JP4291223B2 - リソグラフィ装置および基板ホルダ - Google Patents
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Description
− この特別なケースでは放射線ソースLAも備えた、放射線の投影ビームPB(例えば遠紫外線領域の光)を供給する放射線ソースEx、ILと、
− マスクMA(例えばレクチル)を保持するマスクホルダを備え、かつ、品目PLに対して正確にマスクの位置決めを行う第一位置決め手段PMに連結を行った第一オブジェクトテーブル(マスクテーブル)MTと、
− 模様付けしたビームによってウェハ(レジストを塗布したシリコンウェハなど)の目標部分に照射すべき基板Wを保持する基板ホルダ2を備え、かつ、品目PLに対して正確に基板の位置決めを行う第二位置決め手段PWに連結を行った第二オブジェクトテーブル(基板テーブル)WTと、
− マスクMAの照射部分を、基板Wの目標部分C(例えば、1つあるいはそれ以上のダイから成る)に描像する投影システム(「レンズ」)PLとにより構成されている。
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMTは基本的に静止状態に保たれている。そして、マスクの像全体が1回の作動(すなわち1回の「フラッシュ」)で目標部分Cに投影される。次に基板テーブルWTがx方向および/あるいはy方向にシフトされ、異なる目標部分CがビームPBにより照射され得る。
2.走査モードにおいては、基本的に同一シナリオが適用されるが、但し、ここでは、所定の目標部分Cは1回の「フラッシュ」では露光されない。代わって、マスクテーブルMTが、速度vにて所定方向(いわゆる「走査方向」、例えばy方向)に運動可能であり、それによってビームPBがマスクの像を走査する。これと同時に、基板テーブルWTが速度V=Mvで、同一方向あるいは反対方向に運動する。ここで、MはレンズPLの倍率(一般的にM=1/4あるいは1/5)である。このように、解像度を妥協することなく、比較的大きな目標部分Cを露光することが可能となる。
− マスク。マスクの概念はリソグラフィにおいて周知のものであり、これには、様々なハイブリッドマスクタイプのみならず、バイナリマスク、レベンソンマスク、減衰位相シフトマスクといったようなマスクタイプも含まれる。放射線ビームにこのようなマスクを配置することにより、マスクに照射する放射線の、マスク模様に従う選択的透過(透過性マスクの場合)や選択的反射(反射性マスクの場合)を可能にする。マスクの場合、基板ホルダは一般的に、入射する放射線ビームの所望する位置にマスクを保持しておくことが可能であり、かつ、必要な場合、ビームに対して運動させることの可能なマスクテーブルである。
− プログラマブルミラーアレイ。このようなデバイスの一例として、粘弾性制御層および反射面を有するマトリクスアドレス指定可能面があげられる。こうした装置の基本的原理は、(例えば)反射面のアドレス指定された領域は入射光を回折光として反射するが、アドレス指定されていない領域は入射光を非回折光として反射するといったことである。適切なフィルタを使用することにより、回折光のみを残して上記非回折光を反射ビームからフィルタすることが可能である。この方法において、ビームはマトリクスアドレス指定可能面のアドレス指定模様に従って模様付けされる。プログラマブルミラーアレイのまた別の実施形態では小さな複数のミラーのマトリクス配列を用いる。そのミラーの各々は、適した局部電界を適用することによって、もしくは圧電作動手段を用いることによって、軸を中心に個々に傾けられている。もう一度言うと、ミラーはマトリクスアドレス指定可能であり、それによりアドレス指定されたミラーはアドレス指定されていないミラーとは異なる方向に入射の放射線ビームを反射する。このようにして、反射されたビームはマトリクスアドレス指定可能ミラーのアドレス指定模様に従い模様付けされる。必要とされるマトリクスアドレス指定は適切な電子手段を用いて実行される。前述の両方の状況において、模様付け手段は1つ以上のプログラマブルミラーアレイから構成可能である。ここに参照を行ったミラーアレイに関するより多くの情報は、例えば、米国特許第US5,296,891号および同第US5,523,193号、並びに、PCT特許種出願第WO98/38597および同WO98/33096に開示されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。プログラマブルミラーアレイの場合、上記基板ホルダは、例えばフレームもしくはテーブルとして具体化され、これは必要に応じて、固定式となるか、もしくは可動式となる。
− プログラマブルLCDアレイ。このような構成の例が米国特許第US5,229,872号に開示されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。上記同様、この場合における基板ホルダも、例えばフレームもしくはテーブルとして具体化され、これも必要に応じて、固定式となるか、もしくは可動式となる。
Claims (7)
- 放射線の投影ビームを提供する放射線システムと、
前記投影ビームのビーム路に配置する基板を支持し、遠位端が基板と接触する第一接触表面を画定する複数の第一突起を備える基板ホルダであって、基板を基板ホルダに当てて締め付ける締め付け手段が設けられた基板ホルダと
を備えたリソグラフィ投影装置であって、
前記基板ホルダは、前記複数の第一突起上に、遠位端が前記基板を支持する第二接触表面を画定する1つまたは複数の第二突起を備え、
前記第二突起は、前記基板を基板ホルダに当てて締め付けると前記基板が前記第一および前記第二接触表面と接触するように、配置構成され、また、
前記第二突起は、前記基板の締め付け中に前記基板が前記第一および前記第二接触表面と接触し弾性変形して、前記締め付け手段の解放中に前記第一接触表面への粘着を防止し前記第一接触表面から前記基板を分離するのに十分な弾性エネルギが生成され、かつ前記基板を締め付けていない場合に前記基板が前記第一接触表面から隔置されるように、配置構成される、
ことを特徴とするリソグラフィ投影装置。 - 前記第二接触表面が前記第一接触表面より小さい、請求項1に記載のリソグラフィ投影装置。
- 前記第一および第二突起が円筒形である、請求項1または2に記載のリソグラフィ投影装置。
- 前記第二突起と第一突起との直径の比率が0.01と0.5の間の範囲である、請求項1から3いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置。
- 基板を前記第一接触表面に当てて締め付けていない場合、前記第一接触表面と第二接触表面間の距離が6〜400nmの範囲である、請求項1から4いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置。
- 前記基板ホルダが、模様付けしたビームによって基板の目標部分に模様を付けるため、基板を保持する支持テーブルである、請求項1から5いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置。
- 複数の第一突起を備え、その遠位端が基板と接触する第一接触表面を画定する、請求項1から6いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置のための基板ホルダであって、
前記複数の第一突起上に、遠位端が前記基板を支持する第二接触表面を画定する1つまたは複数の第二突起を備え、
前記第二突起は、前記基板を基板ホルダに当てて締め付けると前記基板が第一および前記第二接触表面と接触するように、配置構成され、また、
前記第二突起は、前記基板の締め付け中に前記基板が前記第一および前記第二接触表面と接触し弾性変形して、前記締め付け手段の解放中に前記第一接触表面への粘着を防止し前記第一接触表面から前記基板を分離するのに十分な弾性エネルギが生成され、かつ前記基板を締め付けていない場合に前記基板が前記第一接触表面から隔置されるように、配置構成される、
ことを特徴とする基板ホルダ。
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