JP2004332847A - 制振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動テーブル1と駆動系2からなる可動機構Mと、可動機構Mを搭載した機台3と、駆動系2を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体4と、機台3を床6に弾性支持する足6と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生するコイルばね5と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生するオイルダンパ10とを備える構成にしたため、電子機器筐体4は可動機構Mと機台3で構成される機械に対する動吸振器として作用させることから、機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することができる。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は柔機械構造物の振動を抑制する制振装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば半導体素子製造に用いられる露光装置、各種精密加工機あるいは各種精密測定機での位置決めに好適な位置決め装置などの機械構造物に於ける振動を抑制する制振装置は図2のようになっている。図2は第1従来技術を示す制振装置の正面図で、可動テーブルを駆動系により直線方向に動かして位置決め等を行う位置決め装置の一例を示したものである。
制御装置41からの制御信号を受け取り、制御信号に応じた駆動力を発生して収納するようになっている。
図2において、1は可動テーブル、2は可動テーブル1を駆動させる駆動系(例えばリニアモータなど)であり、可動テーブル1と駆動系2で可動機構Mを構成している。3は可動機構Mを搭載した機台、41は駆動系2の駆動制御を行うサーボドライバ、42はサーボドライバ41に接続されると共に、 サーボドライバ41に制御信号を出力するコントローラである。このサーボドライバ41とコントローラ42と図示しない電源とでサーボ制御装置Cを構成しており、サーボ制御装置Cは機台3の下部に収納してある。6は機台3の足であり、通常十分に剛で、床7にアンカーボルト等で固定されている。また、足6は機台3の下部に収納されたサーボ制御装置Cを機械的に剛体結合している。
しかし、床7にアンカーボルトが打てない場合は、周囲への振動の伝播を防ぐ目的などで足6は剛体ではなく弾性体を使用して設置される。その場合、周囲への振動の伝播は低減するものの、機台3の振動が発生し、機台3は1慣性系の振動系となる。
前記発生した機台3の振動は、作用・反作用により駆動系2のモータへの外力として作用する。サーボのゲインを上げて応答を早くすると、同時に機台3に対する加振力も大きくなり、モータへの外力も大きくなる。外力の影響力がサーボの外乱抑圧特性を上回った場合、位置決め完了時間がサーボのゲインを上げる前よりも遅くなる場合もあるため、サーボのゲインを上げることができず、応答を早くすることができない。
【0003】
上記問題の根本原因である機台3の振動を抑制する別の手段として、機台に動吸振器を取り付け、機台振動に動吸振器の周波数を一致させる方法が考えられる(第2従来技術、例えば特許文献1を参照)。
【0004】
また、部品の追加を避けて機械的な手段により振動抑制を行うものとして、垂直方向に取り付けたガイドロッドと該ガイドロッドに沿って垂直方向に動作するおもりをばね要素と減衰要素にて橋桁の土台に固定し、構造で動吸振器の機能を持たせる方法がある(第3従来技術、例えば特許文献2を参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−227331号公報
【特許文献2】
特開平6−147257号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術では以下の問題があった。
(1)第2従来技術のような手段をとる場合、動吸振器は機械構造に対して本来不要な部品であるため、単純に動吸振器の分だけコストが上がる。しかも、動吸振器分だけ余分な場所が機械内に必要となる。
(2)また、第1従来技術の手段では、一般的に大質量の物体が水平方向の高加減速の往復運動を繰り返すため、機械の振動は水平方向に大きく発生する。
(3)また、第3従来技術の手段では、垂直方向に対する振動抑制効果は得られるが、水平方向に対しては全く効果を得ることができないため、この方法をそのまま適用することはできない。
【0007】
上記に第1〜第3の従来技術を述べたが、近年、機械を設置する床の低剛性化や機械のコスト削減に伴い、機械(特に、半導体製造装置関連の機械)は軽量化の傾向にある。特に、軽量化の難しい駆動系よりも比較的簡単に軽量化を図ることができる機台などの被加振系が軽量化される傾向にある。そのため、機械の振動はますます増大し、サーボのゲインをあげることができなくなってしまう。一方で、よりいっそうのサーボの高速応答が求められており、非常に、深刻な問題である。
【0008】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することができる制振装置を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1の発明は、構造物の振動を抑制する制振装置において、可動テーブルと駆動系からなる可動機構と、前記可動機構を搭載した機台と、前記駆動系を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体と、前記機台を床に弾性支持する第1ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生する第2ばねとを備えたものである。
【0010】
また、請求項2の発明は、構造物の振動を抑制する制振装置において、可動テーブルと駆動系からなる可動機構と、前記可動機構を搭載した機台と、前記駆動系を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体と、前記機台を床に弾性支持する第1ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生する減衰手段とを備えたものである。
【0011】
また、請求項3の発明は、構造物の振動を抑制する制振装置において、可動テーブルと駆動系からなる可動機構と、前記可動機構を搭載した機台と、前記駆動系を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体と、前記機台を床に弾性支持する第1ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生する第2ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生する減衰手段とを備えたものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて具体的に説明する。
(第1実施例)
図1は本発明の第1実施例を示す制振装置の正面図である。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものについては、同一符号を付してその説明を省略し、異なる点のみ説明する。
図において、4は電子機器筐体で、電子機器筐体4の内部にリニアモータの駆動制御を行うサーボドライバ41と、サーボドライバ41に制御信号を出力するコントローラ42とから構成されるサーボ制御装置を収納している。また、5はコイルばねである。
本発明が従来技術と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、機台3と電子機器筐体4の間に機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生するコイルばね5が設けられた点である。
このとき、図1に示した装置の機械要素を模式的に表すと図13のようになる。図13は図1の制振装置を模式的に表した図である。図13は力の向きや変位が水平方向であるが、力学的に等価であるように垂直方向へ軸を書き直すと、図16のようなモデルで表すことができる。図16は図13の制振装置を等価モデルとして表した図である。さらに図16における質量mとmaの上下を入れ替え、足6のばね要素を等価的に置き換えると、図19のようなモデルで表すことができる。図19は図16の等価モデルの変形例を表した図である。図19において、各要素は下記の通りである。
m:図1における可動テーブル1と駆動系2と機台3の質量の和
ma:図1における電子機器筐体4の質量
k :図1における足6のばね定数
ka:図1におけるコイルばね5のばね定数
x :図1における機台3の位置
xa:図1における電子機器筐体4の位置
fcosΩt:図1において可動テーブルの動作によって発生する外力
Ω :可動テーブルが駆動する際の角振動数
図19のモデルは、一般的な動吸振器のモデルである。すなわち、図1のような機械は、結合部をばねで構成し、機台3と電子機器筐体4の質量および結合部のばね定数を次式に従って設計することにより、本来の構造に不要な装置の追加なしに機台の振動を低減することができる。
すなわち、次式のように電子機器筐体4の固有角振動数ωaを、可動テーブル1と駆動系2と機台3よりなる機械の固有角振動数ωnに一致するようにばね要素のばね定数を設計すればよい。
ωa=ωn (1)
ここで、各定数は下記の通りである。
ωa=(ka/ma)1/2:電子機器筐体の固有角振動数 (2)
ωn=(k/m)1/2:可動テーブル1と駆動系2と機台3で構成される機械の固有角振動数 (3)
【0013】
以下、具体的な設計方法について述べる。
まず、電子機器筐体以外の機械、すなわち可動テーブル1と駆動系2と機台3を通常通り設計する。この時点で、可動テーブル1を動かしたときの振動周波数fn(=ωn/2π)を測定しておけばよい。あるいは、(3)式で固有角振動数を計算してもよい。
次に、電子機器筐体の質量maは、該筐体の質量とコントローラ42、サーボドライバ41等の内蔵物により決まる。結合要素(ばね)のばね定数kaは、(1)式と(2)式からωaを消去すると、
ka=maωn 2 (4)
で計算できる。
この計算から求められたばね定数kaとなるように可動テーブル1と駆動系2と機台3で構成される機械と電子機器筐体4の接続部の設計を行うと、電子機器筐体は該機械に対する動吸振器として挙動する。
このように該機械と電子機器筐体を設計することで本来の構造に不要な装置を追加することなく、機械の振動を低減することができる。
例えば、可動テーブル1と駆動系2と機台3の質量の和m=100[kg]で、足6のばね定数k=1.58×106[N/m]のとき、機械の固有振動数f=20[Hz]であるので、該機械の固有角振動数は、
ωn=2π×20=125.7[rad/s] (5)
である。この機械に対して、電子機器筐体を設計する。
電子機器筐体の質量をma=20[kg]とすると、(4)式より、
ka=maωn 2=20×125.72=3.16×105[N/m] (6)
となり、kaを計算より求めることができる。この程度のばね定数は通常市販されているコイルばねで容易に実現が可能である。この場合のばねは、機台3もしくは足6と電子機器筐体4との結合に必要なものである。
図21は本発明の第1実施例による効果の確認を示した振動特性の図であり、横軸に可動テーブルが駆動する際の角振動数Ωと、可動テーブル1と駆動系2と機台3で構成の機械の固有振動数ωnとの比を取り、縦軸に電子機器筐体の位置に対する機台の位置の比、すなわち振幅比を取り、上述の各定数をもとにプロットしたものである。ただし、より実機に即するため足6にも減衰係数を想定し、減衰率ζを
ζ=c/{2(mk)1/2}=0.01 (7)
としている。
図21より分かるように、角振動数Ωと機械の固有振動数ωnが一致したとき共振が発生して機台の振幅は最も大きくなる。それに対して、本発明では角振動数Ωと機械の固有振動数ωnが一致しても共振は発生しない。
ただし、Ω=ωnより高い周波数と低い周波数で新たな共振が発生するため、角振動数Ωの変化が小さいことが必要である。なお、新たに発生する2つの共振周波数(図21中のf1とf2)の差は、機械と電子機器筐体との質量比
μ=ma/m (8)
が大きいほど大きくなる。
【0014】
したがって、第1実施例は、可動テーブル1と駆動系2からなる可動機構Mと、可動機構Mを搭載した機台3と、駆動系2を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体4と、機台3を床7に弾性支持する足6(第1ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生する第2ばね5とを備える構成にしたので、電子機器筐体4は可動機構Mと機台3で構成される機械に対する動吸振器として作用させることから、機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することが可能な制振装置を提供することができる。また、機台の振動が低減されるので、サーボ系が高ゲイン化でき、高速応答が可能となる。
【00015】
(第2実施例)
次に本発明の第2実施例を説明する。
図5は本発明の第2実施例を示す制振装置の正面図である。
第2実施例が第1実施例と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、機台3と電子機器筐体4の間に機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生する減衰手段であるオイルダンパ10が設けられた点である。
このとき、図5に示した装置の機械要素を模式的に表すと図14のようになる。図14は図5の制振装置を模式的に表した図である。図14は力の向きや変位が水平方向であるが、力学的に等価であるように垂直方向へ軸を書き直すと、図17のようなモデルで表すことができる。図17は図14の制振装置を等価モデルとして表した図である。さらに図17における質量mとmaの上下を入れ替え、足6のばね要素を等価的に置き換えると、図20のようなモデルで表すことができる。図20は図17の等価モデルの変形例を表した図である。図20において、各要素は下記の通りである。
m :図5における可動テーブル1と駆動系2と機台3の質量の和
ma:図5における電子機器筐体4の質量
k:図5における足6のばね定数
ca:図5におけるオイルダンパ10の減衰係数
x :図5における機台3の位置
xa:図5における電子機器筐体4の位置
fcosΩt:図5において可動テーブルの動作によって発生する外力
Ω :可動テーブルが駆動する際の角振動数
図5のような機械において、機台の足6と電子機器筐体4との結合部14を水平方向に力を受けるようなダンパで構成する。
図20のモデルは、一般的な動吸振器のモデルである。すなわち、図5のような機械は、結合部をダンパで構成し、機台3と電子機器筐体4の質量および結合部の減衰係数を次式に従って設計することにより、本来の構造に不要な装置の追加なしに機台の振動を低減することができる。
すなわち、電子機器筐体4の減衰比ζaと、機械と電子機器筐体との質量比μが次式を満足するように減衰要素の減衰係数を設計すればよい。
ζa=[1/{2(2+μ)(1+μ)}]1/2 (9)
ここで、各定数は下記の通りである。
μ=ma/m:機械と電子機器筐体との質量比 (10)
ζa=ca/(2maωn):電子機器筐体の減衰比 (11)
ωn=(k/m)1/2:機械の固有角振動数 (12)
ma:電子機器筐体の質量 (13)
ca:電子機器筐体の減衰係数 (14)
【0016】
以下、具体的な設計方法について述べる。
まず、電子機器筐体以外の機械、すなわち可動テーブル1と駆動系2と機台3を通常通り設計する。この時点で、機械の質量mおよび可動テーブルを動かしたときの振動周波数ωnを測定しておけばよい。あるいは、(12)式で固有角振動数を計算してもよい。
次に、電子機器筐体の質量maは、ボックス質量とコントローラ、サーボドライバ等の内蔵物により決まる。結合要素(ダンパ)の減衰係数caは、(9)式と(11)式からζaaを消去すると、
ca=2maωn[1/{2(2+μ)(1+μ)}]1/2 (15)
で計算できる。
この計算から求められた減衰係数caとなるように機械と電子機器筐体の接続部の設計を行うと、電子機器筐体は機械に対する動吸振器として挙動する。
このように機械と電子機器筐体を設計することで本来の構造に不要な装置を追加することなく、機械の振動を低減することができる。
例えば、可動テーブル1と駆動系2と機台3の質量の和m=100[kg]で、足6のばね定数k=1.58×106[N/m]のとき、機械固有振動数f=20[Hz]であるので、機械の固有角振動数は、
ωn=2π×20=125.7[rad/s] (16)
である。この機械に対して、電子機器筐体を設計する。
機械と電子機器筐体との質量比はμ=0.2であるから、電子機器筐体の質量は、
ma=100×0.2=20[kg]
である。このとき、(15)式より、
となり、caを計算より求めることができる。この程度の減衰係数は通常市販されているダンパで容易に実現が可能である。また、必ずしも単数で実現する必要はなく、ダンパ複数の減衰係数の総和が上記数値となればよいので実現の難度は非常に低い。この場合のダンパは、機台3もしくは足6と電子機器筐体4との結合に必要なものである。
図22は本発明の第2実施例による効果の確認を示した振動特性の図であり、横軸に可動テーブルが駆動する際の角振動数Ωと、可動テーブル1と駆動系2と機台3で構成の機械の固有振動数ωnとの比を取り、縦軸に電子機器筐体の位置に対する機台の位置の比、すなわち振幅比を取り、上述の各定数をもとにプロットしたものである。ただし、より実機に即するため足6にも減衰係数を想定し、減衰率ζを
ζ=c/{2(mk)1/2}=0.01 (18)
とした。
図22より分かるように、外力の角振動数Ωと機械の固有振動数ωnが一致したとき共振が発生して機台の振幅は最も大きくなる。それに対して、本発明では外力の角振動数Ωと機械の固有振動数ωnの比が、
Ω/ωn={2/(2+μ)}1/2 (19)
のとき、機台の振幅は最大となり、その振幅は機械と電子機器筐体を剛体結合したときと比較して約1/5の振幅に抑えられる。
【0017】
したがって、第2実施例は可動テーブル1と駆動系2からなる可動機構Mと、可動機構Mを搭載した機台3と、駆動系2を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体4と、機台3を床7に弾性支持する足6(第1ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生するオイルダンパ10(減衰手段)とを備える構成にしたので、電子機器筐体4は可動機構Mと機台3で構成される機械に対する動吸振器として作用させることから、第1実施例と同様に機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することが可能な制振装置を提供することができる。また、機台の振動が低減されるので、サーボ系が高ゲイン化でき、高速応答が可能となる。
【0018】
(第3実施例)
次に本発明の第3実施例を説明する。
図6は本発明の第3実施例を示す制振装置の正面図である。
第3実施例が第1実施例と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生するコイルばね5(第2ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生するオイルダンパ10(減衰手段)とを備えた点である。
このとき、図6に示した装置の機械要素を模式的に表すと図12のようになる。図12は図6の制振装置を模式的に表した図である。図12は力の向きや変位が水平方向であるが、力学的に等価であるように垂直方向へ軸を書き直すと、図15のようなモデルで表すことができる。図15は図12の制振装置を等価モデルとして表した図である。さらに図15における質量mとmaの上下を入れ替え、足6のばね要素を等価的に置き換えると、図18のようなモデルで表すことができる。図18は図15の等価モデルの変形例を表した図である。図18において、各要素は下記の通りである。
m:図6における可動テーブル1と駆動系2と機台3の質量の和
ma:図6における電子機器筐体4の質量
k:図6における足6のばね定数
ka:図6におけるコイルばね5のばね定数
ca:図6におけるオイルダンパ10の減衰係数
x:図6における機台3の位置
xa:図6における電子機器筐体4の位置
fcosΩt:図6において可動テーブルの動作によって発生する外力
Ω :可動テーブルが駆動する際の角振動数
図18のモデルは、一般的な動吸振器のモデルである。すなわち、図6のような機械は、結合部をばねとダンパで構成し、機台3と電子機器筐体4の質量および結合部のばね定数と減衰係数を次式に従って設計することにより、本来の構造に不要な装置の追加なしに機台の振動を低減することができる。
すなわち、次式のように電子機器筐体4の固有角振動数ωaと機械の固有角振動数ωnの比と機械と電子機器筐体との質量比μが(20)式を満足するようにばね要素のばね定数を設計し、電子機器筐体4の減衰比ζaと、機械と電子機器筐体との質量比μが(21)式を満足するように減衰要素の減衰係数を設計すればよい。
ωa/ωn=1/(1+μ)<1 (20)
ζa=ca/cca=[3μ/{8(1+μ)}]1/2 (21)
ここで、各定数は下記の通りである。
μ=ma/m:機械とコントローラボックスとの質量比 (22)
cca=2(maka)1/2:コントローラボックスの臨界減衰係数 (23)
ωa=(ka/ma)1/2:コントローラボックスの固有角振動数 (24)
ωn=(k/m)1/2:機械の固有角振動数 (25)
m:機械の質量 (26)
k:機械のばね定数 (27)
ma:電子機器筐体の質量 (28)
ka:電子機器筐体のばね定数 (29)
ca:電子機器筐体の減衰係数 (30)
【0019】
以下、具体的な設計方法について述べる。
まず、電子機器筐体以外の機械を通常通り設計する。この時点で、機械の質量mおよび可動テーブルを動かしたときの振動周波数ωnを測定しておけばよい。あるいは、(25)式で固有角振動数を計算してもよい。
次に、電子機器筐体の質量maは該筐体の質量とコントローラ42、サーボドライバ41等の内蔵物により決まる。結合要素(ばね)のばね定数kaは、(20)式と(24)式からωaを消去すると、
ka=ma{ωn/(1+μ)}1/2 (31)
で計算できる。
また、結合要素(ダンパ)の減衰係数caは、(21)式と(23)式より、ccaを消去すると、
ca=2[3μmaka/{8(1+μ)}]1/2 (32)
で計算できる。
これらの計算から求められたばね定数kaと減衰係数caとなるように機械と電子機器筐体の接続部の設計を行うと、電子機器筐体は機械に対する動吸振器として挙動する。
このように機械と電子機器筐体を設計することで本来の構造に不要な装置を追加することなく、機械の振動を低減することができる。
例えば、可動テーブル1と駆動系2と機台3の質量の和m=100[kg]で、足6のばね定数k=1.58×106[N/m]のとき、機械固有振動数f=20[Hz]であるので、機械の固有角振動数は、
ωn=2π×20=125.7[rad/s] (33)
である。この機械に対して、電子機器筐体を設計する。
機械と電子機器筐体との質量比をμ=0.2であるから、電子機器筐体の質量は、
ma=100×0.2=20[kg]
である。このとき、(31)式より、
ka=ma{ωn/(1+μ)}2=20×{125.7/(1+0.2)}2=2.19×105[N/m] (34)
となり、kaを計算より求めることができる。また、(32)式より、
ca=2[3μmaka/{8(1+μ)}]1/2=2[(3×0.2×20×2.19×105)/{8(1+0.2)}]1/2=1047[Ns/m] (35)
となり、caを計算より求めることができる。この程度のばね定数や減衰係数は通常市販されているコイルばねやダンパで容易に実現が可能である。この場合のばねやダンパは、機台3もしくは足6と電子機器筐体4との結合に必要なものである。
図23は本発明の第3実施例による効果の確認を示した振動特性の図であり、横軸に可動テーブルが駆動する際の角振動数Ωと、可動テーブル1と駆動系2と機台3で構成の機械の固有振動数ωnとの比を取り、縦軸に電子機器筐体の位置に対する機台の位置の比、すなわち振幅比を取り、上述の各定数をもとにプロットしたものである。ただし、より実機に即するため足6にも減衰係数を想定し、減衰率ζを
ζ=c/{2(mk)1/2}=0.01 (36)
とした。
図23より分かるように、外力の角振動数Ωと機械の固有振動数ωnが一致したとき共振が発生して機台の振幅は最も大きくなる。それに対して、本発明の機台の振幅は、機械と電子機器筐体を剛体結合したときと比較して1/10以下の振幅に抑えられる。
【0020】
したがって、第3実施例は可動テーブル1と駆動系2からなる可動機構Mと、可動機構Mを搭載した機台3と、駆動系2を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体4と、機台3を床6に弾性支持する足6(第1ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生するコイルばね5(第2ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生するオイルダンパ10(減衰手段)とを備える構成にしたので、電子機器筐体4は可動機構Mと機台3で構成される機械に対する動吸振器として作用させることから、第1実施例及び第2実施例と同様に機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することが可能な制振装置を提供することができる。また、機台の振動が低減されるので、サーボ系が高ゲイン化でき、高速応答が可能となる。
【0021】
なお、第1実施例において、制振装置の第2ばねとしてコイルばねを用いた例を示したが、これに替えて図3及び図4に示す変形例のようにしても構わない。例えば、図3のようにコイルばねの代わりに皿ばね8を使用したり、図4のように板ばね9を使用しても差し支えない。
また、第3実施例において、制振装置の第2ばねにコイルばねを、減衰手段にオイルダンパを用いた例を示したが、これに替えて図7乃至図11に示す変形例のようにしても構わない。例えば、図7や図11のようにコイルばね5とオイルダンパ10の代わりにゴム11を使用したり、図8のように皿ばね12とゴム11、図9のように板ばね9と吸振材13、図10のように板ばね9とゴム11を使用することも考えられる。
【0022】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば以下の効果がある。
(1)第1実施例は、可動テーブル1と駆動系2からなる可動機構Mと、可動機構Mを搭載した機台3と、駆動系2を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体4と、機台3を床7に弾性支持する足6(第1ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生する第2ばね5とを備える構成にしたため、電子機器筐体4は可動機構Mと機台3で構成される機械に対する動吸振器として作用させることから、機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することが可能な制振装置を提供することができる。また、機台の振動が低減されるので、サーボ系が高ゲイン化でき、高速応答が可能となる。
(2)第2実施例は、可動テーブル1と駆動系2からなる可動機構Mと、可動機構Mを搭載した機台3と、駆動系2を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体4と、機台3を床7に弾性支持する足6(第1ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生するオイルダンパ10(減衰手段)とを備える構成にしたため、電子機器筐体4は可動機構Mと機台3で構成される機械に対する動吸振器として作用させることから、第1実施例と同様に機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することが可能な制振装置を提供することができる。また、機台の振動が低減されるので、サーボ系が高ゲイン化でき、高速応答が可能となる。
(3)第3実施例は、可動テーブル1と駆動系2からなる可動機構Mと、可動機構Mを搭載した機台3と、駆動系2を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体4と、機台3を床6に弾性支持する足6(第1ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生するコイルばね5(第2ばね)と、機台3と電子機器筐体4の間に設けられ、機台3に対する電子機器筐体4の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生するオイルダンパ10(減衰手段)とを備える構成にしたため、電子機器筐体4は可動機構Mと機台3で構成される機械に対する動吸振器として作用させることから、第1実施例及び第2実施例と同様に機械の質量が増加することなく、機械の水平方向の振動を抑制することが可能な制振装置を提供することができる。また、機台の振動が低減されるので、サーボ系が高ゲイン化でき、高速応答が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す制振装置の正面図である。
【図2】第1従来技術を示す制振装置の正面図である。
【図3】第1実施例の変形例を示す制振装置の正面図である。
【図4】第1実施例の変形例を示す制振装置の正面図である。
【図5】本発明の第2実施例を示す制振装置の正面図である。
【図6】本発明の第3実施例を示す制振装置の正面図である。
【図7】本発明の第3実施例の変形例を示す制振装置の正面図である。
【図8】本発明の第3実施例の変形例を示す制振装置の正面図である。
【図9】本発明の第3実施例の変形例を示す制振装置の正面図である。
【図10】本発明の第3実施例の変形例を示す制振装置の正面図である。
【図11】本発明の第3実施例の変形例を示す制振装置の正面図である。
【図12】図6の制振装置を模式的に表した図である。
【図13】図1の制振装置を模式的に表した図である。
【図14】図5の制振装置を模式的に表した図である。
【図15】図12の制振装置を等価モデルとして表した図である。
【図16】図13の制振装置を等価モデルとして表した図である。
【図17】図14の制振装置を等価モデルとして表した図である。
【図18】図15の等価モデルの変形例を表した図である。
【図19】図16の等価モデルを簡略化した図である。
【図20】図17の等価モデルを簡略化した図である。
【図21】本発明の第1実施例による効果の確認を示した振動特性の図である。
【図22】本発明の第2実施例による効果の確認を示した振動特性の図である。
【図23】本発明の第3実施例による効果の確認を示した振動特性の図である。
【符号の説明】
1 可動テーブル、
2 駆動系
3 機台
4 電子機器筐体
41 サーボドライバ
42 コントローラ
5 コイルばね(第2ばね)
6 足(第1ばね)
7 床
8 皿ばね(第2ばね)
9 板ばね(第2ばね)
10 オイルダンパ(減衰手段)
11 ゴム
12 皿ばね(第2ばね)
13 吸振材(減衰手段)
Claims (3)
- 構造物の振動を抑制する制振装置において、
可動テーブルと駆動系からなる可動機構と、前記可動機構を搭載した機台と、前記駆動系を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体と、前記機台を床に弾性支持する第1ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生する第2ばねとを備えたことを特徴とする制振装置。 - 構造物の振動を抑制する制振装置において、
可動テーブルと駆動系からなる可動機構と、前記可動機構を搭載した機台と、前記駆動系を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体と、前記機台を床に弾性支持する第1ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生する減衰手段とを備えたことを特徴とする制振装置。 - 構造物の振動を抑制する制振装置において、
可動テーブルと駆動系からなる可動機構と、前記可動機構を搭載した機台と、前記駆動系を駆動する駆動装置などを収納するための電子機器筐体と、前記機台を床に弾性支持する第1ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の大きさに応じたばね力を発生する第2ばねと、前記機台と前記電子機器筐体の間に設けられ、前記機台に対する前記電子機器筐体の水平方向の変位の速度に応じた減衰力を発生する減衰手段とを備えたことを特徴とする制振装置。
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