KR20120090953A - 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 폴리실리콘과 접촉하는 금속 기재의 표면에 수지제 커버를 설치함으로써 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 방법에 있어서, 상기 커버의 마모에 의한 금속의 표면 노출을 확실하게 방지할 수 있는 방법을 제공하는 것이다. 본 발명은, 폴리실리콘이 접촉하는 금속 기재의 표면에 수지제 커버를 설치함으로써, 폴리실리콘과 금속 기재의 접촉에 의한 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 방법에 있어서, 수지제 커버(3)로서, 2장의 수지 시트(3a,3b)를 겹쳐서 설치하는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

폴리실리콘 금속 오염 방지 방법{METHOD FOR PREVENTING METAL CONTAMINATION OF POLYSILICON}
본 발명은, 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 방법에 관한 것이며, 보다 상세하게는, 폴리실리콘과 금속 기재의 접촉에 의해 발생하는 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 방법에 관한 것이다.
폴리실리콘은, 반도체 혹은 태양광 발전용 웨이퍼의 원료로서 사용되고 있지만, 고순도인 것이 요구되고 있고, 특히, 저항값 등의 전기적 특성의 저하를 피한다고 하는 관점에서, 금속 불순물의 혼입을 최대한 방지하는 것이 필요하다.
그런데, 폴리실리콘은, 일반적으로, 트리클로로실란 등의 규소 화합물을 수소 등에 의해 환원함으로써 제조되고, 로드 형상 혹은 커다란 괴상물의 형태로 얻어진다. 이와 같은 형태로 얻어진 폴리실리콘은 파쇄되고, 계속해서 에칭에 의해 파쇄 시에 부착된 오염물을 제거하고, 수세 및 건조 공정을 거쳐, 실리콘 단결정 제조 공정으로 운송된다. 이러한 과정에서는, 예를 들어 다양한 금속제 부재(예를 들어, 슈트, 호퍼, 파쇄대, 에칭 조, 수세 조, 건조기 등)가 사용되고 있기 때문에, 이들 금속제 부재와의 접촉에 의한 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 것이 필요하다.
폴리실리콘의 금속 오염을 피하기 위해서는, 금속제 부재 대신에 수지제 부재를 사용하는 것이 가장 간단한 수단이며, 예를 들어 특허문헌 1의 단락 [0003]에는, 폴리실리콘의 금속 오염이 문제가 되는 것 외에, 폴리실리콘이 금속과 접촉하는 부분에 수지제 부재를 사용하는 것이 교시되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 평11-169795호 공보
그런데, 수지제 부재는, 금속제 부재에 비하여 강도나 내구성의 문제가 있기 때문에, 금속제 부재 그 자체를 수지제 부재로 치환할 수 없는 경우가 대부분이며, 예를 들어 상기에서 예시한 호퍼 등의 금속제 부재에서는, 그 표면에 수지제 커버를 설치함으로써 대처되고 있는 것이 실정이다.
그러나, 수지제 커버를 설치한 경우에 있어서도, 아직 과제가 남아있다. 즉, 수지 제품은, 금속 제품에 비하여 마모 등에 의한 소모가 심하다. 이로 인해, 수지제 커버를 설치한 경우에는, 수지제 커버의 마모에 의해 금속 표면이 노출되어버리고, 이 때문에, 폴리실리콘의 금속 오염이 발생한다는 문제가 있다. 또한, 이러한 문제를 확실하게 피하기 위해서는, 빈번하게 품질 관리를 해야 할 뿐 아니라, 수지제 커버가 마모되어 금속 표면이 노출되어 있는 부분을 찾기 위하여, 부재의 전체에 걸쳐 상세하게 체크해야 한다는 문제도 있고, 특히 금속제 부재가 커서 대면적의 부분에 수지제 커버가 설치되어 있는 등의 경우에는, 품질 관리 작업에 걸리는 부담이 매우 크다.
따라서, 본 발명의 목적은, 폴리실리콘과 접촉하는 금속 기재의 표면에 수지제 커버를 설치함으로써 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 방법에 있어서, 상기 커버의 마모에 의한 금속의 표면 노출을 확실하게 방지할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 수지제 커버의 마모를 빠르게 발견할 수 있어, 품질 관리 작업의 부담을 경감하는 것이 가능한 폴리실리콘의 금속 오염 방지 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 폴리실리콘이 접촉하는 금속 기재의 표면에 수지제 커버를 설치함으로써, 폴리실리콘과 금속 기재의 접촉에 의한 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 방법에 있어서,
상기 수지제 커버로서, 2장의 수지 시트를 겹쳐서 설치하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법이 제공된다.
본 발명에 따르면, 또한, 폴리실리콘이 접촉할 수 있는 위치에 배치되어 있는 폴리실리콘 피접촉 부재에 있어서, 금속 기재와, 상기 금속 기재 위에 설치된 수지제 커버로 이루어지고, 상기 수지제 커버는, 중첩된 상태에서 상기 금속 기재 위에 설치되어 있는 2장의 수지 시트로 형성되어 있고, 상면에 위치하는 상기 수지 시트의 표면이 폴리실리콘과 접촉하는 면으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 피접촉 부재가 제공된다.
상기의 폴리실리콘 피접촉 부재의 적합한 예로서는, 제조 직후의 폴리실리콘을 실리콘 단결정 제조 공정에 도입할 때까지의 과정에 배치되어 있는 슈트 또는 호퍼 혹은 파쇄대를 들 수 있다.
본 발명에 있어서는, 수지제 커버가 2장의 수지 시트를 겹쳐서 금속 기재의 표면에 설치되기 때문에, 폴리실리콘과 접촉하는 상측에 배치되는 수지 시트(상측 수지 시트)가 마모되고, 상기 상측 수지 시트 아래의 면이 노출되어 버렸다고 하여도, 그 노출면은 하측에 배치되어 있는 수지 시트(하측 수지 시트)의 면이기 때문에, 폴리실리콘과 금속 기재의 접촉이 방지되어, 폴리실리콘의 금속 오염을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 상측 수지 시트가 마모되어 버렸을 경우에는, 이 수지 시트만을 교환하면 되어 수지 시트의 교환에 의한 비용을 저감할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 상기 수지제 커버를, 수지제 볼트를 사용하여 2장의 수지 시트를 탈착 가능하게 금속 기재의 표면에 설치하는 것이 적합하다. 이에 따라, 각 수지제 기판의 설치 작업 및 교환 작업을 용이하게 행할 수 있고, 물론, 볼트와의 접촉에 의한 폴리실리콘의 금속 오염도 피할 수 있다.
또한, 상기와 같이 볼트 고정에 의해 수지제 커버를 설치한 경우에는, 설치 작업이나 제거 작업이 용이하기 때문에, 마모 등에 의한 교환 작업의 빈도가 매우 적은 하측 수지 시트를 대면적으로 하고, 마모 등에 의한 교환 빈도가 높은 상측 수지 시트는, 이것을 소면적으로 하여 다수의 상측 수지 시트를, 간극 없이 하측 수지 시트 상에 깔아서 설치해서 둠으로써, 마모 개소만을 제거하고 교환하도록 할 수도 있고, 이에 따라, 비용의 경감을 도모할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 2장의 수지 시트를 겹쳐서 설치함으로써 수지제 커버를 설치하였기 때문에, 상측 수지 시트와 하측 수지 시트에서 특성이 상이한 것을 사용함으로써 다양한 이점이 발생한다.
예를 들어, 상기 2장의 수지 시트로서, 서로 유연성이 상이한 것을 사용하고, 유연성이 높은 수지 시트를 하측에 배치할 수 있다. 이 형태에 의하면, 하측 수지 시트와 하지의 금속 기재 표면과의 밀착성이 높고, 금속 기재에 대한 보호 효과가 높아질 뿐만 아니라, 상측 수지 시트와 폴리실리콘의 접촉 등에 의해 면 방향으로 응력이 발생한 경우, 이 하측 수지 시트의 표면이 상측 수지 시트에 추종해서 변위하기 쉽고, 이 결과, 상측 수지 시트와 하측 수지 시트의 마찰에 의한 마모를 효과적으로 저감할 수 있다. 또한, 상측 수지 시트의 경도를 높게 함으로써, 폴리실리콘과의 접촉에 의한 마모를 저감하여 그 수명을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 2장의 수지 시트로서, 서로 색조가 상이한 것을 사용함으로써, 상측의 수지 시트의 마모를 용이하고 또한 신속하게 발견할 수 있다. 즉, 색조가 상이하기 때문에, 상측 수지 시트가 마모되어 하측 수지 시트의 표면이 노출되었을 때에는, 하측 수지 시트의 색조를 육안에 의해 간단하게 인식할 수 있다. 따라서, 이 형태에 따르면, 품질 관리 작업의 부담을 현저하게 경감할 수 있을 뿐만 아니라, 상측 수지 시트의 마모를 신속하게 발견할 수 있기 때문에 하측의 수지 시트의 마모에 의한 금속 기재 표면의 노출을 확실하게 방지할 수 있어 폴리실리콘의 금속 오염을 한층 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 상기와 같이 상측 수지 시트와 하측 수지 시트의 색조를 상이한 것으로 했을 때, 하측 수지 시트와는 색조가 다른 상측 수지 시트로서, 반투명의 것을 사용하는 것이 적합하다. 이 경우에는, 상측 수지 시트의 마모에 따라, 하측 수지 시트의 색조가 서서히 외부로부터 관찰되기 때문에, 하측 수지 시트의 표면이 완전히 노출되기 전의 단계에서 상측 수지 시트를 교환하는 것도 가능해지고, 상측 수지 시트의 마모의 정도에 따라, 적절히 상측 수지 시트를 교환할 수 있다.
[도 1] 본 발명 방법이 적용된 호퍼의 구조를 도시하는 단면도.
[도 2] 도 1의 호퍼의 벽면 구조를 나타내는 부분 확대 단면도.
본 발명의 폴리실리콘의 금속 오염 방지 방법은, 폴리실리콘과 접촉하는 부위에 배치되는 다양한 금속제 부재에 적용할 수 있지만, 특히 대형이며, 또한, 강도나 내구성이 요구되어 이것을 수지제 부재로 치환할 수 없는 금속제 부재에 적용된다. 예를 들어, 금속 오염 방지 방법이 적용된 폴리실리콘 피접촉 부재는, 제조 직후의 폴리실리콘을 실리콘 단결정 제조 공정에 도입할 때까지의 과정에 있어서, 폴리실리콘의 반송, 공급, 배출 등이 이루어지는 부위에 사용되는 슈트나 호퍼의 벽, 혹은 폴리실리콘의 파쇄 시에, 폴리실리콘의 유지를 위해서 사용되는 파쇄대로서 사용할 수 있다. 그 외, 폴리실리콘의 에칭 처리를 행하기 위한 에칭 조, 그 외, 폴리실리콘의 수세나 건조 시에, 폴리실리콘을 유지하기 위한 부재에 적용할 수도 있다.
도 1에는, 본 발명 방법이 적용된 금속 기재인 호퍼를 나타낸 것이며, 도 2에는, 그 벽면의 부분 확대 단면도를 나타냈다.
도 1 및 도 2을 참조하여, 이 금속제 호퍼는, 금속 기재(1)로 형성되어 있고, 이 금속 기재(1)는, 직동부(1a)와 테이퍼부(1b)로 이루어져 있고, 직동부(1a)의 상부 개구로부터 폴리실리콘의 괴상물, 입상물 등이 투입되어, 테이퍼부(1b)의 하단부에 형성되어 있는 개구로부터 하방으로 배출되고, 예를 들어 소정의 수지제 용기 등에 폴리실리콘이 공급되도록 되어 있다.
이 금속 기재(1)의 내면(이 호퍼에 투입되는 폴리실리콘이 접촉하는 측의 면)에는, 본 발명에 따라, 그 전체에 걸쳐 수지제 커버(3)가 깔려 있고, 수지제 커버(3)에 의해 폴리실리콘과 금속 기재(1)의 접촉이 방지되어, 폴리실리콘의 금속 오염이 방지되는 구조로 되어 있다. 이러한 수지제 커버(3)는, 예를 들어 나일론 등의 폴리아미드 등으로 형성된 수지제 볼트(5)에 의해 금속 기재(1)에 고정되어 있다. 즉, 볼트(5)도 수지제이기 때문에, 폴리실리콘의 금속 오염이 확실하게 방지된다.
금속 기재(1)의 재질은, 통상, 내구성 등의 관점에서, 스테인리스 스틸제이며, 호퍼 이외의 금속제 부재에 있어서도, 통상, 스테인리스 스틸제가 채용된다. 물론, 금속 기재의 용도 등에 따라서 요구되는 특성에 따라, 각종 표면 처리 강판이나 알루미늄 등의 경금속판이어도 좋다.
본 발명에 있어서는, 이 수지제 커버(3)가, 금속 기재(1)와 상측 수지 시트(3a)와 하측 수지 시트(3b)가 중첩되어 형성되어 있고, 서로 분리하여 제거 가능하게 되어 있다. 즉, 이들 수지 시트(3a,3b)에는, 수지제 볼트(5)를 관통하기 위한 구멍이 형성되어 있고, 상측 수지 시트(3a)와 하측 수지 시트(3b)를 중첩한 상태에서, 수지제 볼트(5)에 의해 금속 기재(1)의 내면에 고정되어 있다. 즉, 상측 수지 시트(3a)에 폴리실리콘이 접촉하기 때문에, 이 상측 수지 시트(3a)가 점차 마모되어 가는데, 이 마모에 의해 하측 수지 시트(3b)의 표면이 노출되었을 때에는, 볼트(5)를 풀고, 상측 수지 시트(3a)만이 교환되게 된다. 따라서, 이러한 교환 작업을 용이하게 행한다고 하는 관점에서, 볼트(5)는, 상측 수지 시트(3a) 측으로부터 삽입하여 고정하는 것이 적합하다. 이 경우, 볼트(5)의 헤드부는 상측 수지 시트(3a) 측에 위치하게 되지만, 이 헤드부가 돌출되지 않도록, 볼트(5)가 체결되는 부분(즉, 볼트(5)를 관통하는 구멍이 설치되어 있는 부분)에서는, 상측 수지 시트(3a)의 상면에 적당한 오목부를 형성해 두는 것이 좋다.
상술한 상측 수지 시트(3a) 및 하측 수지 시트(3b)의 두께는, 특별히 제한되지 않고, 폴리실리콘에 의한 마모의 정도에 따라 적당한 두께로 하면 좋지만, 일반적으로는, 마모에 의한 소모가 큰 상측 수지 시트(3a)의 두께를 두껍게 하고, 하측 수지 시트(3b)의 두께는, 그다지 두껍지 않아도 되며, 상측 시트(3a)의 마모에 의해, 그 표면이 노출되어 버렸을 때, 어느 정도의 시간, 금속 기재(1)의 표면이 노출되지 않도록 설정되어 있으면 된다.
또한, 상측 수지 시트(3a) 및 하측 수지 시트(3b)는, 금속 기재(1)의 내면 전체에 걸쳐 겹쳐진 상태로 깔려져 있는 한, 그 크기는 임의이며, 예를 들어 대면적으로 형성된 하측 수지 시트(3b)의 복수매를 금속 기재(1)의 내면 전체에 깔고, 한편, 상측 수지 시트(3a)를 소면적으로 하여 하측 수지 시트(3b) 각각에, 복수매의 상측 수지 시트(3a)를 깔도록 할 수도 있다. 또한, 마모되기 쉬운 부분에는, 다른 부분에 비하여 다수의 상측 수지 시트(3a)가 존재하도록 할 수도 있다. 예를 들어, 도 1의 테이퍼부(1b)에 배치되어 있는 상측 수지 시트(3a)는, 직동부(1a)에 배치되어 있는 것에 비하여 마모에 의한 소모가 커서 교환 빈도가 높아지기 때문에, 테이퍼부(1b)에 배치되는 상측 수지 시트(3a)의 매수를 많이 함으로써, 마모된 부분에 대해서만, 교환을 행하면 되어 비용 절감이나 교환 작업이 용이해지는 등의 점에서 유리하다.
이와 같이, 본 발명의 방법에 의하면, 폴리실리콘과 접촉하는 상측 수지 시트(3a)가 마모되었을 경우에도, 금속 기재(1)의 표면에는, 하측 수지 시트(3b)가 존재하고 있기 때문에, 상측 수지 시트(3a)만을 교환함으로써, 금속 기재(1)의 표면과 폴리실리콘의 접촉을 항상 방지할 수 있어 폴리실리콘의 금속 오염을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상측 수지 시트(3a) 및 하측 수지 시트(3b)를 형성하는 수지는, 시트 형상으로 성형되는 한, 특별히 제한되는 것이 아니고, 예를 들어 열가소성 수지, 열경화성 수지, 열가소성 엘라스토머 등의 어느 것으로 형성되어 있어도 좋지만, 통상은, 폴리실리콘의 금속 오염을 방지한다고 하는 관점에서, 아이오노머와 같이, 금속 원소를 포함하는 수지는 피하는 것이 좋다. 또한, 상측 수지 시트(3a)와 하측 수지 시트(3b)는, 동종의 수지이며 또한 동등한 특성을 갖는 것이어도 좋지만, 양자를 다른 수지로 형성하거나 동종의 수지이더라도, 특성이 상이한 것을 사용하고, 상측 수지 시트(3a) 및 하측 수지 시트(3b)의 위치에 따른 특성을 갖게 하는 것이 적합하다.
예를 들어, 상측 수지 시트(3a) 및 하측 수지 시트(3b)로서는, 서로 유연성이 상이한 것을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 하측 수지 시트(3b)로서 유연성이 높은 것[예를 들어 고무 경도(JIS K6253 쇼어 A)가 A90 미만]을 사용하고, 상측 수지 시트(3a)로서는, 내마모성이 요구되기 때문에, 고무 경도가 A90 이상의 경질인 것이 적합하다. 이러한 경우에는, 하측 수지 시트(3b)와 금속 기재(1)의 표면 사이에 높은 밀착성을 확보할 수 있어 금속 기재(1)에 대한 보호 효과를 높일 수 있을 뿐만 아니라, 상측 수지 시트(3a)와 폴리실리콘의 접촉 등에 의해 면 방향으로 응력이 발생한 경우, 하측 수지 시트(3b)의 표면이 상측 수지 시트(3a)에 추종하여 변위하기 때문에, 이에 따라, 상측 수지 시트(3a)와 하측 수지 시트(3b)의 마찰에 의한 마모를 효과적으로 저감하고, 상측 수지 시트(3a)의 경도가 높은 것도 있어, 상측 수지 시트(3a)의 내구성을 향상시켜, 그 교환 빈도를 적게 할 수 있다.
또한, 상측 수지 시트(3a)와 하측 수지 시트(3b)의 색조가 상이할 때에는, 상측 수지 시트(3a)의 마모를 용이하고 또한 신속하게 발견할 수 있어, 품질 관리 작업의 부담을 경감할 수 있다. 즉, 색조가 상이하기 때문에, 상측 수지 시트(3a)가 마모되어 하측 수지 시트(3b)의 표면이 노출되었을 때에는, 하측 수지 시트(3b)의 색조를 육안에 의해 간단하게 인식할 수 있어 품질 관리 작업의 부담을 현저하게 경감할 수 있다. 또한, 상측 수지 시트(3a)의 마모를 신속하게 발견하여 그 교환 시기를 확실하게 판정할 수 있고, 하측 수지 시트(3b)의 마모에 의한 금속 기재(1) 표면의 노출을 확실하게 방지하여 폴리실리콘의 금속 오염을 한층 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 상측 수지 시트(3a)와 하측 수지 시트(3b)의 색조를 상이한 것으로 하는 경우에 있어서, 하측 수지 시트(3b)의 색조를 유색, 특히 흑, 적, 청, 녹 등의 색으로 하여 그 표면이 노출되었을 때에 한눈에 인식할 수 있는 것으로 하고, 동시에, 상측 수지 시트(3a)를 반투명, 특히 백색 등의 무채색의 반투명으로 하는 것이 가장 적합하다. 이러한 형태에 의하면, 상측 수지 시트(3a)가 마모되어 두께가 얇아짐에 따라, 하측 수지 시트(3b)의 색조가 서서히 외부로부터 관찰되게 되어 상측 수지 시트(3a)의 마모 정도를 파악할 수 있다.
색조의 조정 시에는, 폴리실리콘의 금속 오염을 방지한다고 하는 관점에서, 무기 안료를 사용하지 않고, 유기 안료 내지 염료 혹은 카본 블랙 등에 의해 색조를 조정하는 것이 바람직하고, 특히 상측 수지 시트(3a)는, 항상 폴리실리콘과 접촉하기 때문에 그 색조는, 안료 등을 첨가하지 않는 상태의 색인 것이 바람직하다.
또한, 상측 수지 시트(3a)의 반투명 정도는, 일반적으로, 흐림도(헤이즈)가 20 내지 90 정도의 범위로 하는 것이, 상측 수지 시트의 마모를, 하측 수지 시트의 색조가 투과하는 정도에 따라 명료하게 확인할 수 있고 교환 시기를 인식하기 쉬워 바람직하다. 즉, 상측 수지 시트의 투명성이 높고, 하측 수지 시트(3b)의 색조을 처음부터 인식할 수 있는 경우에는 마모의 진행 정도를 인식할 수 없고, 그 불투명의 정도가 지나치게 높을 경우에는, 상측 수지 시트(3a)가 마모되어 하측 수지 시트(3b)의 표면이 노출될 때까지, 상측 수지 시트(3a)의 교환 시기를 인식할 수 없기 때문이다.
상술한 도 1은, 본 발명의 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법을 적용한 폴리실리콘 피접촉 부재를 호퍼로서 사용한 예이지만, 이러한 폴리실리콘 피접촉 부재는, 호퍼로 한정되는 것이 아니라, 폴리실리콘이 접촉하는 개소에 사용되는 다양한 부재, 예를 들어 슈트나 파쇄대 등으로서도 사용할 수 있고, 나아가, 에칭 조, 수세 조, 건조기 등으로서도 사용할 수 있어, 그 사용 형태에 따라, 수지 시트(3a,3b)의 수지 소재 종류를 적절히 변경할 수 있다.
예를 들어, 파쇄대와 같은 경도가 요구되는 금속 기재에 본 발명을 적용하는 경우에는, 상측 수지 시트(3a)는 특히 경질인 것이 적합하다. 또한, 이 경우에는, 수지 시트(3a,3b), 특히 상측 수지 시트(3a)가, 나일론 등의 폴리아미드나, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀 등으로 형성되어 있는 것이 특히 바람직하다. 파쇄 후에 이루어지는 에칭 공정이나 수세 공정에서, 폴리실리콘에 혼입된 수지의 마모 가루를 제거할 수 있기 때문이다. 즉, 폴리아미드는, 에칭 시에 사용되는 약액에 용해되기 때문에, 에칭 공정에서, 그 마모 가루를 폴리실리콘으로부터 제거할 수 있다. 또한, 폴리올레핀은, 물에 부유하기 때문에, 수세 공정에서 그 마모 가루를 폴리실리콘으로부터 제거할 수 있다. 이들 중에서도, 폴리프로필렌은 경질이며, 내마모성이 우수하다고 하는 점에서 상측 수지 시트(3a)를 형성하는 수지 소재로서 최적이다.
또한, 하측 수지 시트(3b)를, 미량의 공단량체를 포함하는 폴리테트라플루오로에틸렌 등의 불소 함유 수지로 형성할 때에는, 높은 내약품성과 유연성에 의해, 수지 시트(3a,3b)의 마모를 효과적으로 억제할 수 있고, 또한 금속 기재(1)를 약액으로부터 보호할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 호퍼를 비롯하여, 그 밖의 금속 기재를 구성하는 금속 기재의 표면에, 2장의 수지 시트(3a,3b)를 겹쳐서 설치함으로써, 폴리실리콘의 금속 오염을 확실하게 방지할 수 있고, 그 품질 관리 작업도 매우 용이해진다.
1: 금속 기재
3: 수지제 커버
3a: 상측 수지 시트
3b: 하측 수지 시트
5: 수지제 볼트

Claims (9)

  1. 폴리실리콘이 접촉하는 금속 기재의 표면에 수지제 커버를 설치함으로써, 폴리실리콘과 금속 기재의 접촉에 의한 폴리실리콘의 금속 오염을 방지하는 방법에 있어서,
    상기 수지제 커버로서, 2장의 수지 시트를 겹쳐서 설치하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수지제 커버를, 수지제 볼트를 사용하여, 2장의 수지 시트를 탈착 가능하게 금속 기재 표면에 설치하는 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 2장의 수지 시트로서, 서로 유연성이 상이한 것을 사용하고, 유연성이 높은 수지 시트를 하측에 배치하는 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 2장의 수지 시트로서, 서로 색조가 상이한 것을 사용하는 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 2장의 수지 시트에 있어서, 하측 수지 시트와는 색조가 다른 상측 수지 시트로서, 반투명의 것을 사용하는 폴리실리콘 금속 오염 방지 방법.
  6. 폴리실리콘이 접촉할 수 있는 위치에 배치되어 있는 폴리실리콘 피접촉 부재에 있어서,
    금속 기재와, 상기 금속 기재 위에 설치된 수지제 커버로 이루어지고, 상기 수지제 커버는, 중첩된 상태에서 상기 금속 기재 위에 설치되어 있는 2장의 수지 시트로 형성되어 있고, 상면에 위치하는 상기 수지 시트의 표면이 폴리실리콘과 접촉하는 면으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 피접촉 부재.
  7. 제6항에 있어서, 상기 2장의 수지 시트가, 수지제 볼트에 의해, 탈착 가능하게 상기 금속 기재 위에 설치되어 있는 폴리실리콘 피접촉 부재.
  8. 제6항에 있어서, 상기 2장의 수지 시트로서, 서로 색조가 상이한 것이 사용되고 있는 폴리실리콘 피접촉 부재.
  9. 제6항에 있어서, 제조 직후의 폴리실리콘을 실리콘 단결정 제조 공정에 도입할 때까지의 과정에 배치되어 있는 슈트 또는 호퍼 혹은 파쇄대인 폴리실리콘 피접촉 부재.
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