NL8901377A - Dempingsondersteuningsstelsel. - Google Patents

Description

Dempingsondersteuningsstelsel

De uitvinding heeft betrekking op een dempingsondersteuningsstelsel om trillingen van vervaardigingsinrich-tingen te beletten. Een dergelijk ondersteuningsstelsel wordt geïnstalleerd in een LSI-vervaardigingsinstallatie, een lasertoepassingsvervaardigingsinstallatie en dergelijke teneinde inrichtingen voor het vervaardigen van apparaten met zeer grote nauwkeurigheid, zoals halfgeleiders en gedrukte-ketenpanelen te ondersteunen. Het ondersteuningsstelsel absorbeert trillingen die een gevolg zijn van aardbevingen of microtrillingen welke een gevolg zijn van zich over een bodem of andere ondergronds bewegende voertuigen, waardoor trillingen van een tafel, welke de vervaardigingsinrichting ondersteunt, worden belet.

In de LSI-vervaardigingsinstallatie,de laser toe-passingsvervaardigingsinstallatie en dergelijke, is het nodig microtrillingen te onderdrukken aangezien zelfs microtrillingen tot defecte produkten leiden. Een conventioneel dempingsondersteuningsstelsel omvat veerelemen-ten, zoals gelamineerde rubberlagen en luchtveren, welke zijn aangebracht tussen een tafel waarop een vervaardigingsinrichting is gemonteerd en de vloer of andere ondergrond. Deze veerelementen ondersteunen de inrich-tingstafel op een elastische wijze en absorberen op een doeltreffende wijze microtrillingen, terwijl schokken die een gevolg zijn van trillingen, tot een minimum worden teruggebracht.

Dit conventionele ondersteuningsstelsel is evenwel niet in staat om de trillingen te elimineren ofschoon het de trillingen, die naar de inrichtingstafel worden overgedragen, tot een minimum kunnen terugbrengen.

Er bestaat een ander type ondersteuningsstelsel, dat voorzien is van een hulpmassa en een dempingsinrich-ting, zoals een hydraulische cilinder om trillingen van de inrichtingstafel te beletten. Dit stelsel heeft het bezwaar, dat de inrichtingstafel groot en zwaar wordt doordat deze is voorzien van de hulpmassa en dempingsinrichting. Dit stelsel moet ook een voldoende sterkte hebben om de hulpmassa en de derapinrichting elastisch te ondersteunen.

Voorts voert de dempingsinrichting een dempkracht uit, welke kan worden ingesteld door de viscositeit van de olie, en de viscositeit is voor het dempen van microtrillingen te groot. Dit beïnvloedt de werking van de inrichtings-tafel welke bestendig is tegen trillingen, op een schadelijke wijze.

Doel van de uitvinding is het verschaffen van een verbeterd dempondersteuningsstelsel, dat in staat is' om op een doeltreffende wijze trillingen te onderdrukken, welke naar de inrichtingstafel worden overgedragen zonder dat de afmetingen van deze laatste worden vergroot.

Een ander doel van de uitvinding is het verschaffen van een eenvoudig ondersteuningsstelsel, dat in staat is om driedimensionale verplaatsingen van de inrichtings-tafel te absorberen.

Een verder doel van de uitvinding is het verschaffen van een ondersteuningsstelsel, dat in staat is om de inrichtingstafel op een soepele wijze ten opzichte van een stationair onderdeel te bewegen.

Weer een ander oogmerk van de uitvinding is het verschaffen van een ondersteuningsstelsel, dat in staat is om op een doeltreffende wijze trillingen te onderdrukken en wel zodanig, dat rekening wordt gehouden met het gewicht van een voorwerp dat op de inrichtingstafel wordt geplaatst.

Teneinde deze oogmerken te verwezenlijken voorziet de uitvinding in een dempingsondersteuningsstelsel met een stationair onderdeel, een inrichtingstafel, en luchtveren, welke tussen het stationaire onderdeel en de inrichtingstafel zijn aangebracht om de inrichtingstafel elastisch te ondersteunen, waarbij het dempingsondersteuningsstelsel is voorzien van een ondersteuningsplateau, dat door het stationaire onderdeel opgehangen horizontaal verplaatsbaar wordt ondersteund, welk ondersteuningsplateau de inrichtingstafel ondersteunt via luchtveren, die volgens een aantal trappen zijn opgesteld, lineaire motoren, die het stationaire onderdeel en het ondersteuningsplateau op een operatieve wijze onderling verbinden, welke lineaire motoren in driedimensionale richtingen inclusief twee horizontale richtingen, die loodrecht op elkaar staan, en een vertikale richting kunnen worden bedreven, trillingsaftast-inrichtingen, welke met de inrichtingstafel zijn verbonden en een besturingseenheid voor het afleiden van een verplaat-sings- en snelheidssignalen uit detectieresultaten, die uit de trillingsaftastinrichtingen worden ontvangen, en het berekenen van besturingssignalen uit de verplaatsings- en snelheidssignalen, om aan de lineaire motoren te worden toegevoerd.

Overeenkomstig de bovenstaande constructie worden wanneer het stationaire onderdeel trilt ten gevolge van een aardbeving of microtrillingen, horizontale trillingen naar het opgehangen ondersteuningsplateau met een vertraging ten opzichte van de trillingen van het stationaire onderdeel overgedragen. De vertikale trillingen worden achtereenvolgens gereduceerd via de luchtveren die in een aantal trappen zijn gerangschikt. De trillingen worden tenslotte in lange perioden vanuit de luchtveren naar het inrichtings-plateau overgedragen. De trillingsaftastinrichtingen detecteren de trillingen met lange perioden, waarvan de detectieresultaten leiden tot een verplaatsingssignaal en een snelheidssignaal waaruit besturingssignalen worden afgeleid. De lineaire motoren worden door de besturingssignalen aangedreven teneinde daardoor de trillingen te onderdrukken, welke anders naar de inrichtingstafel zouden worden overgedragen.

Dit dempingsondersteuningsstelsel is derhalve in staat om trillingen die naar de inrichtingstafel worden overgedragen, te dempen zonder dat een hulpmassa voor de inrichtingstafel nodig is. Derhalve behoeven de afmetingen en het gewicht van de inrichtingstafel niet te worden vergroot. De luchtveren behoeven ook geen grote sterkte te hebben. Het ondersteuningsstelsel volgens de uitvinding is derhalve in zijn geheel goedkoop en toch in staat om de trillingen van de inrichtingstafel op een doeltreffende wijze te dempen.

Aangezien de luchtveren in een aantal trappen zijn ondergebracht, worden de trillingen op doeltreffende wijze gereduceerd, waarbij microtrillingen via de opeenvolgende trappen worden geabsorbeerd, zodat de perioden van trillingen, die uiteindelijk naar de inrichtingstafel worden overgedragen, worden bestuurd. Trillingen met lange periode, die door deze besturing niet worden geëlimineerd, hebben weinig kans toe te nemen tengevolge van de werking van de lineaire motoren, welke het inrichtingsplateau aandrijven, waardoor de trillingen van dit laatste op een doeltreffende wijze worden onderdrukt.

De lineaire motoren kunnen worden bestuurd door de besturingssignalen, welke worden afgeleid uit de verplaat-sings- en snelheidssignalen, die gebaseerd zijn op detectie-resultaten, welke door de trillingsaftastinrichtingen worden verschaft. Derhalve wordt de inrichtingstafel nog steeds op een absoluut rustpunt gehouden, waardoor een bijzonder goed dempeffect wordt verwezenlijkt.

De uitvinding zal onderstaand nader worden toegelicht onder verwijzing naar de tekening. Daarbij toont: fig. 1 een bovenaanzicht van een geheel dempings-ondersteuningsstelsel volgens de uitvinding, fig. 2 een zijaanzicht van het ondersteuningsstelsel; fig. 3 een doorsnede over de lijn III-III van fig.2; fig. 4 een doorsnede over de lijn IV-IV van fig.l; fig. 5 een doorsnede over de lijn V-V van fig.l; fig. 6 een stelseldiagram van het ondersteunings stelsel; fig.7 een vooraanzicht van een lineaire motor; fig. 8 is een zijaanzicht van de lineaire motor; fig.9 een vooraanzicht, gedeeltelijk in doorsnede, van de lineaire motor; fig.10 een vergroot vooraanzicht van een plaatvormige veer; fig. 11(a) en 11(b) grafische voorstellingen, welke dempeffecten tonen die door het ondersteuningsstelsel volgens de uitvinding worden gesorteerd; fig. 12(a) t/m 12(d) grafische voorstellingen, welke dempingseffecten tonen, die door een vergelijkbaar voorbeeld worden gesorteerd; fig. 13 een zijaanzicht van een andere uitvoeringsvorm volgens de uitvinding? fig. 14 een doorsnede beschouwd over de lijn XIV-XIV van fig. 13; fig. 15 een doorsnede beschouwd over de lijn XV- XV van fig. 14, en fig. 16 een doorsnede beschouwd over de lijn XVI- XVI van fig. 14.

Onder verwijzing naar de figuren 1 t/m 4 omvat een dempingsondersteuningsstelsel een grondplaat 1, welke is bevestigd aan een vloer,ophangorganen 2, welke zich vanuit de grondplaat 1 uitstrekken, en een eerste luchtreservoir 3a, dat aan de ophangorganen 2 is opgehangen. Het eerste luchtreservoir 3a dient als een ondersteuningsplateau van een eerste trap, dat in horizontale richting verplaatsbaar is.

Zoals aangegeven in fig. 5, bevinden zich boven het eerste luchtreservoir 3a eerste luchtveren 4a. Het eerste luchtreservoir 3a staat met de eerste luchtveren 4a in verbinding via openingen 5.

Een tweede luchtreservoir 3b wordt ondersteund op de eerste luchtveren 4a, welk reservoir als een plateau van een tweede trap werkt. Er zijn tweede luchtveren 4b op het tweede luchtreservoir 3b aanwezig. Het tweede luchtreservoir 3b staat met de tweede luchtveren 4b in verbinding via openingen 5. Op de tweede luchtveren 4b wordt een inrichtingstafel 6 ondersteund.

De eerste en tweede luchtreservoirs 3a en 3b hebben respectievelijk in bovenaanzicht een vorm van een kruis. Voorts staan hulpluchtreservoirs 7a en 7b in verbinding met de respectieve eerste en tweede luchtreservoirs 3a en 3b.

Steunkolommen 8 strekken zich vanaf de grondplaat 1, naar boven uit, waarbij op deze kolommen lineaire motoren zijn aangebracht om een besturing in vertikale richting te verschaffen. Bepaalde kolommen van de steun-kolommen 8 ondersteunen elk een paar lineaire motoren 10 en 11, die loodrecht op elkaar verplaatsbaar zijn teneinde een besturing in horizontale richtingen te verkrijgen.

De inrichtingstafel 6 heeft in bovenaanzicht een rechthoekige vorm. De inrichtingstafel 6 is operatief bij de vier hoeken daarvan via pianosnaren 12 met de lineaire motoren 9,10 en 11 verbonden. Bij aandrijving besturen de lineaire motoren 9, 10 en 11 trillingen van de inrichtingstafel 6 in driedimensionale richtingen.

Een vertikale aftastinrichting 13 is bij de operatieve verbinding tussen elke lineaire vertikale besturings-motor 9 en de inrichtingstafel 6 aangebracht om vertikale trillingen van de inrichtingstafel 6 te meten. Horizontale aftastinrichtingen 14 en 15 zijn bij de operatieve verbindingen tussen de lineaire horizontale besturings-motoren 10 en 11 aangebracht om horizontale trillingen (in X en Y-richtingen) van de inrichtingstafel 6 te meten.

Zoals aangegeven in fig. 6, worden de meetuitgangs-signalen van de vertikale en horizontale aftastinrichtingen 13,14 en 15 overgedragen naar een rekeninrichting 16, die als een besturingseenheid werkt en wel via een versterker 17 en een analoog-digitaalomzetter 18. De besturingseenheid 16 substitueert deze metingen in relationele uitdrukkingen om een tijdsgetrouwe verwerking van be-sturingssignalen uit te voeren teneinde vereiste mate van beweging van de respectieve lineaire motoren 9,10 en 11 te bepalen. Deze besturingssignalen worden via een digitaal-analoogomzetter 19 en de versterker 17 toegevoerd aan de lineaire motoren 9,10 en 11. De lineaire motoren 9,10 en 11 worden daardoor zodanig aangedreven dat de metingen tot een waarde nul worden teruggebracht en de tellingen van de in-richtingstafel 6 worden opgeheven.

Bij ontvangst van de signalen uit de vertikale en horizontale aftastinrichtingen 13,14 en 15 voert de besturingseenheid 16 een tijdsgetrouwe meting van de verplaatsingen (X^, '&2* ··· xg) van acht lineaire motoren 9,10 en 11 vanuit absolute rustpunten van de verbindingen naar de inrichtingstafel 6 uit. Tegelijkertijd meet de besturingseenheid 16 snelheidssignalen (X^1, X2*' ··· xg’)# substitueert constanten (a.^, al2' *** ' a78' a88' ^11' b12' ..., bygr bgg) bepaald als versterkingen overeenkomstig trillingsverdelingen bij de respectieve verbindingen, en berekent stroom-terkten (F^, F2, ..., Fg), zoals hieronder is aangegeven, om aan de lineaire motoren 9, 10 en 11 te worden toegevoerd. De lineaire motoren 9,10 en 11 worden zodanig aangedreven, dat trillingen worden onderdrukt en wel door de absolute verplaatsing en absolute snelheid terug te koppelen.

F1 = ajjXj + a12X2 + a13X3 + a14X4 + a15X5 + a16X6 + al7X7 + a18X8 + bllXl’ + b12X2* + b13X3’ + b14X4 * + bl5X5 * + b16X6 * + bl7X7’ + b18X8’ F2 = a21Xj + a22X2 + ··· + a28Xg + b21X1’ + ·*· + b28X8’ F3 = a31Xj + a32X2 + ... + a3gXg + b31X1’ + ... + b38X8 * F4 = a4jXj + a42X2 + ... + a4gXg + b^X^’ + ... + b48X8 * F5 = agjXj + ®52^2 + * * * + a58X8 + b51Xl + * * * + b58X8 * F6 = + a62X2 + ··· + a68X8 + b61Xl’ + ··· + b68X8* F7 · a7lxl + a72^2 ^ · · · + a78X8 ^ b71Xl ^ ^ b78X8* F8 = agixi + a82x2 + ··· + a88X8 + b81XV + ··· + b88X8'

Zoals aangegeven in de fig.7 t/m 9 omvat elke lineaire motor 9,10 of 11 een afgedicht huis 20, een daarin opgestelde permanente magneet 21, en een beweegbaar onderdeel 23, dat een spreekspoel 22 ondersteunt, welke zich in de permanente magneet 21 uitstrekt en ten opzichte daarvan beweegbaar is. De pianosnaar 12 is verbonden met een staaf 24, welke een voortzetting vormt van het beweegbare onderdeel 23. De besturing wordt in een gekozen male en in een gekozen richting ten aanzien van de inrichtingstafel 6 uitgevoerd om de trillingen daarvan te regelen door de mate van de richting van de stroom, welke naar de spreekspoel vloeit in te stellen en de richting daarvan te variëren.

Derhalve is de inrichtingstafel 6 via de piano-snaren 12 in gekozen drie-dimensionale richtingen ten opzichte van de grondplaat 1 beweegbaar. Bijvoorbeeld vergeleken met een combinatie van verplaatsingen van een X-trap en een Y-trap, heeft deze constructie het voordeel, dat een plotselinge beweging, welke optreedt wanneer bijvoorbeeld een voorwerp op de inrichtingstafel 6 wordt geplaatst, op een doeltreffende wijze wordt geabsorbeerd. Vergeleken met het geval van het gebruik van staafverbin-dingen, vereist dit dempingsondersteuningsstelsel, waarbij gebruik wordt gemaakt van de ophanging en luchtveren 4a en 4b, geen ongerechtvaardigd grote veren, waardoor een ver- slechtering van de dempingswerking daarvan wordt gecontroleerd/ terwijl de afmetingen en het gewicht van de in-richtingstafel 6 niet toenemen. De luchtveren 4a en 4b behoeven derhalve evenmin een grote sterkte te hebben. Derhalve kan dit ondersteuningsstelsel in zijn geheel klein en goedkoop zijn, en toch in staat zijn om trillingen op een doeltreffende wijze te dempen.

Het afgedichte huis 20 omvat een daaraan bevestigd legergestel 25. Zoals aangegeven in fig. 10, ondersteunt het legergestel 25 een plaatvormige veer 27 met uitsnijdingen 26, welke een elastische deformatie van de veer in een bewegingsrichting van de staaf 24 mogelijk maken. De plaatvormige veer 27 en de staaf 24 zijn star onderling verbonden, waardoor de staaf 4 op een soepele wijze verplaatsbaar is zonder dat daarbij een wrijvingsweerstand optreedt.

Waar, bij wijze van voorbeeld kogellegers tussen de staaf 24 en het afgedichte huis 20 aanwezig zijn, is een kracht, welke een maximale statische wrijving, hoe klein ook, overschrijdt bij een initieel stadium van de verplaatsing van de staaf nodig. Nadat de staaf 24 de maximale statische wrijving heeft overwonnen en zich begint te bewegen, gaat de wrijving over in een dynamische wrijving, welke een plotselinge verplaatsing veroorzaakt. Dientengevolge voert de staaf 24 een rukachtige verplaatsing uit, waardoor het ondersteuningsstelsel moeilijkheden zal hebben bij het absorberen van microtrillingen. In tegenstelling daarmede beginnen bij het ondersteuningsstelsel volgens de uitvinding, waarbij de staven 24 van de lineaire motoren 9,10 en 11 verplaatsbaar zijn bij een ondersteuning en geleiding door de plaatvormige veren 27, de staven 24 soepel te bewegen zonder dat een wrijvingsweerstand optreedt. Derhalve is de inrichtingstafel 6 op een soepele wijze verplaatsbaar waarbij microtrillingen met een grotere betrouwbaarheid worden geabsorbeerd.

De eerste en tweede luchtreservoirs 3a en 3b be- zitten remmen 28/ welke zich vanuit tegenover elkaar gelegen plaatsen daarvan uitstrekken. Aan de tegenover elkaar gelegen armen 28 kunnen bouten 29 worden bevestigd. Wanneer de eerste en tweede luchtreservoirs 3a en 3b star op de bouten 29 worden verbonden, nemen de eerste luchtveren 4a geen deel meer aan de elastische ondersteu-ningswerking en worden slechts de tweede luchtveren 4b gebruikt om het gewicht van de inrichtingstafel 6 en verschillende daarop geplaatste inrichtingen elastisch te ondersteunen. Deze constructie werkt als een te schakelen grendelmechanisme.

Volgens de uitvinding kunnen signalen (X.", X-" X Z f · · ·

Xg") , die de versnelling van de acht lineaire motoren 9,10 en 11 ten opzichte van de absolute rustpunten van de verbindingen met de inrichtingstafel 6 aangeven, worden gemeten. In dit geval worden constanten (c-q' c\2’ **·' c78' Cgg), bepaald als versterkingen overeenkomstig tril-lingsverdelingen bij de respectieve verbindingen in de ver-snellingssignalen (X^", X2"f — Xg"), gesubstitueerd en worden stroomsterkten (F^, F2, ..., Fg) berekend zoals hieronder is aangegeven, om aan de lineaire motoren 9,10 en 11 te worden toegevoerd.

n = ajjXj + a12X2 + a13x3 + a14X4 + alSX5 + a16X6 + a17x7 + a18X8 + bllXl’ + bl2X2 * + b13X3’ + b14X4* + b15X5’ + b16X6’ + b17X7’ + b18X8’ + + c12x2" + c13X3" + C14X4" + C15X5" + C16X6" + c17X7" + C18X8" F2tot Fg worden op een soortgelijke wijze berekend voor het besturen van de lineaire motoren 9,10 en 11. Derhalve kunnen hoogfrequente componenten van de trillingen op een doeltreffende wijze worden onderdrukt door de absolute versnelling naast de absolute verplaatsing en de absolute snelheid terug te koppelen.

Thans zullen resultaten van vergelijkende proeven worden beschreven.

Fig. 11(a) is een grafische voorstelling, welke een dempeffect vertoont, dat optreedt bij de besturing, welke is gebaseerd op de terugkoppeling van de absolute verplaatsing en absolute snelheid overeenkomstig de bovenstaande uitvoeringsvorm. Langs de horizontale as is de frequentie uitgezet en langs de vertikale as de amplitudeverhouding (trillingen van de inrichtingstafel 6 / trillingen van de grondplaat 1). De resultaten zijn aangegeven door een dunne getrokken lijn Al. De grafische voorstelling omvat ook resultaten, welke worden verkregen bij een niet-besturing (dikke getrokken lijn BI) en bij de terugkoppeling van slechts de absolute snelheid (stippellijn B2) en wel voor vergelij-kingsdoeleinden.

Fig. 11(b) is een grafische voorstelling, welke een dempeffect toont, dat verkregen wordt door de versterkingen van de absolute verplaatsingsterugkoppeling bij de bovenstaande uitvoeringsvorm te variëren, waarbij de versterkingen van de absolute snelheidsterugkoppeling constant worden gehouden. In deze grafische voorstelling geeft de stippellijn A2 het geval aan, waarin de versterkingen worden verdubbeld, en geeft de dikke getrokken lijn A3 het geval aan, waarin de versterking opnieuw wordt verdubbeld, d.w.z. wordt verviervoudigd.

Fig. 12(a) is een grafische voorstelling, welke resultaten toont, welke worden verkregen bij een vergelijkend voorbeeld, waarbij slechts de relatieve verplaatsing tussen de inrichtingstafel 6 en de grondplaat 1 wordt teruggekoppeld, waardoor een veereffect optreedt. De resultaten zijn aangegeven bij de stippellijn B3. De dikke getrokken lijn BI geeft het geval van niet-besturing aan en de dunne getrokken lijn B4 geeft het geval aan, dat de versterkingen van de relatieve verplaatsingsterugkoppeling worden verviervoudigd.

Fig. 12(b) is een grafische voorstelling, welke het geval aangeeft van het slechts terugkoppelen van de relatieve snelheid tussen de inrichtingstafel 6 en de grond-plaat 1, waardoor een dempeffect optreedt. De resultaten zijn aangegeven bij de stippellijn B5. De dikke getrokken lijn Bl geeft het geval van niet-besturing aan, en de dunne getrokken lijn B6 geeft het geval aan, waarbij de versterkingen van de relatieve snelheidsterugkoppeling zijn verviervoudigd.

Fig. 12(c) en 12(d) zijn grafische voorstellingen, welke het geval aangeven, waarbij slechts de absolute verplaatsing, de absolute versnelling of de absolute snelheid tussen de inrichtingstafel 6 en de grondplaat 1 wordt teruggekoppeld. De stippellijn B7 geeft het geval aan van het slechts terugkoppelen van de absolute verplaatsing, de dunne getrokken lijn B8 geeft het geval aan van het slechts terugkoppelen van de absolute versnelling. de stippellijn B9 geeft het geval aan van het slechts terugkoppelen van de absolute snelheid en de dikke getrokken lijn Bl geeft het geval van niet-besturing aan.

De bovenstaande resultaten leveren het bewijs voor de volgende feiten:

Wanneer de inrichtingstabel 6 slechts door een veer-effect elastisch wordt ondersteund, neemt de resonantie-frequentie toe, doch kan de amplitude niet worden onderdrukt (zie fig. 12(a)).

Zelfs indien de resonantie door het mechanische dempeffect wordt onderdrukt, kunnen de trillingen niet voldoende worden gedempt ofschoon de amplitude wordt gereduceerd. Indien het dempeffect wordt vergroot, zal de resonantie-amplitude worden gereduceerd, doch constant worden, waardoor de inrichtingstafel 6 met grondplaat 1 vibreert (zie fig. 12(b)).

De trillingen kunnen niet met een significant effect worden gedempt wanneer de besturing wordt verschaft door slechts een terugkoppeling van de absolute verplaatsing of de absolute versnelling (zie fig. 12(c). Wanneer de trillingsbesturing wordt uitgeoefend door slechts de absolute snelheid terug te koppelen, reduceert het resulterende dempeffect frequentie en amplitude, doch is niet voldoende om de trillingen te dempen (fig. 12(d).

In tegenstelling daarmede worden wanneer de besturing wordt verschaft door het terugkoppelen van de absolute verplaatsing en de absolute snelheid op basis van de besturingssignalen, welke worden verwerkt uit de verplaat-sings- en snelheidssignalen, de naar de inrichtingstafel 6 overgedragen trillingen instantaan bij het begin gedempt, en kunnen zeer geringe trillingen op een optimale wijze worden geregeld (fig. 11(a)).

Wanneer de versterkingen van de absolute verplaat-singsterugkoppeling worden vergroot, kan het dempeffect worden verbeterd ten opzichte van de laag frequentiecomponenten (fig. 11(b)).

Thans zal een andere uitvoeringsvorm worden beschreven.

Zoals aangegeven in de fig.13 t/m 15, omvat een dem-pingsondersteuningsstelsel een grondplaat 1, welke is bevestigd aan een vloer, ophangorganen 2, welke zich vanuit de grondplaat 1 uitstrekken en een eerste luchtreservoir 3a welke aan de ophangorganen 2 is opgehangen. Het eerste luchtreservoir 3a werkt als een ondersteuningsplateau van een eerste trap, dat in horizontale richting verplaatsbaar is. Zoals aangegeven in fig. 16, bevinden zich boven het eerste luchtreservoir 3a eerste luchtveren 4a, bevindt zich daarboven een tweede luchtreservoir 3b, daarna tweede luchtveren 4b, een derde luchtreservoir 3c, derde luchtveren 4c, en aan de bovenzijde een inrichtingstabel 6.

Het eerste luchtreservoir 3a staat met de eerste luchtveren 4a, in verbinding, het tweede luchtreservoir 3b staat in verbinding met de tweede luchtveer 4b, en het derde luchtreservoir 3c staat in verbinding met de derde lucht-veer 4c, respectievelijk via openingen 5.

De eerste, tweede en derde luchtreservoirs 3a, 3b en 3c hebben respectievelijk in bovenaanzicht de vorm van een kruis. Voorts staan luchthulpreservoirs 7a,7b en 7c met de respectieve drie luchtreservoirs 3a, 3b, en 3c in verbinding.

Het eerste luchtreservoir 3a is voorzien van gren-delarmen 28, welke zich vanuit bovenste posities daarvan uitstrekken, terwijl het tweede luchtreservoir 3b is voorzien van grendelarmen 28 welke zich vanuit onderste posities daarvan .tegenover de armen 28 van het eerste luchtreservoir 3a uitstrekken. Aan de tegenover elkaar gelegen armen 28 kunnen bouten 29 worden bevestigd. Wanneer de eerste en tweede luchtreservoirs 3a en 3b door de bouten 29 star onderling worden verbonden, worden de eerste luchtveren 4a naar een onwerkzame toestand omgeschakeld. Deze constructie werkt als een eerste grendelmechanisme 30a.

De grendelarmen 28 van het tweede luchtreservoir 3b strekken zich naar boven tegenover de grendelarmen 28, welke zich vanuit de onderste posities van het derde luchtreservoir 3c uitstrekken, uit. Deze tegenover elkaar gelegen armen 28 kunnen door bouten 29 met elkaar worden vergrendeld teneinde de tweede luchtveren 4b in de onwerkzame toestand te brengen. Deze constructie werkt als een tweede grendelmechanisme 30b.

Wanneer een of beide van de eerste en tweede grendelmechanismen 30a en 30b in bedrijf wordt gesteld, worden of de eerste luchtveren 4a of de tweede luchtveren 4b of beide onttrokken aan de elastische ondersteunings-werking. Daarna vindt een omschakeling plaats vanuit een toestand, waarin de eerste tot derde luchtveren 4a, 4b en 4c de elastische ondersteuning verschaffen, naar een toestand, waarin de tweede en derde luchtveren 4b en 4c, de eerste en derde luchtveren 4a en 4c, of slechts de derde luchtveren 4c worden gebruikt om het gewicht van de in-richtingstafel 6 en verschillende daarop geplaatste inrichtingen elastisch te ondersteunen.

Het eerste luchtreservoir 3a omvat voorts grendel-armen 31, welke zich vanuit onderste posities daarvan uitstrekken. Anderzijds strekken grendelarmen 32 zich vanuit de grondplaat 1 tegenover de armen 31 uit. Deze armen 31 en 32 kunnen aan elkaar worden geschroefd, waardoor het eerste luchtreservoir 3a ten opzichte van de grondplaat 1 wordt vergrendeld. Op dit moment worden de horizontale trillingen slechts door de eerste tot derde luchtveren 4a, 4b en 4c gedempt.

Als een alternatief voor de bovenbeschreven grendelme-chanismen 30a en 30b of een daarvan, kan de inrichtingstafel 6 en het derde luchtreservoir 3c zijn voorzien van grendelarmen 28 bij tegenover elkaar gelegen posities daarvan, welke grendelarmen 28 door bouten of andere grendelinrich-tingen met elkaar kunnen worden vergrendeld.

Bij deze uitvoeringsvorm is, zoals bovenbeschreven, het aantal luchtveren, dat in bedrijf is, variabel doordat de grendelmechanismen 30a en 30b zodanig worden bedreven, dat bepaalde van de eerste tot derde luchtveren 4a, 4b en 4c tussen de bedrijfstoestand en de onwerkzame toestand worden omgeschakeld, teneinde de starre en karakteristieke trillingsfrequenties, welke in horizontale en vertikale richtingen optreden, in te stellen. Dit onder-steuningsstelsel kan de trillingen met een grotere betrouwbaarheid dempen doordat de juiste starre en karakteristieke frequenties overeenkomstig het gewicht van een op de inrichtingstafel 6 geplaatst voorwerp en gewichts-variaties, welke een gevolg zijn van het toevoegen van bevestigingsorganen, verschaft.

Het dempondersteuningsstelsel volgens de uitvinding kan zijn voorzien van luchtveren, die in vier of meer trappen zijn ondergebracht.

Claims (5)

1. Dempingsondersteuningsstelsel met een stationair onderdeel, een inrichtingstafel en luchtveren, welke tussen het stationaire onderdeel en de inrichtingstafel zijn aangebracht, om de inrichtingstafel elastisch te ondersteunen, gekenmerkt door een ondersteuningsplateau, dat in opgehangen toestand door het stationaire onderdeel in horizontale richting verplaatsbaar wordt ondersteund, welk onder-steuningsplateau de inrichtingstafel ondersteunt via de luchtveren, die in een aantal trappen zijn ondergebracht, lineaire motoren welke het stationaire onderdeel en het ondersteuningsplateau op een operatieve wijze onderling verbinden, waarbij de lineaire motoren in driedimensionale richtingen inclusief twee horizontale richtingen die loodrecht op elkaar staan, en een vertikale richting, kunnen worden bedreven, trillingsaftastinrichtingen, welke met de inrichtingstafel zijn verbonden en besturingsorganen om verplaatsings- en snelheidssignalen af te leiden uit detectieresultaten, welke uit de vibratie-aftastinrichtingen worden ontvangen, en het berekenen van besturingssignalen uit de verplaatsings- en snelheidssignalen om aan de lineaire motoren te worden toegevoerd.

2. Dempingsondersteuningsstelsel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat elk van de lineaire motoren is voorzien van een staaf, welke is verbonden met een pianosnaar, waarbij het stationaire onderdeel en de inrichtingstafel op een operatieve wijze onderling zijn verbonden via de lineaire motoren en de pianosnaren.

3. Dempingsondersteuningsstelsel volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de staaf van elke lineaire motor als ondersteund en geleid door een plaatvormige veer verplaatsbaar is.

4. Dempingsondersteuningsstelsel volgens conclusie 2 of 3, gekenmerkt door een aantal steunonderdelen, die tussen het ondersteuningsplateau en de inrichtingstafel zijn aangebracht, waarbij de luchtveren zijn aangebracht tussen het onder- steuningsplateau en de steunonderdelen, tussen de steunonderdelen, en tussen de steunonderdelen en de inrichtingstafel, en een grendelmechanisme om ten minste een van de luchtveren tussen een werkzame toestand en een onwerkzame toestand om te schakelen.

5. Dempingsondersteuningsstelsel volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat de steunonderdelen bestaan uit luchtreservoirs, die met de luchtveren via respectieve openingen in verbinding staan.