CN102581762A - 一种晶体加工平磨料台 - Google Patents

一种晶体加工平磨料台 Download PDF

Info

Publication number
CN102581762A
CN102581762A CN2012100942865A CN201210094286A CN102581762A CN 102581762 A CN102581762 A CN 102581762A CN 2012100942865 A CN2012100942865 A CN 2012100942865A CN 201210094286 A CN201210094286 A CN 201210094286A CN 102581762 A CN102581762 A CN 102581762A
Authority
CN
China
Prior art keywords
crystal
surface grinding
crystal processing
processing surface
material platform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012100942865A
Other languages
English (en)
Inventor
贾海涛
吴星
倪代秦
李旭明
李闯
高鹏成
张世杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BEIJING HUAJIN CHUANGWEI ELECTRONICS Co Ltd
Original Assignee
BEIJING HUAJIN CHUANGWEI ELECTRONICS Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BEIJING HUAJIN CHUANGWEI ELECTRONICS Co Ltd filed Critical BEIJING HUAJIN CHUANGWEI ELECTRONICS Co Ltd
Priority to CN2012100942865A priority Critical patent/CN102581762A/zh
Publication of CN102581762A publication Critical patent/CN102581762A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

一种晶体加工平磨料台,属于晶体加工技术领域,特别是涉及晶体平面磨装置。在所述平磨料台上设有多个圆柱形的、与晶体大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的侧壁和/或底部上设有缓冲层,侧壁上设顶紧装置。在平磨晶体开始时,首先将此平磨料台平放到固定面上,晶体放置在料台上的凹槽内,再调节缓冲层和顶紧装置至晶体牢固,即可进行平磨加工。通过此料台的加工,可以得到平整、完整的单晶。

Description

一种晶体加工平磨料台
技术领域
本发明属于晶体加工技术领域,特别是涉及晶体平面磨装置。
背景技术
晶体平面磨时,易出现崩边、裂纹等多种问题,现有技术的平面磨只能够一次磨一锭晶体,且加工粗糙,工作效率和质量都很难提高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有平磨效率低、质量差的缺陷,提供了一种简单、使用方便的平磨料台。
为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:
一种晶体加工平磨料台,在所述平磨料台上设有多个圆柱形的、与晶体大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的侧壁和/或底部上设有缓冲层,侧壁上设顶紧装置。
进一步地,所述缓冲层为橡胶垫,所述顶紧装置为顶紧螺丝。
晶体平磨是加工晶体时最重要的一步,在平磨晶体开始时,首先将此平磨料台平放到固定面上,晶体放置在料台上的凹槽内,根据晶体直径大小调节顶紧料台的顶紧装置至夹紧晶体,即可进行平磨加工。凹槽的侧壁和底部上设有缓冲层可以起到减震效果,侧壁的缓冲层还可以防止顶紧装置划损晶体,从而减少晶体破裂的可能。通过此料台的加工,可以得到平整、完整的单晶,晶体的角度可以是0°到8°。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1是本发明平磨料台的主视图;
图 2是图1的料台的俯视图;
图3是图1的料台的左视图;
图4是图1的凹槽的剖面图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
如图1-4所示,一种晶体加工平磨料台,在所述平磨料台1上设有多个圆柱形、与晶体大小匹配的凹槽2,所述凹槽的侧壁和底部上设有缓冲层橡胶垫(图未示)和顶紧螺丝3。
实施例1:
所述凹槽为3个,将相应大小的、未加工的碳化硅晶体放到本发明的凹槽内,根据晶体大小调整缓冲层和顶紧螺丝,直至晶体平整和牢固,然后上平面磨床待磨,待加工完毕后,便会得到三块平整度极好的完整晶体。
实施例2:
所述凹槽为3个,将相应大小的、未加工的蓝宝石晶体放到本发明的凹槽内,根据晶体大小调整缓冲层和顶紧螺丝,直至晶体平整和牢固,然后上平面磨床待磨,待加工完毕后,便会得到三块平整度极好的完整晶体。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种晶体加工平磨料台,其特征在于:在所述平磨料台上设有多个圆柱形的、与晶体大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的侧壁和/或底部上设有缓冲层,侧壁上设顶紧装置。
2.根据权利要求1所述的晶体加工平磨料台,其特征在于:所述缓冲层为橡胶垫。
3.根据权利要求1所述的晶体加工平磨料台,其特征在于:所述顶紧装置为顶紧螺丝。
4.根据权利要求1或2或3所述的晶体加工平磨料台,其特征在于:所述晶体为碳化硅、蓝宝石、磷化铟或氮化镓。
CN2012100942865A 2012-04-01 2012-04-01 一种晶体加工平磨料台 Pending CN102581762A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012100942865A CN102581762A (zh) 2012-04-01 2012-04-01 一种晶体加工平磨料台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012100942865A CN102581762A (zh) 2012-04-01 2012-04-01 一种晶体加工平磨料台

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102581762A true CN102581762A (zh) 2012-07-18

Family

ID=46471287

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012100942865A Pending CN102581762A (zh) 2012-04-01 2012-04-01 一种晶体加工平磨料台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102581762A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107283307A (zh) * 2017-07-31 2017-10-24 安庆友仁电子有限公司 一种分体式晶体加工平磨台
CN107471099A (zh) * 2017-07-31 2017-12-15 安庆友仁电子有限公司 一种具有晶体自动装卸机构的加工磨台
CN110450008A (zh) * 2019-07-12 2019-11-15 虞雅仙 一种水钻加工方法及其水钻坯料

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1170655A (zh) * 1996-05-31 1998-01-21 Memc电子材料有限公司 晶片自动研磨系统
EP0896858A1 (en) * 1997-08-11 1999-02-17 Tokyo Seimitsu Co.,Ltd. Wafer polishing apparatus
CN1254441A (zh) * 1997-04-30 2000-05-24 美国3M公司 对半导体晶片表面进行平整的方法
EP1075896A2 (en) * 1999-08-12 2001-02-14 Applied Materials, Inc. Apparatus and method of grinding a semiconductor wafer surface
JP2001298007A (ja) * 1999-12-09 2001-10-26 Applied Materials Inc ケミカルメカニカル平坦化システム
CN1951634A (zh) * 2005-10-17 2007-04-25 不二越机械工业株式会社 粘结抛光垫的方法和粘结抛光垫的夹具
CN201253787Y (zh) * 2008-09-24 2009-06-10 山东大学 一种用于加工方形块状晶体材料样品的研磨抛光夹具
CN102205517A (zh) * 2010-03-31 2011-10-05 比亚迪股份有限公司 一种玻璃的减薄方法
CN202106300U (zh) * 2011-05-18 2012-01-11 宁波宝新不锈钢有限公司 适用于自动磨抛的装夹工具
CN202528055U (zh) * 2012-04-01 2012-11-14 北京华进创威电子有限公司 一种晶体加工平磨料台

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1170655A (zh) * 1996-05-31 1998-01-21 Memc电子材料有限公司 晶片自动研磨系统
CN1254441A (zh) * 1997-04-30 2000-05-24 美国3M公司 对半导体晶片表面进行平整的方法
EP0896858A1 (en) * 1997-08-11 1999-02-17 Tokyo Seimitsu Co.,Ltd. Wafer polishing apparatus
EP1075896A2 (en) * 1999-08-12 2001-02-14 Applied Materials, Inc. Apparatus and method of grinding a semiconductor wafer surface
JP2001298007A (ja) * 1999-12-09 2001-10-26 Applied Materials Inc ケミカルメカニカル平坦化システム
CN1951634A (zh) * 2005-10-17 2007-04-25 不二越机械工业株式会社 粘结抛光垫的方法和粘结抛光垫的夹具
CN201253787Y (zh) * 2008-09-24 2009-06-10 山东大学 一种用于加工方形块状晶体材料样品的研磨抛光夹具
CN102205517A (zh) * 2010-03-31 2011-10-05 比亚迪股份有限公司 一种玻璃的减薄方法
CN202106300U (zh) * 2011-05-18 2012-01-11 宁波宝新不锈钢有限公司 适用于自动磨抛的装夹工具
CN202528055U (zh) * 2012-04-01 2012-11-14 北京华进创威电子有限公司 一种晶体加工平磨料台

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107283307A (zh) * 2017-07-31 2017-10-24 安庆友仁电子有限公司 一种分体式晶体加工平磨台
CN107471099A (zh) * 2017-07-31 2017-12-15 安庆友仁电子有限公司 一种具有晶体自动装卸机构的加工磨台
CN110450008A (zh) * 2019-07-12 2019-11-15 虞雅仙 一种水钻加工方法及其水钻坯料

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SG170662A1 (en) Method for producing a semiconductor wafer
JP2014150178A5 (zh)
CN202528055U (zh) 一种晶体加工平磨料台
CN102581762A (zh) 一种晶体加工平磨料台
JP2009302409A5 (zh)
SG169267A1 (en) Method for producing a polished semiconductor wafer
CN103447902A (zh) 一种高精度轴承套圈平面磨削装置
WO2012126604A3 (de) Vorrichtung und verfahren zum bearbeiten einer optischen linse
CN104117883A (zh) 一种离心球墨铸铁管水磨机磨杆装置
KR20130093196A (ko) 블릭 연마 장치
CN202037502U (zh) 生产太阳能硅片用磨床夹持装置
JP2016204187A5 (zh)
CN204094593U (zh) 一种透镜打磨装置
CN203956693U (zh) 一种砂轮机
CN103639865B (zh) 一种线条磨边装置
WO2013006442A3 (en) Method for handling a wafer
CN204036199U (zh) 一种多用途微型玻璃磨边机
CN202701989U (zh) 一种瓷砖抛光装置
CN204819203U (zh) 多研磨区域的磨盘
CN104191362A (zh) 一种磨床用外圆打磨装置
CN203918738U (zh) 研磨装置
CN204397617U (zh) 晶片倒边固定夹持器
CN204339540U (zh) 一种树脂铜盘用研磨盘
EP2698818A3 (en) Method and apparatus for processing a semiconductor workpiece
CN103506932B (zh) 模具研磨机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20120718