RU2012144219A

RU2012144219A - Композиция для электроосаждения металла, содержащая выравнивающую добавку

Info

Publication number: RU2012144219A
Application number: RU2012144219/05A
Authority: RU
Inventors: Корнелия РЕГЕР-ГЕПФЕРТ; Роман Бенедикт РЭТЕР; Марко АРНОЛЬД; Шарлотте ЭМНЕТ; Дитер Майер
Original assignee: Басф Се
Priority date: 2010-03-18
Filing date: 2011-03-17
Publication date: 2014-04-27
Also published as: TWI567251B; TWI500823B; SG183821A1; EP2547731B1; EP2547731A1; IL221655A; KR101780085B1; TW201534770A; TW201139750A; WO2011113908A1; JP2013522468A; US9834677B2; CN102803389B; MY156690A; JP5955785B2; KR20130049183A; US20130020203A1; CN102803389A

Abstract

1. Композиция, содержащая источник ионов металла и по меньшей мере одну добавку, содержащую полиалкилениминовую основную цепь, где указанная полиалкилениминовая основная цепь имеет молекулярную массу Mот 300 г/моль до 1000000 г/моль, где N атомы водорода в основной цепи замещены полиоксиалкиленовым радикалом, и где среднее количество оксиалкиленовых единиц в указанном полиоксиалкиленовом радикале составляет от 1,5 до 10 на N-H единицу.2. Композиция по п.1, где среднее количество оксиалкиленовых единиц в указанном полиоксиалкиленовом радикале составляет от 2 до 8 на N-H единицу.3. Композиция по п.1, где по меньшей мере одна добавка является полиалкиленимином формулы L1или его производными, получаемыми протонированием или кватернизацией, гдеR выбирается из линейного С-Салкандиила, разветвленного С-Салкандиила и их смесей,Аявляется продолжением полиалкилениминовой основной цепи путем разветвления,Авыбирается из алкила, алкенила, алкинила, алкарила и их смесей,Еявляется полиоксиалкиленовой единицей, имеющей формулу -(RO)R,R, независимо для каждого n, выбирается из этандиила, 1,2-пропандиила, (2-гидроксиметил) этандиила, 1,2-бутандиила, 2,3-бутандиила, 2-метил-1,2-пропандиила (изобутилена), 1-пентандиила, 2,3-пентандиила, 2-метил-1,2-бутандиила, 3-метил-1,2-бутандиила, 2,3-гександиила, 3,4-гександиила, 2-метил-1,2-пентандиила, 2-этил-1,2-бутандиила, 3-метил-1,2-пентандиила, 1,2-декандиила, 4-метил-1,2-пентандиила и (2-фенил)этандиила и их смесей,Rкаждый независимо является водородом, алкилом, алкенилом, алкинилом, алкарилом, арилом и их смесями,р является числом от 1,5 до 10,q, n, m, о являются целыми числами, и (q+n+m+о) равно от 10 до 24000.4. Композиция по п.3, где R выбирается и

Claims

1. Композиция, содержащая источник ионов металла и по меньшей мере одну добавку, содержащую полиалкилениминовую основную цепь, где указанная полиалкилениминовая основная цепь имеет молекулярную массу M_w от 300 г/моль до 1000000 г/моль, где N атомы водорода в основной цепи замещены полиоксиалкиленовым радикалом, и где среднее количество оксиалкиленовых единиц в указанном полиоксиалкиленовом радикале составляет от 1,5 до 10 на N-H единицу.

2. Композиция по п.1, где среднее количество оксиалкиленовых единиц в указанном полиоксиалкиленовом радикале составляет от 2 до 8 на N-H единицу.

3. Композиция по п.1, где по меньшей мере одна добавка является полиалкиленимином формулы L1

или его производными, получаемыми протонированием или кватернизацией, где

R выбирается из линейного С₂-С₆ алкандиила, разветвленного С₃-С₆ алкандиила и их смесей,

А¹ является продолжением полиалкилениминовой основной цепи путем разветвления,

А² выбирается из алкила, алкенила, алкинила, алкарила и их смесей,

Е¹ является полиоксиалкиленовой единицей, имеющей формулу -(R¹O)_pR²,

R¹, независимо для каждого n, выбирается из этандиила, 1,2-пропандиила, (2-гидроксиметил) этандиила, 1,2-бутандиила, 2,3-бутандиила, 2-метил-1,2-пропандиила (изобутилена), 1-пентандиила, 2,3-пентандиила, 2-метил-1,2-бутандиила, 3-метил-1,2-бутандиила, 2,3-гександиила, 3,4-гександиила, 2-метил-1,2-пентандиила, 2-этил-1,2-бутандиила, 3-метил-1,2-пентандиила, 1,2-декандиила, 4-метил-1,2-пентандиила и (2-фенил)этандиила и их смесей,

R² каждый независимо является водородом, алкилом, алкенилом, алкинилом, алкарилом, арилом и их смесями,

р является числом от 1,5 до 10,

q, n, m, о являются целыми числами, и (q+n+m+о) равно от 10 до 24000.

4. Композиция по п.3, где R выбирается из этандиила или комбинации этандиила и 1,2-пропандиила.

5. Композиция по п.3, где R¹ выбирается из этандиила или комбинации этандиила и 1,2-пропандиила.

6. Композиция по п.3, где R² является водородом.

7. Композиция по п.3, где р равно от 2 до 5, предпочтительно 2-3.

8. Композиция по п.3, где q+n+m+о равно от 15 до 10000, предпочтительно от 20 до 5000.

9. Композиция по п.3, где q+n+m+о равно от 25 до 65 или от 1000 до 1800.

10. Композиция по п.3, где о равно 0.

11. Композиция по п.1, где ионы металла содержат ион меди.

12. Композиция по п.1, дополнительно содержащая один или более усиливающих агентов.

13. Композиция по любому из пп.1-12, дополнительно содержащая один или более подавляющих агентов.

14. Применение добавки, определенной в любом из пп.1-13, в электролитической ванне для осаждения слоев, содержащих металл.

15. Способ осаждения слоя металла на подложку посредством

a) взаимодействия электролитической ванны для нанесения металлического покрытия, содержащей композицию по любому из пп.1-13, с подложкой, и

b) создания плотности тока в подложке в течение периода времени, достаточного для осаждения металлического слоя на подложку.

16. Способ по п.15, где подложка содержит элементы микрометрового или субмикрометрового размера, и осаждение проводят для заполнения элементов микрометрового или субмикрометрового размера.

17. Способ по п.16, где элементы микрометрового или субмикрометрового размера имеют размер от 1 до 1000 нм и/или коэффициент пропорциональности 4 или более.