltd. | 吸着材及びその製造方法、並びにキャニスタ及びその使用方法 |
| EP2339119A1 (en) * | 2009-12-23 | 2011-06-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Thermal barrier coating having low thermal conductivity |
| EP2851356A1 (en) * | 2013-09-20 | 2015-03-25 | Alstom Technology Ltd | Method for producing means with thermal resist for applying at a surface of a heat exposed component |
| PL3184663T3 (pl) * | 2015-12-23 | 2020-11-16 | Materion Advanced Materials Germany Gmbh | Tarcza do napylania na bazie tlenku cyrkonu |
| CN108203299A (zh) * | 2018-01-15 | 2018-06-26 | 中国地质大学（武汉） | 一种前驱体造粒法制备球形氧化锆粉体的方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6018621B2 (ja) * | 1981-05-21 | 1985-05-11 | 日本碍子株式会社 | エンジン部品 |
| DE4302167C1 (de) * | 1993-01-27 | 1994-02-10 | Degussa | Target aus Zirkoniumdioxid und Verfahren zu seiner Herstellung |
| JP2607039B2 (ja) * | 1993-06-28 | 1997-05-07 | 品川白煉瓦株式会社 | 耐熱被覆用蒸着材及びその製造方法 |
| DE69700448T2 (de) * | 1996-06-13 | 2000-01-13 | Tosoh Corp | Material zur Gasphasenabscheidung |
-
1999
- 1999-05-25 JP JP11144897A patent/JP2000327417A/ja active Pending
-
2000
- 2000-05-17 DE DE60012625T patent/DE60012625T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-05-17 EP EP00110499A patent/EP1055743B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-19 US US09/573,203 patent/US6395381B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006248858A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-09-21 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | イットリア安定化ジルコニア質焼結体及びその製造方法 |
| KR100707118B1 (ko) | 2005-12-27 | 2007-04-16 | 한국에너지기술연구원 | 전자빔 물리기상증착법으로 제조한 고체 전해질 박막 및 그제조방법 |
| JP2008255481A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-23 | Mitsubishi Materials Corp | 蒸着材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1055743A1 (en) | 2000-11-29 |
| US6395381B1 (en) | 2002-05-28 |
| DE60012625T2 (de) | 2005-07-28 |
| EP1055743B1 (en) | 2004-08-04 |
| DE60012625D1 (de) | 2004-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000327417A (ja) | 蒸着材 | |
| EP0812931B1 (en) | Vapor deposition material | |
| CA2396857C (en) | Method for producing aluminum titanate sintered object | |
| CN112142450B (zh) | 一种氧化锆复合氧化铝陶瓷烧结体及其制备方法和应用 | |
| US7335616B2 (en) | Target for vaporizing under an electron beam, a method of fabricating it, a thermal barrier and a coating obtained from a target, and a mechanical part including such a coating | |
| JP4253855B2 (ja) | 蒸着材 | |
| JP4560199B2 (ja) | 耐熱衝撃抵抗性に優れたセラミック製熱処理用部材 | |
| JP2002316866A (ja) | 耐久性にすぐれたアルミナ質焼結体からなる熱処理用部材 | |
| JP4507148B2 (ja) | ムライト質焼結体からなる熱処理用部材 | |
| JP4546609B2 (ja) | 耐熱衝撃抵抗性に優れたセラミック製熱処理用部材 | |
| US20020041062A1 (en) | Low-firing temperature method for producing Al2O3 bodies having enhanced chemical resistance | |
| JP2001097768A (ja) | Ｙａｇ系セラミックス原料及びその製造方法 | |
| JPH03197356A (ja) | ジルコニア耐火物とその製造方法 | |
| JP4823475B2 (ja) | 蒸着材、ＭｇＯ蒸着材およびその製造方法、成膜方法 | |
| JP4993812B2 (ja) | ジルコニア質焼結体からなる熱処理用部材 | |
| JPH1081957A (ja) | 蒸着材 | |
| JP2004043955A (ja) | ＭｇＯ蒸着材およびその製造方法、ＭｇＯ膜の製造方法 | |
| JP2002037660A (ja) | 耐プラズマ性アルミナセラミックスおよびその製造方法 | |
| KR100390388B1 (ko) | 열차폐 코팅재료 및 그 제조방법, 그리고 이 코팅재료를이용한 열차폐 코팅층의 형성방법 | |
| CN118026733A (zh) | 碳/碳复合材料表面致密超硬的超高温陶瓷涂层及其制备方法 | |
| JP2004010381A (ja) | 表面被覆窒化珪素焼結体 | |
| WO1997043460A1 (en) | Method and system for making and using unstabilized zirconia coatings | |
| KR20230168570A (ko) | 전구 물질 소성용 내화갑 | |
| RU2263646C2 (ru) | Высокотемпературный материал с низким значением температурного коэффициента линейного расширения и способ его получения | |
| JP5348194B2 (ja) | ＭｇＯ蒸着材およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060323 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090218 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090303 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090721 |