NL7607473A - Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting. - Google Patents

Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting.

Info

Publication number
NL7607473A
NL7607473A NL7607473A NL7607473A NL7607473A NL 7607473 A NL7607473 A NL 7607473A NL 7607473 A NL7607473 A NL 7607473A NL 7607473 A NL7607473 A NL 7607473A NL 7607473 A NL7607473 A NL 7607473A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
spraying
spraying device
Prior art date
Application number
NL7607473A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL7607473A priority Critical patent/NL7607473A/xx
Priority to ZA00773538A priority patent/ZA773538B/xx
Priority to DE19772729286 priority patent/DE2729286A1/de
Priority to CA281,665A priority patent/CA1081656A/en
Priority to AU26688/77A priority patent/AU506847B2/en
Priority to GB27861/77A priority patent/GB1587566A/en
Priority to IT25372/77A priority patent/IT1076083B/it
Priority to CH820677A priority patent/CH618289A5/de
Priority to BR7704375A priority patent/BR7704375A/pt
Priority to SE7707729A priority patent/SE7707729L/
Priority to ES460405A priority patent/ES460405A1/es
Priority to FR7720561A priority patent/FR2358020A1/fr
Priority to JP8035277A priority patent/JPS536282A/ja
Priority to AT482777A priority patent/AT352493B/de
Publication of NL7607473A publication Critical patent/NL7607473A/xx
Priority to JP1983128511U priority patent/JPS6028689Y2/ja

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405—Magnetron sputtering

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
NL7607473A 1976-07-07 1976-07-07 Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting. NL7607473A (nl)

Priority Applications (15)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7607473A NL7607473A (nl) 1976-07-07 1976-07-07 Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting.
ZA00773538A ZA773538B (en) 1976-07-07 1977-06-13 Sputtering device and method of sputtering by means of such a device
DE19772729286 DE2729286A1 (de) 1976-07-07 1977-06-29 Zerstaeubungsvorrichtung und verfahren zum zerstaeuben mit hilfe einer derartigen vorrichtung
CA281,665A CA1081656A (en) 1976-07-07 1977-06-29 Sputtering device and method of sputtering by means of such a device
AU26688/77A AU506847B2 (en) 1976-07-07 1977-07-01 Sputtering device and method
CH820677A CH618289A5 (en) 1976-07-07 1977-07-04 Cathode arrangement for an atomising device
IT25372/77A IT1076083B (it) 1976-07-07 1977-07-04 Dispositivo epr proiezione molecolare e metodo di proiezione molecolare condotto con l'impiego di tale dispositivo
GB27861/77A GB1587566A (en) 1976-07-07 1977-07-04 Sputtering device and method
BR7704375A BR7704375A (pt) 1976-07-07 1977-07-04 Dispositivo e processo de pulverizacao catodica
SE7707729A SE7707729L (sv) 1976-07-07 1977-07-04 Sett och anordning for katodforstoftning
ES460405A ES460405A1 (es) 1976-07-07 1977-07-05 Un dispositivo de pulverizacion ionica.
FR7720561A FR2358020A1 (fr) 1976-07-07 1977-07-05 Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif
JP8035277A JPS536282A (en) 1976-07-07 1977-07-05 Spattering process and apparatus
AT482777A AT352493B (de) 1976-07-07 1977-07-06 Zerstaeubungsvorrichtung zum zerstaeuben von material
JP1983128511U JPS6028689Y2 (ja) 1976-07-07 1983-08-22 スパツタリング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7607473A NL7607473A (nl) 1976-07-07 1976-07-07 Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7607473A true NL7607473A (nl) 1978-01-10

Family

ID=19826537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7607473A NL7607473A (nl) 1976-07-07 1976-07-07 Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting.

Country Status (14)

Country Link
JP (2) JPS536282A (pt)
AT (1) AT352493B (pt)
AU (1) AU506847B2 (pt)
BR (1) BR7704375A (pt)
CA (1) CA1081656A (pt)
CH (1) CH618289A5 (pt)
DE (1) DE2729286A1 (pt)
ES (1) ES460405A1 (pt)
FR (1) FR2358020A1 (pt)
GB (1) GB1587566A (pt)
IT (1) IT1076083B (pt)
NL (1) NL7607473A (pt)
SE (1) SE7707729L (pt)
ZA (1) ZA773538B (pt)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4275126A (en) * 1978-04-12 1981-06-23 Battelle Memorial Institute Fuel cell electrode on solid electrolyte substrate
GB2028377B (en) * 1978-08-21 1982-12-08 Vac Tec Syst Magnetically-enhanced sputtering device
GB2051877B (en) * 1979-04-09 1983-03-02 Vac Tec Syst Magnetically enhanced sputtering device and method
JPS584923Y2 (ja) * 1979-04-20 1983-01-27 株式会社 徳田製作所 横型スパッタリング装置
US4356073A (en) * 1981-02-12 1982-10-26 Shatterproof Glass Corporation Magnetron cathode sputtering apparatus
JPS59116375A (ja) * 1982-11-26 1984-07-05 Kawasaki Heavy Ind Ltd スパッタリング装置
DE3316548C2 (de) * 1983-03-25 1985-01-17 Flachglas AG, 8510 Fürth Verfahren zur Beschichtung eines transparenten Substrates
JPS59179782A (ja) * 1983-03-31 1984-10-12 Kawasaki Heavy Ind Ltd スパツタリング装置の電極部構造
DE3406953C2 (de) * 1983-04-19 1986-03-13 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Verfahren zum Erwärmen von Heizgut in einem Vakuumrezipienten
JPS59169352U (ja) * 1983-04-25 1984-11-13 川崎重工業株式会社 スパツタリング装置の電極部構造
CH659346A5 (de) * 1983-05-10 1987-01-15 Balzers Hochvakuum Vorrichtung zum behandeln der innenwand eines rohres.
CH668565A5 (de) * 1986-06-23 1989-01-13 Balzers Hochvakuum Verfahren und anordnung zum zerstaeuben eines materials mittels hochfrequenz.
AT392291B (de) * 1987-09-01 1991-02-25 Miba Gleitlager Ag Stabfoermige sowie magnetron- bzw. sputterkathodenanordnung, sputterverfahren, und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE4018914C1 (pt) * 1990-06-13 1991-06-06 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
DE4042417C2 (de) * 1990-07-17 1993-11-25 Balzers Hochvakuum Ätz- oder Beschichtungsanlage sowie Verfahren zu ihrem Zünden oder intermittierenden Betreiben
DE4022708A1 (de) * 1990-07-17 1992-04-02 Balzers Hochvakuum Aetz- oder beschichtungsanlagen
DE4107505A1 (de) * 1991-03-08 1992-09-10 Leybold Ag Verfahren zum betrieb einer sputteranlage und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
WO1995032517A1 (fr) * 1994-05-24 1995-11-30 Rossiisko-Shveitsarskoe Aktsionernoe Obschestvo Zakrytogo Tipa 'nova' Procede de production d'une decharge electrique et son dispositif de mise en ×uvre
DE19623359A1 (de) * 1995-08-17 1997-02-20 Leybold Ag Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats
DE19652633A1 (de) * 1996-09-13 1998-03-19 Euromat Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Innenbeschichten metallischer Bauteile
DE19727647A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Leybold Ag Vorrichtung zum Beschichten eines Substratkörpers mittels Kathodenzerstäubung
JP5781408B2 (ja) * 2011-09-07 2015-09-24 株式会社アルバック マグネトロンスパッタカソード
US9111734B2 (en) 2013-10-31 2015-08-18 General Electric Company Systems and method of coating an interior surface of an object
US20150114828A1 (en) * 2013-10-31 2015-04-30 General Electric Company Systems and method of coating an interior surface of an object
JP2022178656A (ja) * 2021-05-20 2022-12-02 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 非蒸発型ゲッタコーティング装置、非蒸発型ゲッタコーティング容器・配管の製造方法、非蒸発型ゲッタコーティング容器・配管

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3884793A (en) * 1971-09-07 1975-05-20 Telic Corp Electrode type glow discharge apparatus
JPS516017B2 (pt) * 1972-09-08 1976-02-24
US4166018A (en) * 1974-01-31 1979-08-28 Airco, Inc. Sputtering process and apparatus
US3956093A (en) * 1974-12-16 1976-05-11 Airco, Inc. Planar magnetron sputtering method and apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
FR2358020A1 (fr) 1978-02-03
AT352493B (de) 1979-09-25
IT1076083B (it) 1985-04-22
ES460405A1 (es) 1978-05-01
CA1081656A (en) 1980-07-15
ATA482777A (de) 1979-02-15
JPS6028689Y2 (ja) 1985-08-30
DE2729286C2 (pt) 1988-05-11
JPS5947654U (ja) 1984-03-29
CH618289A5 (en) 1980-07-15
ZA773538B (en) 1979-01-31
DE2729286A1 (de) 1978-01-12
BR7704375A (pt) 1978-05-16
FR2358020B1 (pt) 1982-11-12
GB1587566A (en) 1981-04-08
SE7707729L (sv) 1978-01-08
AU506847B2 (en) 1980-01-24
JPS536282A (en) 1978-01-20
AU2668877A (en) 1979-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7607473A (nl) Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting.
NL7707796A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verspuiten van pesticiden.
NL7700521A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een con- servenblik en inrichting voor de uitvoering van deze werkwijze.
NL7702647A (nl) Analyse-inrichting en werkwijze voor het analy- seren.
NL7712463A (nl) Osmotisch bediende afgifte-inrichting alsmede werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL186796C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een ultrasone verstuiverinrichting.
NL7608736A (nl) Werkwijze en inrichting voor het maken van een tomogram.
NL7703591A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bekleden van onderdelen.
NL7612913A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een schijf met integrale schoepen.
NL7701367A (nl) Werkwijze en inrichting voor het etsen.
NL7708157A (nl) Werkwijze voor het monteren van een depper.
NL7706000A (nl) Werkwijze voor het hydrolyseren van een glyce- rolester.
NL7808979A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vormen van een van een centrale opening voorzien deel.
NL7711587A (nl) Werkwijze en inrichting voor het begassen van een vloeistof.
NL7804793A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een ritssluiting.
NL7703275A (nl) Werkwijze en apparaat voor verplaatsing over een oppervlak.
NL7710712A (nl) Elektrochemische inrichting en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL7711457A (nl) Werkwijze en inrichting voor het omwikkelen van een voorwerp.
NL7900024A (nl) Rectificeermethode alsmede inrichting voor het toepas- sen daarvan.
NL7805986A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een gelamineerde struktuur.
NL178487C (nl) Inrichting en werkwijze voor het versproeien van een vloeistof.
NL7702663A (nl) Werkwijze en inrichting voor het behandelen van een vloeistof.
NL181218C (nl) Inrichting voor het behandelen van een metaalsmelt met een gas.
NL7713071A (nl) Werkwijze en inrichting voor het ontstapelen.
NL7709411A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed