KR980005405A - 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자의 제조방법에 관한 것으로 특히, 폴리 플러그의 안전성을 개선하여 소자의 신뢰성을 향상시키는데 적당하도록 한 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법은 반도체 기판상에 도프트 글래스막을 형성하여 고온 열처리로 평탄화시키는 공정과, 상기 도프트 글래스막을 포함한 전면에 감광막을 형성하는 공정과, 상기 감광막을 노광 및 현상 공정으로 패터닝하여 상기 반도체 기판의 표면이 노출되게 콘택홀을 형성하는 공정과, 상기 콘택홀 내부에 폴리 플러그를 형성하는 공정과, 상기 폴리 플러그를 포함한 전면에 제1절연막을 형성하는 공정과, 상기 콘택홀 상측의 제1절연막을 선택적으로 식가하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도(a) - (f)는 본 발명의 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법을 나타낸 공정 단면도.
Claims (5)
- 반도체 기판상에 도프트 글래스막을 형성하여 고온 열처리로 평탄화시키는 공정과, 상기 도프트 글래스막을 포함한 전면에 감광막을 형성하는 공정과, 상기 감광막을 노광 및 현상 공정으로 패터닝하여 상기 반도체 기판의 표면이 노출되게 콘택홀을 형성하는 공정과, 상기 콘택홀 내부에 폴리 플러그를 형성하는 공정과, 상기 폴리 플러그를 포함한 전면에 제1절연막을 형성하는 공정과, 상기 콘택홀 상측의 제1절연막을 선택적으로 식각하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1절연막은 불산을 사용하여 선택적으로 제거함을 특징으로 하는 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1절연막은 도프트 글래스막과 식각 선택비가 다른 물질이고 식각선택비는 1 : 2이상인것을 특징으로 하는 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1절연막은 폴리 실리콘막과 불산 식각 선택비가 다른 물질이고 식각 선택비가 10 : 1이상인것을 특징으로 하는 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1절연막은 상압, 저압, 저압 플라즈마 화학기상증착법에 의해 형성됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960020647A KR100186504B1 (ko) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019960020647A KR100186504B1 (ko) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR980005405A true KR980005405A (ko) | 1998-03-30 |
| KR100186504B1 KR100186504B1 (ko) | 1999-04-15 |
Family
ID=19461346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960020647A KR100186504B1 (ko) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 반도체 소자의 폴리 플러그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100186504B1 (ko) |
-
1996
- 1996-06-10 KR KR1019960020647A patent/KR100186504B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100186504B1 (ko) | 1999-04-15 |
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