KR20040000760A - 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치에 관한 것으로서, 복수매의 웨이퍼를 내장시키는 웨이퍼카세트를 그 상면에 안착시켜 웨이퍼 로딩/언로딩부를 구성함과 아울러 상하로 승·하강되는 인덱서와; 상기 인덱서의 승·하강 구동시 상기 인덱서를 소정의 각도로 기울이는 틸팅수단 및; 상기 인덱서의 하부에 설치되어 상기 인덱서의 기울어짐을 감지하는 마이크로스위치를 포함하며; 상기 마이크로스위치는 위치설정지그에 의해 상기 인덱서와 거리가 설정되어 설치된 것이다.

상술한 바와 같이 마이크로스위치를 위치설정지그를 이용하여 정확한 위치에 설치할 수 있도록 함으로써 스위치 동작점을 정확하게 하여 스위칭 오동작이 발생하는 것을 막을 수 있게 된다.

Description

인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치{SEMICONDUCTOR DEVICE INSPECTION EQUIPMENT HAVING INDEXER SENSING STRUCTURE}

본 발명은 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 상기 마이크로스위치의 고정위치를 정확하게 셋팅 가능토록 하는 지그를 발명하여 마이크로 스위치의 오동작 됨을 방지하는 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치의 제조에서는 웨이퍼(WAFER)상에 패턴(PATTERN)을 형성시키는 패브릭케이션(FABRICATION)공정과, 상기 패턴이 형성된 웨이퍼를 각 단위 칩(CHIP)으로 조립하는 어셈블리 공정이 수행된다.

그리고, 상기 공정들 사이에 웨이퍼를 구성하고 있는 각 단위 칩의 전기적 특성을 검사하는 이디에스(Electric Die Sorting : 이하 “EDS”라 칭함)공정이 수행된다.

이러한 EDS공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 단위 칩 들 중에서 불량 칩을 판별하여 불량 칩을 판별하기 위하여 수행하는 것이다.

여기서 EDS 공정은 웨이퍼를 구성하는 칩들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해 불량을 판단하는 검사장치를 주로 이용하는 것으로서, 그 기본요소로서는 테스터 시스템, 프로버시스템, 프로브카드, 테스트프로그램이 있다. 상기 테스터시스템은 전기적인 신호를 발생시켜 반도체 소자에 인가하는 역할을 하며, 인가한 신호를 통해 읽은 데이터를 판독하여 칩이 제대로 동작되는지를 알아내었다. 프로버시스템은 테스트하고자 하는 웨이퍼를 로딩한 후에 정렬하여 프로브카드를 통해 테스터가 테스트를 수행할 수 있도록 하는 설비이며 프로브 카드는 극 미세 침을 인쇄할 기판에다 고정시켜 놓은 것으로 테스터에서 발생한 신호가 성능보드를 통해 프로브 카드의 침까지 전달되고 이 침이 웨이퍼내 칩의 패드에 접촉되어 반도체 소자의 내부회로에 전기신호가 전달되도록 하는 역할을 수행한다. 또한, 테스트 프로그램은 테스터에서 발생한 신호가 전달되도록 하는 역할을 수행한다. 그리고 테스트 프로그램은 테스터에서 발생한 신호가 전달되도록 하는 역할을 수행한다. 그리고 테스트 프로그램은 테스터 시스템을 운용하기 위한 프로그램으로 테스트를 통하여 웨이퍼의 양, 불량을 판별하게 된다. 상기 프로버시스템에서 웨이퍼를 테스트하기 위하여 일 런(RUN)에 해당하는 25매 웨이퍼 내장 카세트를 로딩/언로딩부 인덱서(INDEXER)로 보내고 테스트가 완료된 후에는 검사될 웨이퍼를 로딩/언로딩부 인덱서로 보낸다.

이때, 상기 인덱서는 그 상면에 놓여진 카세트로부터 웨이퍼 로딩/언로딩작업을 실시할 수 있도록 업/다운동작을 하게 되는 데, 그 업/다운 동작 진행 시 카세트로부터 웨이퍼가 빠져 나오는 것을 방지하기 위하여 인덱서를 소정의 각도로 기울어진 상태를 유지시키게 된다.

그와 같이 인덱서를 기울이는 틸팅(TILTING)수단은 인덱서의 측면에 마련되며, 상기 인덱서 측면 일측에는 상기 인덱서의 기울어짐 상태를 감지하는 마이크로스위치가 마련된다.

그러나, 이와 같이 동작되는 마이크로스위치는 적절한 위치에 고정되지 못할 경우에는 그 접촉상태가 불량하게 되어 감지기능을 제대로 발휘하지 못하게 된다.

즉, 인덱서와 가까운 거리를 유지하게 되면, 과도한 힘으로 스위칭됨에 따라 오동작이 발생하거나, 또는 지나치게 먼 거리에 부착되면 상기 인덱서와의 접촉거리가 멀어져 스위칭동작이 이루어지지 않는 문제점이 발생하게 된다.

그러나, 종래에는 상기 마이크로스위치의 고정위치를 설정할 경우 사람의 눈으로 간격을 결정하여 고정함에 따라 마이크로스위치의 위치가 적절하지 못하여 스위칭 동작점에 대한 정확한 위치 설정이 어렵다는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 마이크로스위치의 고정위치를 정확하게 얼라인먼트하여 고정시키도록 구현함에 따라 스위칭 동작점을 정확하게 설정할 수 있도록 하는 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 복수매의 웨이퍼를 내장시키는 웨이퍼카세트를 그 상면에 안착시켜 웨이퍼 로딩/언로딩부를 구성함과 아울러 상하로 승·하강되는 인덱서와; 상기 인덱서의 승·하강 구동시 상기 인덱서를 소정의 각도로 기울이는 틸팅수단 및; 상기 인덱서의 하부에 설치되어 상기 인덱서의 기울어짐을 감지하는 마이크로스위치를 포함하며; 상기 마이크로스위치는 위치설정지그에 의해 상기 인덱서와 거리가 얼라인먼트되어 설치되는 것이다.

상기 위치설정지그는 상기 마이크로스위치의 본체 및 작동레버의 사이에 삽입되어 상기 작동레버가 상기 인덱서에 접촉되어 눌려진 상태에서 상기 본체 및 작동레버 사이의 거리를 소정거리로 유지시키도록 소정 두께로 마련된 거리설정부와;상기 거리설정부에 직각으로 연장 형성되어 상기 본체의 측면에 밀착되는 밀착부를 갖는 위치설정편과; 연결바를 매개로 상기 위치설정편에 연결된 손잡이로 구성된 것이다.

상기 거리설정부의 두께는 0.8㎜로 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 마이크로 스위치 고정위치 설정지그에 고정된 마이크로 스위치가 인덱서와 접촉된 상태를 도시한 도면,

도 2는 상기 도 1의 마이크로스위치가 인덱서와 접촉이 해제된 상태를 도시한 도면,

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 의한 위치설정지그를 통해 마이크로스위치를 고정시키는 상태를 도시한 도면,

도 4는 상기 도 3의 마이크로스위치 위치설정지그를 도시한 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 인덱서10 : 틸팅수단

11 : 틸팅축13 : 틸팅가이드편

13a : 가이드홀21 : 고정블럭

30 : 마이크로스위치31 : 본체

33 : 작동레버35 : 누름버튼

37 : 회전롤러39 : 체결나사

이하, 첨부된 도면 도 1내지 도 4를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용에 대해서 자세히 설명한다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 그 상면에 소정의 공정과정(예컨대, 반도체 검사과정)을 실시하거나, 마친 다수매의 웨이퍼를 수납시키는 웨이퍼카세트(미도시)를 안착시켜 웨이퍼 로딩/언로딩부를 마련하는 인덱서(1)가 있다.

상기 인덱서(1)는 웨이퍼 로딩/언로딩동작을 실시하기 위하여 승·하강 동작이 가능하도록 설치되며, 또한, 그 승·하강 동작시 웨이퍼카세트에 수납된 웨이퍼가 외부로 빠져 나오는 것을 방지하기 위하여 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 소정의 각도로 기울어지거나 수평상태 상태로 유지가 가능하도록 설치된다.

그 소정의 각도로 기울이는 틸팅수단(10)은 수평상태로 전·후진 동작을 실시하는 틸팅축(11)과, 상기 틸팅축(11)의 동작에 따라 가이드되어 인덱서(1)를 수평 또는 기울어지는 상태로 유지시키는 틸팅가이드편(13)으로 구성된다.

상기 틸팅가이드편(13)은 상기 틸팅축(11)을 내부에 삽입시키는 장공홀(13a)이 마련되며 상기 인덱서(1)의 측면에 부착된다.

한편, 상기 인덱서(1)의 하부일측에는 고정블럭(21)을 매개로 마이크로스위치(30)가 부착되어 상기 인덱서(1)의 수평 또는 틸팅상태를 감지하도록 구성된다.

상기 마이크로스위치(30)는 그 내부에 스위칭회로가 구성된 본체(31)와, 상기 본체(31)의 상측에 힌지 결합된 작동레버(33)와, 상기 본체(31)의 상측에 설치되어 상기 작동레버(33)의 동작에 따라 동작되어 스위칭회로 접점을 형성시키는 누름버튼(35)과, 상기 작동레버(33)의 단부에 설치되어 상기 틸팅가이드편(13)과의 접촉성을 향상시키는 회전롤러(37)로 구성된다.

상술한 바와 같이 구성되는 마이크로스위치(30)의 작동레버(33)는 상기 틸팅가이드편(13)에 접촉되어 누름버튼(35)을 누르는 역할을 수행하는 것으로서, 상기 틸팅가이드편(13)과의 적정한 거리유지를 필요로 한다.

그 적정한 거리라 함은 상기 작동레버(33)가 회전되어 누름버튼(35)을 누르는 정도를 조절하는 요소로 작용하는 것으로서, 마이크로스위치(30) 본체(31)의 고정위치를 정확하게 할 것을 요구하며, 그 고정위치 설정을 위치설정지그(40)에 의하도록 한다.

상기 위치설정지그(40)는 “ㄱ”자 형상을 취하는 위치설정편(41)과, 연결바(43)를 매개로 연결되는 손잡이부(45)로 구성된다.

상기 위치설정편(41)은 소정의 두께(t)를 갖도록 형성되어 상기 본체(31)의 상면에 밀착되는 거리설정부(41a)와, 상기 거리설정부(41a)와 직각으로 형성되어 상기 본체(31)의 측면에 접촉되어 지지되는 지지부(41b)로 구성된다.

상기 거리설정부(41a)의 두께(t)는 0.8㎜로 함이 바람직하다.

상기 본체(31)는 소정의 위치에서 고정블럭(21)에 체결나사(39)를 매개로 고정된다.

다음은 상술한 바와 같이 구성된 위치설정지그(40)에 의해 마이크로스위치(30)가 소정의 위치에 고정되는 상태에 대해서 설명한다.

먼저, 인덱서(1)를 소정의 각도로 기울인 상태에서 마이크로스위치(30)의 작동레버(33)를 틸팅가이드편(13)에 접촉시키고, 마이크로스위치(30)의 본체(31)의 상측에 위치설정지그(40)의 거리설정부(41a)를 삽입하고, 지지부(41b)를 본체(31)의 측면에 밀착시킨 상태에서 본체(31)를 상기 틸팅가이드편(13)이 설치된 측으로 밀어 올린다.

그러면, 거리설정부(41a)가 작동레버(33)와 본체(31)의 사이에 끼워져 작동레버(33)가 최적의 동작점을 이룰 수 있는 상태로 설정되고, 그 상태에서 체결나사(39)를 이용하여 고정블럭(21)에 마이크로스위치(30) 본체(31)를 고정한다.

상기와 같이 고정위치가 설정되어 고정블럭(21)에 고정되는 마이크로스위치(30)는 단순히 작업자의 감각에 의해 그 위치를 설정하여 고정했던 종래와는 달리 위치설정지그(40)를 사용하여 보다 정확하게 그 위치를 설정함으로써 마이크로스위치(30)의 작동레버(33)의 동작범위를 정확하게 스위칭 오동작이 발생되는 것을 방지할 수 있게 되는 것이다.

상술한 내용은 반도체 소자 검사장치용 인덱서의 위치를 감지하는 구조에 관하여 한정하여 설명하였으나 마이크로스위치를 이용하는 모든 분야에 적용시켜 사용할 수 있음은 물론이다.

상술한 바와 같이 본 발명은 마이크로스위치를 위치설정지그를 이용하여 정확한 위치에 설치할 수 있도록 함으로써 스위치 동작점을 정확하게 하여 스위칭 오동작이 발생하는 것을 막을 수 있게 된다.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (2)

1. 복수매의 웨이퍼를 내장시키는 웨이퍼카세트를 그 상면에 안착시켜 웨이퍼 로딩/언로딩부를 구성함과 아울러 상하로 승·하강되는 인덱서;

   상기 인덱서의 승·하강 구동시 상기 인덱서를 소정의 각도로 기울이는 틸팅수단 및;

   상기 인덱서의 하부에 설치되어 상기 인덱서의 기울어짐을 감지하는 마이크로스위치를 포함하며;

   상기 마이크로스위치는 위치설정지그에 의해 상기 인덱서와 거리가 설정되어 설치되는 것을 특징으로 하는 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 위치설정지그는 상기 마이크로스위치의 본체 및 작동레버의 사이에 삽입되어 상기 작동레버가 상기 인덱서에 접촉되어 눌려진 상태에서 상기 본체 및 작동레버 사이의 거리를 소정거리로 유지시키도록 소정 두께로 마련된 거리설정부와; 상기 거리설정부에 직각으로 연장 형성되어 상기 본체의 측면에 밀착되어 지지되는 지지부를 갖는 위치설정편과;

   연결바를 매개로 상기 위치설정편에 연결된 손잡이로 구성된 것을 특징으로 하는 인덱서 센싱구조가 개선된 반도체 소자 검사장치.