RU2015121797A

RU2015121797A - Композиция для электролитического осаждения металла, содержащая выравнивающий агент

Info

Publication number: RU2015121797A
Application number: RU2015121797A
Authority: RU
Inventors: Марсель Патрик КИНЛЕ; Дитер Майер; Корнелиа РЕГЕР-ГЕПФЕРТ; Александра ХААГ; Шарлотте ЭМНЕТ; Александер ФЛЮГЕЛЬ; Марко АРНОЛЬД
Original assignee: Басф Се
Priority date: 2012-11-09
Filing date: 2013-10-30
Publication date: 2017-01-10
Also published as: EP2917265B1; WO2014072885A2; JP6411354B2; SG11201503617VA; MY172822A; CN104797633A; US9758885B2; IL238129A0; JP2016504489A; WO2014072885A3; TW201434967A; CN104797633B; US20150284865A1; EP2917265A4; KR102140431B1; IL238129B; TWI609922B; EP2917265A2; KR20150082541A

Claims

1. Композиция, содержащая источник металлических ионов и по меньшей мере одну добавку, содержащую по меньшей мере один полиаминоамид, причем указанный полиаминоамид содержит структурную единицу, представленную формулой I

,

или производные полиаминоамида формулы I, получаемые путем полного или частичного протонирования, N-функционализации или N-кватернизации неароматическим реагентом,

где D⁶ представляет собой, для каждой повторяющейся единицы от 1 до s независимо, двухвалентную группу, выбранную из насыщенного или ненасыщенного С₁-С₂₀ органического радикала,

D⁷ представляет собой, для каждой повторяющейся единицы от 1 до s независимо, двухвалентную группу, выбранную из неразветвленного или разветвленного С₂-С₂₀ алкандиила, который необязательно может прерываться гетероатомами или двухвалентными группами, выбранными из О, S и NR¹⁰,

R¹ для каждой повторяющейся единицы от 1 до s независимо выбирается из Н, С₁-С₂₀ алкила и C₁-C₂₀ алкенила, которые необязательно могут быть замещены гидроксилом, алкокси или алкоксикарбонилом, или вместе с R² могут образовывать двухвалентную группу D⁸, и

R² для каждой повторяющейся единицы от 1 до s независимо выбирается из Н, С₁-С₂₀ алкила и С₁-С₂₀ алкенила, которые необязательно могут быть замещены гидроксилом, алкокси или алкоксикарбонилом, или вместе с R¹ могут образовывать двухвалентную группу D⁸, и

D⁸ выбирается из неразветвленного или разветвленного C₁-C₁₈ алкандиила, который необязательно может прерываться гетероатомами или двухвалентными группами, выбранными из О, S и NR¹⁰,

s представляет собой целое число от 1 до 250,

R¹⁰ выбирается из Н, С₁-С₂₀ алкила и C₁-C₂₀ алкенила, которые необязательно могут быть замещены гидроксилом, алкокси или алкоксикарбонилом.

2. Композиция по п. 1, где полиаминоамид представлен формулой IV

где D⁶, D⁷, R¹, R² и s имеют указанные значения, и

Е³, Е⁴ независимо выбираются из

(а) NH-С₁-С₂₀-алкила или NH-С₁-С₂₀-алкенила,

(b) N-(С₁-С₂₀-алкила)₂ или N-(С₁-С₂₀-алкенила)₂ или N-(С₁-С₂₀-алкил)(С₁-С₂₀-алкенила)

(c) NR²-D⁷-NR²H, или

(d) NR²-D⁷-NR²-CH₂-CH₂-CO-NH-(C₁-C₂₀-алкила) или NR²-D⁷-NR²-CH₂-CH₂-CO-NH-(C₁-С₂₀-алкенила).

3. Композиция по п. 2, где Е³ и Е⁴ независимо выбираются из NR¹-D⁷-NR²H.

4. Композиция по п. 1, где металлические ионы содержат ион меди.

5. Композиция по п. 1, где D⁶ для каждой повторяющейся единицы от 1 до s независимо выбирается из (CH₂)_g, где g представляет собой целое число от 1 до 6.

6. Композиция по п. 1, где D⁷ выбирается из неразветвленного С₂-С₆-алкандиила.

7. Композиция по п. 1, где s представляет собой целое число от 1 до 150, более предпочтительно от 2 до 100, наиболее предпочтительно от 2 до 50.

8. Композиция по п. 1, где R¹ выбирается из Н, С₁-С₂₀-алкила, С₁-С₂₀-алкенила, которые необязательно могут быть замещены гидроксилом, алкокси или алкоксикарбонилом.

9. Композиция по п. 1, где R² выбирается из Н, С₁-С₂₀-алкила или С₁-С₂₀-алкенила, которые необязательно могут быть замещены гидроксилом, алкокси или алкоксикарбонилом.

10. Композиция по п. 1, где R¹ и R² вместе образуют двухвалентную группу D⁸, где D⁸ выбирается из неразветвленного или разветвленного C₁-C₁₈ алкандиила, который необязательно может прерываться гетероатомами или двухвалентными группами, выбранными из О, S и NR¹⁰, где R¹⁰ выбирается из H, С₁-С₂₀ алкила и С₁-С₂₀ алкенила, которые необязательно могут быть замещены гидроксилом, алкокси или алкоксикарбонилом.

11. Композиция по п. 1, дополнительно содержащая ускоряющий агент.

12. Композиция по любому одному из пп. 1-11, дополнительно содержащая подавляющий агент.

13. Применение полиаминоамида формулы I, как определено в любом одном из пп. 1-10, в ванне для осаждения слоев, содержащих металл.

14. Способ осаждения металлического слоя на подложке путем:

a) контакта электролитической ванны для нанесения металлического покрытия, содержащей композицию по любому из пп. 1-12, с подложкой, и

b) создания плотности тока в подложке в течение периода времени, достаточного для осаждения металлического слоя на подложку.

15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что подложка содержит элементы поверхности микрометрового или нанометрового размера, и осаждение осуществляется с заполнением элементов поверхности микрометрового или нанометрового размера.

16. Способ по п. 15, отличающийся тем, что элементы поверхности нанометрового размера имеют размер от 1 до 1000 нм и/или коэффициент пропорциональности 4 или более.