NL9100997A - Projectiebelichtingsinrichting. - Google Patents

Description

UITTREKSEL

Proj ectiebelichtingsinrichting, waarbij van een lichtbroninrichting afkomstig belichtingslicht in een voorafbepaald patroon gevormd is, en vervolgens een beeld van het maskerpatroon door een projectielens gefocusseerd wordt op een belichtingselement, dat door een vasthoudme-chanisme wordt vastgehouden, en belichtingslicht door de lichtbron uitgezonden wordt langs een horizontale optische as, waarbij het masker, de projectielens en het belich-tingselement aangebracht zijn op de horizontale optische as en het vasthoudmechanisme zodanig gevormd is, dat het belichtingselement beweegbaar gemaakt is ten minste binnen een vlak loodrecht op de horizontale optische as. Vervorming van het belichtingselement kan voorkomen worden om belichting mogelijk te maken met een grote nauwkeurigheid en tevens met een hoge snelheid door het in vertikale richting vasthouden van het element, zodat het richten van het masker vergemakkelijkt wordt, en de effecten van warmte afkomstig van de lichtbron kunnen worden geminimaliseerd en de afmetingen en de kosten van de inrichting kunnen worden gereduceerd.

PROJECTIEBELICHTINGSINRICHTING

De uitvinding heeft betrekking op een projectiebe-lichtingsinrichting voor het over een groot gebied van een te belichten element belichten met een fijn patroon, en de uitvinding heeft meer in het bijzonder betrekking op een projectiebelichtingsinrichting van de zijwaartse soort, die ongewenste effecten als gevolg van vervorming van het te belichten element kan elimineren, zodat patroonheiich-tingplaats kan vinden met een grote nauwkeurigheid.

Een projectiebelichtingsinrichting van de hierboven genoemde soort is bijvoorbeeld beschreven in het ter inzage gelegde Japanse gebruiksmodel Sho 62-152293, 62-155637, 64-37044, 6454335 en in Hei 1-97288, elk op naam van de aanvrager van de onderhavige aanvrage.

Elk van de inrichtingen volgens de stand van de techniek heeft een vertikale structuur, waarin een te belichten element (hierna aangehaald als een belichtings-element) in een horizontale richting is aangebracht, en waarbij een projectielens, een-masker en een lichtbron in deze volgorde zijn aangebracht op een vertikale optische as ten opzichte van het belichtingselement, en waarbij een nauwkeurige belichting op een groot gebied van het belich-tingselemerit, zoals een schaduwmasker of een display of een inrichting met vloeibare kristallen kan worden uitgevoerd.

Bij de projectiebelichtingsinrichting van de hierboven beschreven bekende soort bestaat het probleem, dat in het belichtingselement vervorming kan worden veroorzaakt, wanneer het belichtingsgebied van het belichtingselement wordt vergroot, waardoor het moeilijk wordt een belichtingspatroon met een grote nauwkeurigheid te verkrijgen. Dit wordt veroorzaakt, doordat het belichtingselement in de horizontale richting is geplaatst, waarbij de optische as zich in de vertikale richting uitstrekt.

Om een dergelijk probleem te overkomen is een belichtingsinrichting voorgesteld, zoals beschreven is in de Japanse ter inzage gelegde octrooiaanvrage Hei 1-31254, waarin een continue metalen strook op elk oppervlak, waarvan een voor licht gevoelige laag is aangebracht, (het belichtingselement) getransporteerd wordt in een vertikale richting en in innig contact met de continue metalen strook belicht wordt door een hoofdlichaam van een belichtingsinrichting, dat tegenover een paar vertikaal aangebrachte negatieve droge platen is aangebracht.

Alhoewel bij de hierboven voorgestelde belichtingsinrichting voor contactbelichting vervorming van het belichtingselement door zijn eigen gewicht kan worden voorkomen door transport van het belichtingselement, terwijl zich dit vertikaal uitstrekt, is het noodzakelijk beide negatieve droge platen en het belichtingselement hoofdzakelijk dezelfde afmetingen te geven als gevolg van de toepassing van het contactsysteem met twee vlakken. Er bestaat dan ook een probleem, dat het belichten van een aantal patronen met een grote nauwkeurigheid van het belichtingselement met een groot oppervlak door een stap-en-herhaal-systeem onmogelijk is, aangezien er een onvermijdbare limiet is voor het vormen van een aantal patronen met een grote nauwkeurigheid op een negatieve droge plaat met een groot oppervlak en belichting van een nauwkeurig patroon moeilijk is, aangezien warmte-expansie op de negatieve droge plaat veroorzaakt wordt als gevolg van de door de lichtbron opgewekte warmte.

Het doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een projectiebelichtingsinrichting met een laterale optische as, die een aantal relatief grote patronen kan belichten met een grote nauwkeurigheid door het stap-en-herhaal-systeem op een belichtingselement met een groot oppervlak.

Bovenstaand doel van de onderhavige uitvinding kan worden bereikt door een projectiebelichtingsinrichting, waarin van een lichtbron afkomstig belichtingslicht door een masker heen wordt geleid, welk masker voorzien is van een voorafbepaald patroon en vervolgens een beeld van een maskerpatroon gefocusseerd wordt door een projectielens op een belichtingselement, dat door een vasthoudmechanisme wordt vastgehouden, waarbij belichtingslicht door de lichtbron wordt uitgezonden langs een horizontale optische as, waarbij het masker, de projectielens en het belichtingselement op de horizontale optische as zijn aangebracht, en het vasthoudmechanisme zodanig gevormd is, dat het belichtingselement beweegbaar is binnen ten minste een vlak, dat zich loodrecht op de horizontale optische as uitstrekt.

Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding wordt de afstand tussen de projectielens en het masker gelijk gemaakt aan die tussen de projectielens en het belichtingselement, en het masker en het belichtingselement worden onafhankelijk van elkaar beweegbaar gemaakt binnen een vlak, dat zich loodrecht uitstrekt op de horizontale optische as.

Volgens een andere voorkeursuitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding omvat de lichtbron een op een onafhankelijk langs de horizontale optische as beweegbare wagen aangebracht, licht uitzendende bron voor het uitzenden van belichtingslicht met een golflengte, die kleiner is dan de golflengte van infrarood licht, een integrator voor het uniform maken van het door de licht uitzendende bron uitgezonden licht, verandermiddelen voor de optische as voor het veranderen van het optische traject van het door de integrator uitgezonden licht en een concave spiegel voor het verzamelen van het van de verandermiddelen voor de optische as verkregen licht en voor het reflecteren hiervan in de richting van de horizontale optische as. De concave spiegel kan worden vervangen door een Fresnel-lens. Bij de projectiebelichtingsinrichting volgens de onderhavige uitvinding wordt het belichtingslicht van de lichtbron door het masker heen en door de op de horizonta-

Ie optische as opgestelde projectielens heen gestraald naar het belichtingselement voor het met een maskerpatroon belichten van het belichtingselement. Aangezien in dit geval het belichtingselement wordt vastgehouden in de vertikale richting door een vasthoudmechanisme, kan vervorming van het element als gevolg van het vlak maken van het belichtingsvlak worden voorkomen, zodat het maskerpatroon met een grote nauwkeurigheid kan worden belicht. Aangezien verder het belichtingselement beweegbaar wordt gemaakt door het vasthoudmechanisme binnen ten minste het vlak, dat zich loodrecht op de horizontale optische as uitstrekt, kan een aantal maskerpatronen worden belicht door het stap-en-herhaal-systeem op het belichtingselement voor het verbeteren van de snelheid van de belichting.

Wanneer verder de afstand tussen de projectielens en het masker gelijk gemaakt wordt aan de afstand tussen de projectielens en het belichtingselement, en wanneer het masker en het belichtingselement onafhankelijk van elkaar beweegbaar zijn binnen het vlak loodrecht op de horizontale optische as, kan de uitrichting van het belichtingselement en het masker, evenals de vergrotingsverhouding tussen het maskerpatroon en het op het belichtingselement geprojecteerde patroon gemakkelijk worden ingesteld.

Wanneer verder de lichtbron van het masker, de projectielens en het belichtingselement onafhankelijk wordt gemaakt, geeft binnen de lichtbron opgewekt licht geen ongewenste effecten op de kamer, die het masker, de projectielens en het belichtingselement bevat, waardoor de capaciteit van de kamer beperkt kan worden voor het besparen van bedrijfskosten en aanvankelijke kosten. Door verder de optische as van het van de licht uitzendende bron afkomstige belichtingslicht te veranderen door bijvoorbeeld middelen voor het veranderen van de optische as, omvattende een volledig reflecterende spiegel en de concave spiegel, kan de horizontale afstand tot de lichtbron worden verkort voor het beperken van de afmetingen van de inrichting.

Deze en andere doeleinden, maatregelen en aantrekkelijke effecten van de onderhavige uitvinding zullen nu verduidelijkt worden aan de hand van de beschrijving van voorkeursuitvoeringsvormen aan de hand van bijgaande tekeningen, waarin: fig. 1 een aanzicht is, dat de vorm van een voorkeursuitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding toont; fig. 2 een bovenaanzicht is, dat een maskervast-houdmechanisme toont; fig. 3 een vooraanzicht is van het maskervasthoud-mechanisme, waarbij een maskerklauw uit het rechterdeel verwijderd is; fig. 4 een vertikaal dwarsdoorsnedeaanzicht van een centraal deel van fig. 3 is; fig. 5 een dwarsdoorsnedeaanzicht is, waarin de linkerhelft is weergegeven langs de lijn B-B in fig. 4, terwijl de rechterhelft is weergegeven langs de lijn A-A in fig. 4; fig. 6 een dwarsdoorsnedeaanzicht is, dat een lensvasthoudmechanisme toont; fig. 7 een vooraanzicht is, dat een belichtings-elementvasthoudmechanisme toont; fig. 8 een vertikaal dwarsdoorsnedeaanzicht voor een centraal deel van fig. 7 is; fig. 9 een zijaanzicht is, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, dat een verlichtingsmechanisme weergeeft; fig. 10 een dwarsdoorsnedeaanzicht is langs lijn X-X in fig. 9; fig. 11 een bovenaanzicht is, dat een richtings-merkdetectiemechanisme toont; fig. 12 een vooraanzicht van fig. 11 is; fig. 13 een zijaanzicht van fig. 12 is; fig. 14 een verklarend aanzicht is, dat een rich-tingsmerk weergeeft; fig. 15 een vooraanzicht is, dat een andere uitvoeringsvorm van een belichtingselementvasthoudmechanisme toont; fig. 16 een zijaanzicht is van het belichtingsele-mentvasthoudmechanisme, dat in fig. 15 is getoond; fig. 17 een vergroot dwarsdoorsnedeaanzicht van een klemelement is? fig. 18 een zijaanzicht is, dat een andere uitvoeringsvorm van het belichtingselementvasthoudmechanisme toont ? fig. 19 een vooraanzicht van het belichtingsele-mentvasthoudmechanisme is, dat in fig. 18 is getoond; fig. 20 een bovenaanzicht voor een vasthoudklauw is; fig. 21 een vergroot dwarsdoorsnedeaanzicht voor een deel van de vasthoudklauw is? fig. 22 een zijaanzicht is, dat weer een andere uitvoeringsvorm van het belichtingselementvasthoudmecha-nisme toont; en fig. 23 een perspectivisch aanzicht is, dat een andere uitvoeringsvorm van een lichtbron toont.

Fig. 1 is een schematisch aanzicht, dat de gehele samenstelling van de onderhavige uitvinding toont. In de figuur treedt het door een lichtbron 1 uitgezonden belich-tingslicht volgens een horizontale optische as Ιη een belichtingsinrichtinghoofdlichaam 2 binnen.

De lichtbron 1 is voorzien van een wagen 11, die op geleiderails 10 geleid wordt in de richting van de horizontale optische as 1^. Op de wagen 11 is een licht-broninrichting 14 aangebracht, omvattende een lichtbron 12 in engere zin, zoals een kwikdamplamp of een xenonlamp voor het uitzenden van optische stralen in de bovenwaartse richting en een dichroïsche spiegel 13 voor het overbrengen van een golflengtecomponent in een infrarood gebied met een optische as in een horizontale richting vanuit het van de lichtbron 12 afkomstige belichtingslicht en voor het reflecteren van andere golflengtecomponenten als belichtingslicht. Het door de lichtbron 14 in bredere zin uitgezonden belichtingslicht wordt in een integrator 15 uniform gemaakt, en wordt door een sluiter 16 heen gevoerd voor het beperken van de hoeveelheid belichting, evenals door een filter 17, die slechts licht doorlaat met een belichtingsgolflengte (bijvoorbeeld G-stralen) en voor het reflecteren in de benedenwaartse richting door een volledig reflecterende spiegel als middelen voor het veranderen van de optische as.

Het gereflecteerde licht wordt gereflecteerd door een concave spiegel 19 met een grote boogstraal en wordt dan verzameld op de horizontale optische as Ιη. Op deze wijze is de concave spiegel 19 voorzien van een concaaf vlak met een straal R met het centrum in het punt 0, dat gelegen is op een snijlijn voor een hoek a tussen de horizontale optische as Ιη en de optische as L3 van het door de volledig reflecterende spiegel 18 gereflecteerde licht. Wanneer dan ook wordt aangenomen dat de lengte van de optische as van de integrator 15 naar de concave spiegel 19 gelijk is aan L, wordt het door de concave spiegel 19 gereflecteerde belichtingslicht verzameld op een positie P op de horizontale optische as Ιη met een lengte, die gelijk is aan de optische aslengte L van de concave spiegel 19, en wordt een optisch beeld bij de uitgangsaanslui-ting van de integrator 15 gefocusseerd in een elliptische vorm.

Het hoofdlichaam 2 van de belichtingsinrichting omvat een maskervasthoudmechanisme 30, dat bij een venster 22a aan het linkereinde van een huis 22 is aangebracht in een kamer 20, die bevestigd is op een installatievlak, en voorzien is van vensters 22a en 22b op een positie, die overeenkomt met de horizontale optische as Ιη voor het vasthouden van een masker M, dat voorzien is van een belichtingspatroon, dat beweegbaar is in een vlak, dat zich loodrecht op de horizontale optische as Ιη uitstrekt, evenals een lensvasthoudmechanisme 40, dat binnen het huis 22 is aangebracht voor het in de richting van de horizontale optische as Ιη vasthouden van projectielens PL, een belichtingselementvasthoudmechanisme 50, dat aangebracht is op een positie van een venster 22b aan het rechtereinde van het huis 22 voor het vasthouden van een belichtings-element s, waarin richtmarkeringen AMsi en AMS2 gevormd zijn boven en onder een belichtingsgebied, dat van een laag fotolak voorzien is; evenals een verlichtingsmechanisme 60, dat in het huis 22 is aangebracht voor het verlichten van de richtmarkeringen AMS1 en AMS2 van het belichtings-element S; en een richtmarkeringdetectiemechanisme 40, dat op het maskervasthoudmechanisme 30 is aangebracht voor het superponeren van de richtmarkeringen AMS1 en AMS2, die door het verlichtingsmechanisme 60 belicht worden met richtmarkeringen AMm1 en AMM2 op het masker M voor het detecteren van de richtpositie tussen beide.

De kamer 20 wordt bestuurd, opdat deze een stan-daardtemperatuur bereikt, en er wordt schone lucht aan toegevoerd, waarvan het stof via een filter wordt verwijderd, opdat een schone ruimte wordt gevormd. Aan de zijwand van de kamer, waarin het belichtingslicht van de lichtemitterende inrichting 1 binnentreedt, is een venster 20a in de kamer aangebracht, en in de zijwand tegenover het venster 20a is een open/sluit-deur 20b aangebracht.

Zoals in de figuren 2 tot 5 is weergegeven, omvat het maskervasthoudmechanisme 30 een bevestigingsbasisplaat 31, die aan het venster 22a van het huis 22 is bevestigd, en die voorzien is van een perforatie 31a, die in het centrale deel gevormd is, waarbij een bovenvlakplaat 34 bevestigd is aan de bevestigingsbasisplaat 31 door middel van afstandselementen 32a, 32b en verbindingsplaten 33a, 33b, en waarin tevens een perforatie 34 is aangebracht op het centrale deel ervan, waarbij een maskertrap 35 wordt vastgehouden tussen de bevestigingsbasisplaat 31 en de bovenvlakplaat 34, zodanig, dat deze beweegbaar is binnen een vlak, dat zich loodrecht op de horizontale optische as Li uitstrekt, en voorzien is van een perforatie 35a, die gevormd is in het centrale deel, en waarbij een trapbewe-gingsmechanisme 36 is aangebracht voor het doen bewegen van de maskertrap 35 in de vertikale of horizontale richting, en voor het in lichte mate roteren hiervan rond de horizontale optische as 1^ als centrum.

Zoals uit de figuren 3 tot 5 blijkt, heeft de bevestigingsbasisplaat 31 een convexe vorm, omvattende een vierkant basisdeel 31b en een daarop gevormd kleiner vierkant trapvasthouddeel 31c, dat in contact is met de maskertrap 35.

Verder zijn de afstandselementen 32a en 32b aan de bovenzijde en de linkerzijde van de perforatie 31a aangebracht op het trapvasthouddeel 31c, en zijn luchtcilinders 32c en 32d bevestigd aan de centrale delen daarvan voor het aanleggen van een voordruk op de maskertrap 35. Zoals in fig. 4 getoond is, is het boveneinde van een zuiger-stang voor elk van de luchtcilinders 32c en 32d verbonden met een glij-element 32f voor het roteerbaar vasthouden van een rol 32e in contact met elk van de eindplaten 35b en 35c, die aan de maskertrap 35 zijn bevestigd.

Verder is de maskertrap 35 bevestigd aan het linkereindvlak door middel van een ringvormig afstandsele-ment 35b, waarbij een vierkante maskerklauw 35f voorzien is van een perforatie 35e, die in het centrale deel ervan gevormd is, en die voorzien is van een (niet weergegeven) vacuüm aantrekkingsdeel, dat aangebracht is op het linkereindvlak ervan. Vanuit het onderste einde en het rechter-einde aan het linkereindvlak van de maskerklauw 35f strekken zich positioneerpennen 35g, 35h en 35i uit voor het positioneren van het masker M, en zijn aan beide hoeken van de zijde van het bovenste einde driehoekige inkepingen 35j en 35k aangebracht. Bevestigingselementen 351 en 35m zijn met de inkepingen 35j, respectievelijk 35k verbonden voor het vasthouden van het bovenste einde van het masker M. Elk van de vasthoudelementen 351 en 35m omvat een roteerbaar bedieningsorgaan 35n, dat bevestigd is op elk van de inkepingen 35j en 35k, waarbij een roteerbare arm 35o bevestigd is aan het bovenste einde van het roteerbare bedieningsorgaan 35n, en is een vasthoudelement 35q bevestigd aan het vrije einde van de roteerbare arm 35o via een tussenvoegelement 35p, dat overeenkomt met de dikte van het masker M.

Verder omvat, zoals in het bijzonder uit fig. 5 blijkt, het trapbewegingsmechanisme 36 vertikale aandrijf-stelsels 36a en 36b, die bevestigd zijn aan de verbin-dingsplaat 33a tegenover de geleiderollen 35r en 35s, die bevestigd zijn aan zowel het voorste als het achterste einde van de ondereindrand van de maskertrap 35 en een horizontaal aandrijfstelsel 36c, dat bevestigd is aan de verbindingsplaat 33b tegenover een geleiderol 35t, die bevestigd is aan het centrale deel van de linkereindrand van de maskertrap 35. Elk van de aandrijfstelsels 36a-36c omvat een aandrijfmotor 36e, een schroefstang 36f, die verbonden is met de roteerbare as van de motor en een wigvormig glij-element 36g, dat voorzien is van een moer, die in aangrijping is met de schroefas 36f, en die voorzien is van een glijcontactvlak, dat zich parallel uitstrekt aan de eindrand van de maskertrap 35. Elk van de geleiderollen 35r tot 35t, die met de maskertrap 35 zijn verbonden, zijn in rollend contact aangebracht met het glijcontactvlak van het glij-element 36g. Wanneer dan ook de aandrijfmotoren 36e voor het in horizontale richting aandrijven van de stelsels 36a en 36b worden geroteerd, bijvoorbeeld in de achterwaartse richting om beide glij-elementen 36g naar de centrale delen toe te laten glijden, beweegt het glijcontactvlak van elk van de glij-elementen 36g parallel naar beneden om de maskertrap 35 naar beneden te doen bewegen. Wanneer daarentegen elk van de glij-elementen 36g naar buiten wordt bewogen door de voorwaartse rotatie van de aandrijfmotor 36e, beweegt het glijcontactvlak van het glij-element 36g parallel naar boven voor het naar boven doen bewegen van de maskertrap 35 tegen de kracht van de luchtcilinder 32c in. Wanneer verder de aandrijfmotor 36e van het horizontale aandrijfstelsel 36c wordt geroteerd in bijvoorbeeld de omgekeerde richting, waardoor het glij-element 36g naar beneden glijdt, beweegt het glijvlak van het glij-element 36g naar rechts, en wel parallel voor het verplaatsen van de maskertrap 35 in de rechterrichting tegen de druk van de luchtcilinder 32d in fig. 5 in. Wanneer daarentegen de aandrijfmotor 36e in voorwaartse richting wordt geroteerd om het glij-element 36g naar boven te doen glijden, beweegt het glij-contact-vlak van het glij-element 36g naar links, en wel parallel voor het naar links toe verplaatsen van de maskertrap 35. Wanneer verder het glij-element 36g van één vertikaal aandrijfstelsel 36a naar links moet worden bewogen, terwijl het glij-element 36g van het andere vertikale aandrijf stelsel 36b naar links moet bewegen, en het glij-element 36g van het horizontale aandrijfstelsel 36 naar beneden moet glijden, kan de maskertrap 35b in de richting van de wijzers van de klok enigszins worden geroteerd, en wel tot ongeveer 1° rondom het centrum van de horizontale optische as Li. Wanneer daarentegen elk van de aandrijf-stelsels 36a-36c in de tegengestelde richting glijdt, kan de maskertrap 35 in lichte mate tot ongeveer 1° geroteerd worden in de richting tegen de wijzers van de klok in.

Zoals in fig. 6 getoond is, wordt in het lensvast-houdmechanisme 40 een beweegbare plaat 43, die door vier bladveren 42 wordt gesteund, aangebracht boven het boven-eindvlak van een substraatvlak 41, dat aangebracht is bij de bodem van het huis 42, en wordt een projectielens PL gesteund op een beugel 44, die aan de beweegbare plaat 43 bevestigd is, waarbij de optische as ervan uitgericht is ten opzichte van de horizontale optische as Ιη. De beweegbare plaat 43 wordt ongeveer lmm bewogen in de richting van de horizontale optische as Ιη door een lineair bewe-gingsmechanisme 48, dat voorzien is van een aandrijf motor 35, die bevestigd is aan het boveneindvlak van het sub-straatblok 41, een schroefas 46 die verbonden is met een roteerbare as van de motor, en een kogelmoer 47, die in aangrijping is met de schroefdraad van de schroefas 46, en die bevestigd is aan het ondervlak van de beweegbare plaat 43.

Zoals in de figuren 7 en 8 getoond is, omvat het belichtingselementvasthoudmechanisme 50 een rechthoekig frame 51, dat bevestigd is aan de omtrek van het venster 22b in het huis 22, en dat voorzien is van zich horizontaal uitstrekkende geleiderails 51a en 51b, die respectievelijk bevestigd zijn aan het bovenste einde en het onderste einde aan het rechtereindvlak ervan van een horizontaal beweegbare tafel 52, die in horizontale richting glijdbaar is aangebracht door middel van glij-elementen 52a en 52b, die de geleiderails 51a en 51b aangrijpen aan de zijde van het rechtereindvlak van het rechthoekige frame 51, en die in zijn centrale deel voorzien is van een perforatie 52, en geleiderails 52d en 52e, die aangebracht zijn aan de zijde van het rechtereindvlak, en die zich vertikaal uitstrekken aan het rechtereindvlak, waarbij een vertikaal beweegbare tafel 53 in vertikale richting glijdbaar is aangebracht door middel van glij-elementen 53a en 53b, die de geleiderails 52d en 52e aangrijpen aan de zijde van het rechtereindvlak van de horizontaal beweegbare tafel 52, en waarbij in het centrale deel ervan een perforatie 53c gevormd is, evenals een vasthoudklauw 54, die bevestigd is aan het rechtereindvlak van de in vertikale richting tafel 53 voor het door middel van een vacuüm aantrekken en vasthouden van het belichtingselement S. Vervolgens wordt de in horizontale richting beweegbare tafel 52 in horizontale richting aangedreven door een lineair bewegingsmechanisme 55, omvattende een aandrijfmo-tor 55a, die bevestigd is aan het rechthoekige frame 51, een met zijn roteerbare as verbonden schroefas 55b, en een kogelmoer 55c, die door middel van schroefdraad in aan-grijping is met de schroefas 55b, en die bevestigd is aan de in horizontale richting beweegbare tafel 52. Verder wordt de in vertikale richting beweegbare tafel 53 tevens in vertikale richting aangedreven door een lineair bewegingsmechanisme 56, omvattende een aandrijfmotor 56a, die bevestigd is aan de in horizontale richting beweegbare tafel 52, een schroefas 56b die met zijn roteerbare as verbonden is, en een kogelmoer 56c die door middel van schroefdraad in aangrijping is met de schroefas 56b, en die bevestigd is aan de in vertikale richting beweegbare tafel 53. Verder is een veer met een constante spanning 58 rondom een beugel 57 gewikkeld, die bevestigd is aan het boveneinde van een in horizontale richting beweegbare tafel 52, waarbij het andere einde van de veer in aangrij-ping is met het bovenste einde van de vertikaal beweegbare tafel 53, zodat het gewicht van de vertikaal beweegbare tafel 53 de vasthoudklauw 54 en het belichtingselement S gesteund worden door de veer 58 met een constante spanning. De vasthoudklauw 54 omvat positioneerpennen 54a, 54b en 54c voor het positioneren van het onderste einde en het achterste einde van het belichtingselement S, evenals een (niet weergegeven) klemelement voor het vastklemmen van het bovenste einde van het belichtingselement S. Het belichtingselement S wordt bijvoorbeeld gevormd door een glazen plaat met grote afmetingen van bijvoorbeeld 700 mm x 800 mm voor een weergave-inrichting met vloeibare kristallen (liquid cristal display) en op het belichtings-vlak daarvan is een laag fotolak aangebracht.

Het verlichtingsmechanisme 60 omvat een paar verlichtingsinrichtingen 62a en 62b, die in vertikale richting beweegbaar zijn ten opzichte van steunplaten 61a en 61b, die aan de rechterzijde van de projectielens PL zijn aangebracht in het huis 22. Elk van de verlichtingsinrichtingen 62a en 62b omvat, zoals in de figuren 9 en 10 getoond is, een substraatblok 63, dat bevestigd is aan het rechtereindvlak voor elk van de steunplaten 61a en 61b, een in vertikale richting glijdbaar op het substraatblok 63 vastgehouden glijblok 64, een hoofdzakelijk L-vormig steunelement 65, dat bevestigd is aan het rechtereindvlak van het glijblok 64, en een lenscilinder 67, die gesteund wordt door het steunelement 65, en die een aantal conden-sorlenzen omvat, die verbonden zijn met één einde van een optische vezel 66. Aan het ander einde van de optische vezel wordt van een (niet weergegeven) halogeenlamp afkomstig verlichtingslicht toegevoerd. Door de lenscilinder 57 uitgezonden verlichtingslicht wordt toegevoerd aan het oppervlak van het belichtingselement S als lokale verlichting met een diameter van ongeveer 10 mm. Het glijblok 64 wordt in vertikale richting bewogen door een aandrijfmechanisme 68, dat bevestigd is aan het achtereinde van het substraatblok 23. Het aandrijfmechanisme 68 omvat een aandrijf motor 68a, die bevestigd is aan het achtereinde van het substraatblok 63, een roteerbare as 68c, die door middel van een koppeling bevestigd is aan de roteerbare as van de motor, en die zich uitstrekt in een horizontaal doorgaand gat 68b, dat in het substaatblok 63 gevormd is, waarbij een rondsel 68d bevestigd is aan het uitwendige omtreksvlak van de roteerbare as 68c, en waarbij een tandstaaf 68b door middel van schroefdraad verbonden is met het rondsel 68a en verbonden is met linkereindvlak van het glijblok 64.

Zoals in de figuren 11 tot 13 getoond is, omvat het richtmarkeringsdetectiemechanisme 70 een paar richtde-tectiestelsels 61a en 61b voor het detecteren van het verlichtingslicht, dat de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 aan het masker M toevoert, welk masker M vastgehouden wordt door het maskervasthoudmechanisme 30. De richtdetectie-stelsels 61a en 51b zijn voorzien van basisplaten 72a en 72b, die bevestigd zijn in vertikale symmetrie ten opzichte van de bovenvlakplaat 34 van het maskervasthoudmechanisme 30. Een paar geleiderails 731 en en 73r, die zich uitstrekken in de vertikale richting zijn aangebracht op de basisplaten 72a, respectievelijk 72b, en in vertikale richting beweegbare tafels 75a en 75b zijn bevestigd aan de glij-elementen 741 en 74r, die in aangrijping zijn met de geleiderails 731 en 73r. Op de in vertikale richting beweegbare tafels 75a en 75b is een paar zich horizontaal uitstrekkende geleiderails 76u en 76r aangebracht, en in horizontale richting beweegbare tafels 78a en 78b zijn bevestigd aan glij-elementen 77u, 771 die in aangrijping zijn met de geleiderails 76u en 761. Op de in horizontale richting beweegbare tafels 78a en 78b zijn lichtgeleider-cilinder 79a en 79b aangebracht voor het geleiden van het belichtingslicht, dat de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 van het masker M overdraagt, evenals 2-dimensionele CCD-beeld-sensoren 80a en 80b zijn aangebracht voor ontvangst van het belichtingslicht, dat uitgezonden wordt door de optische geleidecilinders 79a en 79b. In dit geval omvat elk van de lichtgeleidercilinder 79a en 79b aan hun binnenzijde een volledig reflecterende spiegel 81 voor het in vertikale richting reflecteren van het belichtingslicht, dat de richtmarkeringen AMm1 en AMm2 projecteert aan de bovenzijde tegenover het masker M, evenals een convexe lens 82 voor het focusseren van het gereflecteerde licht, dat door de volledig reflecterende spiegel 81 en de volledig reflecterende spiegel 83 gereflecteerd is voor het horizontaal reflecteren van het geconvergeerde licht vanuit de convexe lens 82, en het door de volledig reflecterende spiegel 83 gereflecteerde horizontale licht wordt gefocusseerd naar de CCD-beeldsensoren 80a en 80b. De in vertikale richting beweegbare tafels 75a en 75b worden door een lineair bewegingsmechanisme 85 in vertikale richting bewogen, welk mechanisme een aandrijfmotor 85a omvat, die bevestigd is aan elk van de basisplaten 72a en 72b, waarbij een schroefas 85 verbonden is met de roteerbare as en een schroefas 85b verbonden is met de roteerbare as van de motor en waarbij een schroefas 85b verbonden is met de roteerbare as van de motor, en een kogelmoer 85c door middel van schroefdraad in aangrijping is met de schroefas 85b en bevestigd is aan elk van de in vertikale richting beweegbare tafels 75a en 75b. Verder worden de in horizontale richting beweegbare tafels 78a en 78b tevens bewogen in de horizontale richting door middel van een lineair bewegingsmechanisme 86, omvattende een aandrijfmotor 86a, die bevestigd is aan de elk van de in vertikale richting beweegbare tafels 75a en 75b, een met de roteerbare as van de motor verbonden schroefas 86b, en een kogelmoer 86, die door middel van schroefdraad in aangrijping is met de schroefas 86b, en die bevestigd is aan de in horizontale richting beweegbare tafels 78a en 78b.

Verder, zoals in fig. 14 getoond is, omvatten de op het masker M aangebrachte richtmarkeringen AMMi en AMM2 vierkante doordringbare gaten 91, die elk geperforeerd zijn bij de bovenste en de onderste positie van het belicht ingspatroon vormende gebied 90. Verder omvatten de richtmarkeringen AMS1 en ΑΜ$2, die op het belichtingselement S zijn aangebracht, die elk gevormd zijn bij de bovenste, respectievelijk de onderste positie van het patroonheiich-tingsgebied, kruissymboolmarkeringen zoals in fig. 14 is getoond.

Vervolgens zal de werking van de hierboven beschreven uitvoeringsvorm worden verklaard. Aanvankelijk wordt de sluiter 16 van de lichtbroninrichting 1 gesloten voor het onderbreken van het belichtingslicht, en wordt het masker M, dat van een voorafbepaald belichtingspatroon voorzien gepositioneerd en ingesteld op de maskerklauw 35d van het maskervasthoudmechanisme 30. Aangezien de richt-markeringsdetectiestelsels 71a en 71b het instellen van het masker M storen, wordt het lineaire aandrijfmechanisme 85 bediend voor het terugtrekken van de vertikaal beweegbare tafels 75a en 75b naar boven, respectievelijk naar beneden, en voor het terugtrekken van de lichtgeleideci-linders 79a en 79b van bovenaf de maskerklauw 35d.

Vervolgens, na het openen van de open/sluit-deur 20b van de kamer 20 en het positioneren en vasthouden van het belichtingselement S door de vasthoudklauw 54 van het belichtingselementvasthoudmechanisme 50 wordt de open-/sluit-deur 21b gesloten.

Vervolgens worden de horizontaal beweegbare tafel 53 van het belichtigselementvasthoudmechanisme 50 bewogen naar een positie van een eerste patroonheiichtingsgebied 52 op het belichtingselement S naar het belichtingsgebied door de projectielens PL.

In deze toestand worden de vertikaal beweegbare tafels 75a en 75b van de markeringsdetectiestelsels 71a en 71b van het richtmarkeringsdetectiemechanisme 70 naar boven, respectievelijk naar beneden bewogen tot deze tegenover de volledig reflecterende spiegel 81 van de lichtgeleidercilinders 79a en 79b geplaatst is ten opzichte van de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 op het masker M.

Vervolgens wordt de (niet weergegeven) halogeenlamp van het verlichtingsmechanisme 60 ingeschakeld om door de lenscilinder 66 van de verlichtingsinrichtingen 62a en 62b belichtingslicht te werpen naar het belich-tingselement S voor het lokaal verlichten van de richtmarkeringen AMSi en AMs2 van het belichtingselement S.

Wanneer het belichtingslicht aldus toegevoerd wordt aan de belichtingsmarkeringen AMS1 en AMS2, worden de verlichte beelden van de richtmarkeringen AM$i en AMS2 door de projectielens PL heen geworpen op de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 van het masker M, en omdat de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 doorlaatbare gaten 91 zijn, worden de verlich-tingsbeelden van de richtmarkeringen AM$i en AMS2, die door de doordringbare gaten 91 heen zijn bewogen toegevoerd aan de lichtgeleidercilinders 79a en 79b van het markeringsde-tectiestelsel 71a en 71b in het richtmarkeringsdetectieme-chanisme 40, en vervolgens gefocusseerd door de binnenzijde van de lichtgeleidercilinders 79a en 79b naar de CCD-beeldsensoren 80a en 80b.

Bij de CCD-beeldsensoren 80a en 80b wordt dan ook een in fig. 14 getoond uitgangsbeeld verkregen, waarbij de richtmarkeringen AMW1 en AMM2 van het masker M en de richtmarkeringen AMS1 en AMS2 van het belichtingselement op elkaar gesuperponeerd zijn. Wanneer in dit geval de afstand tussen de vertikale lijn Ly en de horizontale lijn voor de richtmarkering AMS1 en AMS2 op het belichtingselement S gelijk is aan dat van de tegenover elkaar gelegen zijden voor de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 van het daarmee overeenkomende masker, en wanneer de richtmarkeringen AMsi en AMS2 van het belichtingselement S gesitueerd zijn bij de desbetreffende centrale delen van de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 van het masker M, kan worden bevestigd dat het belichtingselement S gericht is ten opzichte van het masker M, en dat de projectielens PL gesitueerd is op een tussenliggende positie tussen beide in en dat de vergro-tingsverhouding ingesteld is op 1:1.

Wanneer het door de CCD-beeldsensoren 80a en 80b uitgevoerde beeld overeenkomt met het door de streep-stippelijnen in fig. 14 getoonde beeld, waarbij de richt-markering AMSi verplaatst is naar boven ten opzichte van de CCD-beeldsensor 80a, terwijl de richtmarkering AMS2 benedenwaarts verplaatst is over een afstand Δ die groter is dan de afstand Δ χι tussen de richtmarkering AMSi ten opzichte van de CCD-beeldsensor 80b kan beoordeeld worden dat het belichtingselement S en het masker M ten opzichte van elkaar verplaatst zijn, en dat de projectielens PL dichter bij het belichtingselement S gesitueerd is, waarbij de vergrotingsfactor bijvoorbeeld gegeven wordt door 1,1:0,9. De maskertrap 35 wordt dan ook bijvoorbeeld naar beneden bewogen door het trapbewegingsmechanisme 36 van het maskervasthoudmechanisme 30, waardoor het masker M naar beneden wordt bewogen voor het instellen van elk van de richtmarkeringen AMSi en AMS2, zodat de hoeveelheid verplaatsing tussen het centrum van elk van de richtmarkeringen AMm1 en AMM2 aan elkaar gelijk is. Nadat de instelling is voltooid, wordt het lineaire bewegingmechanisme 48 van het lensvasthoudmechanisme 40 aangedreven voor het langzamerhand terugtrekken van de projectielens PL. Aldus beweegt elk van de richtmarkeringen AMS1 en AMS2 naar het centrum voor elk van de richtmarkeringen AMMi en AMM2, en door het stoppen van het terugtrekken van de projectielens PL bij het bereiken van de centrale positie, wordt de vergrotingsverhouding van de projectielens ingesteld op 1:1.

Wanneer er verder sprake is van een hoekverplaat-sing tussen het masker M en het belichtingselement S, wanneer het centrum voor elk van de richtmarkeringen St en S2 van het belichtingselement S gedetecteerd blijkt te zijn met een draaiing ten opzichte van de richtmarkeringen AMMi en AMM2 van het masker M, wordt de instelling uitgevoerd in de rotatierichting door het nauwkeurig roteren van het masker M door het besturen van de vertikale aandrijfstelsels 36a, 36b en de horizontale aandrijfstelsel 36c van het maskervasthoudmechanisme 30.

Hieruit resulteert dat de onderlinge positie tussen het belichtingselement S en het masker M en de vergrotingsverhouding van de projectielens PL tegelijkertijd kunnen worden ingesteld door het richten van de richtmarkeringen AMS1 en AMS2 van het belichtingselement s, hetgeen gedetecteerd wordt door het richtmarkeringsdetec-tiemechanisme 70 met de centrale positie voor de richtmarkeringen AMM1 en AMM2 van het masker M.

Wanneer de uitrichting tussen het belichtingselement s en het masker M aldus is voltooid, wordt de belichting aangevangen door het openen van de sluiter 16 van de lichtbron 1 in bredere zin. Dat wil zeggen dat wanneer de sluiter 16 wordt geopend, het van het binnen de golfleng-tecomponent van het infrarode gebied ontdane belichtings-licht, hetgeen door het filter 17 gefilterd is tot slechts de componenten van de belichtingsgolflengten, gereflecteerd wordt door de volledig reflecterende spiegel 18, en het gereflecteerde licht wordt gereflecteerd bij de concave spiegel 19 in de richting van de horizontale optische as Ιη en het optische beeld bij de uitgang van de integrator 15 draagt het masker M over, en wordt dan gefocusseerd op de intredepupil van de projectielens PL. Het op het masker M gevormde belichtingspatroon wordt dan ook belicht met een vergrotingsverhouding, die gelijk is aan die van het belichtingsgebied van het belichtingselement S.

Wanneer vervolgens de belichting van het patroon voltooid is, wordt het belichtingslicht onderbroken door het sluiten van de sluiter 16 van het optische lichtbron-eenheid 1 en vervolgens wordt de horizontaal beweegbare tafel 52 (of de vertikaal beweegbare tafel 53) van het belichtingselementvasthoudmechanisme 50 bewogen in de horizontale (of vertikale) richting om tegengesteld te zijn aan een naburig nieuw belichtingsgebied van de projectielens PL. In deze toestand, na het instellen van de relatieve positie tussen het masker M en het belichtings-element S en het instellen van de vergrotingsverhouding voor de projectielens PL, opnieuw gebaseerd op het resultaat van de markeringsdetectie door het richtmarkeringsde-tectiemechanisme 70, wordt de sluiter 16 van de lichtbro-neenheid l geopend, en wordt het belichtingspatroon van het masker M belicht in het belichtingsgebied van het belichtingselement S.

Vervolgens worden de belichtingspatronen van het masker M achtereenvolgens belicht met het belichtingsgebied van het belichtirigselement S door het stapsgewijze herhalen van het belichtingselementvasthoudmechanisme 50. Wanneer de belichting voltooid is voor alle belichtingsge-bieden, wordt de open/sluit-deur 20b van de kamer 20 geopend en, na het vrijkomen van de vacuüm aantrekkings-toestand van de vasthoudklauw 54 in het belichtingsele-mentvasthoudmechanisme 50, wordt het belichtingselement s na de belichting weggenomen. Na het positioneren en het vasthouden van een nieuw belichtingselement S op de vasthoudklauw 54 wordt de open/sluit-deur 20b gesloten, en worden de belichtingsprocedures identiek met de hierboven beschreven procedures uitgevoerd.

Aangezien bij de bovenbeschreven uitvoeringsvorm de golflengtecomponent in het infrarode gebied verwijderd wordt via de dichroïsche spiegel 12 in de optische licht-broneenheid 1, en het belichtingslicht niet meer de golflengtecomponent in het infrarode gebied omvat, wordt thermische expansie van het masker M en van het belichtingselement S, veroorzaakt door het belichtingslicht, onderdrukt, en aangezien de lichtbroneenheid 1 en het hoofdlichaam 2 van de belichtingsinrichting onafhankelijk van elkaar zijn, kunnen ongewenste effecten van het in de lichtbroneenheid 1 opgewekte warmte, die overgedragen worden aan het hoofdlichaam 2 van de belichtingsinrichting zeker worden voorkomen. Aangezien tevens de kamer 20 slechts het hoofdlichaam 2 van de belichtingsinrichting behoeft te bevatten, kunnen de afmetingen van de kamer 20 worden beperkt, zodat de aanvankelijke kosten en de gebruikskosten kunnen worden verkleind.

Verder, zoals getoond is in de hierboven beschreven uitvoeringsvorm, is het superponerend belichten met een grote nauwkeurigheid mogelijk, zelfs wanneer het belichtingselement S en/of masker M zou lijden aan thermische expansie, omdat de relatieve positie tussen het belichtingselement S en het masker M en de vergrotingsver-houding van de projectielens PL ingesteld worden op basis van het resultaat van de detectie door het richtmarke-ringsdetectiemechanisme 70 bij elke stapsgewijze herhaling van het belichtingselement s.

Aangezien verder het belichtingselement S vertikaal wordt gehouden door het belichtingselementvasthoudme-chanisme 50, wordt de torsie van het element door zijn eigen gewicht voorkomen, zodat belichting wordt uitgevoerd met een grote nauwkeurigheid.

Aangezien verder het belichtingslicht van het verlichtingsmechanisme 60 naar de richtmarkeringen AMSi en AMS2 gevormd is als een kleine puntvorm, wordt thermische expansie van het belichtingselement S als gevolg van belichtingslicht vermeden.

Verder zijn bij de bovenbeschreven uitvoeringsvorm verklaringen uitgevoerd met betrekking tot de lichtbronin-richting 1, waarbij het door de lichtemitterende bron 14 uitgezonden belichtingslicht, dat aan de integrator 15 wordt toegevoerd, verzameld wordt op de horizontale optische as Ιη via de verandering van de optische as door de totaal reflecterende spiegel 18 en de concave spiegel 19. De uitvinding is hiertoe echter niet beperkt, maar de lichtbroninrichting kan eveneens zodanig worden gevormd, dat het door de lichtemitterende bron 14 uitgezonden belichtingslicht, dat door de integrator 14 heengaat, verzameld wordt bij de ingangspupil van de projectielens PL door middel van twee convexe lenzen, die geplaatst zijn op een voorafbepaalde afstand op de horizontale optische as Lj.

Verder zijn het maskervasthoudmechanisme 30, het projectielensvasthoudmechanisme 40, het belichtingsele-mentvasthoudmechanisme 50, het belichtingsmechanisme 60 en het richtmarkeringsdetectiemechanisme 70, die alle het hoofdlichaam 2 van het belichtende belichtingsinrichting vormen, niet beperkt tot de uitvoeringsvormen die hierboven zijn getoond, maar kan een verandering of een modificatie hiervoor worden toegelaten.

Alhoewel verder verklaringen zijn gericht op bovengenoemde uitvoeringsvorm voor een geval, waarbij de projectielens PL beweegbaar is gemaakt in de richting van de horizontale optische as Ιη, kan het maskervasthoudmechanisme 30 en het belichtingselementvasthoudmechanisme 50 beweegbaar worden uitgevoerd in de richting van de horizontale optische as Li.

Vervolgens zal een andere uitvoeringsvorm van het belichtingselementvasthoudelement 50, die toepasbaar is op de onderhavige uitvinding worden verklaard aan de hand van de figuren 15 tot 17.

Deze gemodificeerde uitvoeringsvorm verschaft een belichtingselementvasthoudmechanisme 50, dat een grote glazen plaat met een kleine dikte, zoals een schaduwmasker vast kan houden als belichtingselement S zonder vervorming te veroorzaken.

Dat wil zeggen dat zoals in fig. 15 getoond is het belichtingselementvasthoudmechanisme, vasthoudklauwen lOla-lOld omvat, die gevormd zijn bij vier hoeken op het rechtereindvlak van een rechthoekige, frameachtige vertikaal beweegbare tafel 53, en die voorzien is van vacuüm aantrekkingsdelen lOla-lOld, die elk gevormd zijn aan het rechtereindvlak voor het aantrekken en vasthouden van het belichtingselement S, evenals een klemmechanisme 102 voor het vastklemmen van het belichtingselement S, dat door de vasthoudklauwen lOla-lOld vastgehouden moet worden zonder vervorming.

Elk van de vasthoudklauwen lOla-lOld is vooraf reeds zodanig ingesteld, dat de uitstekende lengte van de vacuüm aantrekkingsdelen lOla-lOld, dat wil zeggen het vasthoudvlak H van het belichtingselement S constant gemaakt is, onafhankelijk van de dikte van het vast te houden belichtingselement S.

Zoals blijkt uit de figuren 16 en 17 omvat het klemmechanisme 102 holle roteerassen 103a en 103b, die roteerbaar zijn aangebracht aan de linkerzijde van de vasthoudklauwen 101a en 101b en aan de rechterzijde van de vasthoudklauwen 101c en 10ld, roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b die verbonden zijn met de ondereinden van de roteerbare assen 103a en 103b door middel van koppelingen 104a en 104b, L-vormige steunelementen 106a-106d, die respectievelijk bevestigd zijn op de posities, die overeenkomen met de vacuüm aantrekkingsdelen lOOa-lOOd met de vasthoudklauwen lOla-lOld van de roteerbare assen 103a en 103b en klemelementen 107a-107d, die bevestigd zijn aan de steunelementen 105a-105d.

In dit geval, zoals in fig. 16 getoond is, zijn de roteerbare assen 103a en 103b voorzien van van kappen voorziene bovenste eindasdelen 108a, respectievelijk 108b, die ingestoken worden tot in de perforaties 110a en 110b van de glijlagers 109a en 109b, die gevormd zijn op het boveneindvlak van de vasthoudklauwen 101a en 101c en aldaar worden vastgehouden, terwijl de onderste einden van de assen door middel van koppelingen 104a en 104b verbonden zijn met de roteerbare assen van de roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b, die vastgehouden worden door de steunplaten lila en 111b gevormd op de ondereindvlakken van de vasthoudklauwen 10lb en lOld van de horizontaal beweegbare tafel 53. Deze zijn zo aangepast dat, wanneer de roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b in de teruggetrokken rotatiepositie zijn, de steunelementen 106a-106d van het klemmechanisme 102, dat aan de zijde van de vertikaal beweegbare tafel 53 van het vasthoudvlak van de vasthoudklauwen lOla-lOld gesitueerd is voor het belichtingselement S, en dat de klemelementen 107a en 107d van de steunelementen 106a-106d tegenover het belichtingsele- ment S geplaatst zijn in de richting loodrecht op de vasthoudrichting op een klempositie, waarin de roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b geroteerd worden vanaf de terugtrekkende rotatiepositie.

Verder, zoals in fig. 17 getoond wordt, is elk van de klemelementen 107a-107d bevestigd aan het boveneinde van het steunstuk 106a-106d aan de zijde van het rechter-einde, en wel in een toestand, waarin de roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b zich in de klempositie bevinden. In de horizontale richting vanaf de zijde van het linker-eindvlak is een cilindrische boring 112 gevormd. Een penvormige zuiger 116 is glijdbaar aangebracht in de cilindrische boring 112, waarbij een rubberen kussen 115, dat in contact is met het belichtingselement S, bevestigd is aan het boveneinde van een zuigerstang 115, die met de penvormige zuiger 113 is verbonden. Verder is een schroef-veer 116 opgenomen rond de zuigerstang 114 voor het veerkrachtig naar buiten dringen van de penvormige zuiger 113, en is het rubberen kussen 115 tegenover het belichtingselement S geplaatst door de perforatie 112e, die gevormd is op elk van de steunstukken 106a-106d. Vervolgens is een luchtkanaal 117 gevormd in de cilinderboring 112 aan de zijde tegenover de zuigerstang 114, waarbij het luchtkanaal 117 verbonden is door middel van een slang-elleboog-stuk 118 en een slang 119 met de binnenzijde van een holte in elk van de roteerbare assen 103a en 103b, waarbij de holte in de roteerbare as 103a en 103b door middel van een slang-elleboogstuk 120 en een slang 121 verbonden is, en verder een elektromagnetisch richtingschakelklep 112 verbonden is met een bron van onder druk staande lucht 123. Wanneer een elektromagnetische richtingsschakelklep 122 geschakeld wordt naar de zijde van de bron van onder druk staande lucht 123, beweegt de penvormige zuiger 113 naar links tegen de veerkracht van de schroefveer 116 van de penvormige zuiger 113 in, zodat het rubberen kussen 115 het rechtereindvlak van het belichtingselement 6 raakt om het belichtingselement S aldus vast te klemmen. Wanneer de elektromagnetische richtingskeuzeklep 122 naar de omge-vingszijde wordt geschakeld, wordt de penvormige zuiger 113 naar rechts bewogen door de schroefveer 116 en scheidt het rubberen kussen 115 zich van het belichtingselement S.

Vervolgens zal de werking van de hierboven beschreven uitvoeringsvorm worden verklaard. In een toestand, waarin het belichtingselement S niet vast wordt gehouden op het belichtingselementvasthoudmechanisme 50 worden de roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b van het klemmechanisme 102 bestuurd naar de terugtrekkende rotatiepositie, zodat de steunstukken 106a-106d van het klemmechanisme 102 gesitueerd zijn aan de zijde van de vertikaal beweegbare tafel 53 vanaf het vasthoudvlak van het belichtingselement S, zoals door de streep-stippellijn in fig. 17 getoond is. In deze toestand kan het belichtingselement, dat gevormd wordt door een grote en dunne glazen plaat gemakkelijk geladen of gelost worden door gebruikmaking van een geschikte laadinrichting, omdat geen uitsteeksels aanwezig zijn aan de rechterzijde van het vasthoudvlak voor het belichtingselement S.

De laadinrichting laadt het belichtingselement S dan ook zodanig, dat de vier hoeken daarvan overeenkomen met de vacuüm aantrekkingsdelen lOOa-lOOd van de vasthoud-klauwen lOla-lOld, en de vacuüm aantrekkingsdelen 100a-lOOd worden bediend voor het onder vacuüm aantrekken van het belichtingselement S.

Vervolgens worden de roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b bediend, en geroteerd naar de rotatieklempo-sitie. Dit doet de rotatieassen 103a en 103b roteren over ongeveer 150° en de klemelementen 107a-l07d zijn tegenover het belichtingselement S gelegen gezien vanuit de orthogo-nale richting. In deze toestand wordt de elektromagnetische richtingskeuzeklep 122 geschakeld voor het vanaf de bron van luchtonderdruk 123 toevoeren van perslucht door middel van de roteerbare assen 103a en 103b naar de binnenzijde van de cilindrische boring 112 en elk van de klemelementen 107a-107d, zodat de zuiger 113 bewogen wordt naar de zijde van het belichtingselement s in fig. 17 en desbetreffend het rubberen kussen 115 tot in contact wordt gebracht met het belichtingselement S vanuit de loodrechte richting om een veilig vastklemmen van het belichtingselement S te verzekeren.

Vervolgens, na het bevestigen van de klemhande-ling, wordt de laadinrichting teruggetrokken. In dit geval kan de klemkracht van het klemmechanisme 102 vanuit de loodrechte richting op het belichtingselement S worden uitgeoefend om zeker vervorming in het belichtingselement S veroorzaakt door de in de schuine richting veroorzaakte klemkracht te voorkomen, zodat een groot en dun belichtingselement S veilig vast kan worden gehouden zonder vervorming of spanning, omdat het klemmechanisme 102 een roteerbaar mechanisme omvat, dat voorzien is van roteerbare assen 103a en 103b, evenals roteerbare bedieningsorga-nen 105a en 105b voor het doen roteren van de steunstukken 106a-106d en een cilindermechanisme voor het doen voortbe-wegen/terugtrekken van het rubberen kussen 115 naar het belichtingselement S in de loodrechte richting. Wanneer bovendien de roteerbare bedieningsorganen 105a en 105b bestuurd worden naar de terugtrekkingsrotatiepositie, kan het belichtingselement S gemakkelijk worden verwijderd door de laadinrichting, omdat elk van de het klemmechanisme 102 vormende componenten niet uitsteken uit het rech-tervlak van het belichtingselement S, dat aangetrokken wordt en vastgehouden wordt door de vasthoudklauwen 101a-lOld.

Alhoewel verder verklaringen zijn gemaakt met betrekking tot de bovenstaande uitvoeringsvorm van een geval, waarbij de binnenzijde van de roteerbare assen 103a en 103b direkt gebruikt wordt als kanaal voor luchtonder-druk, is het niet noodzakelijkerwijze hiertoe beperkt, en kan een afzonderlijk luchtkanaal worden toegevoegd.

Alhoewel verder de verklaring betrekking heeft op bovengenoemde uitvoeringsvorm, waarbij de klemelementen 107a-107d gevormd worden als de luchtdrukcilinder, is de uitvinding hiertoe niet beperkt, maar is het tevens mogelijk een lineair aandrijfmechanisme te voorzien van een kogelmoer of voorzien van een tandheugel en een tandstaaf toe te passen.

Vervolgens zal aan de hand van de figuren 18-21 een andere uitvoeringsvorm van het belichtingselementvast-houdmechanisme 50 worden beschreven, dat bij de onderhavige uitvinding toepasbaar is.

Deze gemodificeerde uitvoeringsvorm kan een be-lichtingselementvasthoudmechanisme 50 verschaffen, dat een grote en dunne glazen plaat, zoals een schaduwmasker op kan nemen en over kan dragen als belichtingselement S door middel van een laadinrichting.

Zoals in de figuren 18 en 19 is getoond, steken referentiestoporganen 201a-201d respectievelijk uit bij vier hoeken van een opening aan het rechtereindvlak van een rechthoekige frameachtige, in vertikale richting beweegbare tafel 53 voor het instellen van de referentie-positie van een belichtingselement S. Verder steken twee uitstulpingen 202a en 202b uit onder een voorafbepaald interval aan de zijde van het onderste einde. Elk van de uitstulpingen 202a en 202b is voorzien van een roteerbare hefboom 205a, 205b, die elk een relatief korte arm 203 omvat, evenals een langere arm 204, die met elkaar verbonden zijn in een hoofdzakelijk L-vormige configuratie, en die bij het gebogen deel draaibaar zijn ten opzichte van elke uitstulping.

In de roteerbare hefboom 205a en 205b is een zuigerstang 208 van elk van de luchtcilinders 207a en 207b draaibaar bevestigd aan één arm 203 en de cilinderbuis 206 van elke cilinder is draaibaar ten opzichte van het bovenste deel van het rechtereindvlak van de vertikaal beweegbare tafel 53, terwijl het boveneinde van de andere arm 204 draaibaar is ten opzichte van elk van de beugels 209a en 209b, die uitsteken onder het rechtereindvlak van de vasthoudklauw 54.

Bij deze uitvoeringsvorm wordt de slag van de zuigerstang 208 voor elk van de luchtcilinders 207a en 207b op een zodanige waarde gekozen, dat het belichte referentievlak van het belichtingselement S heen en weer beweegbaar is vanuit de rotatiepositie van de roteerbare hefboom 205a, 205b, waarbij deze tegen de referentieaan-slagen 20la-210d aanrust, zoals door de streep-stippellijn in fig. 19 is getoond naar een rotatiepositie, geroteerd over ongeveer 50° in de richting van de wijzers van de klok, zoals getoond door de getrokken lijn in de figuur, en waarbij tevens de slag van de zuigerstang 213 voor elk van de luchtcilinders 211a en 211b op een zodanige waarde wordt gekozen, dat de vasthoudklauw heen en weer beweegbaar is tussen de rotatiepositie, waarin het belichtingselement S in een horizontale toestand is, zoals getoond is door een getrokken lijn, en de rotatiepositie, waarin deze geroteerd wordt tegen de richting van de wijzers van de klok in over ongeveer 40° vanuit de rotatiepositie rondom de beugel 209a, 209b als een draaipunt, zoals getoond door de streep-stippellijn in fig. 19.

Verder omvat de vasthoudklauw 54, zoals in de figuren 20 en 21 is getoond, een rechthoekige vlakke plaat 54a en een frameachtig deel 54b, dat zich van elk van de zijranden benedenwaarts uitstrekt. Zoals in fig. 20 getoond is, steken drie positioneerpennen 221a-221c uit vanaf het bovenvlak van het vlakke plaatdeel 54a voor het positioneren van het belichtingselement S en rechthoekige aantrekkingsgroeven 222a-222c, die symmetrisch ten opzichte van elkaar zijn, zijn gevormd op posities, die bedekt zijn door het belichtingselement S, en die gepositioneerd worden door de positioneerpennen 221a-221c. Zoals in fig. 21 getoond is, is een flexibele slang 223, die aan één einde verbonden is met een (niet weergegeven) vacuümbron met zijn andere einde door middel van een verbinding 224 verbonden met de achterzijde van elk van de aantrekkingsgroeven 222a-222c.

Verder zijn de overdracht/ontvangst-bedieningsor-ganen 225a-225d aangebracht op het vlakke plaatdeel 54a, en wel op posities buiten de uitwendige aantrekkingsgroef 222c, en zij zijn bedekt met het belichtingselement S voor het doen verhogen van het belichtingselement S over een voorafbepaalde afstand L ten opzichte van het bovenvlak van het vlakke plaatdeel 54a. Zoals in fig. 21 getoond is, is elk van de overdracht/ontvangst-bedieningsorganen 225a-225d voorzien van een steunframe 227, dat aangebracht is op de onderste zijde van een perforatie 226, gevormd in een vlak plaatdeel 54a, waarbij een cilinderbuis 228a van een luchtcilinder 228 bevestigd is op het steunframe 227, en is een zuigerstang 230 met een bijvoorbeeld van rubber vervaardigd steunstuk 229, dat bevestigd is tegen het boveneinde van de luchtcilinder 228 voor het opnemen van het belichtingselement S, vertikaal en terugtrekbaar via de perforatie 226 aangebracht.

Vervolgens, zoals in de figuren 20 en 21 is getoond, is in een beladingsoverdrachtsarm 2311 en een los-overdrachtsarm 231, die door de streep-stippellijn gevormd zijn, en die tezamen het laadmechanisme vormen, en waarbij een vacuüm aantrekkingsgroef gevormd is in het bovenvlak, tegenover elkaar aangebracht en terugtrekbaar aangebracht tussen het bovenvlak van het vlakke plaatdeel 54a in de horizontale toestand, en is het belichtingselement S verhoogbaar door de overdracht/ontvangst-bedieningsorganen 225a-225d.

Bij deze uitvoeringsvorm neemt de vasthoudklauw 54 een hoofdzakelijk horizontale toestand aan, zoals getoond is door de getrokken lijn in fig. 19 in een toestand, waarin de zuigerstang 208 voor elk van de luchtcilinder 207a en 207b wordt samengetrokken, terwijl de zuigerstang 213 voor elk van de luchtcilinders 221a en 221b wordt samengetrokken. In deze toestand wordt het belichtingselement voortbewogen, terwijl het wordt vastgehouden door vacuüm aantrekkingskracht tegen het bovenvlak van de laadoverdrachtsarm 2311 en liggen de voorrand en de rechterzij rand van het belichtingselement S tegen de desbetreffende positioneerpennen 221a-221c aan. Vervolgens wordt de vacuüm aantrekkingstoestand van het belichtings-element S door de belastingsoverdrachtsarm 2311 vrijgegeven, en vervolgens wordt de zuigerstang 230 voor elk van de overdracht/ontvangst-bedieningsorganen 225a-225d naar buiten bewogen. Vervolgens rust het steunstuk 229 van de zuigerstang 230 tegen het ondervlak van het belichtings-element om het bovenwaarts te scheiden ten opzichte van de belastingsoverdrachtsarm 2311.

Na het na deze toestand achterwaarts terugtrekken van de belastingsoverdrachtsarm 2311 wordt de zuigerstang 230 voor elk van de overdracht/ontvangst-bedieningsorganen 225a-225d samengetrokken om het belichtingselement in contact te brengen met het bovenvlak van het vlakke deel 54a van de vasthoudklauw 54 en tegelijkertijd daarmee, of na een vertraging wordt elk van de aantrekkingsgroeven 222a-222c verbonden door middel van de verbinding 221 en de flexibele slang 220 met een vacuüm aantrekkingskracht om daarmee het belichtingselement S door aantrekking vast te houden.

Wanneer op deze wijze het belichtingselement S vast wordt gehouden door aantrekking door de vasthoudklauw 54, wordt aanvankelijk de zuigerstang 213 voor elk van de luchtcilinder 2lla en 211b aanvankelijk naar buiten gebracht voor het tegen de richting van de wijzers van de klok in doen roteren van de vasthoudklauw 54 over een hoek van Θ] (ongeveer 40°) om een draaipunt, dat gevormd wordt door elk van de beugels 209a en 209b. Vervolgens wordt de zuigerstang 208 voor elk van de luchtcilinders 207a en 207b naar buiten bewogen voor het doen roteren van elk van de roteerbare hefbomen 205a en 205b tegen de richting van de wijzers van de klok in over een hoek van Θ22 (ongeveer 50°). De vasthoudklauw 54 strekt zich aldus hoofdzakelijk recht uit en het oppervlak van het belichtingselement S, dat door aantrekkingskracht wordt vastgehouden door de vasthoudklauw 54 rust tegen elk van de referentie-aansla-gen 201a-201d aan, die gevormd zijn op de vertikale bewe-gingstafel 53, en het belichtoppervlak van het belich- tingselement S wordt gepositioneerd ten opzichte van het referentiebelichtingsvlak.

In dit geval wordt de vasthoudklauw 54 geroteerd door de twee stellen luchtcilinders 207a, 207b en de luchtcilinders 211a, 211b vanuit de horizontale toestand naar de vertikale toestand, zodat het belichtingselement S rust tegen de referentie-aanslagen 201a-201d. Aangezien de roteerbare hefbomen 205a-205d en de vasthoudklauw 54 geen aanslagen hebben voor het regelen van hun rotatieposities, wordt, wanneer het bedieningsvermogen voor elk van de luchtcilinders 207a en 207b bijvoorbeeld groter ingesteld is dan dat voor elk van de luchtcilinders 2lla-211b, zelfs in het geval, waarin het bovenste einde van het belichtingselement S aanvankelijk slechts de referentie-aanslagen 201a en 201b, de zuigerstang 213 voor elk van de luchtcilinders 211a en 211b samengetrokken om het onderste einde van het belichtingselement S te laten raken tegen de referentie-aanslagen 201c en 201d, aangezien het bedieningsvermogen voor elk van de luchtcilinder 207a en 207b groter is, zodat het belichtingselement S zeker rust tegen alle referentie-aanslagen 201a-201d, en nauwkeurig gericht is ten opzichte van het referentiebelichtingsvlak.

Wanneer vervolgens de belichting van het belichtingselement S voltooid is, wordt de zuigerstang 208 voor elk van de luchtcilinders 207a en 207b aanvankelijk samengetrokken, en vervolgens wordt elk van de luchtcilinders 211a en 2llb samengetrokken om de vasthoudklauw 54 naar de horizontale toestand te doen terugkeren, die door de getrokken lijn in fig. 19 is afgebeeld. Wanneer vervolgens de vacuüm aantrekkingstoestand voor het belichtingselement S wordt vrijgegeven door het ontkoppelen van elk van de aantrekkingsgroeven 222a-222c van een vacuüm aantrekkings-bron, en tegelijkertijd daarmee of na een vertraging de overdracht/ontvangst-bedieningsorganen 225a-225d bediend worden om de zuigerstang 230 voor de luchtcilinder 230 voor de luchtcilinder 228 uit te doen breiden, en vervolgens het belichtingselement S een voorafbepaalde afstand van het oppervlak van de vasthoudklauw 54 te doen scheiden. Vervolgens wordt de los-overdrachtsarm 231u ingestoken tussen de vasthoudklauw 54 en het belichtingselement S. Wanneer de arm volledig is ingestoken, worden de overdracht/ontvangst-bedieningsorganen 225a-225d gedeacti-veerd, en wordt het belichtingselement geplaatst op de los-overdrachtsarm 23lu. Na het door vacuüm doen aantrekken van het belichtingselement S door de overdrachtsarm 231u in deze toestand, wordt de overdrachtsarm 231u terugbewogen naar de oorspronkelijke positie voor het voltooien van het lossen van het belichtingselement S.

Vervolgens wordt een nieuw belichtingselement S door de laad-overdrachtsarm 2311 naar de vasthoudklauw 54 toe bewogen, en wordt het belichtingselement S belicht door het herhalen van dezelfde, bovenbeschreven procedures.

Aangezien bij deze uitvoeringsvorm de vasthoudklauw 54 ingericht is om het belichtingselement S roteerbaar te maken tussen de belichtingspositie, waarin het belichtingselement S gericht is ten opzichte van het vertikale referentiebelichtingsvlak en een overdracht/ ontvangst-positie, waarin het op een vasthoudklauw gedragen belichtingselement S een horizontale toestand inneemt, zoals hierboven is beschreven, kan het belichtingselement S gemakkelijk worden ontvangen/overgedragen om het mogelijk te maken bestaande laadmechanismen toe te passen, die gebruikt worden in de belichtingsinrichting van een soort met een vertikale optische as. Aangezien verder de vasthoudklauw 54 geroteerd wordt door gebruikmaking van twee stellen luchtcilinders, kan deze het belichtingselement nauwkeurig positioneren ten opzichte van het referentiebelichtingsvlak door het kusseneffect van het luchtcilinders.

Alhoewel verklaringen betrekking hebben op de uitvoeringsvorm volgens figuren 18-21, die twee stellen luchtcilinders toepast, kunnen deze worden vervangen door andere bedieningsorganen met minder kusseneffect, zoals hydraulische cilinders of lineaire bewegingsmechanismen, zoals kogelschroeven, en kunnen veerkrachtige elementen, zoals veren met een kusseneffect tussen dergelijke bedie-ningsorganen en de roteerbare hefbomen 205a en 205b in de vasthoudklauw 54 worden geplaatst.

Alhoewel verder de verklaringen betrekking hebben op de in figuren 18-21 getoonde uitvoeringsvorm, waarbij luchtcilinders 207a en 207b toegepast worden als bedie-ningsorganen voor het doen roteren van de roteerbare hefbomen 205a en 205b, kunnen andere roteerbare aandrijfmechanismen, zoals luchtmotoren of elektromotoren worden toegepast.

Alhoewel verder verklaringen betrekking hebben op de in fig. 18-21 getoonde uitvoeringsvorm in het geval, wanneer de laadrichting en de losrichting voor het belich-tingselement verschillend van elkaar zijn, is de onderhavige uitvinding daartoe niet beperkt, maar kunnen beide richtingen identiek zijn, en kan het laden en lossen worden uitgevoerd in elke willekeurige richting.

Alhoewel verder de verklaringen van elk van de voorgaande uitvoeringsvormen betrekking hebben op een geval van het aanbrengen van een veer 53 met een constante spanning tussen de in horizontale richting beweegbare tafel 52 en de in vertikale richting beweegbare tafel 53 voor het steunen van het gewicht van de in vertikale richting beweegbare tafel 53, de vasthoudklauw 54 en het belichtingselement S, is de onderhavige uitvinding daartoe niet beperkt. In plaats van de veer 58 met een constante spanning, zoals in fig. 22 getoond is, zijn cilinderbuizen 302 van de luchtcilinders 301a en 301b voor de evenwichts-positie, respectievelijk op de rechter- en linkereindran-den aangebracht van een in horizontale richting beweegbare tafel 52, en worden zuigerstangen 303 van de luchtcilin-ders 301a en 301b respectievelijk aangegrepen door uitsteeksels 304a en 304b, die gevormd zijn in de in vertikale richting beweegbare tafel 53. De luchtcilinders 301a en 301b zijn met een luchttoevoerbron verbonden door middel van (niet getoonde) luchtsmoorkleppen, zodat de even-wichtspositie aangepast wordt met de toegevoerde luchtdruk en de door de smoorkleppen opgewekte dempkracht.

Alhoewel verder verklaringen betrekking hebben op elk van de voorgaande uitvoeringsvormen in het geval, waarin het door de integrator 15 uniform gemaakte belich-tingslicht verzameld wordt door de middelen voor het veranderen van de optische as, omvattende de volledig reflecterende spiegel 18 en de concave spiegel 19 in de lichtbroninrichting 1, is de onderhavige uitvinding daartoe niet beperkt. Zoals in fig. 23 getoond is, kan de lichtbroninrichting een lichtbron 12 omvatten, zoals een kwikdamplamp of een xenonlamp voor het in de benedenwaartse richting uitzenden van licht, evenals een dichroische spiegel 13, waaraan van de lichtbron afkomstig belich-tingslicht wordt toegevoerd via een sluiter 16 en een filter 17, dat slechts het licht doorlaat met een belich-tingsgolflengte (bijvoorbeeld G-stralen) en dit reflecteert in de richting van de horizontale optische as Ll7 en een Fresnel-lens 310 voor het focusseren van een verlicht optisch beeld op de dichroïsche spiegel 13 naar de in-gangspupil L van een projectielens PL. Aangezien in dit geval de volledig reflecterende spiegel 18 voor het doen veranderen van de optische as in de lichtbroninrichting 1, die in fig. 1 getoond is gespaard kan worden, en de Fresnel-lens 310 gebruikt wordt in plaats van de concave spiegel 19, kan de structuur vereenvoudigd worden voor het besparen van ruimte, en verder kunnen de produktiekosten worden beperkt. Verder is het effect in de richting van de optische as, veroorzaakt door de bevestigingfout niet zodanig significant als in het geval van het gebruik van de concave spiegel, en wordt de werking van het bevestigen van de Fresnel-lens vergemakkelijkt.

Aangezien de projectiebelichtingsinrichting volgens de onderhavige uitvinding zodanig gevormd is, dat het belichtingslicht vanaf de lichtbron uitgezonden wordt langs de horizontale optische as, en dan aangestraald wordt door middel van een masker en de projectielens, aangebracht op de horizontale optische as van het belich-tingselement, zoals hierboven is beschreven, zodat een belichtingspatroon van het masker op het belichtingsele-ment terechtkomt, kan vervorming van het belichtingsele-ment door zijn eigen gewicht voorkomen worden door het vasthouden van het belichtingselement in de vertikale toestand in vergelijking met de bestaande inrichting van het vasthouden van het element in de horizontale toestand, waardoor belichting mogelijk wordt gemaakt met een grote nauwkeurigheid. Aangezien tevens het vasthoudmechanisme het belichtingselement beweegbaar vasthoudt binnen een vlak loodrecht op de horizontale optische as, kan het belichtingselement stapsgewijs verplaatst worden, en kan een belichtingspatroon een aantal oppervlakten worden belicht, waarbij de snelheid van de belichtingsinrichting kan worden verbeterd.

Aangezien verder de projectielens aangebracht is in een centrale positie tussen het masker en het belichtingselement, en het masker en het belichtingselement onafhankelijk van elkaar beweegbaar zijn binnen een vlak loodrecht op de horizontale optische as, kan de relatieve positie tussen het belichtingselement en het masker, en kan de vergrotingsverhouding gemakkelijk worden ingesteld om belichting met een patroon met een grote nauwkeurigheid mogelijk te maken.

Aangezien verder de lichtbron onafhankelijk is aangebracht, waarin een lichtuitzendende bron is aangebracht voor het doen uitzenden van het belichtingslicht na het verwijderen van de golflengtecomponent in het infrarode gebied, wordt de optische as voor het belichtingslicht, dat door de integrator uniform is gemaakt, veranderd door de middelen voor het veranderen van de optische as, en verder wordt het belichtingslicht verzameld via de concave spiegel op de horizontale optische as, zodat het mogelijk is de afmetingen van de lichtbroninrichting te beperken en thermische expansie van het belichtingselement te onder drukken door te voorkomen dat in de 1ichtbroninrichting opgewekte warmte op het belichtingselement terechtkomt, waarbij thermische expansie van het belichtingselement door het belichtingslicht zelf kan worden onderdrukt. Aangezien de kamer slechts een masker hoeft te bevatten, evenals de projectielens en het belichtingselement, is het mogelijk de afmetingen van de kamer te beperken, en aanvankelijke kosten en gebruikskosten te beperken.

Claims (8)

1. Projectiebelichtingsinrichting, waarin van een lichtbroninrichting afkomstige belichtingslicht door een masker met een voorafbepaald daarin opgenomen patroon wordt geleid, en vervolgens een beeld van een maskerpa-troon door een projectielens gefocusseerd wordt op een belichtingselement, dat door een vasthoudmechanisme wordt vastgehouden, waarbij het belichtingslicht door de lichtbroninrichting wordt uitgezonden langs een horizontale optische as, en waarbij het masker, de projectielens en het belichtingselement aangebracht zijn op de horizontale optische as, en het vasthoudmechanisme zodanig gevormd is, dat het belichtingselement beweegbaar is gemaakt in tenminste een vlak, dat zich loodrecht op de horizontale optische as uitstrekt.

2. Projectiebelichtingsinrichting volgens conclusie 1, waarbij de afstand tussen de projectielens en het masker gelijk gemaakt is aan de afstand tussen de projectielens en het belichtingselement.

3. Projectiebelichtingsinrichting volgens conclusie 1 of 2, waarbij de lichtbroninrichting een wagen omvat, die onafhankelijk beweegbaar is in de richting van de horizontale optische as, en waarbij op de wagen een licht uitzendende bron is aangebracht voor het uitzenden van belichtingslicht met een golflengte, die korter is dan die van infrarood licht, en een integrator voor het uniform maken van het door de lichtuitzendende bron uitgezonden licht, evenals middelen voor het veranderen van de optische as voor het veranderen van het optische traject van het door de integrator uitgezonden licht, en een concave spiegel voor het verzamelen van het van de middelen voor het veranderen van de optische as afkomstige licht, en voor het reflecteren hiervan in de richting van de horizontale optische as.

4. Projectiebelichtingsinrichting volgens conclusie 1 of 2, waarbij de lichtbroninrichting voorzien is van een onafhankelijk in de richting van de horizontale as aangebrachte wagen, en waarbij op de wagen een lichtemit-terende bron is aangebracht, die belichtingslicht uitzendt met een golflengte, die korter is dan die van infrarood licht, evenals een integrator om het door de lichtemitte-rende bron uitgezonden licht uniform te maken, en middelen voor het veranderen van de optische as voor het veranderen van het optische traject van het door de integrator uitgezonden licht naar de richting van de horizontale optische as, en een Fresnel-lens voor het projecteren van een verlicht optisch beeld, afkomstig van de middelen voor het veranderen van de optische as naar ingangspupil van de proj ectielens.

5. Projectiebelichtingsinrichting volgens een van de conclusies 1-4, waarbij het vasthoudmechanisme voorzien is van een vasthoudklauw voor het aantrekken en vasthouden van het belichtingselement, en een klemmechanisme heeft voor het aangrijpen van het door de vasthoudklauw vastgehouden belichtingselement.

6. Projectiebelichtingsinrichting volgens een van de conclusies 1-4, waarbij het vasthoudmechanisme voorzien is van een vasthoudklauw voor het aantrekken en vasthouden van het belichtingselement, en een klemmechanisme voor het aangrijpen van het door de vasthoudklauw vastgehouden belichtingselement, waarin het klemmechanisme een rotatie-mechanisme omvat, dat aangebracht is aan de zijde van de vasthoudklauw en een klemelement omvat, dat door het rotatiemechanisme wordt geroteerd, en dat voorzien is van een penvormige zuiger, die vanaf de vertikale richting tegenover het belichtingselement kan worden aangebracht.

7. Projectiebelichtingsinrichting volgens een van de conclusies 1-4, waarbij het vasthoudmechanisme voorzien van een vasthoudklauw voor het aantrekken en vasthouden van het belichtingselement, evenals een rotatiemechanisme om de vasthoüdklauw te doen bewegen tussen een horizontale positie en een vertikale positie.

8. Projectiebelichtingsinrichting volgens een van de conclusies 1-4, waarbij het vasthoudmechanisme voorzien is van een vasthoudklauw voor het aantrekken en vasthouden van het belichtingselement, en een rotatiemechanisme om de vasthoudklauw te doen bewegen tussen een horizontale positie en een vertikale positie, waarbij het rotatiemechanisme voorzien is van een roteerbare hefboom voor het roteerbaar vasthoudende vasthoudklem met een eerste lineair bewegingsmechanisme en een tweede lineair bewegingsme-chanisme voor het roteren van de roteerbare inrichting.