NO316412B1 - Fremgangsmåte for kontroll av kretskort - Google Patents

Fremgangsmåte for kontroll av kretskort Download PDF

Info

Publication number
NO316412B1
NO316412B1 NO19981179A NO981179A NO316412B1 NO 316412 B1 NO316412 B1 NO 316412B1 NO 19981179 A NO19981179 A NO 19981179A NO 981179 A NO981179 A NO 981179A NO 316412 B1 NO316412 B1 NO 316412B1
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
control
needles
needle
point
conductive
Prior art date
Application number
NO19981179A
Other languages
English (en)
Other versions
NO981179D0 (no
NO981179L (no
Inventor
Jozef Vodopivec
Cesare Fumo
Original Assignee
New System Srl
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by New System Srl filed Critical New System Srl
Publication of NO981179D0 publication Critical patent/NO981179D0/no
Publication of NO981179L publication Critical patent/NO981179L/no
Publication of NO316412B1 publication Critical patent/NO316412B1/no

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G01R1/07328Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards
    • G01R1/07335Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards for double-sided contacting or for testing boards with surface-mounted devices (SMD's)

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Monitoring And Testing Of Exchanges (AREA)
  • Selective Calling Equipment (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Exchange Systems With Centralized Control (AREA)
  • Time-Division Multiplex Systems (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)
  • Facsimiles In General (AREA)
  • Emergency Protection Circuit Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Detection And Correction Of Errors (AREA)
  • Telephonic Communication Services (AREA)
  • Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)
  • Preparation Of Compounds By Using Micro-Organisms (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)
  • Preliminary Treatment Of Fibers (AREA)
  • Sewing Machines And Sewing (AREA)
  • Knitting Machines (AREA)
  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)

Description

Den foreliggende oppfinnelse vedrører en fremgangsmåte, jf krav 1, for å kontrollere kretskort ved anvendelse av en kontrollmaskin som omfatter to kontrollnålbærende brett, begge med et antall aksial bevegelige ledende kontrollnåler som er koblet med deres andre side til analysemidler for de elektriske parametere mellom to ledende kontrollnåler, som dermed danner et par av kontrollnåler
Oppfinnelsen anvendes særlig, om ikke eksklusivt, i sektoren av kontroll av trykte kretskort
Det er kjent maskiner for kontroll av trykte kretser Disse maskiner består generelt av en plate eller et underlag som bærer et antall elektnsk ledende kontrollnåler, på hvilket kortet med den trykte krets må plasseres, og ved på egnet måte å aktivere den elektriske ledningsevne mellom de forskjellige kontrollnåler og ved å utføre de respektive målinger er det mulig å kontrollere hvorvidt den trykte krets har defekter
Selvsagt er det for slik kontroll nødvendig at kontroll nålene kontakter den trykte krets i den riktige posisjon
Idet trykte kretser er meget ulike, blir det dermed nødvendig å, over kontrollnålunderlagsplaten, påføre en tilpasningsplate som omfatter de samme kontrollnåler, men som er forflyttet på en annerledes måte i overensstemmelse med den trykte krets som skal kontrolleres
Ulempen med denne løsning er maskinens begrensning, og muligheten for å kontrollere utelukkende de trykte kretser for hvilken det er tilsvarende adaptere eller tilpasningsflater tilgjengelig
Det er behov for like mange tilpasnmgsplater som det er kort med forskjellige trykte kretser som skal kontrolleres
Videre er det kjent at kretsenes lag ikke alltid er på samme plan, slik at det ikke alltid tilveiebringes en formålstjenlig elektnsk overføring for en effektiv kontakt US 4 820 975 A beskriver en fremgangsmåte og et testapparat for testing av trykte kretskort Apparatet omfatter to testhoder, et for hver side av kretskortet Testhodene har en rekke fjærende kontrollnåler for å oppnå elektrisk kontakt med den trykte krets på kretskortet Apparatet omfatter midler for å justere posisjonen til testhodene i forhold til kretskortet i to retninger i et plan parallelt med kretskortet Kretskortet som skal testes festes i en holder mellom de testhodene Kontrollnålene er elektrisk forbundet til en ekstern testenhet som generer testsignaler og mottar responssignaler fra kretskortet som testes EP A-patentskrift 0 164 722 beskriver et automatisk testsystem for testing av trykte kretsplater (-kort) hvori det anvendes et "underlag av stifter" (underlag, plate, eller brett av kontrollnåler), hvor hver stift eller kontrollnål er fast plassert i underlaget eller platen eller brettet
I denne løsning er kontrollnåleposisjonen absolutt fiksert i underlaget, tilsvarende til det spesifikke mønster på det trykte kort som skal testes Ulempen med denne løsning er kravet om så mange "underlag av stifter" som de forskjellige trykte kretskort som skal testes
Anvendelse av en universal nettverksmatnse med en maksimal mulighet for posisjonsmessig fikserte kontrollnåler (stifter) og et dataprogram for å aktivere utelukkende de påkrevde kontrollnåler (stifter) på et tidspunkt Programmet er avhengig av mønsteret på det trykte kort som skal testes Denne løsning har ulempen med kontinuerlig reprogramenng av maskinen Videre, fordi kontaktstiftene eller -nålene krever stor plass, er det umulig å dekke alle slag mønstre Dette problem unngås ved å gjøre kontaktnålene eller -stiftene flyttbare langs koordinataksen
Likevel krever denne løsning en meget komplisert og kostbar konstruksjon av testmaskinen og i dette tilfellet kan ikke kontrollnålene eller stiftene plasseres tett sammen inntil hverandre Videre kreves en kontinuerlig reprogrammering for å flytte en kontrollnål eller stift i forhold til den annen
EP A-patentsknft 0 164 722 beskriver en løsning, hvor det foreligger et magasin for temporær lagring av et antall prober (stifter eller nåler), og et mottakende un-derlagsorgan (underlag eller plate) som er plassert tilstøtende til et testhode på en side derav og i en stilling for å kontakte hver probes underlag Testhodet er tilpasset til å motta probene, og til å plassere probene i et mønster som passer til testpunkter på den trykte kretsskive Det er fremlagt midler for å bære testhodet i tilstøtning til magasinet og i en stilling for å motta prober (stifter eller nåler) fra magasinet Det er også frembrakt midler for å overføre enkeltstående utvalgte prober fra magasinet til testhodet
Probene (stifter eller nåler) er til dette formål aksial bevegelige fra testhodets innerside til yttersiden eller vise versa, og noen av disse beveges ytterligere aksial for å tillate kontakt med den trykte krets på det kort som skal testes Denne løsning er ekstremt kompleks på grunn av mekanismene for å bevege nålene, og på grunn av programmet som skal styre
Videre tillater denne løsning ikke en fullstendig universal testing av alle typer trykte kretskort pga begrensingen i testhodets mønster
EP 0 468 153 A besknver et system hvor de respektive kontrollnåler ikke er fiksert i stilling på den respektive kontrollnålbærende skive, men er bevegelige både aksialt og fra deres stilling langs koordinataksen På denne måte er det mulig å gjøre testmaskinen universal
Imidlertid er denne løsning likevel kompleks og krever en kontinuerlig reprogrammenng Videre er denne løsning langdryg fordi de bevegelige kontrollnåler er tvunget til å bevege seg en lang vei for å nå de eksakte koordinater, og dette må gjøres kontinuerlig under testingen av hvert enkelt kort forde respektive interessante punkter som skal testes i kretsen EP A-patentskrift 0 547 251 beskriver en fremgangsmåte til testing av en mikrokrets, hvor en "nngholder" og et "testhode" som inkorporerer en matnse av "prober" er frembrakt og hvori nngholderen er bevegelig i sitt (X-Y) plan mens testhodet er bevegelig i ortogonalretningen (Z)
Denne løsning er bare i stand til å teste trykte kretskort fordi den er utformet for å teste på kun én side
Formålet ifølge den foreliggende oppfinnelse er det å framskaffe en fremgangsmåte for å kontrollere kretskort ved anvendelse av en kontrollmaskin, som er i stand til å kontrollere de trykte kretser, dvs å ha et system av ledende kontrollnåler som kan tilpasses til enhver type krets
Den foreliggende oppfinnelse kjennetegnes ved den karaktenserende del av krav 1
På denne måte oppnås den umiddelbare fordel å forenkle hele systemet ved å gjøre anvendelsen av maskinen i forskjellige trykte kretser universal uten behov for adaptere Faktisk er det ved dette mulig å aktivere en kontrollnål, som er anordnet i et brett, i enhver ledende kretsposisjonsende og å aktivere en motstående kontrollnål fra et motstående brett, hvilken takket være det samme brettets bevegelighet vil være i stand til å nå ethvert bestemt kretsendepunkt som skal kontrolleres uavhengig av dets posisjon, plass og form På denne måte sikres universalisermgen av kontrollsystemet for ethvert kort Med fordel har maskinen også det kjennetegn at kontrollnålene er aksialt bevegelige
På denne måte er det blant et antall kontrollnåler mulig å få bare noen av dem til å interagere, slik at de ønskede posisjoner på den trykte krets lettere siktes mn
Ytterligere fordel stammer fra at med kontroll nålenes aksiale bevegelighet er det mulig å bedre kontakte de respektive ønskede punkter på kretsen selv når kretsens kort eller lag ikke er nøyaktig i samme plan på alle sine punkter Med fordel utføres nålene aksialt bevegelige ved hjelp av elektromagnetisk anordning
På denne måte opereres den ønskede nål på en enkel og trygg måte
Disse og andre fordeler vil bli vist i den følgende beskrivelse av foretrukne utførelser, ved hjelp av de inkluderte tegninger hvis detaljer ikke skal betraktes som begrensende men utelukkende gis som et eksempel
Figur 1 viser et perspektivisk skjematisk riss av en kontrollnålbærende brett
(underlag)
Figur 2 viser et tverrsnittsmessig skjematisk riss av en aksialt bevegelig kontrollnål Figur 3 viser et tverrsnittsmessig riss av en foretrukne utførelse, med to motstående kontrollnålbærende brett som er bevegelige, den ene i forhold til den annen, og med kortet som skal kontrolleres plassert mellom dem Nærmere bestemt er de to kontrollnålbærende brett i figurene indikert med 1 og 1'
Hvert brett har et antall kontrollnåler 10 som er aksialt bevegelige ved hjelp av elektromagnet 11
Hver kontrollnål er elektrisk forbundet 12 med et kontrollsystem for elektnske parametere, ifølge kjent teknikk
De motstående brett er som nevnt bevegelige i forhold til hverandre av hensyn til den operative posisjonering
Kortet som er posisjonert mellom disse er indikert med 2
Systemet frembnnger kontroll ved en netthste med relative posisjoner for enkeltstående punkter
Forbindelsestesten utføres fra punkt til punkt, slik at for kontrollenng av forbindelsene for et nett som består av n punkter, er det nødvendig med n-1 tester mellom par av punkter som utvelges på en slik måte at alle forbindelsene dekkes Kontrollenngen på korte kretser mellom forskjellige nett, utføres ved å velge et punkt ut fra hvert par nett
Det maksimale antall for kontrollenng av n nett på denne måte, beregnes med følgende formel
Dette tall kan reduseres ved å velge utelukkende nett ved siden av hverandre, d v s de som er nær hverandre i en forutbestemt avstand Posisjonene som skal kontrolleres deles opp i sektorer som svarer til antallet kontrollnåler i det bevegelige brett, slik at punktet som skal kontrolleres kan nås med posisjonen og med en av kontrollnålene
Etter at punktene som skal kontrolleres er nådd, er det nødvendig å sjekke forbindelsen eller isolasjonen
For å korte ned den tid som benyttes for bevegelsene, er det mulig å optimalisere aksenes baner, ved å modifisere frekvensen av de enkelte målinger Maskinen bygges opp av en ramme hvorpå er fiksert to brett som er motstående, og uavhengig bevegelige i forhold til de to ortogonale akser På brettene er kontrollnåler festet og de opereres direkte ved elektromagnet i deres aksiale bevegelse
I begynnelsen plasseres den trykte krets på en bærende ramme som transporterer den mellom de to brett I denne posisjon forblir kortet fiksert De kontrollnålbærende brett plasseres nær kortet og kontrollenngen begynner Hvert brett kontrolleres og opereres uavhengig av det andre, slik at den maksimale slaglengde som er nødvendig defineres av avstanden mellom kontrollnålene
l korrekt posisjon opererer elektromagneten kontroll nålen på overflaten som skal kontaktes og således, ved hjelp av et par kontrollnåler som opereres samtidig, kontrolleres funksjonsdyktigheten for kretsen mellom to ønskede punkter, den respektive kontinuitet og eventuelle kortslutninger Prosessen fremskrider punktvis på repeterende måte etter ønske
Med fordel kan også kortbænngen flyttes i forhold til det ene eller det andre
brett På denne måte oppnås en bredere universalisenng av anvendelse

Claims (1)

1 Fremgangsmåte for å kontrollere kretskort (2), ved anvendelse av en kontrollmaskin som omfatter to kontrollnålbærende brett (1,1'), begge med et antall aksial bevegelige ledende kontrollnåler (10) som er koblet (12) med deres andre side til analysemidler for de elektnske parametere mellom to ledende kontrollnåler (10), som dermed danner et par av kontrollnåler, karakterisert ved at fremgangsmåten omfatter at de to kontrollnålbærende brett (1,1) anvendes motstående hverandre med kretskortet (2) plassert mellom dem for kontroll, ett kontrollnålbærende brett (1) gjøres bevegelig i forhold til det motstående kontrollnålbærende brett (1 ) i det respektive plan, det frembnnges styring, frembragt av kontrollmaskinen, ved hjelp av en nettliste med relative posisjoner av enkelte punkter, for å styre kontrollenngen mellom to punkter av nevnte trykte krets (2), forbindingstest utføres fra punkt til punkt, slik at n-1 kontrollennger er nødvendig mellom punktpar som selekteres slik at alle forbindinger dekkes, for kontrollenng av forbindinger i et nett av n punkter, kontrollenng av kortslutning mellom forskjellige nett utføres ved å selektere et punkt av hvert nettpar, det maksimale antall for kontrollenng av n nett beregnes ved bruk av formel nmax = n*(n-1)/2 hvor det nevnte maksimale antall reduseres ved å bare selektere nærliggende nett, det vil si de nett som ligger nær hverandre innen en forutbestemt avstand, uavhengig styring og driving av hvert kontrollnålbærende brett (1,
1 ) hvori nevnte aksial bevegelige ledende kontrollnåler (10) plasseres fast, så at den maksimal nødvendige slaglengde bestemmes av avstanden mellom én av nevnte to ledende kontrollnåler (10) og den nærmeste ledende kontrollnål (10) på det samme kontrollnålbærende brett (1,1 ), oppdeling av posisjonene som skal kontrolleres i sektorer, tilsvarende til antallet ledende kontrollnåler (10) av det korresponderende kontrollnålbærende brett (1,1'), så at punktet som skal kontrolleres kan nåes innenfor den ønskede posisjon med den korresponderende ledende kontrollnål (10), samtidig stynng av nevnte kontrollnålpar (10), den ene kontrollnål motsatt den andre kontrollnål, for kontrollen, kontrollen fortsetter fra punkt til punkt på en repeterende måte
NO19981179A 1995-09-22 1998-03-17 Fremgangsmåte for kontroll av kretskort NO316412B1 (no)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT95UD000181A IT1282827B1 (it) 1995-09-22 1995-09-22 Macchina per il controllo contrapposto dei circuiti stampati
PCT/IT1996/000090 WO1997011377A1 (en) 1995-09-22 1996-05-03 Machine for the opposite control of printed circuits

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO981179D0 NO981179D0 (no) 1998-03-17
NO981179L NO981179L (no) 1998-04-23
NO316412B1 true NO316412B1 (no) 2004-01-19

Family

ID=11421917

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO19981179A NO316412B1 (no) 1995-09-22 1998-03-17 Fremgangsmåte for kontroll av kretskort

Country Status (25)

Country Link
US (1) US6218851B1 (no)
EP (1) EP0852014B1 (no)
JP (1) JPH11512530A (no)
KR (1) KR100407068B1 (no)
CN (1) CN1100268C (no)
AT (1) ATE233900T1 (no)
AU (1) AU710084B2 (no)
BR (1) BR9610589A (no)
CA (1) CA2231865A1 (no)
CZ (1) CZ294961B6 (no)
DE (1) DE69626527T2 (no)
DK (1) DK0852014T3 (no)
ES (1) ES2194098T3 (no)
HU (1) HUP9900003A3 (no)
IT (1) IT1282827B1 (no)
MX (1) MX9802287A (no)
NO (1) NO316412B1 (no)
NZ (1) NZ306552A (no)
PL (1) PL190321B1 (no)
PT (1) PT852014E (no)
RO (1) RO119658B1 (no)
RU (1) RU2182748C2 (no)
SI (1) SI9620113B (no)
TR (1) TR199800516T1 (no)
WO (1) WO1997011377A1 (no)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10219618A1 (de) * 2002-05-02 2003-11-27 Scorpion Technologies Ag Vorrichtung zum Testen von Leiterplatten
KR100835182B1 (ko) * 2007-02-12 2008-06-04 주식회사 백승 인쇄회로기판 검사용 지그
DE102007025458A1 (de) * 2007-05-30 2008-12-04 Siemens Ag Codierung, insbesondere für eine Einschubanordnung eines elektrischen Schaltfeldes
DE102009004555A1 (de) * 2009-01-14 2010-09-30 Atg Luther & Maelzer Gmbh Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten
US8269505B2 (en) * 2009-12-15 2012-09-18 International Business Machines Corporation Locating short circuits in printed circuit boards
DE102016114144A1 (de) * 2016-08-01 2018-02-01 Endress+Hauser Flowtec Ag Testsystem zur Prüfung von elektrischen Verbindungen von Bauteilen mit einer Leiterplatte

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4774462A (en) * 1984-06-11 1988-09-27 Black Thomas J Automatic test system
US4841241A (en) * 1986-08-07 1989-06-20 Siemens Aktiengesellschaft Testing device for both-sided contacting of component-equipped printed circuit boards
DE3781979D1 (de) * 1986-08-07 1992-11-05 Siemens Ag Pruefeinrichtung fuer beidseitige, zweistufige kontaktierung bestueckter leiterplatten.
GB8700754D0 (en) * 1987-01-14 1987-02-18 Int Computers Ltd Test apparatus for printed circuit boards
EP0468153B1 (de) * 1990-07-25 1995-10-11 atg test systems GmbH Kontaktierungsvorrichtung für Prüfzwecke
IT1282829B1 (it) 1995-12-22 1998-03-31 New System Srl Macchina di test elettrico per circuiti stampati con posizione registrabile degli aghi di sonda
US5818246A (en) * 1996-05-07 1998-10-06 Zhong; George Guozhen Automatic multi-probe PWB tester

Also Published As

Publication number Publication date
DE69626527T2 (de) 2003-12-24
BR9610589A (pt) 1999-07-06
TR199800516T1 (xx) 1998-05-21
NO981179D0 (no) 1998-03-17
CN1100268C (zh) 2003-01-29
EP0852014B1 (en) 2003-03-05
ITUD950181A0 (no) 1995-09-22
US6218851B1 (en) 2001-04-17
ATE233900T1 (de) 2003-03-15
NO981179L (no) 1998-04-23
MX9802287A (es) 1998-08-30
SI9620113A (sl) 1998-08-31
KR19990063615A (ko) 1999-07-26
PT852014E (pt) 2003-07-31
NZ306552A (en) 2000-01-28
CN1196794A (zh) 1998-10-21
JPH11512530A (ja) 1999-10-26
RU2182748C2 (ru) 2002-05-20
ITUD950181A1 (it) 1997-03-22
AU710084B2 (en) 1999-09-16
DE69626527D1 (de) 2003-04-10
HUP9900003A3 (en) 1999-11-29
RO119658B1 (ro) 2005-01-28
EP0852014A1 (en) 1998-07-08
CA2231865A1 (en) 1997-03-27
DK0852014T3 (da) 2003-06-23
SI9620113B (en) 2005-08-31
PL325827A1 (en) 1998-08-03
WO1997011377A1 (en) 1997-03-27
ES2194098T3 (es) 2003-11-16
KR100407068B1 (ko) 2004-01-24
AU5513496A (en) 1997-04-09
PL190321B1 (pl) 2005-11-30
IT1282827B1 (it) 1998-03-31
CZ294961B6 (cs) 2005-04-13
CZ74598A3 (cs) 1998-07-15
HUP9900003A2 (hu) 1999-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7183783B2 (en) Method and apparatus for pad aligned multiprobe wafer testing
JP3293995B2 (ja) プロ−ビング装置およびプロ−ビング方法
GB2282230A (en) P.C.B. test system
JPH022547B2 (no)
NO316412B1 (no) Fremgangsmåte for kontroll av kretskort
AU718507B2 (en) Machine for the electric test of printed circuits with adjustable position of the sound needles
JPH10153644A (ja) Bgaデバイス・テスト用アダプタ・モジュール
US6163866A (en) System level IC testing arrangement and method
JP2012503189A (ja) 所定の温度条件下で繰り返しパターンの複数の電子部品を検査する方法
KR100320075B1 (ko) 시험장치
TW381180B (en) Scan test machine for densely spaced test sites
US5659483A (en) System and method for analyzing conductor formation processes
EP1022572A1 (en) Scan test apparatus for continuity testing of bare printed circuit boards
JP2965174B2 (ja) 半導体素子検査装置
JPS59171131A (ja) 半導体集積回路の試験方法
WO1999023496A1 (en) A contacting device
JPH05315414A (ja) プローブカード及びその仕様検査方法
JPH04340484A (ja) 多軸プローブ位置決め装置
JP2007139450A (ja) デバイス試験装置およびデバイス試験方法
WO1997011378A1 (en) Machine for the control of printed circuits
JP2000031218A (ja) 集積回路試験装置及び集積回路試験方法
KR20040079543A (ko) 프로빙장치 및 프로빙방법
JPS63117273A (ja) 汎用テストフイクスチユア
JPH1010189A (ja) デバイスコンタクトユニット
KR20040000760A (ko) 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치