NL8903147A - Bekleed glasmateriaal en werkwijze voor het bekleden ervan. - Google Patents

Description

Bekleed glasmateriaal en werkwijze voor het bekleden ervan.

De uitvinding heeft in het bijzonder betrekking op het bekleden van glasmateriaal. In het bijzonder heeft de uitvinding betrekking op een bekleding, die is samengesteld uit diverse materiaallagen, die op een bepaalde en gunstige volgorde op het glas zijn afgezet.

De uitdrukking "glasmateriaal" wordt in de aanvrage gebruikt voor het aangeven van platen van kunststoffen of glasachtig materiaal, die gebruikt worden in de glazenmakerij . "Glasachtig materiaal" slaat op glas en vitro-kristallijn materiaal. Dergelijke platen zijn meestal transparant en helder, maar zij kunnen ook gekleurd zijn en/of ze kunnen enkel doorschijnend of zelfs ondoorzichtig zijn. Als voorbeeld van een ondoorzichtig glazen paneel kan worden genoemd een paneel voor het aanbrengen onder een transparant paneel, bijvoorbeeld in een interieurscheidings-wand, waar het gewenst is de textuur van het bovenste transparante paneel te reproduceren, terwijl doorkijk door een dergelijk laag paneel niet mogelijk is.

Een groot aantal toepassingen van glazen platen en panelen heeft geleid tot een aanzienlijk brede kennis van het bekleden van glazen ter verbetering van bepaalde eigenschappen. Bekledingen kunnen bijvoorbeeld worden aangebracht voor het beschermen van het glasoppervlak, voor het kleuren van glas of voor het creëren van een elektrisch geleidende laag door het glas.

In de recente jaren heeft men aanzienlijke researchinspanningen getroost bij de keuze van uit meerdere lagen bestaande bekledingen, die aan glazen panelen, die in voertuigen en gebouwen worden gebruikt, lage emissiviteit en/of andere optische of energie-doorlatende of reflecterende eigenschappen te verlenen.

Eén van de doelen was het verminderen van warmteverlies in de ruimte, die door het paneel is omgeven, echter zonder te voorkomen de toelating van zonnewarmte noch het in hoge mate doorlaten van licht in beide richtingen. Een eerder voorgestelde manier om dit te bereiken was het verschaffen van lage emissiekwaliteiten door toepassing van een bekleding, vervaardigd uit diverse dunne lagen van materialen, die eikaars complement waren voor het bereiken van het gewenste resultaat.

De meeste van de gewenste optische kenmerken kunnen in beginsel gerealiseerd worden met behulp van een enkele bekleding van reflecterend metaal, bijvoorbeeld zilver, aangebracht als een voldoende dunne laag voor het mogelijk maken van de doorlating van de meeste straling in het zichtbare gedeelte van het spectrum, terwijl het grootste gedeelte van het infrarode gedeelte wordt teruggekaatst. Indien alleen gebruikt blijkt een dergelijke dunne metaal-laag in de atmosfeer aangetast te worden met het gevolg van verkleuring, vermindering van lichtdoorlating en een neiging tot fragmenteren. Bovendien leidt de toepassing van een dergelijke dunne metaallaag tot beperkte mechanische sterkte en is derhalve onderhevig aan afschilferen, in het bijzonder aan de rand van het glazen paneel, en tenslotte aan slijtage.

Andere lagen worden derhalve aangebracht in combinatie met de reflecterende laag om zodoende het paneel fysisch te beschermen tegen slijtage en langs chemische weg tegen corrosie. Deze verdere lagen dienen bovendien te worden gekozen uit materialen, die de optische eigenschappen van de beklede glazen niet noemenswaardig verzwakken. De lagen onmiddellijk grenzend aan de reflecterende laag zijn meestal van metaaloxiden, soms in combinatie met andere materialen, zoals lakken, kunststoflaminaten of andere platen van glas. Dergelijke aangrenzende lagen worden in sommige gevallen toegepast voor het verbeteren van de optische eigenschappen doordat ze functioneren als een niet-reflecterende laag voor het zichtbare gedeelte van het spectrum.

Eén van de meest algemeen toegepaste bekledingsma-terialen is tinoxide, dat gewoonlijk wordt aangebracht in de vorm van een laag aan beide zijden van de reflecterende metaallaag. Hierdoor wordt een groot aantal van de vereiste kwaliteiten verkregen en is in het algemeen goedkoop. Dit heeft goede optische eigenschappen, in het bijzonder als een niet-reflecterende laag (na aanbrengen volgens een geschikte dikte) en wordt bovendien grondig gebonden aan de aangrenzende lagen. Dit wordt zowel onder als boven het reflecterende metaal toegepast. Voorts waren er diverse bekende voorstellen om aan het tinoxide een ander metaal of metaal-oxide toe te voegen, dan wel het ten dele te vervangen door een dergelijk metaal of metaaloxide teneinde bepaalde chemische, fysische of optische eigenschappen van de bekleding als geheel te handhaven. De keuze van de toegevoegde materialen en de volgorde, waarin zij op het glas worden aangebracht is echter een complexe zaak, aangezien door de keuze van bepaalde materialen voor de verbetering van een bepaalde kwaliteit één of meerdere van de andere kwaliteiten afnemen. Dit kan weer leiden tot de toepassing van een verdere laag ter correctie van de nadelige invloed op dergelijke andere kwaliteiten.

Een typisch voorbeeld van een dergelijke complexe laagstructuur is beschreven en geclaimd in het Europese octrooischrift EP-A-226993. Dit beschrijft een hoge doorlating lage emissiebekleding op een glassubstraat, bestaande uit een oxidereactieprodukt van een zink- en tin-bevattende legering als een eerste transparante anti-reflectieve film, koper als een primerfilm, afgezet op de eerste film, zilver als een transparante infrarood-reflecterende film, afgezet op de primer, een oxidereactieprodukt van een zink- en tin-bevattende legering als een tweede transparante anti-reflecterende film, afgezet op het zilver en titaandioxide als een beschermende bovenlaag.

Dergelijke lagen zijn beschreven in het Europese octrooischrift EP-A-104870, waarin in voorbeeld I een "float" glaspaneel, op zijn beurt voorzien van een tinoxidelaag, een zilverlaag, een koperlaag en als verdere laag een tinoxidelaag is beschreven. Elk van de tinoxidelagen heeft een dikte van 30-50 nm, terwijl de zilverlaag 8 tot 12 nm dik is en de koperlaag slechts 1 tot 5 nm.

Het Europese octrooischrift EP-A-275474 beschrijft en claimt een hoge doorlatend, lage emissie verhitbaar voorwerp, bestaande uit een transparante niet-metaalsubstraat, een eerste transparante anti-reflecterende metaaloxidefilm, waarbij op het oppervlak van het substraat zink is afgezet, een transparante infrarood-reflecterende metaalfilm, afgezet op de anti-reflecterende metaaloxidelaag, een metaal-houdende primerlaag, afgezet op de genoemde infrarood-reflecterende metaalfilm, waarin het metaal is gekozen uit de groep van titaan, zirkoon, chroom, zinktin-legering en mengsels ervan, alsmede een tweede transparante anti-reflecterende metaal-oxidefilm, waarbij op de metaal-houdende primerfilm zink is afgezet.

Een probate techniek voor het aanbrengen van dergelijke lagen is kathodische verstuiving. Dit wordt uitgevoerd bij zeer lage drukken, gewoonlijk in de orde van grootte van 0,3 Pa onder oplevering van een laag van het bekledingsmateriaal over het glasoppervlak. Het kan worden uitgevoerd onder inerte omstandigheden, bijvoorbeeld in aanwezigheid van argon, doch het kan alternatief worden uitgevoerd als reactief verstuiven in aanwezigheid van een reactief gas, zoals zuurstof.

Het Europese octrooischrift EP-A-183052 beschrijft de toepassing van reactief verstuiven van een kathodedoel van een zink- en tinlegering in een zuurstofatmosfeer om zodoende op een substraat van glasmateriaal een oxidereactieprodukt van de legering op te brengen.

Het Europese octrooischrift EP-A-219273, dat grotendeels betrekking heeft op een elektrisch-geleidende bekleding voor motorvoertuigramen, beschrijft een bekledings-proces (en het produkt ervan), waarbij eerst een dereflecte-rende laag, zoals zinkoxide wordt afgezet, gevolgd door een transparante zilverlaag, een ''sacrificial" metaallaag (bijvoorbeeld titaan), een titaandioxidelaag en een tweede dereflecterende laag. Volgens dit proces worden beide dere-flecterende lagen aangebracht door middel van reactief verstuiven.

De onderhavige uitvinding is gericht op het probleem van het verschaffen van een combinatie van beschermende lagen voor een glasplaat met een zilver-reflecterende laag, waarbij niet alleen het zilver wordt beschermd tegen corrosie, doch ook om dit te doen zonder te leiden tot een nadelige invloed op de optische eigenschappen van het glas, zoals dit door de eigenschappen van glasmateriaal zelf zijn verleend alsmede door de zilverlaag.

Volgens de uitvinding gaat het om een substraat van een glasmateriaal, dat is voorzien van een bekleding van meerdere lagen, bestaande uit een reflecterende laag van zilver, gesandwiched tussen een transparante onderbekleding en een transparante bovenbekleding, met het kenmerk, dat de onderste bekleding voor de zilverlaag tenminste één laag van een metaaloxide, gekozen uit tinoxide, titaandioxide, alumi-niumoxide, bismutoxide en een mengsel van twee of meer ervan, omvat, waarop een zinkoxidelaag met een dikte van niet meer dan 15 nm wordt afgezet, terwijl de bovenbekleding voor de zilverlaag een laag van een oxide van een "sacri'ficial" metaal, gekozen uit de groep van titaan, aluminium, roestvrij staal, bismut, tin en mengsels van twee of meer ervan omvat en dat gevormd is door eerst het "sacrificial" metaal af te zetten, gevolgd door de omzetting ervan in het oxide.

De uitvinding verschaft voorts een werkwijze voor het afzetten van een uit meerdere lagen bestaande bekleding op een substraat van glasmateriaal, welke bekleding is opgebouwd van een reflecterende laag van zilver, gesandwiched tussen een transparante onderlaag en een transparante bovenlaag, met het kenmerk, dat de onderlaag voor de zilverlaag is gevormd door het achter elkaar afzetten van tenminste één laag van een metaaloxide gekozen uit tinoxide, titaandioxide, aluminiumoxide, bismutoxide en een mengsel van twee of meer ervan, een laag zinkoxide met een dikte van niet meer dan 15 nm, en dat de bovenlaag voor de zilverlaag is gevormd door afzetting van een laag van een "sacrificial" metaal, gekozen uit de groep van titaan, aluminium, roestvrij staal, bismut, tin en mengsels van twee of meer ervan, alsmede het omzetten van het metaal in het oxide.

De specifieke combinatie van metaaloxide en metaal-lagen, zoals volgens de onderhavige uitvinding gedefinieerd, biedt verscheidene belangrijke voordelen ten opzichte van de bekende voorstellen. Zo verschaft de combinatie een bekleed substraat van glasmateriaal met de gewenste optische eigenschappen, die praktisch onaangetast blijven in een ongunstige omgeving door het aanbrengen van een onderlaag en een bovenlaag van geschikte diktes, zoals later in de beschrijving toegelicht. Verder verschaft de combinatie volgens de uitvinding een significante verbetering in de bestendigheid tegen corrosie van de zilverlaag en dan niet alleen door de wijze van vervaardiging van het beklede substraat, doch ook door de levensduur van het beklede produkt. Er wordt een uniforme kwaliteit van het produkt verkregen, zowel wat betreft de uniformiteit van de bekleding over het gehele oppervlak van het substraat, zelfs voor grote substraten (bijvoorbeeld tot aan 6 meter lang) alsmede in termen van consistentie van de produktkwaliteit over een lange produktieperiode.

De manier van aanbrengen van de bekleding wordt gemakkelijk uitgevoerd en kan langs betrouwbare weg worden gereproduceerd, wederom via een lange produktieperiode indien zulks gewenst.

De redenen voor de verbeteringen worden niet volledig begrepen maar het blijkt, dat de aanwezigheid van een enkele dunne laag zinkoxide vlak onder de zilverlaag van bijzonder belang is. Het is zeer onverwacht, dat een bescherming van de reflecterende metaallaag kan worden bereikt door een materiaal, dat daaronder is aangebracht, aangezien tot nu toe het in de verwachting lag dat een bovenlaag zou worden vereist voor het verbeteren van de bescherming, terwijl de bescherming aan de onderzijde door het glas zou worden gewaarborgd. Bovendien wordt door de bekleding de toepassing van materiaal, zoals koper vermeden, welke materialen slechte lichtdoorlatende eigenschappen hebben.

De voordelen van de uitvinding zijn in het bijzonder markant in geval van lage emissieglaspanelen voor gebouwen, die vaak met een tweede paneel worden toegepast voor de vorming van een dubbele beglazing. De uitvinding kan echter ook worden toegepast voor anti-zonnepanelen, voor automobiel-ruiten en spiegels. Het belangrijkste onderscheid in de bekledingen voor deze verschillende toepassingen ligt in de dikte van de zilverlaag. De typische dikte van de zilverlaag voor anti-zonnepanelen ligt in het traject van 24 tot 28 nm. Bij spiegels hebben de zilverlagen een dikte van meer dan 40 nm, terwijl voor lage emissiebekledingen de diktes van de zilverlaag gewoonlijk 8 tot 12 nm bedragen. In het geval van automobielruiten lijkt de toepassing van een "sacrificial" metaal ook te helpen bij de bescherming van de zilverlaag bij een daaropvolgende hittebehandeling, bijvoorbeeld een temperings- of buigbewerking, waaraan een glazen plaat kan worden onderworpen.

Het wordt beoogd, dat de ruimste toepassing van de onderhavige uitvinding zou zijn in samenhang met transparante substraten, waarbij glas het voorkeursglasmateriaal is.

De voorkeursafzettingstechniek voor de onderhavige doeleinden is het magnetisch versterkt verstuiven. Dit vindt niet alleen snel plaats en is gemakkelijk in de toepassing, doch verleent dit ook uitstekende fysische eigenschappen aan de afgezette lagen wat betreft de uniforme dikte, cohesie binnen de laag en hechting aan de aangrenzende lagen. Een kathode van elk van de vereiste metalen, als zodanig aan te brengen dan wel in de vorm van een metaaloxide, wordt geactiveerd op de vereiste plek van de afzetting. Eén bijzonder voorkeursverdienende vorm van een kathode is een roterende eenheid bestaande uit een roterende holle cilinder, die inwendig wordt gekoeld door een koelvloeistof, zoals water. Een meervoudige kathodeverstuivingskamer verdient gewoonlijk de voorkeur door het bevorderen van het aanbrengen van diverse combinaties van metalen en metaaloxiden.

De volgorde, waarin de desbetreffende metalen en metaaloxiden worden afgezet kan worden geregeld door de richting van de beweging van het substraat van het glasmateriaal voorbij de kathoden, in het geval dat meerdere kathoden worden gebruikt.

Het afzetten van diverse lagen in een enkelvoudige bewerking is voordelig met het oog op een volledige toepassing van het verstuivingsapparaat en de snelle opbouw van de vereiste bekleding. Het gelijktijdig afzetten van een mengsel van metalen of metaaloxiden kan eveneens worden geëffectueerd in een enkelvoudige bewerking, waarbij echter in dit geval de bron kan bestaan uit twee of meer verschillende metaalkathoden, die gelijktijdig zijn geactiveerd, of één enkelvoudige kathode bestaande uit een legering van de vereiste metalen.

De zilver- en de "sacrificial" metaallagen dienen elk te worden afgezet in een inerte atmosfeer, bijvoorbeeld argon. De andere lagen kunnen worden verkregen door afzetting van het oxide als zodanig of bij voorkeur door reactief verstuiven van het desbetreffende metaal in een zuurstof-houdende atmosfeer. De werkdruk voor het verstuiven bedraagt bij voorkeur 0,15 tot 0,70 Pa.

Bij het verstuiven van metaal in een zuurstof-houdende atmosfeer wordt het oxideprodukt niet noodzakelijkerwijze in de volle geoxideerde toestand verkregen. Tenminste een deel van het produkt kan aanwezig zijn als een sub-oxide of zelfs in metallische toestand. Daaropvolgende afzettingen in een reactieve atmosfeer en elke daaropvolgende hittebehandeling van het beklede paneel hebben echter de neiging de oxidatie van elk achtergebleven metaal of sub-oxides, gevormd in de eerdere afzetting, te completeren.

Volgens de meeste uitvoeringsvormen van de uitvinding verdient het de voorkeur, dat de bovenlaag tenminste één andere laag van een metaaloxide, gekozen uit tinoxide, titaandioxide, aluminiumoxide, bismutoxide en een mengsel van twee of meer ervan, waarbij de verdere laag of lagen worden afgezet na een laag van een oxide van een "sacrificial" metaal. Deze verdere laag dient primair ten behoeve van het verbeteren van de optische eigenschapen, zoals reflecterende tint en verminderde bestralingsreflectie maar het is ook nuttig in verband met het verlenen van eigenschappen van het "sacrificial" metaal aan de grens om zodoende te voorkomen dat het zuurstof het zilver bereikt.

De verdere laag of lagen worden bij voorkeur gekozen uit tinoxide en titaandioxide.

In het geval van het "sacrificial” metaal, dat dient voor het doel van het beschermen van de zilverlaag tegen oxidatie, wordt dit omgezet in het oxide tijdens een latere blootstelling aan een oxiderende atmosfeer. Dit wordt gewoonlijk meestal geëffectueerd tijdens daaropvolgende afzetting van metaaloxide doch dit vindt dit ook plaats tijdens elk daaropvolgende hittebehandeling of tijdens langdurige opslag. Indien het zilver niet beschermd is verliest het beklede substraat of glasmateriaal zijn lage emissie, terwijl zijn lichtdoorlating drastisch afneemt. Het voorkeurs-"sacrificial" metaal is titaan, dat de voordelen heeft van gemakkelijke oxideerbaarheid en van de vorming van een oxide met een zeer lage absorptie. Ontdekt werd, dat het gebruik van titaan als "sacrificial" metaal een zeer effectieve bescherming geeft tegen oxidatie van het zilver.

In sommige voorkeursuitvoeringsvormen volgens de uitvinding bestaat de onderlaag uit een eerste laag van titaandioxide, die is voorzien van een bovenlaag van een eerste laag tinoxide, die op zijn beurt bekleed is met een laag zinkoxide met een dikte niet groter dan 15 nm, welke bovenlaag bestaat uit een laag van titaandioxide, gevormd door initiële afzetting van titaanmetaal en zijn omzetting in oxide, een verdere laag van tinoxide en een verdere laag van titaandioxide. Deze voorkeursconfiguratie kan gemakkelijk worden verkregen in een meervoudige kathodeverstuivingskamer, waarbij één kathode de bron van titaandioxide is, terwijl de andere de bron van tinoxide vormt.

De laagvolgorde in deze voorkeursuitvoeringsvorm is het starten vanuit het substraat:

Onderlaag - een eerste laag van titaandioxide, - een eerste laag van tinoxide, - een laag van zinkoxide (met een dikte van niet meer dan 15 nm)

Reflecterende laag - een laag van zilver

Bovenlaag - een laag van titaandioxide, gevormd door initiële afzetting van titaanmetaal en zijn omzetting in oxide, - een verdere laag van tinoxide, en - een verdere laag van titaandioxide.

Elk van de materialen, die gebruikt is in de bekleding, heeft optische, chemische en fysische eigenschappen, die bijdragen tot de eigenschappen van de bekleding als geheel. Samengevat omvatten de eigenschappen niet alleen de lage emissie en hoge lichtdoorlating (in geval van een transparant paneel met een zilverlaag van 8 tot 12 nm dik) maar ook een chemische bestendigheid tegen corrosie, zowel bij omgevings- als bij verhoogde temperaturen en wel gedurende lange perioden. De fysische eigenschappen omvatten een goede hechting aan het substraat alsmede ten opzichte van elkaar en een goede bestendigheid tegen slijtage, bijvoorbeeld tegen afbrokkelen of afschilferen.

Optisch gezien biedt elk van de metaaloxidelagen een goede doorlating van licht en warmtestralen, terwijl de metaallagen hittestralen reflecteren.

In chemisch opzicht is er een behoefte het zilver te beschermen tegen oxidatie. Dit wordt ten dele bereikt door het opnemen van zilver in metaal of metaaloxidelagen, waarbij de toegang van zuurstof wordt gereduceerd of geëlimineerd en ten dele door het opnemen van materialen met een grotere reactiviteit dan zilver voor zuurstof. Aangenomen wordt verder, dat volgens de onderhavige uitvinding het zinkoxide een mate van passiviteit aan zilver verleent, waardoor het zilver minder gevoelig wordt voor zuurstofaanval.

In dergelijke voorkeursuitvoeringsvormen kunnen door elk van de opeenvolgende lagen de eigenschappen bijdragen, afhankelijk van tenminste ten dele van een dikte van de afzonderlijke bekledingslagen, welke eigenschappen zijn als volgt:

De eerste titaandioxidelaag heeft goede licht-doorlatende eigenschappen, is chemisch inert en verschaft fysisch een sterke binding tussen het substraat en de eerste tinoxidelaag. De eerste tinoxidelaag zorgt voor een goede lichtdoorlating. De zinkoxidelaag heeft ook goede eigenschappen van lichtdoorlating maar is primair vanwege zijn gunstige werking bij het beschermen van de zilverlaag tegen corrosie.

De zilverlaag wordt gebruikt vanwege zijn vermogen hittestraling te reflecteren, terwijl licht doorgelaten wordt.

Het aanvankelijk op het zilver afgezette titaan is een beschermlaag voor het zilver en reageert met de zuurstof, die daarmee in contact komt.

De verdere laag van tinoxide heeft goede lichtdoor-latingseigenschappen en dient bovendien als barrière voor het binnentreden van de zuurstof in de lagen daaronder.

De verdere laag van titaandioxide is primair aanwezig als slijtagebestendige bekleding.

In zijn ruime aspect, waarbij een enkelvoudige metaaloxidelaag wordt gebruikt tussen het substraat en zinkoxide en als de bekleding op het titaan, vervullen de enkelvoudige lagen de gecombineerde functie van respectievelijk de eerste titaandioxide- en tinoxidelagen en de verdere tin- en titaandioxidelagen.

Ofschoon vanwege zijn gunstige werking met betrekking tot het zilver, vormt de aanwezigheid van de zinkoxide-laag een essentieel aspect van de uitvinding en andere eigenschappen van zijn zinkoxide maakt het noodzakelijk dat zijn totale hoeveelheid zo laag mogelijk wordt gehouden. Vergeleken met tinoxide is zinkoxide in chemisch opzicht minder resistent en meer onderhevig aan weersomstandigheden. Het is derhalve bekend, dat een bekleding, die bestaat uit een laag zinkoxide, in het algemeen niet gebruikt kan worden voor het buitenoppervlak van een substraat van glasmateriaal, zelfs niet wanneer een ondoorlatende laag wordt aangebracht bovenop het zinkoxide, omdat deze lagen niet bestand zijn tegen atmosferische omstandigheden. Dergelijke problemen doen zich voor met een mengsel van zinkoxide en tinoxide. Dergelijke lagen vinden in het algemeen toepassing in een inwendig oppervlak van een afgesloten dubbele glaspaneel. Wanneer een glaspaneel met PVB dient te worden gelamineerd geeft de aanwezigheid van zinkoxide problemen met het kleefmiddel, wat gebruikt wordt voor het verbinden van het laminaat, waarbij separatie van verschillende lagen plaatsvindt tenzij een extra en verenigbare bindingslaag, bijvoorbeeld chroomoxide, wordt tussengelegd.

Zinkoxide is bovendien ongeschikt voor toepassing aan de randen van een ruit, waarop kleefmiddelen zijn aangebracht: zinkoxide heeft de neiging te reageren met het kleefmiddel en dient derhalve te worden verwijderd. Er is een soortgelijk probleem in die zin, dat de reflecterende metaal-laag de neiging heeft niet te sterk te hechten aan de aangrenzende lagen en dient ook verwijderd te worden voorafgaande aan het aanbrengen van een kleefmiddel. Derhalve is één uitvoeringsvorm van de uitvinding een bekleedsubstraat van een glasmateriaal, waarbij een strook kleefmiddel is aangebracht rondom de omtrek van één zijde van het substraat, waarbij de bekleding volgens de uitvinding is aangebracht op de rest van dezelfde zijde, waarbij ervoor gezorgd wordt, dat de omtrek geen zinkoxidelaag heeft. Deze configuratie van bekleding en kleefstrook wordt het gemakkelijkst gerealiseerd door eerst de bekledingslagen volgens de uitvinding af te zetten over het geheel van één zijde van het substraat, gevolgd door verwijdering van de bekledingslagen uit een randgedeelte van die zijde en tenslotte het aanbrengen van de kleefstrook op dit randgebied. Verwijdering van de bekledingslagen gaat met bepaalde problemen gepaard in die zin, dat het zinkoxide, dat relatief zacht is, de neiging heeft zich te gedragen als een zacht smeermiddel, waarbij het eerder uitrekt dan wegbreekt en bij het wegbreken de verwij-deringsmiddelen verontreinigt. Er is derhalve behoefte aan een robuste fysische methode voor de verwijdering van het randgebied van de bekledingen, waarbij de toepassing van een schuurmachine in het bijzonder de voorkeur verdient.

Van dergelijke kleefstroken voorziene panelen kunnen toegepast worden in dubbele beglazingseenheden. Het beschikbaar zijn van een effectief kleefmiddel is belangrijk voor wat betreft het waarborgen van een langdurende hermetisch afgesloten ruimte tussen de twee panelen, waarbij wederom het randgedeelte verwijderd dient te worden voorafgaande aan het aanbrengen van de kleefstrook.

Het belangrijkste in termen van de onderhavige uitvinding heeft zinkoxide ofschoon in een amorfe vorm afgezet, de neiging kristallijne groei te ondergaan met bijvoorbeeld in de richting loodrecht op het glas en daarbij een naar verhouding dikke laag van een gegeven gewicht aan materiaal te creëren. Dit leidt tot een zwakkere fysische sterkte binnen de laag en is waarschijnlijk een rede voor de boven beschreven verminderde chemische bestendigheid.

Een mogelijke reden voor de doelmatigheid van de enkelvoudig afgezette laag zinkoxide volgens de uitvinding is, dat vanwege zijn verschillende structuur het zinkoxide de neiging heeft door de aangrenzende lagen te migreren.

Dienovereenkomstig is het volgens de uitvinding nodig dat de keuze van de dikte van de zinkoxidelaag een evenwichtig bereiken tussen de minimale hoeveelheid, die vereist is voor het verlenen van een goede bescherming aan zil ver en de maximale hoeveelheid voor het vermijden van het introduceren van fysische zwakte en chemische reactiviteit in de bekleding. Zoals boven gedefinieerd is de maximaal toelaatbare dikte 15 nm, terwijl in het algemeen de voorkeursdikte ligt in het gebied van 5 tot 13 nm en liefst bij 10 tot 13 nm.

Voor het realiseren van een lage emissie, hoge lichttransmissiepaneel dient de dikte van de zilverlaag bovendien bij voorkeur ook te liggen binnen de nauwe grenzen van 8 nm tot 12 nm. Beneden dit traject is de mate van infra-rood-reflectie in het algemeen onvoldoende en daarboven blijkt het zilver een te grote barrière te veroorzaken voor lichtdoorlating. Binnen de gedefinieerde grenzen maakt de uitvinding langs een betrouwbare en reproduceerbare wijze mogelijk een emissie beneden 0,1 te verkrijgen, hetgeen de voorkeur verdient.

Met het oog op de dikte van de andere lagen dienen deze te worden gekozen rekening houdend met de dikte van de zilver- en zinkoxidelagen en ten opzichte van elkaar en wel zodanig, dat de gecombineerde optische weg wordt verkregen (het produkt van dikte en brekingsindex voor elke laag), hetgeen de gewenste optische uiterlijk aan het beklede substraat verleent. Voor een lage emissiebekleding is de vereiste voor een bekleding met als neutraal mogelijk een reflecterende tint, doch met een blauwachtig uiterlijk de voorkeur ten opzichte van elk andere kleur. Bovendien wordt een zwakke lichtreflectie gezocht teneinde een hoge lichttransmissie te verkrijgen, In het algemeen zullen deze vereiste optische eigenschappen worden verkregen binnen een totale dikte van 30 tot 45 nm aan weerszijden van de zilverlaag, waarbij echter wordt opgemerkt, dat vanwege de verschillende brekingsindexen van een aantal van de verschillende materialen de vermindering van dikte van één laag met zich mee kan brengen en dat de dikte van één of meer andere lagen aangetast dienen te worden, teneinde de optische vereisten te herstellen.

De "sacrificial" metaallaag heeft bij voorkeur een dikte van 2 tot 15 nm en bij sommige uitvoeringsvormen heeft het bij voorkeur een dikte van 2 tot 4 nm. Een zodanig even wicht dient te worden bereikt tussen het hebben van voldoende materiaal voor het reageren met zuurstof die met het materiaal in aanraking komt en voor het handhaven van de vereiste lichttransmissie-eigenschappen. In zijn metallische toestand vormt deze laag een barrière voor een goede lichtdoorlating en vereist dus een minimale dikte, indien de lichttransmissie van de totale bekleding binnen accepteerbare grenzen dient te liggen. De doorlatingseigenschappen van deze metaallaag wordt echter verbeterd wanneer deze wordt geoxideerd. Dit vindt . plaats tijdens afzetting van de opeenvolgende lagen en ook tijdens iedere verhittingsbewerking, zoals een buigings-en/of temperingsbehandeling voor het substraat. Dikkere lagen, bijvoorbeeld 5 tot 15 nm worden aanbevolen, wanneer dergelijke lagen later aan een hittebehandeling dienen te ί worden onderworpen. Het verdient de voorkeur wanneer al het '•sacrificial'1 metaal wordt geoxideerd onder oplevering van een laag van een niet-reflectieve lichtdoorlatende metaal-oxide.

De relatieve hoeveelheden tinoxide en titaandioxide in de onderlaag en bovenlaag zijn in het algemeen niet kritisch. Om praktische redenen kan het gewenst zijn, dat een meerdere kathodeverstuivingsapparaat beide oxiden afzet tijdens een eenmalig doorvoeren van het substraat. Het is echter wenselijk in dit geval om de titaandioxidelaag naar verhouding dun te houden. Volgens één uitvoeringsvorm van de uitvinding vertegenwoordigt het tinoxide het grootste deel van elk van de metaaloxidelagen. Deze uitvoeringsvorm, indien toegepast voor een lage emissiebekleding bedraagt de dikte van het tinoxide bij voorkeur 15 tot 25 nm en de dikte van titaandioxide 2 tot 14 nm.

In geval van een anti-zonnebekleding zijn de eerste (dat wil zeggen onderlaag) metaaloxidelagen in het algemeen dunner, terwijl de andere (dat wil zeggen bovenlaag) lagen in het algemeen dikker zijn. Een typische anti-zonnebekleding volgens de uitvinding wordt gevormd door afzetting van de volgende lagen:

Onderlaag 2,5 nm titaandioxide 15 nm tinoxide 12,5 nm zinkoxide

Reflecterende laag 26 nm zilver

Bovenlaag 2,5 nm titaanmetaal voor omzetting in titaandi oxide 45 nm tinoxide 10 nm titaandioxide.

De titaanomzetting in dioxide vindt plaats tijdens afzetting van de verdere lagen van de bovenlaag.

Deze bekleding op een 6 mm "float" substraat van een glasmateriaal heeft een zonnefactor van 31% aan de beklede zijde, een lichtdoorlating van 47% en een emissie van ca. 0,02%.

De toepassing van een bekleding volgens de uitvinding voor een spiegel biedt het voordeel, dat het zilver aanwezig kan zijn aan de voorkant van de spiegel en direct kan dienen als het reflecterende oppervlak. In tegenstelling tot de traditionele spiegel is het niet nodig het zilver verder te beschermen door middel van glas en verf. Desgewenst kan dus een ondoorzichtig vitrokristallijn substraat worden gebruikt.

Omdat titaandioxide een hoger brekingsindex heeft dan tinoxide dient de dikte van titaandioxide bij vervanging van een deel van één door de ander ca. 75% van de dikte van het tinoxide te zijn teneinde gelijke optische eigenschappen te verkrijgen.

Zinkoxide en tinoxide hebben praktisch dezelfde brekingsindex als elk andere en derhalve vanuit optisch oogpunt gezien zijn ze onderling verwisselbaar zonder enige aanpassing van de laagdiktes.

Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm verschaft de uitvinding een bekleedsubstraat van een glasmateriaal met een emissie van minder dan 0,1 en een lichtdoorlating van 87% voor bekledingen met een blauw-reflecterende tint. Bijvoorbeeld startend met een 4 mm "flost" substraat van een glasmateriaal met een emissie van 0,84 en een lichtdoorlating van 89% bleek een bekleding volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding een bekleedsubstraat op te leveren met een emissie van 0,08 en een lichtdoorlating van 87%. Dit biedt een aanzienlijk voordeel ten opzichte van de optische eigenschappen van een substraat, dat bekleed is met glasmaterialen volgens de stand van de techniek.

De uitvinding wordt thans nader beschreven aan de hand van de volgende niet-limitatieve voorbeelden.

Voorbeeld I

Een vensterglaspaneel van 4 mm dik "flost" glas met een emissie van 0,84 en een lichtdoorlating van 89% werd ingebracht in een behandelingskamer bestaande uit vijf vlakke magnetronverstuivingsbronnen met als te verstuiven materiaal respectievelijk titaan, tin, zink, titaan en zilver, een in- en afvoergassluiting, een transporteur voor het glas, stroombronnen, inlaten voor het verstoven gas en een evacua-tie-afvoer.

De druk in de kamer werd verlaagd tot 0,15 Pa. Het paneel werd vervolgens voorbij de verstuivingsbronnen gevoerd en wel met de eerste titaan-, tin- en zinkbronnen, geactiveerd en koud verstoven met zuurstofgas bij een effectieve afzettingsdruk van 0,2 Pa onder oplevering van een titaan-dioxidelaag, gevolgd door een tinoxidelaag en een zinkoxide-laag op het substraat. De zuurstof was vervolgens geëvacueerd en vervolgens het substraat teruggevoerd voorbij de verstuivingsbronnen met de geactiveerde zilver- en tweede titaan-bronnen, doch op dit moment met argon als verstuivingsgas, teneinde een zilverlaag en een titaanlaag toe te voegen, waarbij de tin- en eerste titaanbronnen met zuurstof als verstuivingsgas werden geactiveerd teneinde verdere lagen van tinoxide en titaandioxide op te brengen. De verkregen bekleding had de volgende samenstelling vanaf het glasoppervlak: Onderlaag 3 nm titaandioxide 20 nm tinoxide (Sn02) 13 nm zinkoxide

Reflecterende laag 10 nm zilver

Bovenlaag 3,5 nm titaan voor omzetting in titaandioxide 22 nm tinoxide 12 nm titaandioxide.

Het beklede glas had een emissie van 0,08 en een neutrale reflectieve tint neigen tot blauw met een licht-doorlating van 87%.

De "sacrificial" laag van titaan werd omgezet in titaandioxide tijdens de afzetting van de volgende lagen van de bovenlaag. De zilverlaag had een weerstand van ca. 8 ohm per cm2. Het is gewenst de weerstand te verlagen tot ca. 4 ohm per cm2, hetgeen gemakkelijk kan worden gerealiseerd door verhoging van de dikte van die laag tot 12 nm. Een dergelijk paneel kan bijvoorbeeld worden omgezet in een weerstandsver-hittingspaneel door afzetting van reelstroken, bijvoorbeeld van een geleidend zilver-houdend email bovenop de bovenlaag. Ofschoon de tin- en titaanoxidelagen van de bovenlaag niet erg geleiden zijn, zijn ze zo dun, dat ze geen significante belemmering van de stroomverdeling naar de zilverlaag veroorzaken.

Ter vergelijking werden een aldus bekleed monster en drie monsters, bereid langs een soortgelijke procedure en met de hieronder vermelde structuren, doch in alle drie gevallen zonder de zinkoxidelaag, onderworpen aan een versnelde weerproef. Hiertoe werden de monsters onderworpen aan een temperatuurcyclus elk uur van 45 tot 55°C in een atmosfeer van 99% relatieve vochtigheid gedurende drie dagen. De drie andere monsters waren als volgt: (1) glas: 36 nm tinoxide? 10 nm zilver? 3,5 nm aluminium voor omzetting in oxide? 34 nm tinoxide.

(2) glas: 3 nm titaandioxide? 20 nm tinoxide? 10 nm titaan dioxide? 10 nm zilver? 3,5 nm titaan voor omzetting in het oxide? 22 nm tinoxide? 12 nm titaandioxide.

(3) glas: 3 nm titaandioxide? 20 nm zinkoxide? 13 nm tin oxide? 10 nm zilver? 3,5 nm titaan voor omzetting in oxide? 22 nm tinoxide? 12 nm titaandioxide.

Het mengsel volgens de uitvinding doorstond de proef zonder enige optische achteruitgang van de bekleding.

De andere monsters hadden de volgende gebreken:

Monster 1 - diverse gaatjes (1-2 mm), gevormd op het opper vlak, - een corrosierand van ca. 5 mm rondom de gehele omtrek,

- 2 langgerekte vlekken van ca. 1 cm.

Monster 2 - diverse kleine gaatjes (minder dan 1 mm) ver spreid over het oppervlak, - 4 vlekken van ca. 2 tot 8 mm,

- 1 vingerprint (in de vorm van corrosie van de laag), - een corrosierand van ca. 1 tot 2 mm rondom de gehele omtrek,

Monster 3 - diverse kleine gaatjes van minder dan 1 mm en 1-2 mm, - 2 grote vlekken van ca. 6-10 mm, - 1 vingerprint, - een corrosierand van ca. 5 mm rondom de gehele omtrek.

Voorbeeld II

Een glaspaneel van 4 mm dik "float" glas met een emissie van 0,84 en lichtdoorlating van 89% werd geïntroduceerd in een bewerkingskamer met vijf vlakke magnetronver-stuivingsbronnen met als de verstuiver materiaal respectievelijk titaan, tin, zink, titaan en zilver, een in- en af-voergassluiting, een transporteur voor het glas, stroombronnen, verstuivingsgasinlaten en een evacuatie-uitlaat.

De druk in de kamer werd verlaagd tot 0,15 Pa. Het paneel werd voorbij de verstuivingsbronnen met de geactiveerde eerste titaan-, tin- en zinkbronnen gevoerd en vervolgens met behulp van zuurstofgas bij een effectieve afzettingsdruk van 0,2 Pa koud verstoven onder oplevering van een titaandi-oxidelaag, gevolgd door een tinoxidelaag en zinkoxidelaag op het substraat. De zuurstof was vervolgens geëvacueerd, waarna het substraat terug werd gevoerd voorbij de verstuivingsbronnen met de geactiveerde zilver- en tweede titaanbronnen, waarbij echter als verstuivingsgas argon werd gebruikt, voor het aanbrengen van een zilverlaag en een titaanlaag, en dan de geactiveerde tin- en eerste titaanbronnen met als verstuivingsgas zuurstof onder oplevering van verdere lagen van tin-oxide en titaandioxide.

De verkregen bekleding werd gevormd door afzetting van lagen met de volgende dikte en samenstelling vanaf het glasoppervlak:

Onderlaag 3 nm titaandioxide 20 nm tinoxide (Sn02) 13 nm zinkoxide

Reflecterende laag 12 nm zilver

Bovenlaag 10 nm titaan voor omzetting in titaandioxide 22 nm tinoxide 12 nm titaandioxide.

De "sacrificial" titaanlaag werd ten dele omgezet in titaandioxide tijdens afzetting van de bovenlaag van tin-en titaanoxiden, en oxidatie van die "sacrificial" metaal-laag werd voltooid wanneer het beklede glas werd onderworpen aan buigbewerking, waarna het koelen van het glas zodanig werd geregeld, dat het glas thermisch getemperd werd om dienst te doen als een venster voor een motorvoertuig. De zilverlaag had een weerstand van ca. 4 ohm per cm2. De zilverlaag bleek praktisch onaangetast te zijn door het buigen en temperen tengevolge van de toegenomen dikte van de "sacrificial" metaallaag vergeleken met het glas van voorbeeld I. De partieel-geoxideerde "sacrificial" metaallaag diende ook voor het beschermen van de zilverlaag tijdens opslag en transport voorafgaande aan het buigen en tempe-ringsbehandeling. De verhardingen, die nodig zijn voor het verkrijgen van deze optische eigenschappen, in het bijzonder de dikte van de titaanlaag, werden gemakkelijk verkregen zonder verlies aan de andere vereiste eigenschappen van het glas.

Voorbeeld III

Een glasplaat, eveneens bestemd voor toepassing als een verwarmbaar venster voor een voertuig werd behandeld in dezelfde verstuivingskamer, waarin vijf vlakke magnetron-verstuivingsbronnen aanwezig waren met als verstuivings-materialen respectievelijk tin, zink, titaan, 316 roestvrij staal en zilver.

De druk in de kamer werd verlaagd tot 0,15 Pa. Het paneel werd getransporteerd voorbij de geactiveerde verstui-vingsbronnen met tin- en zinkbronnen en kon vervolgens door middel van zuurstofgas worden verstoven bij een effectieve afzettingsdruk van 0,2 Pa onder oplevering van een tinoxide-laag, gevolgd door een zinkoxidelaag op het substraat. De zuurstof werd vervolgens geëvacueerd en het substraat werd teruggebracht voorbij de geactiveerde verstuivingsbronnen van zilver en roestvrij staal, waarbij echter als verstuivingsgas argon werd gebruikt, teneinde een zilverlaag en een roestvrij stalen laag aan te brengen, waarna de tin- en titaanbronnen werden geactiveerd met als verstuivingsgas zuurstof onder oplevering van verdere lagen van tinoxide en titaandioxide.

De verkregen bekleding werd gevormd door afzetting van lagen van de volgende dikte en samenstelling vanaf het glasoppervlak:

Onderlaag 15 nm tinoxide (Sn02) 14 nm zinkoxide

Reflecterende laag 12 nm zilver

Bovenlaag 10 nm roestvrij staal voor omzetting in oxide 14 nm tinoxide 10 nm titaandioxide.

De "sacrificial" laag van roestvrij staal werd geoxideerd wanneer het beklede glas werd onderworpen aan een buiging, waarna het koelen van het glas zodanig werd geregeld, dat het thermisch begon te temperen, om dienst te doen als een venster voor een motorvoertuig. De zilverlaag had een weerstand van ca. 4 ohm per cm2. De zilverlaag bleek praktisch onaangetast te zijn door buigen en temperen tengevolge van de verhoogde dikte van de "sacrificial" metaallaag vergeleken met het glas van voorbeeld I. De niet-geoxideerde ,,sacrificialH metaallaag diende ook voor het beschermen van de zilverlaag tijdens opslag en transport voorafgaande aan het buigen en temperingsbehandeling.

Waarden van de diktes van diverse bekledingslagen, zoals in de aanvrage uiteengezet, zijn gemeten door middel van een ellipsometrische methode, zoals beschreven door K.L. Chopra in ,rThin Film Phenomena" (McGraw-Hill) onder gebruikmaking van een AUTOEL II ™-ellipsometer, vervaardigd door Rudolph Research of Flanders, New Jersey. In dit apparaat wordt gebruik gemaakt van een He-Ne-laserbron (lambda = 632,8 nm), terwijl metingen worden verricht met terugkaatsing onder een hoek van inval van 70°.

Claims (27)

1. Substraat van glasmateriaal, voorzien van een uit meerdere lagen bestaande bekleding te weten een reflecterende zilverlaag, die is opgenomen tussen een transparante onderlaag en een transparante bovenlaag, met het kenmerk, dat de onderlaag voor de zilverlaag bestaat uit tenminste één laag van een metaaloxide, gekozen uit tinoxide, titaandioxide, aluminiumoxide, bismutoxide en een mengsel van twee of meer daarvan, waarboven is aangebracht een zinkoxide-laag met een dikte van niet meer 15 nm, terwijl de bovenlaag voor de zilverlaag bestaat uit een laag van een oxide van een "sacrificial" metaal, gekozen uit de groep van titaan, aluminium, roestvrij staal, bismut, tin en mengsels van twee of meer daarvan, gevormd door initiële afzetting van het "sacrificial " metaal en zijn conversie in het oxide.

2. Bekleed substraat volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het substraat transparant is.

3. Bekleed substraat volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de bovenlaag tenminste één verdere laag van een metaaloxide, gekozen uit tinoxide, titaandioxide, aluminiumoxide, bismutoxide en een mengsel van twee of meer daarvan omvat, waarbij de verdere laag of lagen worden afgezet na de laag van een oxide van een "sacrificial" metaal.

4. Bekleed substraat volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het "sacri-ficial" metaal titaan is.

5. Bekleed substraat volgens conclusie 4, m e t het kenmerk, dat de onderlaag een eerste laag van titaandioxide omvat welke laag is voorzien van een eerste laag tinoxide, welke op zijn beurt is voorzien van een laag van zinkoxide met een dikte niet groter dan 15 nm, welke bovenlaag een laag van titaandioxide, gevormd door het initieel afzetten van titaanmetaal en zijn omzetting een oxide omvat, een verdere laag van tinoxide en een verdere laag van titaanoxide.

6. Bekleed substraat volgens conclusie 5, m e t het kenmerk, dat elke tinoxidelaag heeft een dikte in het traject van 15 tot 25 nm en elke titaandioxidelaag een dikte heeft van 2 tot 14 nm.

7. Bekleed substraat, voorzien van een strook kleef middelrand van de omtrekrand van één zijde en een bekleding, zoals weergegeven in de voorgaande conclusie, op de rest van die zijde.

8. Bekleed substraat volgens één der voorgaande conclusies, waarbij de zinkoxidelaag een dikte heeft van 5 tot 13 nm.

9. Bekleed substraat volgens conclusie 8, m e t het kenmerk, dat de zinkoxidelaag een dikte heeft van 10 tot 13 nm.

10. Bekleed substraat volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de zilverlaag een dikte heeft van 8 tot 12 nm.

11. Bekleed substraat volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat het substraat een emissie heeft van minder dan 0,1 aan de beklede zijde.

12. Bekleed substraat volgens één der voorgaande conclusies 1 tot 9,met het kenmerk, dat de zilverlaag een dikte heeft in de orde van grootte van 24 tot 28 nm.

13. Bekleed substraat volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de totale dikte van elk van de onder- en bovenlagen, waartussen zich de zilverlaag bevindt, ligt in het traject van 30 tot 45 nm.

14. Bekleed substraat volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de "sacrifi-cial" metaallaag is afgezet in een dikte in de orde van grootte van 2 tot 15 nm.

15. Bekleed substraat volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat de "sacrificial" metaallaag is afgezet in een dikte in de orde van grootte van 2 tot 4 nm.

16. Werkwijze voor het afzetten van een uit meerdere lagen bestaande bekleding met een substraat van een glasmateriaal, waartoe een reflecterende laag van zilver wordt geklemd tussen een transparante onderlaag en een trans parante bovenlaag, met het kenmerk, dat de onderlaag voor de zilverlaag wordt gevormd door achter elkaar af te zetten van tenminste één laag van een metaaloxide, gekozen uit tinoxide, titaandioxide, aluminiumoxide, bismut-oxide en een mengsel van twee of meer ervan, alsmede een laag van zinkoxide met een dikte van niet groter dan 15 nm, terwijl de bovenlaag voor de zilverlaag wordt gevormd door afzetting van een laag van een "sacrificial" metaal, gekozen uit de groep van titaan, aluminium, roestvrij staal, bismut, tin en mengsels van twee of meer daarvan, gevolgd door omzetten van het metaal in zijn oxide.

17. Werkwijze volgens conclusies 16, m e t het kenmerk, dat op de laag van "sacrificial" metaal tenminste een verdere laag van een metaaloxide, gekozen uit tinoxide, titaandioxide, aluminiumoxide, bismutoxide en een mengsel van twee of meer daarvan, wordt afgezet.

18. Werkwijze volgens conclusie 16 of 17, m e t het kenmerk, dat de onderlaag wordt afgezet, welke omvat een eerste laag van titaandioxidebovenlaag, welke laag vervolgens is voorzien van een eerste laag van tinoxide, die op zijn beurt wordt voorzien van een laag zinkoxide met een dikte van niet meer dan 15 nm, welke bovenlaag wordt afgezet als een laag van titaanmetaal, dat in oxide is omgezet, waar bovenop vervolgens een verdere laag van tinoxide en een verdere laag van titaandioxide wordt afgezet.

19. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies 16 tot 18,met het kenmerk, dat de lagen worden afgezet door middel van een magnetisch versterkt verstuiven.

20. Werkwijze volgens conclusie 19, met het kenmerk, dat het verstuiven wordt uitgevoerd met behulp van meerdere kathoden.

21. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies 16 tot 20,met het kenmerk, dat in een enkele doorvoer tenminste twee van de lagen worden afgezet.

22. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies 16 tot 21, met het kenmerk, dat tenminste één oxidelaag wordt gevormd door reactief verstuiven van het desbetreffende metaal in een zuurstof-houdende atmosfeer.

23. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies 20 tot 22, met het kenmerk, dat het verstuiven wordt uitgevoerd bij een druk in het traject van 0,15 tot 0,70 Pa.

24. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies 16 tot 23,met het kenmerk, dat na de afzetting van de lagen bekledingsmateriaal de bekleding wordt verwijderd uit de omtreksranden van de beklede zijde van het substraat, waarna een strook kleefmiddel op het randgedeelte wordt aangebracht.

25. Werkwijze volgens conclusie 24, m e t het kenmerk, dat het bekledingsmateriaal wordt verwijderd door middel van een schuurapparaat.

26. Werkwijze volgens conclusie 16 in hoofdzaak zoals hierin beschreven.

27. Bekleed substraat volgens conclusie l en in hoofdzaak zoals hierin beschreven.