JPH01307537A - 制振支持構造 - Google Patents
制振支持構造Info
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- JPH01307537A JPH01307537A JP63140286A JP14028688A JPH01307537A JP H01307537 A JPH01307537 A JP H01307537A JP 63140286 A JP63140286 A JP 63140286A JP 14028688 A JP14028688 A JP 14028688A JP H01307537 A JPH01307537 A JP H01307537A
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- 238000013016 damping Methods 0.000 title claims description 8
- 230000008093 supporting effect Effects 0.000 title abstract description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
- F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
- F16F15/0275—Control of stiffness
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0061—Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards
- H05K13/0069—Holders for printed circuit boards
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、地震に起因する振動とか、自動車等に起因し
て発生される微振動などの振動を構造体の床等の支持体
から受け、それに起因して、ＬＳＩ製造工場やレーザ一
応用製品工場などにおける半導体やプリント基板といっ
た超精密製品を製造する製造装置を載置する装置載置台
が振動することを防止するように構成した制振支持構造
に関する。
て発生される微振動などの振動を構造体の床等の支持体
から受け、それに起因して、ＬＳＩ製造工場やレーザ一
応用製品工場などにおける半導体やプリント基板といっ
た超精密製品を製造する製造装置を載置する装置載置台
が振動することを防止するように構成した制振支持構造
に関する。
〈従来の技術〉
ＬＳＩ製造工場やレーザ一応用製品工場などでは、微振
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、製造装置を載
置する装置載置台等と構造体の床等の支持体との間に、
積層ゴムと空気バネといったバネ要素を介在し、それら
のバネ要素によって装置載置台を弾性支持し、振動によ
る衝撃を緩和しながら微振動を効率良く吸収するように
構成していた。 。
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、製造装置を載
置する装置載置台等と構造体の床等の支持体との間に、
積層ゴムと空気バネといったバネ要素を介在し、それら
のバネ要素によって装置載置台を弾性支持し、振動によ
る衝撃を緩和しながら微振動を効率良く吸収するように
構成していた。 。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、装置載置台に伝播する振動を緩和できる
ものの、その振動を無くすことはできないものであった
。
ものの、その振動を無くすことはできないものであった
。
そこで、補助質量を付設するとともに、油圧シリンダな
どのダンパーを設け、装置ｆｉ載置台振動しないように
したものもあるが、補助質量やダンパーを設けるために
装置載置台が大型化する欠点があり、また、装置載置台
の重量が増大し、それらを弾性支持する構成に強度が要
求される欠点がある。
どのダンパーを設け、装置ｆｉ載置台振動しないように
したものもあるが、補助質量やダンパーを設けるために
装置載置台が大型化する欠点があり、また、装置載置台
の重量が増大し、それらを弾性支持する構成に強度が要
求される欠点がある。
また、ダンパーは、油の粘性により減衰力を調整するも
のであるから、微少振動では粘性が太き（、装置載置台
の防振性能を劣化させる問題を生じる。
のであるから、微少振動では粘性が太き（、装置載置台
の防振性能を劣化させる問題を生じる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、床やそれにｓＩＭされる装置載置台に伝播される振
動を、装置載置台を大型化することなく、かつ、装ｘｉ
置台を固定部に対して円滑に変位しながら極めて有効に
抑制できるようにすることを目的とする。
て、床やそれにｓＩＭされる装置載置台に伝播される振
動を、装置載置台を大型化することなく、かつ、装ｘｉ
置台を固定部に対して円滑に変位しながら極めて有効に
抑制できるようにすることを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
本発明の制振支持構造は、このような目的を達成するた
めに、固定部に、水平方向に変位可能に支持台を吊り下
げ支持するとともに、その支持台に複数段の空気バネを
介して装置載置台を支持し、前記固定部と前記装置載置
台とを、水平方向で互いに直交する二方向と鉛直方向そ
れぞれの方向に作用するリニアモータを介して連動連結
し、かつ、前記リニアモータの可動軸の変位を板バネを
介して案内支持するように構成し、前記装置！！！置台
に振動センサを付設するとともに、その振動センサによ
る検出結果に基づき、振動を打ち消すように前記リニア
モータを作動する制御装置を備えて構成する。
めに、固定部に、水平方向に変位可能に支持台を吊り下
げ支持するとともに、その支持台に複数段の空気バネを
介して装置載置台を支持し、前記固定部と前記装置載置
台とを、水平方向で互いに直交する二方向と鉛直方向そ
れぞれの方向に作用するリニアモータを介して連動連結
し、かつ、前記リニアモータの可動軸の変位を板バネを
介して案内支持するように構成し、前記装置！！！置台
に振動センサを付設するとともに、その振動センサによ
る検出結果に基づき、振動を打ち消すように前記リニア
モータを作動する制御装置を備えて構成する。
〈作用〉
上記構成によれば、地震や微振動等に起因して固定部が
振動すると、水平方向では、固定部の振動とは遅れた状
態で、吊り下げ支持された支持台に伝播させ、そして、
鉛直方向では、複数段の空気ハネにより、順次振動を緩
和しながら微振動を吸収していき、それら複数段の空気
バネにより、最終的には、長い周期の振動を装置載置台
に伝播させるようにし、その長い周期の振動を振動セン
サで検出し、その検出された振動に基づいてリニアモー
タを作動し、装置ｉａ載置台振動が伝播することを抑制
することができる。
振動すると、水平方向では、固定部の振動とは遅れた状
態で、吊り下げ支持された支持台に伝播させ、そして、
鉛直方向では、複数段の空気ハネにより、順次振動を緩
和しながら微振動を吸収していき、それら複数段の空気
バネにより、最終的には、長い周期の振動を装置載置台
に伝播させるようにし、その長い周期の振動を振動セン
サで検出し、その検出された振動に基づいてリニアモー
タを作動し、装置ｉａ載置台振動が伝播することを抑制
することができる。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の制振支持構造に係る実施例の全体平
面図、第２図は、第１図の全体側面図、第３図は、第２
図の■−■線矢視図、第４図は、第１図のＩＶ−ＩＶ線
断面図であり、床に設置された固定部としてのベースプ
レート１に、吊り材２・・・を介して水平方向に変位可
能に支持台としての１段目の第１エアータンク３ａが吊
り下げられている。
面図、第２図は、第１図の全体側面図、第３図は、第２
図の■−■線矢視図、第４図は、第１図のＩＶ−ＩＶ線
断面図であり、床に設置された固定部としてのベースプ
レート１に、吊り材２・・・を介して水平方向に変位可
能に支持台としての１段目の第１エアータンク３ａが吊
り下げられている。
第１エアータンク３ａ上には、第５図の断面図（第１図
の■−Ｖ線断面図）に示すように、１段目の第１空気バ
ネ４ａが設けられるとともに、第１エアータンク３ａと
第１空気バネ４ａとがオリフィス５を介して連通接続さ
れている。
の■−Ｖ線断面図）に示すように、１段目の第１空気バ
ネ４ａが設けられるとともに、第１エアータンク３ａと
第１空気バネ４ａとがオリフィス５を介して連通接続さ
れている。
前記第１空気バネ４ａ上に２段目の第２エアータンク３
ｂが支持され、その第２エアータンク３ｂ上に、２段目
の第２空気バネ４ｂが設けられるとともに、第２エアー
タンク３ｂと第２空気バネ４ｂとがオリフィス５を介し
て連通接続され、更に、第２空気バネ４ｂ上に装置載置
台６が搭載支持されている。
ｂが支持され、その第２エアータンク３ｂ上に、２段目
の第２空気バネ４ｂが設けられるとともに、第２エアー
タンク３ｂと第２空気バネ４ｂとがオリフィス５を介し
て連通接続され、更に、第２空気バネ４ｂ上に装置載置
台６が搭載支持されている。
第１エアータンク３ａおよび第２エアータンク３ｂそれ
ぞれは、平面視で十字形状に構成され、その第１エアー
タンク３ａおよび第２エアータンク３ｂそれぞれには、
補助エアータンク７ａ、７ｂが連通接続されている。
ぞれは、平面視で十字形状に構成され、その第１エアー
タンク３ａおよび第２エアータンク３ｂそれぞれには、
補助エアータンク７ａ、７ｂが連通接続されている。
ベースプレート１に支持脚８が立設され、その支持脚８
に鉛直方向制御用リニアモータ９が設けられ、また、所
定の支持１８８の上部に、互いに変位方向が直交するよ
うに、一対づつの水平方向制御用リニアモータ１０，１
１が取り付けられている。
に鉛直方向制御用リニアモータ９が設けられ、また、所
定の支持１８８の上部に、互いに変位方向が直交するよ
うに、一対づつの水平方向制御用リニアモータ１０，１
１が取り付けられている。
前記装置載置台６は平面視で四角形状に構成され、その
４隅部分それぞれにおいて、前記鉛直方向制御用リニア
モータ９および水平方向制御用すニアモータｔｏ、ｔｔ
それぞれと装置載置台６とがピアノ線１２を介して連動
連結され、これらのリニアモータ９．１０．１１を駆動
することにより、装置載置台６に三次元方向の制御力を
付与して振動を制御できるように構成されている。
４隅部分それぞれにおいて、前記鉛直方向制御用リニア
モータ９および水平方向制御用すニアモータｔｏ、ｔｔ
それぞれと装置載置台６とがピアノ線１２を介して連動
連結され、これらのリニアモータ９．１０．１１を駆動
することにより、装置載置台６に三次元方向の制御力を
付与して振動を制御できるように構成されている。
鉛直方向制御用リニアモータ９それぞれと装置載置台６
との連動連結箇所には、装置載置台６の鉛直方向の振動
を計測する鉛直センサ１３が取り付けられ、また、水平
方向制御用リニアモータ１０．１１それぞれと装置載置
台６との連動連結箇所近くには、装置載置台６の水平方
向（Ｘ、Ｙ方向）の振動を計測する水平センサ１４，１
５が各々取り付けられている。
との連動連結箇所には、装置載置台６の鉛直方向の振動
を計測する鉛直センサ１３が取り付けられ、また、水平
方向制御用リニアモータ１０．１１それぞれと装置載置
台６との連動連結箇所近くには、装置載置台６の水平方
向（Ｘ、Ｙ方向）の振動を計測する水平センサ１４，１
５が各々取り付けられている。
前記鉛直センサ１３および水平センサ１４，１５それぞ
れによる計測値は、第６図の概略構成図に示すように、
制御装置を構成するコンビエータ１６に増幅器１７およ
びＡ／Ｄコンバータ１８を介して入力され、それらの計
測値を予め設定されている関係式に入力して、リニアモ
ータ９．１０゜１１それぞれに対する動作量をリアルタ
イムで演算し、その算出された動作量に対応する制御出
力をＤ／Ａコンバータ１９および増幅器１７を介してリ
ニアモータ９，１０．１１それぞれに与え、計測値が零
になるように駆動し、装置載置台６の振動を打ち消すよ
うに制御するように構成されている。
れによる計測値は、第６図の概略構成図に示すように、
制御装置を構成するコンビエータ１６に増幅器１７およ
びＡ／Ｄコンバータ１８を介して入力され、それらの計
測値を予め設定されている関係式に入力して、リニアモ
ータ９．１０゜１１それぞれに対する動作量をリアルタ
イムで演算し、その算出された動作量に対応する制御出
力をＤ／Ａコンバータ１９および増幅器１７を介してリ
ニアモータ９，１０．１１それぞれに与え、計測値が零
になるように駆動し、装置載置台６の振動を打ち消すよ
うに制御するように構成されている。
リニアモータ９．１０．１１それぞれは、第７図の正面
図、第８図の側面図および第９図の一部切欠正面図それ
ぞれに示すように、シールドケース２０内に永久磁石２
１を取り付け、その永久磁石２１内に変位可能にボイス
コイル２２を付設した可動体２３を設けて構成され、そ
の可動体２３に連接された可動軸としてのロッド２４に
前記ピアノ線１２が連接され、ボイスコイル２２に流す
電流量を調整するとともに、その電流の方向を変えるこ
とにより、装置＊置台６に所定方向に所定量だけ制御力
を付与して振動を制御できるように構成されている。
図、第８図の側面図および第９図の一部切欠正面図それ
ぞれに示すように、シールドケース２０内に永久磁石２
１を取り付け、その永久磁石２１内に変位可能にボイス
コイル２２を付設した可動体２３を設けて構成され、そ
の可動体２３に連接された可動軸としてのロッド２４に
前記ピアノ線１２が連接され、ボイスコイル２２に流す
電流量を調整するとともに、その電流の方向を変えるこ
とにより、装置＊置台６に所定方向に所定量だけ制御力
を付与して振動を制御できるように構成されている。
前記シールドケース２０には軸受用枠体２５が取り付け
られ、その軸受用枠体２・５に、第１０図の拡大側面図
に示すように、ロッド２４の移動方向への弾性変形を許
容するように切り欠き溝２６・・・を形成した板バネ２
７が取り付けられるとともに、その板バネ２７とロフト
２４とが一体連接され、ロッド２４を、摩擦抵抗による
影響を受けること無くスムーズに変位できるように構成
されている。
られ、その軸受用枠体２・５に、第１０図の拡大側面図
に示すように、ロッド２４の移動方向への弾性変形を許
容するように切り欠き溝２６・・・を形成した板バネ２
７が取り付けられるとともに、その板バネ２７とロフト
２４とが一体連接され、ロッド２４を、摩擦抵抗による
影響を受けること無くスムーズに変位できるように構成
されている。
前記第１エアータンク３ａと第２エアータンク３ｂとの
互いに対応する箇所それぞれにブラケット２８が突設さ
れ、対向するブラケット２８．２８にわたってボルト２
９が取り付は可能に構成されており、ボルト２９によっ
て第１および第２エアータンク３ａ、３ｂを連結固定す
ることにより、第１空気バネ４ａによる弾性支持作用を
解除し、第２空気バネ４ｂによってのみ装置載置台６お
よびそれに載置された各種装置の重量を弾性支持する状
態に切換えることができるように構成されている。
互いに対応する箇所それぞれにブラケット２８が突設さ
れ、対向するブラケット２８．２８にわたってボルト２
９が取り付は可能に構成されており、ボルト２９によっ
て第１および第２エアータンク３ａ、３ｂを連結固定す
ることにより、第１空気バネ４ａによる弾性支持作用を
解除し、第２空気バネ４ｂによってのみ装置載置台６お
よびそれに載置された各種装置の重量を弾性支持する状
態に切換えることができるように構成されている。
〈発明の効果〉
本発明によれば、装置蔵置台に補助質量を付設せずに、
装置ｆｉＷ台に振動が伝播することを抑制できるから、
装置載置台を大型化せずに済むとともに、その重量増大
を回避でき、空気バネとしても、必要以上に強度の高い
ものを用いる必要が無く、全体として安価な構成であり
ながら、装置載置台の振動を良好に抑制できるようにな
った。
装置ｆｉＷ台に振動が伝播することを抑制できるから、
装置載置台を大型化せずに済むとともに、その重量増大
を回避でき、空気バネとしても、必要以上に強度の高い
ものを用いる必要が無く、全体として安価な構成であり
ながら、装置載置台の振動を良好に抑制できるようにな
った。
また、空気バネを複数段設けるから、振動を良好に緩和
できるのみならず、微振動を順次良好に吸収していき、
最終的に装置載置台に伝播される振動の周期を制御でき
、その制御によって残された長い周期の振動に対して、
リニアモータの作動により、立ち上がりの少ない状態で
、振動を零にするように装置載置台を駆動でき、装置ｔ
ｉ３１置台の゛振動を良好に抑制できるようになった。
できるのみならず、微振動を順次良好に吸収していき、
最終的に装置載置台に伝播される振動の周期を制御でき
、その制御によって残された長い周期の振動に対して、
リニアモータの作動により、立ち上がりの少ない状態で
、振動を零にするように装置載置台を駆動でき、装置ｔ
ｉ３１置台の゛振動を良好に抑制できるようになった。
そのうえ、例えば、可動軸と固定部との間にボールベア
リングを介在する場合、その変位初期において、摩擦抵
抗が小さいと言えども、最大静止摩擦力に打ち勝つ力が
必要で、かつ、最大静止摩擦力に打ち勝って動き出した
後は、動摩擦に変換されるために、急速に変位すること
になって、ギクシャクした変位動作を行うことになり、
その変位動作に起因して微振動を抑えづらくなるのであ
るが、本発明によれば、リニアモータの可動軸の変位を
仮バネを介して案内支持するから、摩擦抵抗を受けるこ
となく可動軸をスムーズに変位でき、装置載置台を円滑
に変位して、微振動をもより一層良好に抑えることがで
きるようになった。
リングを介在する場合、その変位初期において、摩擦抵
抗が小さいと言えども、最大静止摩擦力に打ち勝つ力が
必要で、かつ、最大静止摩擦力に打ち勝って動き出した
後は、動摩擦に変換されるために、急速に変位すること
になって、ギクシャクした変位動作を行うことになり、
その変位動作に起因して微振動を抑えづらくなるのであ
るが、本発明によれば、リニアモータの可動軸の変位を
仮バネを介して案内支持するから、摩擦抵抗を受けるこ
となく可動軸をスムーズに変位でき、装置載置台を円滑
に変位して、微振動をもより一層良好に抑えることがで
きるようになった。
図面は、本発明に係る制振支持構造の実施例を示し、第
１図は、制振支持構造の全体平面図、第２図は、第１図
の全体側面図、第３図は、第２図の■−■線矢視図、第
４図は、第１図のｒＶ−ＴＶ線断面図、第５図は、第１
図のＶ−Ｖ線断面図、第６図は概略構成図、第７図はリ
ニアモータの正面図、第８図は第７図の側面図、第９図
はリニアモータの一部切欠正面図、第１０図は、板バネ
の拡大正面図である。 １・・・固定部としてのベースプレート３ａ・・・支持
台としての第１エアータンク３ｂ・・・支持台としての
第２エアータンク４ａ・・・第１空気バネ ４ｂ・・・第２空気バネ ６・・・装置載置台 ９・・・鉛直方向制御用リニアモータ １０．１１・・・水平方向制御用リニアモータ１３・・
・鉛直センサ １４．１５・・・水平センサ １６・・・制御装置としてのコンピュータ２４・・・可
動軸としてのロンド ２７・・・板バネ 出願人 株式会社 竹 中 工 務 店代理人 弁理士
杉 谷 勉第４図 第５図
１図は、制振支持構造の全体平面図、第２図は、第１図
の全体側面図、第３図は、第２図の■−■線矢視図、第
４図は、第１図のｒＶ−ＴＶ線断面図、第５図は、第１
図のＶ−Ｖ線断面図、第６図は概略構成図、第７図はリ
ニアモータの正面図、第８図は第７図の側面図、第９図
はリニアモータの一部切欠正面図、第１０図は、板バネ
の拡大正面図である。 １・・・固定部としてのベースプレート３ａ・・・支持
台としての第１エアータンク３ｂ・・・支持台としての
第２エアータンク４ａ・・・第１空気バネ ４ｂ・・・第２空気バネ ６・・・装置載置台 ９・・・鉛直方向制御用リニアモータ １０．１１・・・水平方向制御用リニアモータ１３・・
・鉛直センサ １４．１５・・・水平センサ １６・・・制御装置としてのコンピュータ２４・・・可
動軸としてのロンド ２７・・・板バネ 出願人 株式会社 竹 中 工 務 店代理人 弁理士
杉 谷 勉第４図 第５図
Claims (1)
- （１）固定部に、水平方向に変位可能に支持台を吊り下
げ支持するとともに、その支持台に複数段の空気バネを
介して装置載置台を支持し、前記固定部と前記装置載置
台とを、水平方向で互いに直交する二方向と鉛直方向そ
れぞれの方向に作用するリニアモータを介して連動連結
し、かつ、前記リニアモータの可動軸の変位を板バネを
介して案内支持するように構成し、前記装置載置台に振
動センサを付設するとともに、その振動センサによる検
出結果に基づき、振動を打ち消すように前記リニアモー
タを作動する制御装置を備えたことを特徴とする制振支
持構造。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63140286A JPH01307537A (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 制振支持構造 |
| DE3917408A DE3917408A1 (de) | 1988-06-06 | 1989-05-29 | Daempfungssockel |
| NL8901377A NL191799C (nl) | 1988-06-06 | 1989-05-31 | Dempingsondersteuningsstelsel. |
| US07/360,238 US4976415A (en) | 1988-06-06 | 1989-06-01 | Damping support structure |
| CA000601760A CA1323410C (en) | 1988-06-06 | 1989-06-05 | Damping support structure |
| KR1019890007794A KR930006502B1 (ko) | 1988-06-06 | 1989-06-05 | 진동 흡수 구조체 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63140286A JPH01307537A (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 制振支持構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01307537A true JPH01307537A (ja) | 1989-12-12 |
Family
ID=15265249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63140286A Pending JPH01307537A (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 制振支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01307537A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5573969A (en) * | 1978-11-27 | 1980-06-04 | Fujitsu Ltd | Head positioning mechanism of magnetic disk unit |
| JPS55113478A (en) * | 1979-02-26 | 1980-09-02 | Sofuia Kk | Ball shooting device for pinball machine |
| JPS62264128A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-17 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ真空処理装置 |
| JPS63130946A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-03 | Tokico Ltd | 防振装置 |
-
1988
- 1988-06-06 JP JP63140286A patent/JPH01307537A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5573969A (en) * | 1978-11-27 | 1980-06-04 | Fujitsu Ltd | Head positioning mechanism of magnetic disk unit |
| JPS55113478A (en) * | 1979-02-26 | 1980-09-02 | Sofuia Kk | Ball shooting device for pinball machine |
| JPS62264128A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-17 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ真空処理装置 |
| JPS63130946A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-03 | Tokico Ltd | 防振装置 |
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