RU2012101313A - Наклонные дифракционные решетки и способ изготовления наклонных дифракционных решеток - Google Patents
Наклонные дифракционные решетки и способ изготовления наклонных дифракционных решеток Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012101313A RU2012101313A RU2012101313/28A RU2012101313A RU2012101313A RU 2012101313 A RU2012101313 A RU 2012101313A RU 2012101313/28 A RU2012101313/28 A RU 2012101313/28A RU 2012101313 A RU2012101313 A RU 2012101313A RU 2012101313 A RU2012101313 A RU 2012101313A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- diffraction grating
- groove
- geometric axis
- phase
- source
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract 7
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims abstract 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1857—Manufacturing methods using exposure or etching means, e.g. holography, photolithography, exposure to electron or ion beams
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/48—Diagnostic techniques
- A61B6/484—Diagnostic techniques involving phase contrast X-ray imaging
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2201/00—Arrangements for handling radiation or particles
- G21K2201/06—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2207/00—Particular details of imaging devices or methods using ionizing electromagnetic radiation such as X-rays or gamma rays
- G21K2207/005—Methods and devices obtaining contrast from non-absorbing interaction of the radiation with matter, e.g. phase contrast
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Surgery (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
1. Способ изготовления дифракционной решетки (100) для устройства формирования фазово-контрастного изображения, предназначенного для исследования представляющего интерес объекта, при этом дифракционная решетка (100) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка установлена в устройстве формирования изображения, при этом способ содержит этапы, на которых:пучком электромагнитного излучения формируют рисунок по меньшей мере первой канавки (101) в материале пластины;сглаживают поверхности сформированного рисунка первой канавки с помощью технологии травления;при этом первая канавка (101) имеет глубину в первом направлении;при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена под первым углом относительно геометрической оси.2. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап, на котором:заполняют по меньшей мере первую канавку (101) поглощающим материалом.3. Дифракционная решетка для устройства формирования фазово-контрастного изображения, предназначенного для исследования представляющего интерес объекта, при этом дифракционная решетка (100) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка (100) установлена в устройстве формирования изображения, при этом дифракционная решетка (100) изготовлена способом по п.1 или 2 и содержит:материал (701) пластины;первую канавку (101) в материале (701) пластины и имеющую глубину в первом направлении, при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена относительно геометричес�
Claims (13)
1. Способ изготовления дифракционной решетки (100) для устройства формирования фазово-контрастного изображения, предназначенного для исследования представляющего интерес объекта, при этом дифракционная решетка (100) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка установлена в устройстве формирования изображения, при этом способ содержит этапы, на которых:
пучком электромагнитного излучения формируют рисунок по меньшей мере первой канавки (101) в материале пластины;
сглаживают поверхности сформированного рисунка первой канавки с помощью технологии травления;
при этом первая канавка (101) имеет глубину в первом направлении;
при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена под первым углом относительно геометрической оси.
2. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап, на котором:
заполняют по меньшей мере первую канавку (101) поглощающим материалом.
3. Дифракционная решетка для устройства формирования фазово-контрастного изображения, предназначенного для исследования представляющего интерес объекта, при этом дифракционная решетка (100) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка (100) установлена в устройстве формирования изображения, при этом дифракционная решетка (100) изготовлена способом по п.1 или 2 и содержит:
материал (701) пластины;
первую канавку (101) в материале (701) пластины и имеющую глубину в первом направлении, при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена относительно геометрической оси;
вторую канавку (102) в материале (701) пластины;
в которой первая канавка (101) наклонена под первым углом относительно геометрической оси;
в которой вторая канавка (102) наклонена под вторым углом относительно геометрической оси;
в которой первый угол меньше, чем второй угол.
4. Дифракционная решетка по п.3, дополнительно содержащая:
последовательность канавок (101-113),
в которой каждая канавка из последовательности канавок наклонена под соответствующим углом относительно геометрической оси, и
в которой соответствующий угол возрастает от канавки к канавке.
5. Дифракционная решетка по одному из пп.3 и 4, где дифракционная решетка (100) делает возможной работу устройства для формирования изображения с фокусированной геометрией.
6. Дифракционная решетка по одному из пп.3 и 4, в которой канавки представляют собой по меньшей мере канавки из числа линейных канавок, трапециевидных канавок и асимметричных канавок с фокусированной геометрией.
7. Дифракционная решетка по одному из пп.3 и 4, в которой геометрическая ось дифракционной решетки (100) перпендикулярна к поверхности дифракционной решетки (100).
8. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения, предназначенное для исследования представляющего интерес объекта, при этом устройство (400) содержит:
источник (401) для испускания пучка излучения;
детектор (402);
дифракционную решетку (100, 200), расположенную между источником (401) и детектором (402);
в котором детектор (402) выполнен с возможностью обнаружения излучения после того, как оно прошло через представляющий интерес объект (403) и дифракционную решетку (100, 200);
в котором дифракционная решетка (100, 200) имеет фокусированную геометрию;
в котором дифракционная решетка (100, 200) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка установлена в устройстве для формирования изображения, в котором дифракционная решетка изготовлена способом по п.1 или 2 и содержит:
материал (701) пластины;
первую канавку (101) в материале (701) пластины и имеющую глубину в первом направлении, при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена относительно геометрической оси;
вторую канавку (102) в материале (701) пластины;
в котором первая канавка (101) наклонена под первым углом относительно геометрической оси;
в котором вторая канавка (102) наклонена под вторым углом относительно геометрической оси;
в котором первый угол меньше, чем второй угол.
9. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8, дополнительно содержащее:
последовательность канавок (101-113),
в котором каждая канавка из последовательности канавок наклонена под соответствующим углом относительно геометрической оси, и
в котором соответствующий угол возрастает от канавки к канавке.
10. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по одному из пп.8 и 9, дополнительно содержащее:
вторую дифракционную решетку (200), которая представляет собой поглощающую дифракционную решетку (G2), расположенную перед детектором (402);
в котором вторая дифракционная решетка (200) также имеет фокусированную геометрию, адаптированную к положению дифракционной решетки.
11. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8 или 9, дополнительно содержащее:
третью дифракционную решетку (300), которая представляет собой поглощающую решетку (G0), имеющую трапециевидную геометрию и расположенную между источником (400) и фазовой дифракционной решеткой (100), и которая делает возможным, по меньшей мере, частично когерентное освещение фазовой дифракционной решетки (100).
12. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8 или 9, дополнительно содержащее:
по меньшей мере один привод или шаговый двигатель (408);
в котором пучок излучения, испускаемый источником, имеет оптическую ось (404);
в котором привод или шаговый двигатель выполнен с возможностью по меньшей мере одного из перемещения по меньшей мере одной из фазовой дифракционной решетки (100) и второй дифракционной решетки (200) перпендикулярно к оптической оси пучка излучения, испускаемого источником, и изменения эффективной глубины канавок для падающего пучка излучения путем наклонения дифракционной решетки на заданный угол.
13. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8 или 9,
в котором источник (101) представляет собой источник рентгеновского излучения; и
где устройство выполнено с возможностью функционирования в качестве устройства формирования дифференциального фазово-контрастного изображения на основе рентгеновского излучения.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP09162787 | 2009-06-16 | ||
| EP09162787.7 | 2009-06-16 | ||
| PCT/IB2010/052555 WO2010146498A1 (en) | 2009-06-16 | 2010-06-09 | Tilted gratings and method for production of tilted gratings |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012101313A true RU2012101313A (ru) | 2013-07-27 |
| RU2544390C2 RU2544390C2 (ru) | 2015-03-20 |
Family
ID=42697268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012101313/28A RU2544390C2 (ru) | 2009-06-16 | 2010-06-09 | Наклонные дифракционные решетки и способ изготовления наклонных дифракционных решеток |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9348067B2 (ru) |
| EP (1) | EP2443491B1 (ru) |
| JP (3) | JP6281969B2 (ru) |
| CN (1) | CN102460237B (ru) |
| RU (1) | RU2544390C2 (ru) |
| WO (1) | WO2010146498A1 (ru) |
Families Citing this family (45)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010017425A1 (de) * | 2010-06-17 | 2011-12-22 | Karlsruher Institut für Technologie | Geneigte Phasengitterstrukturen |
| JP5697430B2 (ja) * | 2010-12-17 | 2015-04-08 | キヤノン株式会社 | Ｘ線撮像装置 |
| JP2013063099A (ja) * | 2011-09-15 | 2013-04-11 | Canon Inc | Ｘ線撮像装置 |
| US20130164457A1 (en) * | 2011-12-27 | 2013-06-27 | Rigaku Innovative Technologies, Inc. | Method of manufacturing patterned x-ray optical elements |
| CN104540451B (zh) * | 2012-03-05 | 2019-03-08 | 罗切斯特大学 | 用于微分相位衬度锥束ct和混合锥束ct的方法和装置 |
| WO2014027289A1 (en) * | 2012-08-17 | 2014-02-20 | Koninklijke Philips N.V. | Handling misalignment in differential phase contrast imaging |
| US8989347B2 (en) | 2012-12-19 | 2015-03-24 | General Electric Company | Image reconstruction method for differential phase contrast X-ray imaging |
| US9907524B2 (en) | 2012-12-21 | 2018-03-06 | Carestream Health, Inc. | Material decomposition technique using x-ray phase contrast imaging system |
| US9700267B2 (en) * | 2012-12-21 | 2017-07-11 | Carestream Health, Inc. | Method and apparatus for fabrication and tuning of grating-based differential phase contrast imaging system |
| US9724063B2 (en) | 2012-12-21 | 2017-08-08 | Carestream Health, Inc. | Surrogate phantom for differential phase contrast imaging |
| US10578563B2 (en) | 2012-12-21 | 2020-03-03 | Carestream Health, Inc. | Phase contrast imaging computed tomography scanner |
| US9494534B2 (en) | 2012-12-21 | 2016-11-15 | Carestream Health, Inc. | Material differentiation with phase contrast imaging |
| US10096098B2 (en) | 2013-12-30 | 2018-10-09 | Carestream Health, Inc. | Phase retrieval from differential phase contrast imaging |
| US9357975B2 (en) | 2013-12-30 | 2016-06-07 | Carestream Health, Inc. | Large FOV phase contrast imaging based on detuned configuration including acquisition and reconstruction techniques |
| AU2012268876A1 (en) * | 2012-12-24 | 2014-07-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Non-linear solution for 2D phase shifting |
| JP2014178130A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Canon Inc | Ｘ線撮像装置及びｘ線撮像システム |
| FR3015162B1 (fr) * | 2013-12-13 | 2017-11-03 | Commissariat Energie Atomique | Mire de resolution pour systeme d'imagerie a rayons x et procede de fabrication |
| CN105142524A (zh) * | 2014-02-10 | 2015-12-09 | 约翰斯·霍普金斯大学 | 处于高能量的x射线相衬成像和ct的大视场光栅干涉仪 |
| DE102014205670A1 (de) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenaufnahmesystem mit anpaßbarem Filter |
| JP6667215B2 (ja) * | 2014-07-24 | 2020-03-18 | キヤノン株式会社 | Ｘ線遮蔽格子、構造体、トールボット干渉計、ｘ線遮蔽格子の製造方法 |
| CN106575533B (zh) * | 2014-08-05 | 2018-11-27 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于x射线成像设备的光栅设备 |
| US10117629B2 (en) | 2014-12-03 | 2018-11-06 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | High energy grating techniques |
| US10506993B2 (en) | 2015-08-26 | 2019-12-17 | Koninklijke Philips N.V. | Dual energy differential phase contrast imaging |
| WO2017055181A1 (en) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | Koninklijke Philips N.V. | Focussing of gratings for differential phase contrast imaging by means of electro-mechanic transducer foils |
| JPWO2017061554A1 (ja) * | 2015-10-09 | 2018-07-26 | シャープ株式会社 | 採光部材、採光部材の製造方法、採光装置 |
| CN109964118A (zh) * | 2016-11-10 | 2019-07-02 | 皇家飞利浦有限公司 | 基于光栅的相位对比成像 |
| CN106896435B (zh) * | 2017-02-22 | 2019-10-18 | 诸暨市霞伟花木场 | 光栅膜制作方法、装置及系统 |
| JP6753342B2 (ja) * | 2017-03-15 | 2020-09-09 | 株式会社島津製作所 | 放射線格子検出器およびｘ線検査装置 |
| EP3375375A1 (en) * | 2017-03-16 | 2018-09-19 | Koninklijke Philips N.V. | X-ray device |
| TWI629475B (zh) | 2017-04-18 | 2018-07-11 | 財團法人工業技術研究院 | 非接觸式雙平面定位方法與裝置 |
| EP3453327A1 (en) | 2017-09-08 | 2019-03-13 | Koninklijke Philips N.V. | Method for determining a spectral computed tomography scan protocol |
| CN109521631B (zh) * | 2017-09-19 | 2021-04-30 | 奥比中光科技集团股份有限公司 | 投射不相关图案的深度相机 |
| CN107797177B (zh) * | 2017-11-17 | 2020-02-11 | 杭州光粒科技有限公司 | 一种周期渐变光栅显示波导及其制作方法与应用 |
| KR101991813B1 (ko) * | 2017-12-21 | 2019-06-21 | 연세대학교 원주산학협력단 | 단일 격자 기반 위상차 엑스선 영상화 시스템 및 장치 |
| EP3534377B1 (de) * | 2018-02-28 | 2021-11-17 | Siemens Healthcare GmbH | Verfahren zur herstellung eines mikrostrukturbauteils |
| CN109243661B (zh) * | 2018-09-29 | 2020-07-28 | 同济大学 | 一种侧壁倾斜式x射线层状多层膜光栅结构 |
| EP3654075A1 (en) * | 2018-11-13 | 2020-05-20 | Koninklijke Philips N.V. | Structured grating component, imaging system and manufacturing method |
| KR20210094104A (ko) | 2018-12-17 | 2021-07-28 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 경사 격자들의 롤링 k 벡터들의 조절 |
| US11150394B2 (en) * | 2019-01-31 | 2021-10-19 | Facebook Technologies, Llc | Duty cycle range increase for waveguide combiners |
| CN110854217A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-02-28 | 电子科技大学中山学院 | 一种增强入射光有效光程的太阳能电池 |
| CN111600199B (zh) * | 2020-06-02 | 2021-08-06 | 南京大学（苏州）高新技术研究院 | 一种有限长带宽的高功率半导体激光器 |
| WO2022109995A1 (zh) * | 2020-11-27 | 2022-06-02 | 深圳大学 | 大视场x射线吸收光栅及其制作方法 |
| EP4020024A1 (en) | 2020-12-22 | 2022-06-29 | Paul Scherrer Institut | Method for producing high aspect ratio fan-shaped optics |
| EP4092687A1 (en) | 2021-05-17 | 2022-11-23 | Koninklijke Philips N.V. | Structured x-ray attenuators |
| US11813102B2 (en) * | 2021-10-06 | 2023-11-14 | Houxun Miao | Interferometer for x-ray phase contrast imaging |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5009484A (en) * | 1989-05-03 | 1991-04-23 | Advanced Environmental Research Group | Diffraction gratings having high efficiencies |
| US5116461A (en) * | 1991-04-22 | 1992-05-26 | Motorola, Inc. | Method for fabricating an angled diffraction grating |
| US5812629A (en) * | 1997-04-30 | 1998-09-22 | Clauser; John F. | Ultrahigh resolution interferometric x-ray imaging |
| JP4086543B2 (ja) * | 2002-05-16 | 2008-05-14 | 日東電工株式会社 | 無機材料の選択的なエッチング処理方法および該方法により選択エッチング処理された無機材料並びに光学素子 |
| DE10318594B4 (de) | 2003-04-24 | 2008-01-03 | Wilhelm Karmann Gmbh | Überrollschutz-Vorrichtung für ein Kraftfahrzeug |
| JP2005004068A (ja) | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | スラント凹凸パターンの形成方法及びスラント凹凸パターンを有する基板 |
| EP1731099A1 (en) * | 2005-06-06 | 2006-12-13 | Paul Scherrer Institut | Interferometer for quantitative phase contrast imaging and tomography with an incoherent polychromatic x-ray source |
| CN101313234B (zh) * | 2005-11-18 | 2011-01-05 | 纳诺科普有限公司 | 制造衍射光栅元件的方法 |
| DE102006037254B4 (de) * | 2006-02-01 | 2017-08-03 | Paul Scherer Institut | Fokus-Detektor-Anordnung zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen mit röntgenoptischen Gittern, sowie Röntgen-System, Röntgen-C-Bogen-System und Röntgen-Computer-Tomographie-System |
| DE102006037281A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-09 | Siemens Ag | Röntgenoptisches Durchstrahlungsgitter einer Fokus-Detektor-Anordnung einer Röntgenapparatur zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen von einem Untersuchungsobjekt |
| DE102006046034A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Siemens Ag | Röntgen-CT-System zur Erzeugung projektiver und tomographischer Phasenkontrastaufnahmen |
| DE102006037256B4 (de) | 2006-02-01 | 2017-03-30 | Paul Scherer Institut | Fokus-Detektor-Anordnung einer Röntgenapparatur zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen sowie Röntgensystem, Röntgen-C-Bogen-System und Röntgen-CT-System |
| CN101011255B (zh) | 2006-02-01 | 2010-10-27 | 西门子公司 | 带x射线光学光栅用于相位对比测量的焦点-检测器装置 |
| US7935459B2 (en) * | 2006-06-22 | 2011-05-03 | Georgia Tech Research Corporation | Photo-masks and methods of fabricating surface-relief grating diffractive devices |
| EP1879020A1 (en) | 2006-07-12 | 2008-01-16 | Paul Scherrer Institut | X-ray interferometer for phase contrast imaging |
| GB2441578A (en) | 2006-09-08 | 2008-03-12 | Ucl Business Plc | Phase Contrast X-Ray Imaging |
| DE102007024156B3 (de) * | 2007-05-24 | 2008-12-11 | Siemens Ag | Röntgenabsorptionsgitter |
| JP4642818B2 (ja) * | 2007-08-02 | 2011-03-02 | 株式会社ナノクリエート | 回折格子の製造方法 |
| JP5438022B2 (ja) | 2007-11-26 | 2014-03-12 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | Ｘ線位相コントラストイメージングの検出セットアップ |
| DE102007058986B3 (de) * | 2007-12-07 | 2009-07-30 | Siemens Ag | Streustrahlenraster und Verfahren zur Herstellung |
-
2010
- 2010-06-09 US US13/319,196 patent/US9348067B2/en active Active
- 2010-06-09 EP EP10727950.7A patent/EP2443491B1/en active Active
- 2010-06-09 WO PCT/IB2010/052555 patent/WO2010146498A1/en active Application Filing
- 2010-06-09 CN CN201080026946.5A patent/CN102460237B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-06-09 RU RU2012101313/28A patent/RU2544390C2/ru active
- 2010-06-09 JP JP2012515588A patent/JP6281969B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-09-16 JP JP2016181934A patent/JP6316889B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-10-27 JP JP2017207981A patent/JP2018033988A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2544390C2 (ru) | 2015-03-20 |
| WO2010146498A1 (en) | 2010-12-23 |
| EP2443491B1 (en) | 2020-03-04 |
| JP6316889B2 (ja) | 2018-04-25 |
| CN102460237A (zh) | 2012-05-16 |
| JP2017012814A (ja) | 2017-01-19 |
| JP2012530270A (ja) | 2012-11-29 |
| JP2018033988A (ja) | 2018-03-08 |
| US20120057677A1 (en) | 2012-03-08 |
| EP2443491A1 (en) | 2012-04-25 |
| US9348067B2 (en) | 2016-05-24 |
| JP6281969B2 (ja) | 2018-02-21 |
| CN102460237B (zh) | 2015-04-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012101313A (ru) | Наклонные дифракционные решетки и способ изготовления наклонных дифракционных решеток | |
| JP5725870B2 (ja) | Ｘ線撮像装置およびｘ線撮像方法 | |
| JP2016501630A5 (ru) | ||
| KR101925028B1 (ko) | 깊이 영상 생성 장치 및 방법 | |
| TW200712435A (en) | Pattern light irradiation device, three-dimensional shape measuring device, and method of pattern light irradiation | |
| JP2014216570A5 (ja) | 描画装置、描画方法、および物品の製造方法 | |
| JP2015072263A (ja) | Ｘ線撮像システム | |
| JP2009219708A5 (ru) | ||
| JP2013213720A (ja) | Ｘ線トポグラフィ装置 | |
| US20160035450A1 (en) | Talbot interferometer, talbot interference system, and fringe scanning method | |
| RU2556712C2 (ru) | Устройство рентгеновского формирования изобретений | |
| WO2019220689A1 (ja) | Ｘ線イメージング装置 | |
| JP5208224B2 (ja) | 放射線撮影装置、及び放射線撮影システム | |
| WO2019138705A1 (ja) | Ｘ線位相撮像システム | |
| US11000249B2 (en) | X-ray detector for grating-based phase-contrast imaging | |
| JP6424760B2 (ja) | 放射線位相差撮影装置 | |
| JP2012093117A (ja) | 放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに放射線画像撮影システム | |
| KR20180121534A (ko) | 방사선 화상 생성 장치 | |
| JP7131625B2 (ja) | Ｘ線位相イメージング装置 | |
| US20180348148A1 (en) | X-ray talbot capturing apparatus | |
| JP5787597B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JPWO2020188856A1 (ja) | Ｘ線イメージング装置 | |
| El-Ghazaly et al. | X-ray phase contrast imaging at MAMI | |
| JP2015025988A (ja) | 光照射装置および描画装置 | |
| JP2006149493A (ja) | Ｘ線の屈折効果を利用した高分解能画像診断装置 |