RU2012116510A - Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами - Google Patents
Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012116510A RU2012116510A RU2012116510/05A RU2012116510A RU2012116510A RU 2012116510 A RU2012116510 A RU 2012116510A RU 2012116510/05 A RU2012116510/05 A RU 2012116510/05A RU 2012116510 A RU2012116510 A RU 2012116510A RU 2012116510 A RU2012116510 A RU 2012116510A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- polymer
- polysilicon
- types
- metal substrate
- contact
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/02—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/02—Silicon
- C01B33/021—Preparation
- C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
- C01B33/03—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by decomposition of silicon halides or halosilanes or reduction thereof with hydrogen as the only reducing agent
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/02—Apparatus characterised by being constructed of material selected for its chemically-resistant properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07B—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS BY SIEVING, SCREENING, SIFTING OR BY USING GAS CURRENTS; SEPARATING BY OTHER DRY METHODS APPLICABLE TO BULK MATERIAL, e.g. LOOSE ARTICLES FIT TO BE HANDLED LIKE BULK MATERIAL
- B07B13/00—Grading or sorting solid materials by dry methods, not otherwise provided for; Sorting articles otherwise than by indirectly controlled devices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B35/005—Transport systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B35/007—Apparatus for preparing, pre-treating the source material to be used for crystal growth
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/02—Apparatus characterised by their chemically-resistant properties
- B01J2219/0204—Apparatus characterised by their chemically-resistant properties comprising coatings on the surfaces in direct contact with the reactive components
- B01J2219/0245—Apparatus characterised by their chemically-resistant properties comprising coatings on the surfaces in direct contact with the reactive components of synthetic organic material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
- Y10T29/49947—Assembling or joining by applying separate fastener
- Y10T29/49963—Threaded fastener
- Y10T29/49964—At least one part nonmetallic
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
- Y10T428/1352—Polymer or resin containing [i.e., natural or synthetic]
- Y10T428/1355—Elemental metal containing [e.g., substrate, foil, film, coating, etc.]
- Y10T428/1359—Three or more layers [continuous layer]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24008—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including fastener for attaching to external surface
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31678—Of metal
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
1. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами, вызванного контактом поликремния с металлическим субстратом, путем нанесения полимерного покрытия на поверхность металлического субстрата, в котором полимерное покрытие содержит два типа полимерных листов, наложенных один на другой.2. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.1, в котором указанное полимерное покрытие прикреплено таким образом, что два типа полимерных листов с возможностью отделения прикреплены на поверхности металлического субстрата путем использования полимерных болтов.3. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.1, в котором указанные два типа полимерных листов имеют гибкости, отличные друг от друга, и полимерный лист, имеющий более высокую гибкость, расположен на нижней стороне.4. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.1, в котором указанные два типа полимерных листов имеют цветовые тона, отличные друг от друга.5. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.4, в котором из двух типов полимерных листов полупрозрачный полимерный лист используется в качестве верхнего полимерного листа, имеющего цветовой тон, отличный от цветового тона нижнего полимерного листа.6. Элемент, предназначенный для контакта с поликремнием, находящийся в месте, где поликремний входит в контакт с ним, который (элемент) содержит металлический субстрат и полимерное покрытие, нанесенное на указанный металлический субстрат, причем указанное полимерное покрытие содержит два типа полимерных листов, установленных с наложением одного на другой на указанный металлический субстра�
Claims (9)
1. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами, вызванного контактом поликремния с металлическим субстратом, путем нанесения полимерного покрытия на поверхность металлического субстрата, в котором полимерное покрытие содержит два типа полимерных листов, наложенных один на другой.
2. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.1, в котором указанное полимерное покрытие прикреплено таким образом, что два типа полимерных листов с возможностью отделения прикреплены на поверхности металлического субстрата путем использования полимерных болтов.
3. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.1, в котором указанные два типа полимерных листов имеют гибкости, отличные друг от друга, и полимерный лист, имеющий более высокую гибкость, расположен на нижней стороне.
4. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.1, в котором указанные два типа полимерных листов имеют цветовые тона, отличные друг от друга.
5. Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами по п.4, в котором из двух типов полимерных листов полупрозрачный полимерный лист используется в качестве верхнего полимерного листа, имеющего цветовой тон, отличный от цветового тона нижнего полимерного листа.
6. Элемент, предназначенный для контакта с поликремнием, находящийся в месте, где поликремний входит в контакт с ним, который (элемент) содержит металлический субстрат и полимерное покрытие, нанесенное на указанный металлический субстрат, причем указанное полимерное покрытие содержит два типа полимерных листов, установленных с наложением одного на другой на указанный металлический субстрат, и поверхность указанного полимерного листа, расположенного на верхней поверхности, входит в контакт с поликремнием.
7. Элемент, предназначенный для контакта с поликремнием, по п.6, в котором указанные два типа полимерных листов с возможностью отделения прикреплены на указанном металлическом субстрате путем использования полимерных болтов.
8. Элемент, предназначенный для контакта с поликремнием, по п.6, в котором указанные два типа полимерных листов имеют цветовые тона, отличные друг от друга.
9. Элемент, предназначенный для контакта с поликремнием, по п.6, который представляет собой желоб, загрузочную воронку или емкость для измельчения, расположенный или расположенную между этапом загрузки поликремния сразу после его изготовления и этапом изготовления монокристаллов кремния.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009-226630 | 2009-09-30 | ||
| JP2009226630A JP5455530B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | ポリシリコン金属汚染防止方法 |
| PCT/JP2010/066187 WO2011040269A1 (ja) | 2009-09-30 | 2010-09-17 | ポリシリコン金属汚染防止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012116510A true RU2012116510A (ru) | 2013-10-27 |
Family
ID=43826093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012116510/05A RU2012116510A (ru) | 2009-09-30 | 2010-09-17 | Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9828250B2 (ru) |
| EP (1) | EP2484635A4 (ru) |
| JP (1) | JP5455530B2 (ru) |
| KR (1) | KR20120090953A (ru) |
| CN (3) | CN102510835A (ru) |
| MY (1) | MY161117A (ru) |
| RU (1) | RU2012116510A (ru) |
| TW (2) | TWI482735B (ru) |
| WO (1) | WO2011040269A1 (ru) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5653857B2 (ja) * | 2011-07-25 | 2015-01-14 | 株式会社トクヤマ | ポリシリコン受け容器 |
| TWI642603B (zh) * | 2012-11-09 | 2018-12-01 | 陝西有色天宏瑞科矽材料有限責任公司 | 減輕多晶矽的金屬接觸污染的容器及方法 |
| DE102014217179A1 (de) | 2014-08-28 | 2016-03-03 | Wacker Chemie Ag | Kunststoffsubstrate mit Siliciumbeschichtung |
| US10005614B2 (en) | 2016-02-25 | 2018-06-26 | Hemlock Semiconductor Operations Llc | Surface conditioning of conveyor materials or contact surfaces |
| CN108288598A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-07-17 | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 | 用于光伏晶体硅太阳电池的石墨舟的降温处理装置 |
| CN113348149B (zh) * | 2019-01-25 | 2024-07-09 | 株式会社德山 | 多晶硅块状物、其包装体及其制造方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4792493A (en) | 1986-10-07 | 1988-12-20 | Bertram Richard L | Corrosion resistant coating and liner combination |
| JPS6474309A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-20 | Maezawa Kasei Kogyo Kk | Bolt made of plastic |
| JPH081673Y2 (ja) * | 1989-09-12 | 1996-01-24 | 日星電気株式会社 | 製茶装置カバー |
| JPH03279288A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-10 | Osaka Titanium Co Ltd | シリコン原料供給装置 |
| JP2500556B2 (ja) * | 1991-11-27 | 1996-05-29 | 東洋製罐株式会社 | 耐衝撃性に優れたラミネ―ト絞り容器及びその製造法 |
| JPH06100312A (ja) * | 1992-09-18 | 1994-04-12 | Toagosei Chem Ind Co Ltd | 顆粒状多結晶シリコン抜き出し装置 |
| US5626907A (en) * | 1994-02-26 | 1997-05-06 | E. I. Dupont De Nemours And Company | Process for coating metal surfaces with a fluororesin using a primer |
| CA2191935C (en) * | 1995-12-04 | 2006-04-11 | Akio Kotani | Antifouling wall structure, method of constructing antifouling wall and antifouling wall panel transporter therefor |
| JP3603142B2 (ja) * | 1997-12-17 | 2004-12-22 | 株式会社トクヤマ | 選別装置 |
| US20020081435A1 (en) | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Dimitris Katsamberis | Coated article with epoxy urethane based polymeric basecoat |
| US20040000746A1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-01 | Montagna John C. | Method of manufacturing laminated bed and bed liner |
| CN2589063Y (zh) * | 2002-12-24 | 2003-12-03 | 陈定 | 大型壳体防护衬里安装结构 |
| JP2005142319A (ja) | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
| US7270706B2 (en) | 2004-10-04 | 2007-09-18 | Dow Corning Corporation | Roll crusher to produce high purity polycrystalline silicon chips |
| DE102005039118A1 (de) * | 2005-08-18 | 2007-02-22 | Wacker Chemie Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Zerkleinern von Silicium |
| AU2006325612B2 (en) * | 2005-12-16 | 2012-05-31 | Skellerup Industries Limited | Chutes and modules therefor |
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009226630A patent/JP5455530B2/ja active Active
-
2010
- 2010-09-17 CN CN2010800407268A patent/CN102510835A/zh active Pending
- 2010-09-17 WO PCT/JP2010/066187 patent/WO2011040269A1/ja active Application Filing
- 2010-09-17 MY MYPI2012000784A patent/MY161117A/en unknown
- 2010-09-17 RU RU2012116510/05A patent/RU2012116510A/ru not_active Application Discontinuation
- 2010-09-17 KR KR20127005465A patent/KR20120090953A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-09-17 US US13/394,009 patent/US9828250B2/en active Active
- 2010-09-17 EP EP10820388.6A patent/EP2484635A4/en not_active Withdrawn
- 2010-09-17 CN CN201610131592.XA patent/CN105752990A/zh active Pending
- 2010-09-17 CN CN201410213828.5A patent/CN103964442A/zh active Pending
- 2010-09-20 TW TW099131800A patent/TWI482735B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-09-20 TW TW103134726A patent/TW201505851A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103964442A (zh) | 2014-08-06 |
| EP2484635A1 (en) | 2012-08-08 |
| JP5455530B2 (ja) | 2014-03-26 |
| WO2011040269A1 (ja) | 2011-04-07 |
| US20120156413A1 (en) | 2012-06-21 |
| CN102510835A (zh) | 2012-06-20 |
| CN105752990A (zh) | 2016-07-13 |
| JP2011073914A (ja) | 2011-04-14 |
| US9828250B2 (en) | 2017-11-28 |
| TW201132584A (en) | 2011-10-01 |
| TW201505851A (zh) | 2015-02-16 |
| TWI482735B (zh) | 2015-05-01 |
| KR20120090953A (ko) | 2012-08-17 |
| EP2484635A4 (en) | 2015-08-26 |
| MY161117A (en) | 2017-04-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012116510A (ru) | Способ предотвращения загрязнения поликремния металлами | |
| EP2228202A3 (en) | Apparatus for formation of an ophthalmic lens precursor | |
| TW200610587A (en) | Method for dispensing a fluid on a substrate | |
| FR2935618B1 (fr) | Procede pour former un revetement anti-adherent a base de carbure de silicium | |
| AT506622A3 (de) | Vorrichtung und verfahren zum aufbringen und/oder ablösen eines wafers auf einen/von einem träger | |
| EP1701215A3 (en) | Coating and developing system | |
| FR2914422B1 (fr) | Procede de detection de defauts de surface d'un substrat et dispositif mettant en oeuvre ledit procede. | |
| MY143763A (en) | Method and system for using a two-phases substrate cleaning compound | |
| TW200628236A (en) | Apparatus and method for processing a substrate | |
| DE102005053767A1 (de) | MEMS-Mikrofon, Verfahren zur Herstellung und Verfahren zum Einbau | |
| ATE555643T1 (de) | Verfahren zur bildung eines strukturierten substrats | |
| EP1693478A3 (en) | Diffusion barrier for assemblies with metallic and silicon containing components and method therefor | |
| WO2011100647A3 (en) | Double-sided reusable template for fabrication of semiconductor substrates for photovoltaic cell and microelectronics device manufacturing | |
| TW201612367A (en) | Control of electrolyte hydrodynamics for efficient mass transfer during electroplating | |
| TW200738868A (en) | Method and system for using a two-phases substrate cleaning compound | |
| DE502006009104D1 (de) | Transporteinrichtung, insbesondere zum transport flächiger substrate durch eine beschichtungsanlage | |
| FR3033554B1 (fr) | Procede de formation d'un dispositif en graphene | |
| TW200626247A (en) | Coating apparatus, coating method and coating-film forming apparatus | |
| DE602005003043D1 (de) | Haftklebebahn zur Entfernung von Fluoreszierenden Substanzen | |
| FR2958200B1 (fr) | Procede de polissage chimico-mecanique d'un substrat avec une composition de polissage adaptee pour accroitre l'elimination de l'oxyde de silicium | |
| WO2010012966A3 (fr) | Procede et dispositif d'encapsulation de microstructures | |
| WO2011051718A3 (en) | Micro-channel structure method and apparatus | |
| EP2468928A3 (en) | Composition and manufacturing method | |
| WO2009069269A1 (ja) | 基板の切断方法及び装置 | |
| EP2361709A3 (de) | Platteneinzugsvorrichtung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20130918 |