KR970063623A - 패턴검사장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 TAB테이프의 배선패턴 등의 패턴을 검사하는데 적용할 수 있는 패턴검사장치 및 방법에 관한 것으로서, TAB테이프의 배선패턴과 같은 패턴의 결함의 유무를 용이하게 검사할 수 있는 최적화된 논리에 의거한 패턴검사장치 및 방법을 제공하는 것을 과제로 하는 것이며, 그 해결수단으로서, 피검패턴(21) 및 기준패턴(31)의 적어도 어느 하나의 패턴폭을 가늘게 하고 또는 굵게한 패턴을 준비함으로써 피검패턴의 패턴폭보다 기준패턴의 패턴폭이 가는 상태로하고, 그 상태에 있어서 피검사패턴과 기준패턴을 포갠 경우에 기준패턴만이 있는 부분(22) (23) (24)을 결합으로서 추출하는 동시에, 피검패턴 및 기준패턴의 적어도 하나의 패턴폭을 가늘게 하고 또는 굵게한 패턴을 준비함으로써 피검패턴의 패턴폭보다 기준패턴의 패턴폭이 굵은 상태로 하고, 그 상태에 있어서 피검패턴과 기준패턴을 포갠 경우에 피검패턴의 패턴만이 있는 부분을 결함으로서 추출하는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

패턴검사장치 및 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 일실시형태에 관한 패턴검사장치를 표시한 개략도.

Claims (10)

1. 피검패턴의 화상데이터를 취득하는 수단과, 이 화상데이터와, 기준패턴의 화상데이터에 의거해서 피검패턴의 결함을 추출하는 화상처리수단을 구비하고, 이 화상처리수단은, 피검패턴의 화상데이터로 표현되는 피검화상의 패턴과, 기준패턴의 화상데이터로 표현되는 기준화상의 패턴의 적어도 어느 하나의 패턴폭을 가늘게 하고 또는 굵게한 화상데이터를 준비함으로써 피검화상의 패턴폭보다 기준화상의 패턴폭이 가는 상태 또는 굵은 상태로 하고, 그 상태에 있어서 피검화상과 기준화상을 포갠경우에 기준화상의 패턴만 또는 피검화상의 패턴만이 있는 부분을 결함으로서 추출하기 위한 화상처리를 행하는 것임을 특징으로 하는 패턴검사장치.
2. 피검패턴의 화상데이터를 취득하는 수단과, 이 화상데이터와, 기준패턴의 화상데이터에 의거해서 피검패턴의 결함을 추출하는 화상처리수단을 구비하고, 이 화상처리수단은, 피검패턴의 화상데이터로 표현되는 피검화상의 패턴과, 기준패턴의 화상데이터로 표현되는 기준화상의 패턴의 적어도 어느 하나의 패턴폭을 가늘게 하고 또는 굵게한 화상데이터를 준비함으로써 피검화상의 패턴폭보다 기준화상의 패턴폭이 가는 상태로 하고, 그 상태에 있어서, 피검화상과 기준화상을 포갠경우에 기준화상의 패턴만이 있는 부분을 결함으로서 추출하는 동시에, 피검 화상의 패턴 및 기준화상의 패턴의 적어도 어느 하나의 패턴폭을 가늘게 하고 또는 굵게한 화상데이타를 준비함으로써 피검화상의 패턴폭보다 기준화상의 패턴폭이 굵은 상태로 하고, 그 상태에 있어서 피검화상과 기준화상을 포갠 경우에 피검화상의 패턴만이 있는 부분을 결함으로서 추출하기 위한 화상처리를 행하는 것임을 특징으로 하는 패턴장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기준화상의 패턴만이 있는 부분은, 피검패턴의 구멍부분, 결여부분, 또는 절단부분이고, 상기 피검화상의 패턴만이 있는 부분은, 피검패턴에 있어서, 불필요한 접속부분, 돌출부분, 또는 분리한 부분인 것을 특징으로 하는 패턴검사장치.
4. 제1항~제3항에 있어서, 상기 피검화상의 패턴폭보다 기준화상의 패턴폭이 가는 상태 또는 굵은 상태에 있어서의 피검화상은, 패턴폭을 가늘게 한 후 굵게한 것, 또는 패턴폭을 굵게 한 후 가늘게 한 것임을 특징으로 하는 패턴검사장치.
5. 제1항 ~제4항에 있어서, 상기 피검패턴은 TAB테이프상의 배선패턴인 것을 특징으로 하는 패턴검사장치.
6. 피검패턴 및 기준패턴의 적어도 어느 하나의 패터폭을 가늘게하고 또는 굵게한 패턴을 준비함으로써 피검패턴의 패턴폭보다 기준패턴의 패턴폭이 가는 상태 또는 굵은 상태로 하고, 그 상태에 있어서 피검패턴과 기준 패턴을 포갠 경우에 기준 패턴만 또는 피검패턴의 패턴만이 있는 부분을 결함으로서 추출하는 것을 특징으로하는 패턴검사방법.
7. 피검패턴 및 기준패턴의 적어도 어느 하나의 패터폭을 가늘게하고 또는 굵게한 패턴을 준비함으로써 피검패턴의 패턴폭보다 기준패턴의 패턴폭이 가는 상태로 하고, 그 상태에 있어서 피검패턴과 기준패턴을 포갠경우에 기준 패턴만이 있는 부분을 결함으로 추출하는 동시에, 피거매턴 및 기준패턴의 적어도 하나의 패턴폭을 가늘게 하고 또는 굵게한 패턴을 준비함으로써 피검패턴의 패턴폭보다 기준패턴의 패턴폭이 굵은 상태로 하고, 그 상태에 있어서, 피검패턴과 기준패턴을 포갠 경우에 피검패턴의 패턴만이 있는 부분을 결함으로서 추출하는 것을 특징으로 하는 패턴검사방법.
8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 기준패턴의 패턴만이 있는 부분은, 피검패턴의 구멍부분, 결여부분, 또는 절단부분이고,상기 피검패턴의 패턴만이 있는 부분은, 피검패턴에 있어서 불필요한 접속부분, 돌출부분, 또는 분리한 부분인 것을 특징으로 하는 패턴검사방법.
9. 제6항~제8항에 있어서, 상기 피검패턴의 패턴폭보다 기준패턴의 패턴폭이 가는 상태 또는 굵은 상태에 있어서의 피검패턴은, 패턴폭을 가늘게 한 후 굵게한 것 또는 패턴폭을 굵게 한 후 가늘게 한 것임을 특징으로 하는 패턴검사방법.
10. 제6항~제9항에 있어서, 상기 피검패턴은 TAB테이프상의 배선패턴인 것을 특징으로 하는 패턴검사방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.