JP3603142B2 - 選別装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ポリシリコン製品等の選別装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置基板等に適用されるポリシリコンは高純度であることが求められ、分級工程においても汚染がないことが重要となる。このポリシリコンは硬度が非常に高く、例えば、振動篩で分級する場合、スクリーン材質である金属が摩耗して付着することによりポリシリコンに多大の金属汚染が与えられる。
そこで、従来、半導体ポリシリコン製品の分級は、図6に示すようにベルトコンベヤー80上を流れる半導体ポリシリコン製品81を、作業員82が目視により大きさを判断して、専用コンテナ83にナゲット(最大片長:20mm〜110mm、重量:10g〜400g相当)を回収し、ナゲット未満についてはスクリーン材質としてポリエステル樹脂を採用した振動篩84で自動分級するという工程で行われていた。
しかしこの従来の半導体ポリシリコン製品81の選別分級は、そのナゲットについては作業員82により行われ、ナゲット未満については後段の振動篩84で自動分級されるように、手作業を中心とした選別分級であって、その作業性が極めて非能率的であるという問題があった。
そこでかかる半導体ポリシリコン製品81の選別分級に手作業ではなく機構的に選別を行う選別装置を適用することが検討されている。
この様な手作業を省略して機構的に選別を行う選別装置として従来から一般に知られている選別装置としては特開昭55−24587号公報、特開昭57−156081号公報、及び特開平6−296411号公報などに記載された玉葱、芋、果実等を選別の対象とする選別装置がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし以上の各公報に記載された選別装置を半導体ポリシリコン製品の選別分級に適用した場合には、次のような問題が生じる。
すなわち従来の選別装置を半導体ポリシリコン製品の選別分級に適用する場合には、分級の際にポリシリコン製品に接触する部分の金属が摩耗して付着することによりポリシリコン製品が金属汚染されることを防ぐために、分級の際にポリシリコン製品に接触する部分の材質に共材(ポリシリコン)又は樹脂を採用しなければならない。しかし選別の対象となるポリシリコンは、極めて固いため、前記果実等の選別に比べて接触する部分の破損が起こり易い。この場合その様に共材を採用した態様では、分級の際にポリシリコン製品に接触した共材部分が破損しても共材であることからポリシリコンの汚染という問題は生じないが、破損により発生する目詰まり、噛み込み等に起因して分級精度が低下するという問題は残る。また、材質に樹脂を採用した場合についても同様の問題は残る。
【0004】
その場合に、ポリシリコン製品に接触して破損した部分を破損後簡単に補修することができれば、機構的に選別を行う選別装置を半導体ポリシリコン製品の選別分級に適用することは可能となる。しかし従来の各選別装置では分級の際にポリシリコン製品に接触する部分である多数の選別ロール等が駆動部と一連に連結されており、その一部の選別ロールだけが破損した場合であってもその補修は容易ではなく、分級の際にポリシリコン製品に接触することにより破損する頻度が少なくない点からして、事実上かかる従来の選別装置を半導体ポリシリコン製品の選別分級に適用することは不可能であった。
【0005】
本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、半導体ポリシリコン製品の様に高純度であることが求められ、分級工程においても汚染がないことが重要となる分級対象にも適用でき、その様な分級対象の分級効率を向上させることができる選別装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の選別装置は、複数の選別ロールと、これらの選別ロールとは独立していて、前記選別ロール間の間隙を広げながら前記選別ロールを進行させる進行駆動手段とを備え、
前記選別ロール間の間隙で製品を大きさ別に分級するようにしたことを特徴とする。
【0007】
かかる構成により、選別ロールが進行駆動手段に対して独立しているために、選別ロールが選別対象との接触により破損した場合であっても、破損した選別ロールの取換えを容易に行うことができ、選別ロールの破損による分級精度の低下等の問題は生じない。また選別ロールが、間隙を広げながら進行することで、塊状で不定形の製品を、自動的に詰まり、噛み込み等の問題を起こすことなく大きさ別に分級することができ、作業能率を向上させることができる。
【0008】
上記目的を達成するために、本発明の選別装置は、複数の選別ロールと、前記選別ロール間の間隙を広げながら前記選別ロールを進行させる進行駆動手段とを備え、各選別ロールが進行駆動手段から各別に着脱されることを特徴とする。
【0009】
かかる構成により、各選別ロールが進行駆動手段から各別に着脱されるので、選別ロールが選別対象との接触により破損した場合であっても、破損した選別ロールのみを取換えれば補修は完了し、選別ロールの破損による分級精度の低下等の問題を回避することができる。また選別ロールが、間隙を広げながら進行することで、塊状で不定形の製品を、自動的に詰まり、噛み込み等の問題を起こすことなく大きさ別に分級することができ、作業能率を向上させることができる。
【0010】
また、上記目的を達成するために、本発明の選別装置は、前記進行駆動手段の終端部から始まると共にロール進行方向に向かって下り傾斜し選別ロールを案内するガイドレールとを備え、前記選別ロールは前記終端部において解放され前記ガイドレール上を進行するようになすことを特徴とする。
【0011】
かかる構成により、進行駆動手段の終端部では、選別ロールを解放してフリーの状態にすると、選別ロールはロール進行方向に向かって下り傾斜したガイドレール上を進行するため、選別ロール間の間隙は、製品の最終の選別サイズより大きくなり、製品は制限を受けることなく自由に落下して、例えば、下方に設置したコンテナ内に回収される。
【0012】
したがって規格外の製品が排出されないまま選別装置を通過することによる選別ロールの破損等の後工程への悪影響を回避することができ、分級効率を向上させることができる。
【0013】
また、上記目的を達成するために、本発明の選別装置は、複数の選別ロール間の間隙を広げながら進行させる進行駆動手段を備えた選別ロール水平搬送手段と、前記選別ロール水平搬送手段の終端部に移送された前記選別ロールを順次下方に搬送する選別ロール下降手段と、前記選別ロール下降手段で順次下降した前記選別ロールを、リターンレール上に移してロール進行方向とは逆方向に移動させる選別ロールリターン手段と、前記選別ロールリターン手段でロール進行方向とは逆方向に移送された前記選別ロールを順次上昇させて、最上位において前記選別ロール水平搬送手段の搬入部に搬入する選別ロール上昇手段とを備えることを特徴とする。
【0014】
かかる構成により、選別ロール水平搬送手段により、選別ロールが、その間隙を広げながら進行して、塊状で不定形の製品を大きさ別に分級した後に、選別ロール下降手段により選別ロールを順次下方に搬送し、その後に、選別ロールリターン手段により、選別ロールをリターンレール上をロール進行方向とは逆方向に移動させ、次に、選別ロール上昇手段により選別ロールを順次上昇させて、最上位において選別ロール水平搬送手段の搬入部に搬入する。したがって選別ロールを自動的にエンドレスに循環させることができ、省力化・合理化を図ることができる。
【0015】
また、上記目的を達成するために、本発明の選別装置は、前記進行駆動手段としてロール進行方向に沿って延びる一対のスクリュー軸を配置し、そのスクリュー軸に溝ピッチが連続的又は段階的に変化する螺旋状の送り溝を設け、前記選別ロールの両端部に前記送り溝に摺動可能に挿入されるカムフォロアを設け、前記一対のスクリュー軸の回転に伴い前記カムフォロアが前記送り溝を走査して前記選別ロールが進行せしめられることを特徴とする。
【0016】
かかる構成により、一対のスクリュー軸の回転でカムフォロアが送り溝を走査することにより、選別ロールが、その間隙を連続的に広げながら進行し、塊状で不定形の製品を、自動的に大きさ別に分級することができる。
【0017】
また、上記目的を達成するために、本発明の選別装置は、前記スクリュー軸の前記送り溝の始端部で終わると共に前記選別ロールの前記カムフォロアを前記送り溝に案内する様にロール進行方向に向かって下り傾斜したガイドレールを設けると共に、カムフォロアの送り溝に対するミスセットを検出して装置停止指令信号を出力するセンサーを設けることを特徴とする。
【0018】
かかる構成により、選別ロールが、ロール進行方向に向かってガイドレール上を転がる推力を用いて、この選別ロールのカムフォロアを送り溝にセットできる。また、ミスセットが生じた場合には、センサーにより検出して装置を停止することができる。
【0019】
また、上記目的を達成するために、本発明の選別装置は、前記ガイドレールに固着されたラック歯車と前記選別ロールに設けられたピニオンギヤとが噛み合うことにより当該選別ロールに回転を付与する回転付与手段とを備えることを特徴とする。
【0020】
かかる回転付与手段により選別ロールに同一方向の回転を任意に与えることができ、選別ロール上に残留したまま、すなわち分級されることなく選別装置を通過する製品はなく、分級効率を高めることができる。また、前記ギヤは連続的または断続的に噛み合わせることができる。
【0021】
また前記選別ロールの垂直荷重を受ける垂直荷重受け手段を設け、この垂直荷重受け手段を選別ロールを進行させる前記進行駆動手段とは独立させることにより、荷重の分散を行い、選別ロールの送りを滑らかにすることができる。また、各部の部分的な当たりの強さを緩和して、各接触部の破損防止を図ることができる。特に分級の対象が半導体ポリシリコン製品等のように、分級過程における不純物の混入を極力避ける必要のあるものである場合には、各接触部の破損により生じる金属片等の混入による分級製品の汚染の可能性を低くすることができる。
【0023】
また前記選別ロールの選別部分と駆動部分との間にラビリンス手段を設けることにより、選別部分で生じた破片や微粉が駆動部分に飛散し、噛み込みなどを起こして、駆動部分または選別ロールが破損することを回避することができる。
【0024】
また前記選別ロールの両端側にギヤを設け、前記選別ロールリターン手段が、ロール進行方向とは逆方向に下り傾斜して前記選別ロールをロール進行方向とは逆方向に転動させるリターンレールと、前記ギヤに噛み合うラック歯部を有するラック部材とで構成することにより、選別ロールリターン手段により、選別ロールをリターンレール上をロール進行方向とは逆方向に移動させて、選別ロール上昇手段に移す場合、進行中の選別ロールが蛇行してリターンレールを外れたり停止したりすることを回避できる。
【0025】
また前記選別ロールに空気を吹き付ける補助手段を設けることにより、選別ロール上に残留したまま、すなわち分級されることなく選別装置を通過する製品はなく、分級効率を高めることができる。
【0026】
また前記選別ロールを上から押えるガイドレールを設けることにより選別ロールの進行を安定させることができる。
また少なくとも前記選別ロールの材質を分級対象と同一材質又は少なくとも表面を耐摩耗性樹脂で構成することにより分級対象物への不純物の混入を防止することができる。蒸気耐摩耗性樹脂としては、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエーテルサルホン(PES)などが好適である。
【0027】
また少なくとも前記選別ロールの材質としてポリシリコン又は耐摩耗性樹脂で構成したものをを選択し半導体ポリシリコン製品を分級するようにすることにより、半導体ポリシリコン製品を分級する際の金属による汚染を防止することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る選別装置を図面に基づいて説明する。
図1は同選別装置の平面図、図2は同選別装置の側面図、図3は図1のZ−Z線に沿う断面図、図4は同選別装置における回転付与機構部の説明図、図5は本発明に係る選別装置の概略的な構成説明図である。
なお、ロール進行方向Xに直角な方向を左右方向とする。
【0029】
本発明に係る選別装置は、図1、図2に示すように装置フレームAと、多数本の選別ロール1と、装置フレームAに設けられて選別ロール1を循環搬送する選別ロール循環搬送機構部Bとを備えており、また、この選別ロール循環搬送機構部Bは選別ロール水平搬送部(選別ロール水平搬送手段)Cと、この選別ロール水平搬送部Cの選別ロール搬出側に位置する選別ロール下降機構部(選別ロール下降手段)Dと、選別ロール水平搬送部Cの選別ロール搬入側に位置する選別ロール上昇機構部(選別ロール上昇手段)Eと、選別ロール下降機構部Dにより下降した選別ロール1を選別ロール上昇機構部Eに搬送する選別ロールリターン機構部(選別ロールリターン手段)Fと供給コンベヤー又はシューターGとを備えている。
【0030】
前記装置フレームAは、平面長方形状の枠フレーム2の4つの隅角部に脚フレーム3を設けて構成してある。
【0031】
また、図3に示すように前記選別ロール1は断面円形状の選別部分である選別ロール部20を備えており、この選別ロール部20の左、右端側には複数のリング溝21とリング溝21間の仕切り22とにより成るラビリンス部23L、23Rが形成してあり、また、選別ロール部20の左、右端側にはラビリンス部23L、23Rの外方に位置させて駆動部(駆動部分)24L、24Rが設けてある。この駆動部24L、24Rはガイドローラ25L、25Rとピニオンギヤ26L、26Rとを有しており、このガイドローラ25L、25Rとピニオンギヤ26L、26Rとの間がレールガイド部27L、27Rに成される。また、選別ロール部20の左、右端面にはピン状のカムフォロア50L、50Rが固着してある。
【0033】
図1、図3に示すように前記選別ロール水平搬送部Cは、左右のスクリュ−軸4L、4Rを有しており、これらのスクリュ−軸4L、4Rの軸体5の周面には螺旋状に送り溝6が形成してあり、この送り溝6は、その一端側6aから他端側6bに向かって、その溝ピッチが徐々に大きくなる様に設定されている。以上のスクリュー軸4L、4Rにおいて、左のスクリュ−軸4Lは、その両端部を、枠フレーム2上に固設された軸受装置8L、9Lに回転可能に保持されて装置フレームAに、ロール進行方向Xに沿って設けてあり、また、右のスクリュ−軸4Rは、その両端部を、枠フレーム2上に固設された軸受装置8R、9Rに回転可能に保持されて装置フレームAに、ロール進行方向Xに沿って設けてあって、かかる左右のスクリュ−軸4L、4Rは互いに平行に設置されている。
【0034】
また、左のスクリュ−軸4Lは左の回転駆動機構(進行駆動手段)10Lにより、右のスクリュ−軸4Rは右の回転駆動機構(進行駆動手段)10Rにより、それぞれ同期回転される。左の回転駆動機構10Lは、装置フレームAに設置された駆動モータ12Lを有しており、この駆動モータ12Lの出力軸12aに、左のスクリュ−軸4Lの軸端がカップリング13Lを介して接続してある。右の回転駆動機構10Rは、装置フレームAに設置された駆動モータ12Rを有しており、この駆動モータ12Rの出力軸12aに、右のスクリュ−軸4Rの軸端がカップリング13Rを介して接続してある。上記態様において、駆動モータを一台とし、ギヤ等の動力伝達機構により左右の駆動機構を駆動しても良い。
【0034】
また、装置フレームAの枠フレーム2には、左のスクリュ−軸4L側に寄せて左のガイドレール5Lが、また、右のスクリュ−軸4R側に寄せて右のガイドレール5Rがそれぞれロール進行方向Xに平行に固設してある。この左及び右のガイドレール5L、5Rの始端側にはロール進行方向Xに向かって下り傾斜する始端側傾斜部7が、また、終端側にはロール進行方向Xに向かって下り傾斜する終端側傾斜部14がそれぞれ形成してある。
【0035】
図3、図4に示す様に、前記選別ロール水平搬送部Cには左及び右のガイドレール5L、5Rのそれぞれの内方に位置させて左右の固定側ラビリンス部15L、15Rと左右のシュート16L、16Rとが、装置フレームAに支持部材(図示せず)を介して配置してある。左右の固定側ラビリンス部15L、15Rは、複数の仕切り28を下向きに突出させて構成してある。これらの仕切り28は、前記選別ロール1のロール側ラビリンス部23L、23Rの複数のリング溝21に挿入されるものである。また、左右のシュート16L、16Rの上端側には仕切り29が形成してあり、これらの仕切り29は、前記選別ロール1のラビリンス部23L、23Rの複数のリング溝21に下から挿入されるものである。
【0036】
また、前記選別ロール下降機構部Dは、前記装置フレームAの上部に軸受装置30L、30Rを介して設けられた上側回転軸31と、前記装置フレームAの下部に軸受装置(図示せず)を介して設けられた下側回転軸32とを備えており、上側回転軸31の左右にはスプロケット33L、33Rが固着してあり、また、下側回転軸32の左右にはスプロケット34L、34Rが固着してあり、左のスプロケット33L、34L間には左の無端チェーン35Lが、右のスプロケット33R、34R間には右の無端チェーン35Rがそれぞれ掛けてあり、左右の無端チェーン35L、35Rには複数のプレート状の搬送台36が所定の間隔をおいて取り付けてある。
【0037】
また、上側回転軸31の右端部には中間スプロケット56が固着してあり、また、装置フレームAには回転駆動モータ57が固設してあって、この回転駆動モータ57の出力軸57aに固着した駆動スプロケット58と中間スプロケット56との間にに無端状のチェーン59が掛け回される。
【0038】
また、前記選別ロール上昇機構部Eは、前記装置フレームAの上部に軸受装置37L、37Rを介して設けられた上側回転軸38と、前記装置フレームAの下部に軸受装置(図示せず)を介して設けられた下側回転軸39とを備えており、上側回転軸38の左右にはスプロケット40L、40Rが固着してあり、また、下側回転軸39の左右にはスプロケット41L、41Rが固着してある。左のスプロケット40L、41L間には左の無端チェーン42Lが、右のスプロケット40R、41R間には右の無端チェーン42Rがそれぞれ掛けてあり、左右の無端チェーン42L、42Rには複数のプレート状の搬送台43が所定の間隔をおいて取り付けてある。
【0039】
また、上側回転軸38の右端部には中間スプロケット60が固着してあり、また、装置フレームAには回転駆動モータ61が固設してあって、この回転駆動モータ61の出力軸61aに固着した駆動スプロケット62と中間スプロケット60との間には無端状のチェーン63が掛け回される。上記選別ロール下降機構部D及び選別ロール上昇機構部Eは上記態様に限定されず、単独ロールの下降又は上昇の機能を有する他の機構が特に制限無く採用される。
【0040】
前記選別ロールリターン機構部Fは、前記装置フレームAの脚フレーム3に固着されたブラケット44L、44Rに保持されてロール進行方向Xに沿う左右のリターンレール45L、45Rを備えており、これらのリターンレール45L、45Rの上面は前記ロール進行方向Xとは逆方向に傾斜している。また、左右のリターンレール45L、45Rの外面にはラック部材46L、46Rが固着してあり、これらのラック部材46L、46Rのラック歯部47は前記ロール進行方向Xとは逆方向に傾斜している。
【0041】
さらに以上の構成において、多数の選別ロール1の左右のレールガイド部27L、27Rは選別ロール水平搬送部Cの左右のガイドレール5L、5Rに載せてあり、また、左右のカムフォロア50L、50Rは、左右のスクリュ−軸4L、4Rの螺旋状の送り溝6に摺動可能に挿入してある。また、左右の固定側ラビリンス部15L、15Rの仕切り28は、前記選別ロール1のラビリンス部23L、23Rの複数のリング溝21に挿入してあり、また、左右のシュート16L、16Rの上端側の仕切り29が、前記選別ロール1のラビリンス部23L、23Rの複数のリング溝21に下から挿入してあって、これらでラビリンス手段を構成している。
【0042】
前記選別ロール水平搬送部Cの下方には、コンテナを自動供給及び排出するための好適な態様としてロール進行方向Xに対して直角方向、すなわち、左右方向に伸びるアキュームコンベヤー51が、ロール進行方向Xに直交する方向に向けて所定の間隔をおいて複数敷設してあり、これらのアキュームコンベヤー51には、選別ロール1の下方に位置されてコンテナ位置決め用ストッパー52、53が設けてある。また、選別ロール水平搬送部Cの搬入側には、前記選別ロール1のミスセットを検出して装置停止指令信号を出すセンサ76が配置される。
【0043】
次に、上記のように構成された選別装置の動きを説明する。
前記選別ロール水平搬送部Cにおいては、左右の駆動モータ12L、12Rを同期回転駆動することにより、左右のスクリュ−軸4L、4Rを選別ロール送り方向に回転させる。これら左右のスクリュ−軸4L、4Rの回転により、選別ロール1は、その左、右端部のカムフォロア50L、50Rの送り溝6による送りによりロール進行方向Xに送られる。この場合、選別ロール1のラビリンス部23L、23Rと左右の固定側ラビリンス部15L、15Rとは相互間に間隙を保持して係合する。
【0044】
送り溝6は、その一端側6aから他端側6bに向かって、そのピッチが徐々に大きくなるものであるために、ロール進行方向Xに移動するにしたがって、隣り合う選別ロール1の間隔は徐々に大きくなる。
【0045】
以上のように左右のスクリュ−軸4L、4Rの回転によりロール進行方向Xに移動した選別ロール1は、その左、右端部のカムフォロア50L、50Rが送り溝6の終端6bから解放されて、左右のガイドレール5L、5Rの終端側に設けた終端側傾斜部14に移される。この終端側傾斜部14は、ロール進行方向Xに向かって下降傾斜しているために、選別ロール1は、その左右のガイドレール5L、5Rで終端側傾斜部14を転がり、選別ロール下降機構部Dの搬入側に移動する。
【0046】
この選別ロール下降機構部Dにおいては、回転駆動モータ57の駆動により駆動スプロケット58と無端状のチェーン59と中間スプロケット56とを介して上側回転軸31を回転し、左のスプロケット33L、34L間に掛けられた左の無端チェーン35Lと、右のスプロケット33R、34R間に掛けられた右の無端チェーン35Rをそれぞれ図2に示す矢印Hの方向に回転させて複数の搬送台36を下方向に送る。
【0047】
したがって、選別ロール下降機構部Dの搬入側に移動搬入された選別ロール1は、次々に、搬入側に来る搬送台36に載り、この搬送台36の下降により順次下降し、最下位において前記選別ロールリターン機構部Fのリターンレール45L、45R上に移される。この場合、選別ロール1のレールガイド部27L、27Rがリターンレール45L、45Rの上面に当接すると共に、選別ロール1のピニオンギヤ26L、26Rがラック部材46L、46Rのラック歯部47に噛み合う。
【0048】
前記リターンレール45L、45Rの上面は前記ロール進行方向Xとは逆方向に向かって下り傾斜しているために、選別ロール1は、その自重により転がり、前記選別ロール上昇機構部Eの搬入側に移動する。
【0049】
この選別ロール上昇機構部Eにおいては、回転駆動モータ61の駆動により駆動スプロケット62と無端状のチェーン63と中間スプロケット60とを介して上側回転軸38を回転し、左のスプロケット40L、41L間に掛けられた左の無端チェーン42Lと、右のスプロケット40R、41R間に掛けられた右の無端チェーン42Rをそれぞれ図2に示す矢印Iの方向に回転させて複数の搬送台43を上方向に送る。
【0050】
したがって、選別ロール上昇機構部Eの搬入側に移動搬入された選別ロール1は、次々に、搬入側に来る搬送台43に載り、この搬送台43の上昇により順次上昇し、最上位において前記選別ロール水平搬送部Cの搬入側に移される。
【0051】
この選別ロール水平搬送部Cの左右のガイドレール5L、5Rにおいては、それぞれの始端側がロール進行方向Xに向かって下り傾斜する始端側傾斜部7に成されているために、選別ロール水平搬送部Cの搬入側に移された選別ロール1は始端側傾斜部7を転がり、左、右端部のカムフォロア50L、50Rが左右のスクリュ−軸4L、4Rの送り溝6の始端側6aに挿入される。その際、選別ロール1のカムフォロア50L、50Rが左右のスクリュ−軸4L、4Rの送り溝6の始端側6aに適正に挿入されず、何等かの態様でのミスセットが生じた場合には、前記センサ76によりミスセットが検知され、図示しない制御部から装置停止指令信号が発せられて、駆動モータ12L、12Rの同期駆動が停止され、スクリュー軸4L、4Rの回転が停止される。その後、上記したように選別ロール水平搬送部Cにおいて選別ロール1は再度ロール進行方向Xに移送され、かかる過程の反復により、特に支障がない限り、本分級装置による分級作業は事実上エンドレスに継続される。
【0052】
次に、上記した選別装置を使用しての、半導体ポリシリコン製品の分級作業を説明する。
前記選別ロール水平搬送部Cの下方には、ロール進行方向Xと直交する方向に並んだすべてのアキュームコンベヤー51によりコンテナ71が搬送されていて、コンテナ71はその前後をコンテナ位置決め用ストッパー52、53により位置決めされて停止している。
【0053】
図5に示すように、ロッド破砕台73で破砕された大きさの異なる塊状で不定形の多数の半導体用ポリシリコン製品70は、選別装置の搬入側に配置された供給コンベヤー又はシューターGからこの選別装置の選別ロール水平搬送部Cの搬入側の選別ロール1上に供給される。この場合、供給コンベヤー又はシューターGを振動させて、万偏なく半導体用ポリシリコン製品70を選別ロール水平搬送部Cに供給する。
【0054】
選別ロール1は、その左、右端部のカムフォロア51L、51Rが、左右のスクリュ−軸4L、4Rの回転しながら溝ピッチを連続的に変化する送り溝6を走査することにより、その間隔を広げながら進行するために、初期においては選別ロール1間の間隔は小さくロール進行方向Xに進むにしたがって、その間隔が大きくなる。
【0055】
したがって、選別ロール1間の間隔が小さい領域では、規定外の大きさより小さい半導体用ポリシリコン製品70−1が分級されて間隙より落下してコンテナ71内に集められる。次に、選別ロール1間の間隔が適切な領域では、規定内の大きさの半導体用ポリシリコン製品70−2が分級されて間隙より落下してコンテナ71内に集められる。次に、規定外の大きさより大きい半導体用ポリシリコン製品70−3が分級されて間隙より落下してコンテナ71内に集められる。
【0056】
次に、コンテナ71前方のコンテナ位置決め用ストッパー52を外してコンテナ71を搬出する。
【0057】
上記のように選別ロール1が、その間隔を広げながら進行するために、半導体用ポリシリコン製品70の詰り、噛み込みがなく、選別ロール1上に残留したまま、すなわち、分級されることなく選別装置を通過する半導体用ポリシリコン製品70がなく、分級効率を高めることができる。
【0058】
また、前記選別ロール1は円柱状であって、この選別ロール1に回転を与える回転付与手段を設けてもよい。この回転付与手段は、例えば図4に示すように前記ガイドレール5L、5Rにラック部材74を固着して構成してもよく、このラック部材74のラック歯部74aに、進行する選別ロール1に設けたピニオンギヤ26L、26Rが噛み合うことにより選別ロール1に回転を付与することができる。また、ラック部材74は、前記選別ロール1の進行範囲の全域に設ける必要は無く、部分的に設けて断続的に噛み合わせることにより選別ロール1に同一方向の回転を任意に与えるようにしてもよい。
【0059】
このように選別ロール1に回転を与えることにより、選別ロール1上に残留したまま、すなわち分級されることなく選別装置を通過する製品はなく、分級効率を高めることができる。
【0060】
また、図4に示すように前記選別ロール1を上から押えるガイドレール75を設けてもよい。このようにガイドレール75により選別ロール1を上から押えることにより、選別ロール1の進行を安定させることができる。また、前記選別ロール1が角柱状であってもよい。
【0061】
また、前記選別ロール1の垂直荷重を受ける垂直荷重受け手段としてのガイドレール5L、5Rは、この選別ロール1を進行させる進行駆動手段とは独立させてあるために、荷重の分散を行い、選別ロール1の送りを滑らかにすることができる。
【0062】
また、前記スクリュー軸4L、4Rの送り溝6の始端6a側では、選別ロール1が、ロール進行方向Xに向かって下り傾斜したガイドレール5L、5R上を転がる推力を用いて、選別ロール1のカムフォロア50L、50Rを送り溝6にセットすることができる。その際、選別ロール1のカムフォロア50L、50Rが左右のスクリュ−軸4L、4Rの送り溝6の始端側6aに適正に挿入されないミスセットが生じた場合には、前記センサ76によりこれが検知され駆動モータ12L、12Rが停止され、スクリュー軸4L、4Rの回転が停止されるので、ミスセットされたまま駆動が継続されることによる分級ミス及び選別ロール破損等に事故は生じない。
【0063】
また、前記スクリュー軸4L、4Rの送り溝6の終端6b側では、選別ロール1を送り溝6より解放して、選別ロール1がロール進行方向Xに向かって下り傾斜したガイドレール5L、5R上を進行するようにしてあるために、スクリュー軸4L、4Rの送り溝6の終端6b側では、選別ロール1を送り溝6から解放してフリーの状態にすると、選別ロール1はガイドレール5L、5R上を進行して選別ロール1間の間隙は、製品の最終の選別サイズより大きくなり、製品は制限を受けることなく自由に落下して、下方に設置したコンテナ71内に回収される。したがって、規格外の製品が排出されないまま選別装置を通過することによる、選別ロール1の破損等の後工程への影響の回避ができる。
【0064】
また、前記選別ロール1の選別部分と駆動部分との間にラビリンス手段が設けてあるために、選別部分で生じた破片や微粉が駆動部分に飛散し、噛み込みなどを起こして、駆動部分または選別ロール1が破損することが回避できる。
【0065】
また、前記選別ロール1が、選別ロールリターン手段Fのリターンレール45L、45Rを転動する際に、ピニオンギヤ26L、26Rがラック部材46L、46Rのラック歯部47に噛合されることにより、進行中の選別ロール1が蛇行してリターンレール45L、45Rを外れたり停止したりすることを回避できる。
【0066】
また、前記選別ロール1に部分的に空気を吹き付けるノズル等の補助手段を設けてもよい。この場合、選別ロール1に部分的に空気を吹き付けることにより、選別ロール1上に残留したまま、すなわち分級されることなく選別装置を通過する製品はなくなり、分級効率を高めることができる。
【0067】
上記した本発明の実施の形態によれば、進行駆動手段を、ロール進行方向Xに沿う一対のスクリュー軸4L、4Rに溝ピッチが連続的に変化する螺旋状の送り溝6を設け、選別ロール1の両端部にカムフォロア50L、50Rを設け、このカムフォロア50L、50Rを送り溝6に摺動可能に挿入することにより、一対のスクリュー軸4L、4Rに対して各選別ロール1が各々着脱可能となるように構成し、一対のスクリュー軸4L、4Rの回転でカムフォロア50L、50Rが送り溝6を走査することにより、選別ロール1間の間隙を連続的に広げながら選別ロール1が進行することで、塊状で不定形の製品を、詰まり、噛み込み等の問題を起こすことなく大きさ別に分級することができる。しかも、各選別ロール1が進行駆動手段に対して各々独立しているので、選別ロール1の取換えが容易になる。
【0068】
また、選別ロール水平搬送機構部Cにより、選別ロール1が、その間隙を連続的に広げながら進行して、塊状で不定形の製品を大きさ別に分級した後に、選別ロール下降機構部Dにより選別ロール1を順次下方に搬送し、その後に、選別ロールリターン機構部Fにより、選別ロール1をリターンレール45L、45R上をロール進行方向Xとは逆方向に移動させ、次に、選別ロール上昇機構部Eにより選別ロール1を順次上昇させて、最上位において選別ロール水平搬送部Cの搬入側に搬入する。かかる選別ロール1を循環させる過程の反復により、分級作業が事実上エンドレスに継続される。
【0069】
【発明の効果】
上記のように構成された本発明に係わる選別装置によれば、選別ロールが、連続的に間隙を広げながら進行することで、塊状で不定形の製品を、自動的に詰まり、噛み込み等の問題を起こすことなく大きさ別に分級することができ、作業能率を向上させることができ、しかも、選別ロールが進行駆動手段に対して独立しており、各個別に着脱可能であるため、選別ロールの取換えを容易に行うことができ、選別ロールの破損時の対応を迅速にして選別ロールの破損による分級精度の低下を回避することができる。したがって、例えば半導体ポリシリコン製品の様に高純度であることが求められ、分級工程においても汚染がないことが重要となる分級対象にも適用することができ、その場合には例えば選別ロールを共材又は少なくとも表面を耐摩耗性樹脂で構成することにより高純度の分級を可能にすると共に、共材である選別ロールが破損した場合には選別ロールの取換えを容易に行い分級精度の低下を回避することができるので、従来主として手作業で行われていた分級対象の分級効率を向上させることができる
【0070】
また、本発明に係る選別装置によれば、選別ロール水平搬送手段により、選別ロールが、その間隙を連続的に広げながら進行して、塊状で不定形の製品を大きさ別に分級した後に、選別ロール下降手段により選別ロールを順次下方に搬送し、その後に、選別ロールリターン手段により、選別ロールをリターンレール上をロール進行方向とは逆方向に移動させ、次に、選別ロール上昇手段により選別ロールを順次上昇させて、最上位において選別ロール水平搬送部の搬入側に搬入することができて、選別ロールを循環させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る選別装置の実施の形態に示す選別装置の平面図である。
【図2】同選別装置の側面図である。
【図3】図2のZ−Z線に沿う断面図である。
【図4】同選別装置における回転付与機構部の説明図である。
【図5】本発明に係る選別装置の実施の形態に示す概略的な構成説明図である。
【図6】従来における半導体ポリシリコン製品の分級選別の説明図である。
【符号の説明】
1 選別ロール
4L スクリュー軸
4R スクリュー軸
6 送り溝
50L カムフォロア
50R カムフォロア
A 装置フレーム
B 選別ロール循環搬送機構部
C 選別ロール水平搬送機構部(選別ロール水平搬送手段)
D 選別ロール下降機構部(選別ロール下降手段)
E 選別ロール上昇機構部(選別ロール上昇手段)
F 選別ロールリターン機構部(選別ロールリターン手段)
Claims (6)
- 複数の選別ロールと、前記選別ロール間の間隙を広げながら前記選別ロールを進行させる進行駆動手段と、前記進行駆動手段の終端部から始まると共にロール進行方向に向かって下り傾斜し前記選別ロールを案内するガイドレールとを備え、前記選別ロールは前記終端部において解放され前記ガイドレール上を進行するようになし、かつ各選別ロールは前記進行駆動手段から各別に着脱可能であることを特徴とする選別装置。
- 複数の選別ロール間の間隙を広げながら進行させる進行駆動手段を備えた選別ロール水平搬送手段と、前記選別ロール水平搬送手段の終端部に移送された前記選別ロールを順次下方に搬送する選別ロール下降手段と、前記選別ロール下降手段で順次下降した前記選別ロールを、リターンレール上に移してロール進行方向とは逆方向に移動させる選別ロールリターン手段と、前記選別ロールリターン手段でロール進行方向とは逆方向に移送された前記選別ロールを順次上昇させて、最上位において前記選別ロール水平搬送手段の搬入部に搬入する選別ロール上昇手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載の選別装置。
- 前記進行駆動手段としてロール進行方向に沿って延びる一対のスクリュー軸を配置し、そのスクリュー軸に溝ピッチが連続的又は段階的に変化する螺旋状の送り溝を設け、前記選別ロールの両端部に前記送り溝に摺動可能に挿入されるカムフォロアを設け、前記一対のスクリュー軸の回転に伴い前記カムフォロアが前記送り溝を走査して前記選別ロールが進行せしめられる請求項1又は請求項2に記載の選別装置。
- 前記スクリュー軸の前記送り溝の始端部で終わると共に前記選別ロールの前記カムフォロアを前記送り溝に案内する様にロール進行方向に向かって下り傾斜したガイドレールを設けると共に、カムフォロアの送り溝に対するミスセットを検出して装置停止指令信号を出力するセンサーを設けた請求項1乃至請求項3の何れか一に記載の選別装置。
- 前記ガイドレールに固着されたラック歯車と前記選別ロールに設けられたピニオンギヤとが噛み合うことにより当該選別ロールに回転を付与する回転付与手段とを備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一に記載の選別装置。
- ロールの少なくとも表面が耐摩耗性樹脂によって構成された請求項1乃至請求項5の何れか一に記載の選別装置。
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