JP2012530270A - 傾けられた格子及び傾けられた格子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 関心対象物を検査する位相コントラスト撮像装置に関する格子を製造する方法において、前記格子が前記撮像装置に設置されるとき、前記格子が、放射線源に向かう方向に構成される第1の軸を持ち、前記方法は、
電磁放射線を用いて、少なくとも第1の溝をウェーハ物質へ書き込むステップと、
エッチング技術により前記書き込まれた第1の溝の表面を滑らかにするステップとを有し、
前記第1の溝が、第1の方向に深さを持ち、
前記第1の溝が前記第1の軸に対して第1の角度で傾斜するよう、前記第1の方向は、前記第1の軸と異なる、方法。 - 少なくとも第1の溝を吸収物質で充填するステップを更に有する、請求項1に記載の方法。
- 関心対象物を検査する位相コントラスト撮像装置に関する格子であって、前記格子が前記撮像装置に設置されるとき、前記格子が、放射線源に向かう方向に構成される第1の軸を持ち、前記格子は、
ウェーハ物質と、
前記ウェーハ物質内部にあり、第1の方向に深さを持つ第1の溝とを有し、
前記第1の溝が前記第1の軸に対して傾斜するよう、前記第1の方向が、前記第1の軸と異なる、格子。 - 請求項1又は2に記載の方法により製造される、請求項3に記載の格子。
- 前記ウェーハ物質内部にある第2の溝を更に有し、
前記第1の溝が、前記第1の軸に対して第1の角度で傾斜し、
前記第2の溝は、前記第1の軸に対して第2の角度で傾斜し、
前記第1の角度が、前記第2の角度より小さい、請求項3又は4に記載の格子。 - 溝のシーケンスを更に有し、
前記溝のシークエンスにおける各溝が、前記第1の軸に対して個別の角度で傾斜し、
前記個別の角度が、溝から溝へと増加する、請求項3乃至5の一項に記載の格子。 - 前記格子が、前記撮像装置の集束ジオメトリでの動作を可能にする、請求項3乃至6の一項に記載の格子。
- 前記溝が、集束ジオメトリにおける線形溝、台形溝及び非対称の溝の少なくとも1つである、請求項3乃至7の一項に記載の格子。
- 前記格子の前記第1の軸が、前記格子の表面に垂直である、請求項3乃至8の一項に記載の格子。
- 関心対象物を検査する位相コントラスト撮像装置であって、
放射線を放出する源と、
検出器と、
前記源及び前記検出器の間に配置される格子とを有し、
前記検出器が、前記関心対象物及び前記格子を進んだあとの前記放射線を検出するよう構成され、
前記格子は、集束ジオメトリを持ち、
前記格子が前記撮像装置に設置されるとき、前記格子が、放射線源に向かう方向に構成される第1の軸を持ち、
前記格子は、
ウェーハ物質と、
前記ウェーハ物質内部にあり、第1の方向に深さを持つ第1の溝とを有し、
前記第1の溝が前記第1の軸に対して傾斜するよう、前記第1の方向が、前記第1の軸と異なる、位相コントラスト撮像装置。 - 溝のシーケンスを更に有し、
前記溝のシークエンスにおける各溝が、前記第1の軸に対して個別の角度で傾斜し、
前記個別の角度が、溝から溝へと増加する、請求項10に記載の撮像装置。 - 前記検出器の前に配置される吸収格子である第2の格子を更に有し、
前記第2の格子が、前記格子位置に適合される集束ジオメトリを持つ、請求項10又は11に記載の撮像装置。 - 台形ジオメトリを持つ吸収格子であり、前記源及び前記位相格子の間に配置される第3の格子であって、前記位相格子の少なくとも部分的にコヒーレントな照射を可能にする、第3の格子を更に有する、請求項10乃至12の一項に記載の撮像装置。
- 少なくとも1つのアクチュエータ又はステッパーモータを更に有し、前記源により放出される前記放射線が、光軸を持ち、前記アクチュエータ又はステッパーモータは、前記位相格子と前記源により放出される放射線の光学軸に垂直な前記第2の格子との少なくとも1つを動かすこと、及び、特定の角度へと前記格子を傾けることにより、前記入射する放射線に関する有効な溝深さを変化させることの少なくとも1つを行うよう構成される、請求項10乃至13の一項に記載の撮像装置。
- 前記源が、X線源であり、
前記装置は、X線ベースの差分位相コントラスト撮像装置として構成される、請求項10乃至13の一項に記載の撮像装置。
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