KR970077477A - 자동 웨이퍼 래핑시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼를 카세트로부터 래핑기계상의 웨이퍼 캐리어내로 한 번에 하나씩, 차례로 적재하는 로봇을 포함하는 자동 웨이퍼 래핑시스템이다. 이 로봇은 각각의 주행거리사이에서 웨이퍼두께를 측정하여 래핑기계를 재 교정하기 위한 두께계측장치로 래핑된 웨이퍼를 운반할 수 있다. 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 캐리어의 개구부는 웨이퍼와 캐리어간의 최소한의 상대운동을 위하여 웨이퍼에 근접한 크기로 되어 있다. 로봇을 위한 센터링지그 및 탐색 프로그램은 개구부안에서 웨이퍼의 신속한 위치선정을 용이하게 한다. 래핑시스템은 또한 웨이퍼가 결합이 있는 지를 검사하고 래핑후 그에 맞게 이 웨이퍼를 분류한다.

Description

자동 웨이퍼 래핑시스템

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 반도체 웨이퍼 래핑시스템의 개략 평면도.

Claims (10)

1. 래핑될 복수의 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 홀딩스테이션; 상부 및 하부 래핑 플레이트사와 하부 래핑 플레이트사에 일방적으로 위치된 다중 웨이퍼 캐리어를 포함하고 상기 웨이퍼 캐리어 각각은 웨이퍼를 수용하고 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어와 공동으로 이동하도록 상부 및 하부 래핑기계 플레이트사이에서 정위치로 웨이퍼를 유지하기 위한 상기 캐리어를 관통하는 다중 개구부를 가지고 있으며, 웨이퍼 캐리어와 상부 및 하부 플레이트간의 상대운동을 위해 구성되어 있으므로, 이에 따라 웨이퍼로부터 재료를 제거하여 소정의 웨이퍼 두께를 달성하고 상부 래핑 플레이트는 웨이퍼를 적재 및 내리기 위하여 웨이퍼 캐리어를 노출시키도록 하부 래핑 플레이트위의 위치와 하부 래핑 플레이트로부터 이격된 위치사이에서 이동가능한 웨이퍼 래핑기계; 웨이퍼 홀딩스테이션과 웨이퍼 래핑기계에 근접하게 배치되고 홀딩스테이션의 밖으로 한 번에 하나씩 차례로 홀딩스테이션안의 웨이퍼를 들어올리고, 홀딩스테이션으로부터 웨이퍼 래핑기계로 각각의 웨이퍼를 운반하고, 그리고 래핑을 위하여 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에 적재하도록 하부 래핑 플레이트상의 웨이퍼 캐리어의 개구부들중 각각의 개구부안에 웨이퍼를 위치시키고, 그리고 래핑후 래핑기계로부터 웨이퍼를 한 번에 하나씩 차례로 내리는 구조로 되어 있는 웨이퍼 운반기구로 이루어진 자동 웨이퍼 래핑시스템.
2. 제1항에 있어서, 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어의 개구부중 하나 안에 수용을 위하여 배치되도록 웨이퍼 운반기구에 대하여 웨이퍼를 위치시키기 위한 웨이퍼 센터링지그를 더 포함하고, 상기 웨이퍼 센터링지그는 지그의 중심의 마주보고 있는 측면에 서로로부터 실질적으로 등거리 이격된 죠를 포함하고, 상기 죠는 죠가 웨이퍼를 죠사이에서 수용하도록 이격된 개방위치와 죠가 서로 근접해 있으므로 이에 따라 웨이퍼의 중심을 지그의 중심과 일반적으로 일치하도록 이동시키는 폐쇄위치사이에서 이동가능하고, 상기 웨이퍼 운반기구는 지그안에 웨이퍼를 위치시키고 센터링후 지그로부터 웨이퍼를 회수하도록 작동 가능하다는 것을 특징으로 하는 자동 웨이퍼 래핑시스템.
3. 제2항에 있어서, 상기 웨이퍼 운반기구는 한번에 웨이퍼중 하나를 해제가능하게 파지하기위하여 말단부에 그리퍼장치를 포함하는 제1로봇, 홀딩스테이션으로부터 샌터링지그로 웨이퍼를 운반하기 위하여 한 번에 하나의 웨이퍼를 해제가능하게 파지 하도록 된 제2로봇으로 이루어지고, 상기 제1로봇은 센터링지그로부터 웨이퍼를 들어올리고 래핑기계상의 웨이퍼 캐리어중의 하나의 개구부중 하나, 다른 센터링지그 및 오프로드스테이션안에 이 웨이퍼를 적재하도록 작동가능하고, 래핑기계로부터 래핑된 웨이퍼를 내리고 상기 다른 센터림지그로 래핑된 웨이퍼를 운반할 수 있고, 그리고, 여기서 운반기구는 상기 다른 센터링지그로부터 래핑된 웨이퍼를 들어올리고 오프로드스테이션안에 이 웨이퍼를 위치시키기 위한 제3로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 웨이퍼 래핑시스템.
4. 제2항에 있어서, 웨이퍼 운반기구는 제어하기 위한 제어장치와 웨이퍼 래핑기계상의 본 위치에서 웨이퍼 캐리어의 방위를 탐지하고 신호를 그 신호를 지시하는 제어장치를 제공하는 웨이퍼 캐리어방위탐지기를 더 포함하고, 상기 제어장치는 각각의 웨이퍼의 동일성이래핑후 유지되도록 웨이퍼 캐리어가 적재될 때 본 위치에서 각각의 웨이퍼 캐리어의 방위를 결정하고 래핑후 내릴 때 본 위치에서 각각의 웨이퍼 캐리어의 방위를 결정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 자동 웨이퍼 래핑시스템.
5. 제4항에 있어서, 상기 제어장치는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어이 개구부중 각각의 개구부와 겸침 상태로 가져오기 위하여 직경이 점진적으로 커지는 원으로 수직축을 중심으로 이동시키기 위하여 상기 운반기구를 작동하도록 구성되는 것을 특징으로 하는자동 웨이퍼 래핑시스템.
6. 제1항에 있어서, 웨이퍼 래핑기계로부터 분리된 웨이퍼 두께계측장치를 더 포함하고, 상기 운반기구는 래핑한 다음 상기 래핑기계로부터 상기 두께계층장치로 웨이퍼를 운반하도록 작동가능하고, 상기 두께계측장치는 래핑된 웨이퍼의 두께를 측정하고 래핑기계에 의해서 저장된 목표두께와 웨이피두께계측장치의 측정에 따라 래핑된 웨이퍼의 실제 목표두께의 편차를 보정하도록 웨이퍼 래핑기계로 신호를 보내는 것을 특징으로 하는 자동 웨이퍼 래핑시스템.
7. 제1항에 있어서, 웨이퍼 래핑기계로부터 래핑된 웨이퍼를 수용하고 이 웨이퍼가 결함이 있는지를 검사하기 위하여 배치된 웨이퍼 검사장치, 결함이 없는 웨이퍼를 수용하기 위한 웨이퍼 오프로드스테이션 및 결함이 있는 웨이퍼를 수용하기 위한 리젝트스테이션을 더 포함하고, 상기 제어장치는 상기 웨이퍼검사장치로부터 신호를 수용하도록 구성되어 수용된 신호에 따라 웨이퍼 홀딩스테이션과 리젝트 스테이션중의 하나 안에 각각의 웨이퍼를 위치시키도록 상기 운반기구를 장동시키고, 상기 운반기구는 래핑기계상의 웨이퍼 캐리어내로 센터링지그로부터 웨이퍼를 적재하고 래핑기계로부터 래핑된 웨이퍼를 내리기 위하여 위치된 로봇으로 이루어지고, 상기 시스템은 다이얼과 웨이퍼를 수용 및 유지하기 위하여 상기 다이얼에 정착된 웨이퍼 고장장치를 포함하는 회전식 원반형 슬라이드 트레이를 더 포함하고, 상기 다이얼은 웨이퍼두께계측장치와 웨이퍼검사장치를 통하여 웨이퍼를 이동시키고 웨이퍼가 로봇에 의해서 들어올려질 수 있는 위치로 되돌려지도록 축을 중심으로 회전을 위하여 장착되는 것을 특징으로 하는 자동 웨이퍼 래핑시스템.
8. 상부 및 하부 래핑 플레이트와 하부 래핑 플레이터상에 일반적으로 위치된 다중 웨이퍼 캐리어를 포함하고 상기 웨이퍼 캐리어 각각은 웨이퍼를 수용하고 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어가 공동으로 이동하도록 상부 및 하부 래핑기계 플레이트사이에서 정위치로 웨이퍼를 유지하기 위한 상기 캐리어를 관통하는 다중 개구부를 가지고 있으며, 웨이퍼 캐리어와 상부 및 하부 플레이트간의 상대운동을 위해 구성되어 있으므로, 이에 따라 웨이퍼로부터 재료를 제거하여 목표 웨이퍼 두께를 달성하고, 웨이퍼의 목표두께가 도달되었을 때 래핑기계의 래핑작용을 정지시키기 　한 제어장치를 포함하고, 상부 래핑 플레이트는 웨이퍼를 적재 및 내리기 위하여 웨이퍼 캐리어를 노출시키도록 하부 래핑 플레이트 위의 위치와 하부 래핑 플레이트로부터 이격된 위치사이에서 이동 가능한 웨이퍼 래핑기계; 웨이퍼 래핑기계로부터 분리되고, 래핑한 다음 웨이퍼 래핑기계로부터 웨이퍼를 수용하여 래핑된 웨이퍼의 두께를 계측하기 위하여 위치되고, 래핑기계제어장치에 저장된 목표두께와 웨이퍼 두께계측장치의 측정에 따른 래핑된 웨이퍼의 실제 목표두께의 편차를 보정하도록 웨이퍼 래핑기계 제어장치로 신호를 보내기 위하여 웨이퍼 래핑기계 제어장치와 전자적으로 상호 접속되는 웨이퍼두께계측장치로 이루이진 웨이퍼 래핑시스템.
9. 제8항에 있어서, 상기 웨이퍼두께계측장치는 실제 목표두께로부터의 편차를 평균하고 웨이퍼 래핑기계제어장치의 목표두께계측을 재 교정하기 위하여 웨이퍼 래핑기계제어장치에 신호을 보내도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 래핑시스템.
10. 래핑될 복수의 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 홀딩수테이션; 상부 및 하부 래핑 플레이트와 하부 래핑 플레이트상에 일반적으로 위치된 다중 웨이퍼 캐리어를 포함하고 상기 웨이퍼 캐리어 각각은 웨이퍼를 수용하고 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어와 공동으로 이동하도록 상부 및 하부 래핑기계 플레이트사이에서 정위치로 웨이퍼를 유지하기 위한 상기 캐리어를 관통하는 다중 개구부를 가지고 있으며, 웨이퍼 캐리어와 상부 및 하부 플레이트간의 상대운동을 위해 구성되어 있으므로, 이에 따라 웨이퍼로부터 재료를 제거하여 목표 웨이퍼 두께를 달성하고 상부 래핑 플레이트는 웨이퍼를 적재 및 내리기 위하여 웨이퍼 캐리어를 노출시키도록 하부 래핑 플레이트 위의 위치와 하부 래핑 플레이트로부터 이격된 위치사이에서 이동 가능한 웨이퍼 래핑기계; 웨이퍼 홀딩스테이션과 웨이퍼 래핑기계에 근접하게 배치되고, 홀딩스테이션의 밖으로 웨이퍼를 들어올리고, 홀딩스테이션으로부터 웨이퍼 래핑기계로 웨이퍼를 운반하고, 그리고 래핑을 위하여 웨이퍼를 웨이퍼캐리어에 적재하도록 하부 래핑 플레이트상의 웨이퍼 캐리어의 개구부들중 각각의 개구부안에 웨이퍼를 위치시키고, 그리고 래핑후 래핑기계로부터 웨이퍼를 내리는 구조로 되어 있는 웨이퍼운반기구; 웨이퍼운반기구를 제어하기 위한 제어장치; 및 웨이퍼 래핑기계상의 본 위치에서 웨이퍼 캐리어의 중심을 통하여 통과하는 수직축에 대한 웨이퍼 캐리어의 방위를 탐지하고 신호를 그 신호를 지시하는 제어장치로 제공하고 상기 제어장치는 각각의 웨이퍼의 동일성이 래핑후 유지되도록 웨이퍼 캐리어가 적재될 때 웨이퍼 캐리어의 각각의 개구부의 위치를 확인하고, 그리고 래핑후 내릴 때 웨이퍼 캐리어의 각각의 개구부의 위치를 확인하게 구성되는 웨이퍼캐리어방위탐지기를 포함하고, 상기 웨이퍼캐리어방위탐지기는 웨이퍼 래핑기계상의 본 위치에서 웨이퍼 캐리어를 관찰하기 위하여 장착된 카메라를 포함하고, 각각의 웨이퍼 캐리어는 그 위에 카메라에 의해서 관찰되는 표시를 가지고 있고 상기 표시의 탐지된 방위는 웨이퍼 캐리어의 방위를 결정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 래핑시스템.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.