RU2004127586A - Измерительная цепь с датчиками из шунтированных конденсаторов - Google Patents

Измерительная цепь с датчиками из шунтированных конденсаторов Download PDF

Info

Publication number
RU2004127586A
RU2004127586A RU2004127586/28A RU2004127586A RU2004127586A RU 2004127586 A RU2004127586 A RU 2004127586A RU 2004127586/28 A RU2004127586/28 A RU 2004127586/28A RU 2004127586 A RU2004127586 A RU 2004127586A RU 2004127586 A RU2004127586 A RU 2004127586A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
capacitor
phase
cycle
sensitive
voltage level
Prior art date
Application number
RU2004127586/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2301405C2 (ru
Inventor
Ронгтай ВАНГ (US)
Ронгтай ВАНГ
Original Assignee
Роузмаунт Инк. (US)
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. (US), Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк. (US)
Publication of RU2004127586A publication Critical patent/RU2004127586A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2301405C2 publication Critical patent/RU2301405C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
    • G01R27/2605—Measuring capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Compression, Expansion, Code Conversion, And Decoders (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Claims (25)

1. Устройство для измерения переменной процесса, содержащее:
первый чувствительный конденсатор с емкостью С1 на основании переменной процесса;
второй чувствительный конденсатор с емкостью С2 на основании переменной процесса;
мостовой узел, соединяющий первую сторону первого чувствительного конденсатора с первой стороной второго чувствительного конденсатора;
источник возбуждения, подающий по меньшей мере первый и второй уровни напряжения; и
переключательную цепь, выборочно соединяющую вторую сторону каждого из первого и второго чувствительных конденсаторов с источником возбуждения для выделения представления С1 – С2 в мостовом узле.
2. Устройство по п. 1, в котором переключательная цепь содержит:
первый переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону первого чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения,
второй переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону второго чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения, и
блок управления переключателями, соединенный для управления работой первого и второго переключателей в течение первой фазы для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и для управления работой первого и второго переключателей в течение второй фазы для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения.
3. Устройство по п. 1, которое также содержит:
опорный конденсатор с емкостью CREF большей, чем ожидаемая максимальная разность между емкостями первого и второго чувствительных конденсаторов,
суммирующий узел, соединенный с первой стороной опорного конденсатора и мостовым узлом, и
переключательную цепь, выборочно соединяющую вторую сторону опорного конденсатора с источником возбуждения для выделения первого и второго зарядов в суммирующем узле в течение взаимно исключающих циклов.
4. Устройство по п. 3, в котором переключательная цепь содержит:
первый переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону первого чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения,
второй переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону второго чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения, и
третий переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону опорного конденсатора с одним из двух уровней напряжения источника возбуждения.
5. Устройство по п. 4, которое также содержит блок управления переключателями, соединенный с первым, вторым и третьим переключателями и расположенный и устроенный для
управления работой третьего переключателя для соединения опорного конденсатора с одним уровнем напряжения в течение первой фазы первого цикла и в течение второй фазы второго цикла и для соединения опорного конденсатора с другим уровнем напряжения в течение первой фазы второго цикла и в течение второй фазы первого цикла,
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения в течение первой фазы каждого цикла и
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения в течение второй фазы каждого цикла.
6. Устройство по п. 5, в котором блок управления переключателями управляет работой первого, второго и третьего переключателей в продолжение NA первых циклов и NB вторых циклов, так что проинтегрированный заряд, поданный первым и вторым чувствительными конденсаторами, уравновешивает проинтегрированный заряд, поданный опорным конденсатором, и
Figure 00000001
.
7. Устройство по п. 4, которое также содержит блок управления переключателями, соединенный с первым, вторым и третьим переключателями и расположенный и устроенный для
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения в течение первой фазы первого цикла,
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения в течение второй фазы первого цикла и
управления работой третьего переключателя для соединения опорного конденсатора с одним уровнем напряжения в течение первой фазы второго цикла и соединения опорного конденсатора с другим уровнем напряжения в течение второй фазы второго цикла.
8. Устройство по п. 7, в котором блок управления переключателями управляет работой первого, второго и третьего переключателей в продолжение NA первых циклов и NB вторых циклов, так что проинтегрированный заряд, поданный первым и вторым чувствительными конденсаторами, уравновешивает проинтегрированный заряд, поданный опорным конденсатором, и
Figure 00000002
.
9. Устройство по п. 4, в котором источник возбуждения включает в себя программируемый источник напряжения, причем этот программируемый источник напряжения программируется для подачи двух уровней напряжения на опорный конденсатор.
10. Устройство по п. 4, в котором опорный конденсатор содержит матрицу из множества конденсаторов, а четвертый переключатель выборочно соединяет конденсаторы матрицы параллельно.
11. Устройство по п. 3, которое также содержит блок управления переключателями, соединенный с переключательной цепью и расположенный и устроенный для
управления работой переключательной цепи для соединения опорного конденсатора с одним уровнем напряжения в течение первой фазы первого цикла и в течение второй фазы второго цикла и соединения опорного конденсатора с другим уровнем напряжения в течение первой фазы второго цикла и в течение второй фазы первого цикла,
управления работой переключательной цепи для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения в течение первой фазы каждого цикла и
управления работой переключательной цепи для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения в течение второй фазы каждого цикла.
12. Устройство по п. 11, в котором блок управления переключателями управляет работой переключательной цепи в продолжение NA первых циклов и NB вторых циклов, так что проинтегрированный заряд, поданный первым и вторым чувствительными конденсаторами, уравновешивает проинтегрированный заряд, поданный опорным конденсатором, и
Figure 00000003
.
13. Устройство по п. 3, которое также содержит блок управления переключателями, соединенный с переключательной цепью и расположенный и устроенный для
управления работой переключательной цепи для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения в течение первой фазы первого цикла,
управления работой переключательной схемы для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения в течение второй фазы первого цикла,
управления работой переключательной цепи для соединения опорного конденсатора с одним уровнем напряжения в течение первой фазы второго цикла и
управления работой переключательной цепи для соединения опорного конденсатора с другим уровнем напряжения в течение второй фазы второго цикла.
14. Устройство по п. 13, в котором блок управления переключателями управляет работой переключательной цепи в продолжение NA первых циклов и NB вторых циклов, так что проинтегрированный заряд, поданный первым и вторым чувствительными конденсаторами, уравновешивает проинтегрированный заряд, поданный опорным конденсатором, и
Figure 00000004
.
15. Передатчик управления промышленными процессами, выполненный с возможностью подключения к центральной станции по двухпроводной линии связи, включающий в себя:
приемопередатчик, соединенный с линией связи для передачи информации на центральную станцию и для приема информации от центральной станции;
процессор, соединенный с приемопередатчиком для обработки информации;
датчик переменной процесса, содержащий:
первый чувствительный конденсатор с емкостью С1 на основании переменной процесса,
второй чувствительный конденсатор с емкостью С2 на основании переменной процесса, и
мостовой узел, соединяющий первую сторону первого чувствительного конденсатора с первой стороной второго чувствительного конденсатора;
источник возбуждения, подающий по меньшей мере первый и второй уровни напряжения;
переключательную цепь, выборочно соединяющую вторую сторону каждого из первого и второго чувствительных конденсаторов с источником возбуждения для выделения представления С1 – С2 в мостовом узле; и
дельта-сигма преобразователь, соединенный с мостовым узлом для подачи на процессор цифровых информационных сигналов, представляющих разность между емкостями первого и второго конденсаторов.
16. Передатчик управления промышленными процессами по п. 15, в котором переключательная цепь содержит:
первый переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону первого чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения,
второй переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону второго чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения, и
блок управления переключателями, соединенный для управления работой первого и второго переключателей в течение первой фазы для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и для управления работой первого и второго переключателей в течение второй фазы для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения.
17. Передатчик управления промышленными процессами по п. 15, который также содержит:
опорный конденсатор с емкостью CREF большей, чем ожидаемая максимальная разность между емкостями первого и второго чувствительных конденсаторов, и
суммирующий узел, соединенный с первой стороной опорного конденсатора и мостовым узлом,
переключательную цепь, выборочно соединяющую вторую сторону опорного конденсатора с источником возбуждения для выделения первого и второго зарядов в суммирующем узле в течение взаимно исключающих циклов.
18. Передатчик управления промышленными процессами по п. 17, в котором переключательная цепь содержит:
первый переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону первого чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения,
второй переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону второго чувствительного конденсатора с первым и вторым уровнями напряжения, и
третий переключатель, выборочно соединяющий вторую сторону опорного конденсатора с одним из двух уровней напряжения источника возбуждения.
19. Передатчик управления промышленными процессами по п. 18, который также содержит блок управления переключателями, соединенный с первым, вторым и третьим переключателями и расположенный и устроенный для
управления работой третьего переключателя для соединения опорного конденсатора с одним уровнем напряжения в течение первой фазы первого цикла и в течение второй фазы второго цикла и для соединения опорного конденсатора с другим уровнем напряжения в течение первой фазы второго цикла и в течение второй фазы первого цикла,
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения в течение первой фазы каждого цикла и
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения в течение второй фазы каждого цикла.
20. Передатчик управления промышленными процессами по п. 19, в котором блок управления переключателями управляет работой первого, второго и третьего переключателей в продолжение NA первых циклов и NB вторых циклов, так что проинтегрированный заряд, поданный первым и вторым чувствительными конденсаторами, уравновешивает проинтегрированный заряд, поданный опорным конденсатором, и
Figure 00000005
.
21. Передатчик управления промышленными процессами по п. 18, который также содержит блок управления переключателями, соединенный с первым, вторым и третьим переключателями и расположенный и устроенный для
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения в течение первой фазы первого цикла,
управления работой первого и второго переключателей для соединения первого чувствительного конденсатора со вторым уровнем напряжения и второго чувствительного конденсатора с первым уровнем напряжения в течение второй фазы первого цикла и
управления работой третьего переключателя для соединения опорного конденсатора с одним уровнем напряжения в течение первой фазы второго цикла и соединения опорного конденсатора с другим уровнем напряжения в течение второй фазы второго цикла.
22. Передатчик управления промышленными процессами по п. 18, в котором блок управления переключателями управляет работой первого, второго и третьего переключателей в продолжение NA первых циклов и NB вторых циклов, так что проинтегрированный заряд, поданный первым и вторым чувствительными конденсаторами, уравновешивает проинтегрированный заряд, поданный опорным конденсатором, и
Figure 00000006
.
23. Способ измерения переменной процесса, содержащий следующие шаги:
приложение переменной процесса к первому и второму сенсорным конденсаторам для выделения первой и второй емкостей С1 и С2 соответственно на основании переменной процесса;
обеспечение опорного конденсатора с емкостью CREF, большей, чем разность между емкостями первого и второго конденсаторов;
выделение первого заряда, представляющего С1 – С2;
выделение второго заряда, представляющего CREF, и
интегрирование первого и второго зарядов.
24. Способ по п. 23, по которому первый и второй конденсаторы соединены вместе, а источник возбуждения подает множество напряжений, при этом способ также содержит следующие шаги:
определение первой и второй фаз каждого цикла,
приложение первого напряжения к первому конденсатору и второго напряжения ко второму конденсатору в течение первой фазы каждого цикла,
приложение второго напряжения к первому конденсатору и первого напряжения ко второму конденсатору в течение второй фазы каждого цикла,
приложение напряжения к опорному конденсатору в течение первой фазы первого цикла и в течение второй фазы второго цикла и
приложение другого напряжения к опорному конденсатору в течение первой фазы второго цикла и в течение второй фазы первого цикла.
25. Способ по п. 23, по которому первый и второй конденсаторы соединены вместе, а источник возбуждения подает множество напряжений, при этом способ также содержит следующие шаги:
определение первой и второй фаз каждого цикла,
приложение первого напряжения к первому конденсатору и второго напряжения ко второму конденсатору в течение первой фазы первого цикла,
приложение второго напряжения к первому конденсатору и первого напряжения ко второму конденсатору в течение второй фазы первого цикла,
приложение напряжения к опорному конденсатору в течение первой фазы второго цикла и
приложение другого напряжения к опорному конденсатору в течение второй фазы первого цикла.
RU2004127586/28A 2002-02-15 2003-01-27 Измерительная цепь с датчиками из шунтированных конденсаторов RU2301405C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/077,402 2002-02-15
US10/077,402 US6720777B2 (en) 2002-02-15 2002-02-15 Bridged capacitor sensor measurement circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004127586A true RU2004127586A (ru) 2005-04-10
RU2301405C2 RU2301405C2 (ru) 2007-06-20

Family

ID=27732642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004127586/28A RU2301405C2 (ru) 2002-02-15 2003-01-27 Измерительная цепь с датчиками из шунтированных конденсаторов

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6720777B2 (ru)
JP (1) JP4679820B2 (ru)
CN (1) CN1310015C (ru)
AU (1) AU2003214897A1 (ru)
DE (1) DE10392352B4 (ru)
RU (1) RU2301405C2 (ru)
WO (1) WO2003071230A2 (ru)

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6825765B2 (en) * 1998-12-30 2004-11-30 Automotive Systems Laboratory, Inc. Occupant detection system
US6873277B1 (en) * 2003-09-19 2005-03-29 Rosemount, Inc. Multi-phase measurement system with synchronized sigma delta converters
JP4356003B2 (ja) * 2003-09-30 2009-11-04 アイシン精機株式会社 静電容量検出装置
EP1548409A1 (en) * 2003-12-23 2005-06-29 Dialog Semiconductor GmbH Differential capacitance measurement
DE102005038875A1 (de) * 2005-05-25 2006-11-30 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Kapazitätsmessschaltung
US7319421B2 (en) * 2006-01-26 2008-01-15 Emerson Process Management Foldback free capacitance-to-digital modulator
US7236113B1 (en) 2006-01-26 2007-06-26 Emerson Process Management Capacitance-to-digital modulator with sensor failure-mode detection
US7324029B2 (en) * 2006-01-26 2008-01-29 Emerson Process Management Capacitance-to-digital interface circuit for differential pressure sensor
US8144125B2 (en) 2006-03-30 2012-03-27 Cypress Semiconductor Corporation Apparatus and method for reducing average scan rate to detect a conductive object on a sensing device
US8040142B1 (en) 2006-03-31 2011-10-18 Cypress Semiconductor Corporation Touch detection techniques for capacitive touch sense systems
US8547114B2 (en) 2006-11-14 2013-10-01 Cypress Semiconductor Corporation Capacitance to code converter with sigma-delta modulator
US8089288B1 (en) 2006-11-16 2012-01-03 Cypress Semiconductor Corporation Charge accumulation capacitance sensor with linear transfer characteristic
US8144126B2 (en) 2007-05-07 2012-03-27 Cypress Semiconductor Corporation Reducing sleep current in a capacitance sensing system
US9500686B1 (en) 2007-06-29 2016-11-22 Cypress Semiconductor Corporation Capacitance measurement system and methods
US8570053B1 (en) 2007-07-03 2013-10-29 Cypress Semiconductor Corporation Capacitive field sensor with sigma-delta modulator
US8169238B1 (en) 2007-07-03 2012-05-01 Cypress Semiconductor Corporation Capacitance to frequency converter
JP2010533288A (ja) * 2007-07-11 2010-10-21 マリミルス オーワイ 物体を容量検出する方法および装置
US7928721B2 (en) * 2007-07-26 2011-04-19 Fluke Corporation Method and apparatus for amplifying a signal and test device using same
US8525798B2 (en) 2008-01-28 2013-09-03 Cypress Semiconductor Corporation Touch sensing
US8319505B1 (en) 2008-10-24 2012-11-27 Cypress Semiconductor Corporation Methods and circuits for measuring mutual and self capacitance
US8358142B2 (en) 2008-02-27 2013-01-22 Cypress Semiconductor Corporation Methods and circuits for measuring mutual and self capacitance
FI121979B (fi) * 2008-03-26 2011-06-30 Elsi Technologies Oy Sovitinkomponentti mittausjärjestelmään
US7633420B2 (en) * 2008-05-07 2009-12-15 Honeywell International Inc. Pressure sensor with improved rate-of-change compatible data output
US8321174B1 (en) 2008-09-26 2012-11-27 Cypress Semiconductor Corporation System and method to measure capacitance of capacitive sensor array
EP2177880A1 (en) * 2008-10-16 2010-04-21 Dialog Imaging Systems GmbH Distance measurement with capacitive sensor
US8723827B2 (en) 2009-07-28 2014-05-13 Cypress Semiconductor Corporation Predictive touch surface scanning
US9069405B2 (en) 2009-07-28 2015-06-30 Cypress Semiconductor Corporation Dynamic mode switching for fast touch response
DE102010001377A1 (de) * 2010-01-29 2011-08-04 E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH, 75038 Schaltungsanordnung zum Bestimmen einer Kapazität einer Anzahl von kapazitiven Sensorelementen
US8714012B2 (en) * 2010-02-16 2014-05-06 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with inversion of actuation forces, and method for actuating a microelectromechanical gyroscope
JP5287785B2 (ja) * 2010-04-07 2013-09-11 株式会社デンソー 静電容量式物理量センサ回路
KR20130108556A (ko) 2010-08-23 2013-10-04 사이프레스 세미컨덕터 코포레이션 컨패시턴스 스캐닝 근접성 검출
FR2968488B1 (fr) * 2010-12-01 2012-12-21 St Microelectronics Rousset Procede de commande d'une surface tactile capacitive
DE102011114502A1 (de) * 2011-09-29 2013-04-04 GEMAC-Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH Messverfahren zur dynamischen Kapazitätsmessung nach dem Delta-Sigma-Prinzip und Schaltungsanordnung zur Durchführung des Verfahrens
DE102012210004B4 (de) * 2012-06-14 2014-11-06 Robert Bosch Gmbh Balkendetektor mit Regelschaltung
DE102012025037C5 (de) * 2012-12-20 2017-10-26 I.G. Bauerhin Gmbh Verfahren zur kapazitiven Sitzbelegungserkennung für Fahrzeugsitze
CN103475373B (zh) * 2013-09-02 2016-08-17 深圳市汇顶科技股份有限公司 一种分段电容阵列结构数模转换器
FI126999B (en) * 2014-01-17 2017-09-15 Murata Manufacturing Co Improved pressure sensor
US9628104B2 (en) * 2015-03-13 2017-04-18 Rosemount Inc. High resolution sigma delta modulator for capacitance sensor terminal displacement measurement
CN104767512A (zh) * 2015-04-16 2015-07-08 东莞市乐升电子有限公司 电容触摸按键信号测量装置及其测量方法
CN105742334A (zh) * 2016-05-03 2016-07-06 京东方科技集团股份有限公司 有机电致发光显示器件和显示装置
CN107271939A (zh) * 2017-06-21 2017-10-20 北方电子研究院安徽有限公司 一种电容传感器结构阻容测试开关装置
WO2019047214A1 (zh) 2017-09-11 2019-03-14 深圳市汇顶科技股份有限公司 电容检测电路、电容检测的方法、触摸检测装置和终端设备
JP7146668B2 (ja) * 2019-02-21 2022-10-04 ラピスセミコンダクタ株式会社 容量センサ回路及び半導体集積回路
CN109828159B (zh) * 2019-03-07 2021-06-18 上海申矽凌微电子科技有限公司 测量电容大小的电路
CN113472351A (zh) * 2021-07-13 2021-10-01 上海料聚微电子有限公司 一种精准测量片上电容比例的电路和方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62207903A (ja) * 1986-03-07 1987-09-12 Mitsutoyo Mfg Corp 静電容量式変位検出装置
US5083091A (en) 1986-04-23 1992-01-21 Rosemount, Inc. Charged balanced feedback measurement circuit
JPS6461670A (en) * 1987-09-01 1989-03-08 Nec Corp Capacitance meter
US5194819A (en) 1990-08-10 1993-03-16 Setra Systems, Inc. Linearized capacitance sensor system
DE4115534A1 (de) * 1991-05-13 1992-11-19 Horst Dr Ahlers Optoelektronische einrichtung zur vermessung von strukturkanten
JP3282360B2 (ja) * 1994-03-02 2002-05-13 株式会社村田製作所 容量型センサ
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US5661240A (en) 1995-09-25 1997-08-26 Ford Motor Company Sampled-data interface circuit for capacitive sensors
JP4272267B2 (ja) * 1997-07-04 2009-06-03 東京エレクトロン株式会社 静電容量型センサ回路
US6140952A (en) 1997-12-26 2000-10-31 Rosemount Inc. Delta sigma circuit with pulse width modulated offset
JP2000065664A (ja) * 1998-08-26 2000-03-03 Hitachi Ltd 静電容量式力学量センサ
US6295875B1 (en) 1999-05-14 2001-10-02 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
JP3588276B2 (ja) * 1999-07-26 2004-11-10 株式会社山武 センサ信号処理回路

Also Published As

Publication number Publication date
US20030155936A1 (en) 2003-08-21
RU2301405C2 (ru) 2007-06-20
DE10392352T5 (de) 2005-05-19
JP2005517945A (ja) 2005-06-16
WO2003071230A3 (en) 2003-11-06
AU2003214897A1 (en) 2003-09-09
DE10392352B4 (de) 2010-08-19
CN1310015C (zh) 2007-04-11
AU2003214897A8 (en) 2003-09-09
JP4679820B2 (ja) 2011-05-11
CN1643342A (zh) 2005-07-20
US6720777B2 (en) 2004-04-13
WO2003071230A2 (en) 2003-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2004127586A (ru) Измерительная цепь с датчиками из шунтированных конденсаторов
JP2005517945A5 (ru)
US7554480B2 (en) Analog/digital converter, illuminance sensor, illumination device, and electronic device
TW526327B (en) Detection apparatus and method of physical variable
US8410969B2 (en) Wide range charge balancing capacitive-to-digital converter
US7560938B2 (en) Object sensing
US7723898B2 (en) Device for the vibrational detection of fill-level limit state and a process for the vibrational detection of a fill-level limit state
CN110832776A (zh) 具有串扰补偿的接近传感器
KR102025093B1 (ko) 펄스 생성기 및 이를 포함하는 아날로그-디지털 변환기
US7436155B2 (en) Control device for a three-phase machine and method for operating the control device
EP0297545B1 (en) Power supply circuit
NL8901033A (nl) Stuurschakeling voor ten minste een klokelektrode van een geintegreerd circuit.
RU2006112248A (ru) Мультифазная измерительная система с синхронизированными сигма-дельта-конверторами
JPH073340B2 (ja) センサ信号を処理する装置
JP2002098712A (ja) 容量式物理量検出装置
JP2009521689A (ja) 複数機能センサ回路
JPH05259899A (ja) 積分効果を有する位相判別整流器構成及びそれを利用した電圧制御発振器を有するｐｌｌ
JP6862877B2 (ja) 電池残量計測回路、電子機器および電池残量計測方法
EP1017172B1 (en) Integrated circuit generating at least a voltage linear ramp having a slow rise
KR102508035B1 (ko) 커패시턴스 대 디지털 컨버터, 통합 센서 인터페이스 및 센서 디바이스
US5821421A (en) Device for measuring a force with the aid of a capacitative sensor using charge transfer
RU2810694C1 (ru) Двухосевой микромеханический акселерометр с емкостным преобразователем перемещений
FR3109849B1 (fr) Dispositif pour charger et décharger une capacité
US20120286809A1 (en) Circuit Arrangement for Determining a Capacitance of a Number of Capacitive Sensor Elements
KR100211114B1 (ko) 액체 레벨 검출기

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110128