RU2012141228A - Способ контроля поверхности и устройство контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой - Google Patents
Способ контроля поверхности и устройство контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012141228A RU2012141228A RU2012141228/28A RU2012141228A RU2012141228A RU 2012141228 A RU2012141228 A RU 2012141228A RU 2012141228/28 A RU2012141228/28 A RU 2012141228/28A RU 2012141228 A RU2012141228 A RU 2012141228A RU 2012141228 A RU2012141228 A RU 2012141228A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- angle
- steel sheet
- resin
- image
- coated
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
- G01N2021/8918—Metal
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
1. Способ контроля поверхности стального листа, покрытого смолой, характеризующийся тем, что формируют изображение стального листа, покрытого смолой, и обследуют его для обнаружения дефекта поверхности, при этом способ включает этапы, на которых:освещают стальной лист плоским световым пучком, который линейно поляризован с заданным углом поляризации;формируют изображение в линейно поляризованном свете с углом поляризации 0° под углом приема, сдвинутым на заданный угол по отношению к углу зеркального отражения падающего светового пучка.2. Способ контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой, по п.1, в котором стальной лист освещают плоским световым пучком под углом падения, который отличается от угла Брюстера для указанного покрытия на заданный угол или более.3. Способ контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой, по п.1 или 2, дополнительно содержащий этап формирования изображения поверхности стального листа под углом, сдвинутым относительно угла зеркального отражения на заданный угол.4. Устройство контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой, характеризующееся тем, что выполнено с возможностью формирования изображения листа, покрытого смолой, и обследования его для выявления дефекта поверхности, при этом устройство содержит:источник света для освещения стального листа плоским световым пучком, который линейно поляризован с заданным углом поляризации; ипервое устройство формирования изображения, выполненное с возможностью формирования изображения в линейно поляризованном свете с углом поляризации 0° под углом приема, сдвинутым на заданный угол по отношению к уг
Claims (6)
1. Способ контроля поверхности стального листа, покрытого смолой, характеризующийся тем, что формируют изображение стального листа, покрытого смолой, и обследуют его для обнаружения дефекта поверхности, при этом способ включает этапы, на которых:
освещают стальной лист плоским световым пучком, который линейно поляризован с заданным углом поляризации;
формируют изображение в линейно поляризованном свете с углом поляризации 0° под углом приема, сдвинутым на заданный угол по отношению к углу зеркального отражения падающего светового пучка.
2. Способ контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой, по п.1, в котором стальной лист освещают плоским световым пучком под углом падения, который отличается от угла Брюстера для указанного покрытия на заданный угол или более.
3. Способ контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой, по п.1 или 2, дополнительно содержащий этап формирования изображения поверхности стального листа под углом, сдвинутым относительно угла зеркального отражения на заданный угол.
4. Устройство контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой, характеризующееся тем, что выполнено с возможностью формирования изображения листа, покрытого смолой, и обследования его для выявления дефекта поверхности, при этом устройство содержит:
источник света для освещения стального листа плоским световым пучком, который линейно поляризован с заданным углом поляризации; и
первое устройство формирования изображения, выполненное с возможностью формирования изображения в линейно поляризованном свете с углом поляризации 0° под углом приема, сдвинутым на заданный угол по отношению к углу зеркального отражения падающего светового пучка.
5. Устройство контроля поверхности по п.4, в котором угол падения света от источника света установлен на угол, отличающийся от угла Брюстера для указанного смоляного покрытия на заданный угол или более.
6. Устройство контроля поверхности по п.4 или 5, дополнительно содержащее второе устройство формирования изображения, выполненное с возможностью формирования изображения поверхности стального листа под углом, сдвинутым относительно угла зеркального отражения на заданный угол.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010076939 | 2010-03-30 | ||
| JP2010-076939 | 2010-03-30 | ||
| PCT/JP2011/054266 WO2011122185A1 (ja) | 2010-03-30 | 2011-02-25 | 樹脂被膜付き鋼板の表面検査方法及びその表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012141228A true RU2012141228A (ru) | 2014-04-10 |
| RU2514157C1 RU2514157C1 (ru) | 2014-04-27 |
Family
ID=44711917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012141228/28A RU2514157C1 (ru) | 2010-03-30 | 2011-02-25 | Способ контроля поверхности и устройство контроля поверхнояти для стального листа, покрытого смолой |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9389169B2 (ru) |
| EP (1) | EP2554977B1 (ru) |
| JP (2) | JP5899630B2 (ru) |
| KR (3) | KR20160027238A (ru) |
| CN (1) | CN102834712B (ru) |
| BR (1) | BR112012024292B1 (ru) |
| RU (1) | RU2514157C1 (ru) |
| TW (1) | TWI457556B (ru) |
| WO (1) | WO2011122185A1 (ru) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6083119B2 (ja) * | 2012-03-08 | 2017-02-22 | 株式会社リコー | 光学センサ及び画像形成装置 |
| TWI481834B (zh) * | 2012-10-31 | 2015-04-21 | Oto Photonics Inc | 光感測模組、光譜儀之光機構及光譜儀 |
| CN104956193B (zh) | 2013-01-30 | 2017-10-24 | 台湾超微光学股份有限公司 | 光感测模块、光谱仪的光机构及光谱仪 |
| TWI490446B (zh) * | 2013-04-10 | 2015-07-01 | 致茂電子股份有限公司 | 發光模組檢測裝置以及發光模組檢測方法 |
| EP3279645A4 (en) * | 2015-03-31 | 2018-09-26 | Nisshin Steel Co., Ltd. | Device for examining surface defect in hot-dipped steel plate, and method for examining surface defect |
| KR101678169B1 (ko) * | 2015-05-08 | 2016-11-21 | 주식회사 나노프로텍 | 초박판 투명기판 상면 이물 검출 장치 |
| JP2017120232A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | キヤノン株式会社 | 検査装置 |
| JP6117398B1 (ja) | 2016-03-30 | 2017-04-19 | 日新製鋼株式会社 | 鋼板の表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
| TWI595445B (zh) * | 2016-08-31 | 2017-08-11 | 致茂電子股份有限公司 | 抗雜訊之立體掃描系統 |
| US10837916B2 (en) * | 2017-03-09 | 2020-11-17 | Spirit Aerosystems, Inc. | Optical measurement device for inspection of discontinuities in aerostructures |
| EP3722745B1 (en) * | 2017-12-08 | 2023-09-06 | Nippon Steel Corporation | Shape inspection device and shape inspection method |
| JP6897616B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2021-06-30 | Ｊｆｅスチール株式会社 | ラミネート金属帯の表面検査方法およびその装置 |
| CN108982520A (zh) * | 2018-08-03 | 2018-12-11 | 汕头超声显示器（二厂）有限公司 | 一种膜底可视缺陷的检测方法及装置 |
| JP2020085854A (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 日東電工株式会社 | 外観検査方法および外観検査装置 |
| JP7317286B2 (ja) * | 2018-12-20 | 2023-07-31 | 住友ゴム工業株式会社 | トッピングゴムシートのゴム付き不良検出装置 |
| JP2021169949A (ja) * | 2020-04-15 | 2021-10-28 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 鋼板の表面検査方法及び表面検査装置 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1476359A1 (ru) | 1987-03-04 | 1989-04-30 | Череповецкий филиал Вологодского политехнического института | Способ вы влени дефектов на движущейс поверхности |
| JPH0894542A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Nippon Steel Corp | 亜鉛めっき系鋼板用表面欠陥検出装置 |
| JP2002181723A (ja) | 1995-10-24 | 2002-06-26 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
| JPH09159621A (ja) | 1995-12-06 | 1997-06-20 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
| JPH10282014A (ja) | 1997-04-10 | 1998-10-23 | Mitsui Chem Inc | 偏光板付き表面欠陥検出装置 |
| JP3882302B2 (ja) * | 1997-12-25 | 2007-02-14 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面疵検査装置及びその方法 |
| JP3364150B2 (ja) * | 1998-03-06 | 2003-01-08 | 川崎製鉄株式会社 | 金属板の表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 |
| JPH11295239A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Nkk Corp | 表面疵検査装置及びその方法 |
| JPH11295241A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Nkk Corp | 表面疵検査装置及びその方法 |
| JP3728965B2 (ja) | 1999-02-01 | 2005-12-21 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面検査装置 |
| JP2002214150A (ja) | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆鋼板の疵検査方法およびその装置 |
| JP2005189113A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Jfe Steel Kk | 表面検査装置および表面検査方法 |
| US7646546B1 (en) * | 2005-06-10 | 2010-01-12 | Cvi Laser, Llc | Anamorphic optical system providing a highly polarized laser output |
| JP4736629B2 (ja) | 2005-08-26 | 2011-07-27 | 株式会社ニコン | 表面欠陥検査装置 |
| JP2008026060A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 |
| JP5104004B2 (ja) | 2007-04-19 | 2012-12-19 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
-
2011
- 2011-02-25 KR KR1020167004502A patent/KR20160027238A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-02-25 US US13/637,921 patent/US9389169B2/en active Active
- 2011-02-25 WO PCT/JP2011/054266 patent/WO2011122185A1/ja active Application Filing
- 2011-02-25 BR BR112012024292A patent/BR112012024292B1/pt active IP Right Grant
- 2011-02-25 KR KR1020127025021A patent/KR101725577B1/ko active IP Right Grant
- 2011-02-25 CN CN201180016585.0A patent/CN102834712B/zh active Active
- 2011-02-25 EP EP11762425.4A patent/EP2554977B1/en active Active
- 2011-02-25 RU RU2012141228/28A patent/RU2514157C1/ru active
- 2011-02-25 KR KR1020147034682A patent/KR101819276B1/ko active IP Right Grant
- 2011-03-01 TW TW100106668A patent/TWI457556B/zh active
- 2011-03-02 JP JP2011045436A patent/JP5899630B2/ja active Active
-
2015
- 2015-11-27 JP JP2015232043A patent/JP2016053586A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2554977A1 (en) | 2013-02-06 |
| JP2016053586A (ja) | 2016-04-14 |
| KR20120123719A (ko) | 2012-11-09 |
| TW201144791A (en) | 2011-12-16 |
| KR20150004932A (ko) | 2015-01-13 |
| EP2554977B1 (en) | 2020-10-14 |
| JP2011227058A (ja) | 2011-11-10 |
| CN102834712A (zh) | 2012-12-19 |
| BR112012024292B1 (pt) | 2020-04-14 |
| WO2011122185A1 (ja) | 2011-10-06 |
| BR112012024292A2 (pt) | 2016-05-24 |
| US20130050470A1 (en) | 2013-02-28 |
| US9389169B2 (en) | 2016-07-12 |
| KR101725577B1 (ko) | 2017-04-10 |
| TWI457556B (zh) | 2014-10-21 |
| JP5899630B2 (ja) | 2016-04-06 |
| KR101819276B1 (ko) | 2018-01-16 |
| CN102834712B (zh) | 2014-12-24 |
| RU2514157C1 (ru) | 2014-04-27 |
| KR20160027238A (ko) | 2016-03-09 |
| EP2554977A4 (en) | 2015-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012141228A (ru) | Способ контроля поверхности и устройство контроля поверхности для стального листа, покрытого смолой | |
| JP5594254B2 (ja) | シリコン基板の検査装置、および検査方法 | |
| WO2008139735A1 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
| EP2579100A3 (en) | Inspection apparatus, lithographic apparatus, and device manufacturing method | |
| TW200734630A (en) | Defect inspection apparatus and defect inspection method | |
| SG157313A1 (en) | Method of determining defects in a substrate and apparatus for exposing a substrate in a lithographic process | |
| TW200707088A (en) | Metrology apparatus, lithographic apparatus, process apparatus metrology method and device manufacturing method | |
| EP2053349A3 (en) | Method and apparatus for determining properties of a lithographic pattern on a substrate | |
| JP2014132695A5 (ru) | ||
| WO2012096847A3 (en) | Apparatus for euv imaging and methods of using same | |
| MY167163A (en) | System and method for capturing illumination reflected in multiple directions | |
| WO2009049834A3 (en) | Optical sensor device | |
| CN103743758A (zh) | 一种基于正交偏振的高反光金属表面视觉检测系统 | |
| ATE525898T1 (de) | Optische erfassungsvorrichtung und verfahren für die erfassung von oberflächen von bauteilen | |
| EP2466384A3 (en) | Plane position detecting apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method | |
| EP3624174A3 (en) | Multiple angles of incidence semiconductor metrology systems and methods | |
| WO2014056708A3 (en) | Mark position measuring apparatus and method, lithographic apparatus and device manufacturing method | |
| TW200712444A (en) | Light wave interference device | |
| EP2381245A3 (en) | Image inspection device and image forming apparatus | |
| WO2012048186A3 (en) | Retro-reflective imaging | |
| EP2264441A3 (en) | Circuit pattern defect detection apparatus, circuit pattern defect detection method, and program therefor | |
| WO2011083989A3 (ko) | 결점 검사장치 | |
| TW200736593A (en) | Apparatus for measuring reflectance, method for measuring reflectance and method for manufacturing display panel | |
| JP2010513745A5 (ru) | ||
| JP2011141285A5 (ru) |