JPH0353382A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH0353382A JPH0353382A JP1189450A JP18945089A JPH0353382A JP H0353382 A JPH0353382 A JP H0353382A JP 1189450 A JP1189450 A JP 1189450A JP 18945089 A JP18945089 A JP 18945089A JP H0353382 A JPH0353382 A JP H0353382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- branch point
- pattern
- circuit
- outputs
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000002372 labelling Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン検査装置、特に、プリント基板等のパ
ターンの検査において、良品と被検査品を比較すること
により被検査品のショートの検出を行なうパターン検査
装置に関する。
ターンの検査において、良品と被検査品を比較すること
により被検査品のショートの検出を行なうパターン検査
装置に関する。
従来のパターン検査装置は、２組の光学系を用いた比較
装置により、良品パターンと被検査パターンとをハード
ウエアを主体として比較するものであった。
装置により、良品パターンと被検査パターンとをハード
ウエアを主体として比較するものであった。
上述した従来のパターン検査装置は、比較検査を行なっ
ているので、精密な位置合せを行なわなくてはならず、
このために必要な検出系や駆動系などの膨大なハードウ
エアが必要であるという欠点があった。
ているので、精密な位置合せを行なわなくてはならず、
このために必要な検出系や駆動系などの膨大なハードウ
エアが必要であるという欠点があった。
本発明のパターン検査装置は、
（＾）画像を光電変換しビデオ信号を出力する光電変換
回路、 （Ｂ）前記ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号を出
力する二値化回路、 （Ｃ）前記二値化画像信号の細線化処理を行ない、細線
化信号を出力する細線化処理回路、（Ｄ）前記細線化信
号にもとづいて分岐点を検出し、第工の分岐点信号を出
力する分岐点検出口路、 （Ｅ）前記分岐点信号を、入力画像が基準となる良品の
パターンの時は第１の出力端に第２の分岐点信号として
出力し、被検査品のパターンの時は第２の出力端に第３
の分岐点信号として出刀する分岐点信号切り替え回路５
、 （Ｆ）前記第２の分岐点信号を記憶し、分岐点読み出し
信号を出力する記憶回路、 （Ｇ）前記第３の分岐点信号を拡大処理し、ラベリング
し、拡大ラベリング信号を出刀する拡大ラベリング回路
、 （Ｉ）前記分岐点読み出し信号と拡大ラベリング信号と
にもといづいて、拡大しラベリングされた分岐点を、各
ラベル毎に良品パターンの分岐点と論理積をとることに
より、ショートを検出し、欠陥検出信号を出刀するショ
ート検出回路、 とを含んで構成される。
回路、 （Ｂ）前記ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号を出
力する二値化回路、 （Ｃ）前記二値化画像信号の細線化処理を行ない、細線
化信号を出力する細線化処理回路、（Ｄ）前記細線化信
号にもとづいて分岐点を検出し、第工の分岐点信号を出
力する分岐点検出口路、 （Ｅ）前記分岐点信号を、入力画像が基準となる良品の
パターンの時は第１の出力端に第２の分岐点信号として
出力し、被検査品のパターンの時は第２の出力端に第３
の分岐点信号として出刀する分岐点信号切り替え回路５
、 （Ｆ）前記第２の分岐点信号を記憶し、分岐点読み出し
信号を出力する記憶回路、 （Ｇ）前記第３の分岐点信号を拡大処理し、ラベリング
し、拡大ラベリング信号を出刀する拡大ラベリング回路
、 （Ｉ）前記分岐点読み出し信号と拡大ラベリング信号と
にもといづいて、拡大しラベリングされた分岐点を、各
ラベル毎に良品パターンの分岐点と論理積をとることに
より、ショートを検出し、欠陥検出信号を出刀するショ
ート検出回路、 とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第工図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すパターン検査装置は、
（＾）画像を光電変換しビデオ信号ｆを出力する光電変
換回路１、 （Ｂ）ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号ｇを出力
する二値化回ｉ１２、 （Ｃ）二値化画像信号ｇの細線化処理を行ない、細線化
信号ｈを出力する細線化処理回路３、（Ｄ） ｉ線化信
号ｈにもとづいて分岐点を検出し、第ｌの分岐点信号ｉ
を出力する分岐点検出回路４、 （Ｅ）分岐点信号ｉを、入力画像が基準となる良品のパ
ターンの時は第１の出力端に．第２の分岐点信号ｉｉと
して出力し、被検査品のパターンの時は第２の出力端に
第３の分岐点信号ｉｉｉとして出力する分岐点信号切り
替え回路５、（Ｆ）第１の分岐点信号ｉｉを記憶し、分
岐点読み出し信号ｊを出力する記憶回路６、 （Ｇ）第２の分岐点信号ｉｉｉを拡大処理し、ラベリン
グし、拡大ラベリング信号ｋを出力する拡大ラベリング
回路７、 （Ｉ）分岐点読み出し信号ｊと拡大ラベリング信号ｋと
にもといづいて、拡大しラベリングされた分岐点を、各
ラベル毎に良品パターンの分岐点と論理積をとることに
より、ショートを検出するショート検出回路８、 とを含んで構成される。
換回路１、 （Ｂ）ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号ｇを出力
する二値化回ｉ１２、 （Ｃ）二値化画像信号ｇの細線化処理を行ない、細線化
信号ｈを出力する細線化処理回路３、（Ｄ） ｉ線化信
号ｈにもとづいて分岐点を検出し、第ｌの分岐点信号ｉ
を出力する分岐点検出回路４、 （Ｅ）分岐点信号ｉを、入力画像が基準となる良品のパ
ターンの時は第１の出力端に．第２の分岐点信号ｉｉと
して出力し、被検査品のパターンの時は第２の出力端に
第３の分岐点信号ｉｉｉとして出力する分岐点信号切り
替え回路５、（Ｆ）第１の分岐点信号ｉｉを記憶し、分
岐点読み出し信号ｊを出力する記憶回路６、 （Ｇ）第２の分岐点信号ｉｉｉを拡大処理し、ラベリン
グし、拡大ラベリング信号ｋを出力する拡大ラベリング
回路７、 （Ｉ）分岐点読み出し信号ｊと拡大ラベリング信号ｋと
にもといづいて、拡大しラベリングされた分岐点を、各
ラベル毎に良品パターンの分岐点と論理積をとることに
より、ショートを検出するショート検出回路８、 とを含んで構成される。
二値化回路２は、パターンを黒、背景を白とするように
二値化を行なう。
二値化を行なう。
第２図（ａ）．（ｂ）は、良品パターンおよびショート
欠陥を含む被検査品のパターンを示す模式図である。
欠陥を含む被検査品のパターンを示す模式図である。
第３図（ａ），（ｂ）は、第２図（ａ），（ｂ〉に示す
パターンを細線化処理回路３で処理した結果を示す模式
図である。
パターンを細線化処理回路３で処理した結果を示す模式
図である。
分岐点検出回路４は、細線化信号ｈを入力し、分岐点信
号ｉを出力・する。
号ｉを出力・する。
分岐点は、３×３のマスクを用いて検出する。
分岐点とは、画像を画素単位で考えた時の連結数が３と
なる画素のことをさす。
なる画素のことをさす。
第４図（ａ），（ｂ）は、第３図に（ａ），（ｂ）に示
すパターンの分岐点を示す模式図である。
すパターンの分岐点を示す模式図である。
第４図（ａ）は、良品パターンの分岐点Ｂ１〜Ｂ２を示
し、第４図（ｂ）は、被検査品のパターンの分岐点ＢＩ
Ｏ〜Ｂ４０を示す。
し、第４図（ｂ）は、被検査品のパターンの分岐点ＢＩ
Ｏ〜Ｂ４０を示す。
拡大ラベリング回路７は、被検査パターンの分岐点信号
ｉｉｉを入力し、分岐点ＢＩＯ〜Ｂ４０を入力し、分岐
点ＢＩＯ〜Ｂ４０を拡大処理して、それらのラベリング
を行ない、拡大ラベリング信号ｋを出力する。
ｉｉｉを入力し、分岐点ＢＩＯ〜Ｂ４０を入力し、分岐
点ＢＩＯ〜Ｂ４０を拡大処理して、それらのラベリング
を行ない、拡大ラベリング信号ｋを出力する。
拡大処理とは、一般に３×３のマスクを用い、着目して
いる画素の周辺の画素の５ち、１つでも黒画素があると
きは着目している画素を黒に変換する処理のことをいう
。
いる画素の周辺の画素の５ち、１つでも黒画素があると
きは着目している画素を黒に変換する処理のことをいう
。
ラベリングとは、連続して存在する図形を１つの集合と
考えた時、各集合に一般には左上から順番を付けていく
処理のことをいい、付けられた番号のことをラベルと呼
ぶ。
考えた時、各集合に一般には左上から順番を付けていく
処理のことをいい、付けられた番号のことをラベルと呼
ぶ。
第５図は、第４図（ｂ）に示すパターンを拡大処理した
後、ラベルＬｌ〜Ｌ４にラベリングした模式図である。
後、ラベルＬｌ〜Ｌ４にラベリングした模式図である。
ショート回路８で、被検査パターンの分岐点を拡大処理
したものと、良品のパターンを重ね合せた時、両者の多
少の位置ずれを考慮しても、被検査パターンの分岐点が
ショートが原因で生じたものでなければ、被検査パター
ンの分岐点を拡大処理したもののなかに良品の分岐点が
含まれる。
したものと、良品のパターンを重ね合せた時、両者の多
少の位置ずれを考慮しても、被検査パターンの分岐点が
ショートが原因で生じたものでなければ、被検査パター
ンの分岐点を拡大処理したもののなかに良品の分岐点が
含まれる。
すなわち、ショート部分でないラベルＬ２とＬ４のなか
には、良品パターンの分岐点Ｂ１と８２が含まれている
。
には、良品パターンの分岐点Ｂ１と８２が含まれている
。
そこで、両者の論理積をとった結果、黒（論理“１″）
として残る点があるときは正常部分、すべて白く論埋゛
″０′゛〉となるときはその被検査品の分岐点部分がシ
ョートであると判定し、欠陥検出信号１を出力する。
として残る点があるときは正常部分、すべて白く論埋゛
″０′゛〉となるときはその被検査品の分岐点部分がシ
ョートであると判定し、欠陥検出信号１を出力する。
第６図は、第５図に示す良品の分岐点と被検査品の分岐
点を拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果を
示す模式図である。
点を拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果を
示す模式図である。
ラベルＬ１とＬ３の分岐点部分である分岐点Ｂ１０と８
３０にショートがあると判定される。
３０にショートがあると判定される。
なお、第７図は分岐点の一例を示す模式図である。
本発明のパターン検査装置は、被検査品のパターンの分
岐点Ｂを拡大し、ラベリングして、基準となる良品のパ
ターンの分岐点と比較することにより、ショート部分の
判定を行なうので、精密な位置合せを行なうための膨大
なハードウエアなしにショートの検出が行なえるという
効果がある。
岐点Ｂを拡大し、ラベリングして、基準となる良品のパ
ターンの分岐点と比較することにより、ショート部分の
判定を行なうので、精密な位置合せを行なうための膨大
なハードウエアなしにショートの検出が行なえるという
効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図（
ａ）．（ｂ）は良品パターンおよびショート欠陥を含む
被検査品のパターンを示す模式図、第３図（ａ＞，（ｂ
）は第２図＜ａ），（ｂ）に示すパターンを細線化処理
回路３で処理した結果を示す模式図、第４図（ａ＞，（
ｂ）は第３図に（ａ），（ｂ）に示すパターンの分岐点
を示す模式図、第５図は第４図（ｂ）に示すパターンを
拡大処理した後ラベルＬ１〜Ｌ４にラベリングした模式
図、第６図は第５図に示す良品の分岐点と被検査品の分
岐点を拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果
を示す模式図、第７図は分岐点の一例を示す模式図であ
る。 １・・・・・・光電変換回路、２・・・・・・二値化回
路、３・・・・・・細線化処理回路、４・・・・・・分
岐点検出回路、５・・・・・・分岐点信号切り替え同路
、６・・・・・・記憶回路、７・・・・・・拡大ラベリ
ング回路、８・・・・・・ショート検出回路、 ｆ・
・・・・・ビデオ信号、ｇ・・・・・・二値化画像信号
、 ｈ・・・・・・細線化信号、ｉ・・・・・・分岐点信号
、ｊ・・・・・・分岐点読み出し信号、ｋ・・・・・・
拡．大ラベリング信号、１・・・・・・欠陥検出信号。
ａ）．（ｂ）は良品パターンおよびショート欠陥を含む
被検査品のパターンを示す模式図、第３図（ａ＞，（ｂ
）は第２図＜ａ），（ｂ）に示すパターンを細線化処理
回路３で処理した結果を示す模式図、第４図（ａ＞，（
ｂ）は第３図に（ａ），（ｂ）に示すパターンの分岐点
を示す模式図、第５図は第４図（ｂ）に示すパターンを
拡大処理した後ラベルＬ１〜Ｌ４にラベリングした模式
図、第６図は第５図に示す良品の分岐点と被検査品の分
岐点を拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果
を示す模式図、第７図は分岐点の一例を示す模式図であ
る。 １・・・・・・光電変換回路、２・・・・・・二値化回
路、３・・・・・・細線化処理回路、４・・・・・・分
岐点検出回路、５・・・・・・分岐点信号切り替え同路
、６・・・・・・記憶回路、７・・・・・・拡大ラベリ
ング回路、８・・・・・・ショート検出回路、 ｆ・
・・・・・ビデオ信号、ｇ・・・・・・二値化画像信号
、 ｈ・・・・・・細線化信号、ｉ・・・・・・分岐点信号
、ｊ・・・・・・分岐点読み出し信号、ｋ・・・・・・
拡．大ラベリング信号、１・・・・・・欠陥検出信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （Ａ）画像を光電変換しビデオ信号を出力する光電変換
回路、 （Ｂ）前記ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号を出
力する二値化回路、 （Ｃ）前記二値化画像信号の細線化処理を行ない、細線
化信号を出力する細線化処理回路、 （Ｄ）前記細線化信号にもとづいて分岐点を検出し、第
１の分岐点信号を出力する分岐点検出回路、 （Ｅ）前記分岐点信号を、入力画像が基準となる良品の
パターンの時は第１の出力端に第２の分岐点信号として
出力し、被検査品のパターンの時は第２の出力端に第３
の分岐点信号として出力する分岐点信号切り替え回路５
、 （Ｆ）前記第２の分岐点信号を記憶し、分岐点読み出し
信号を出力する記憶回路、 （Ｇ）前記第３の分岐点信号を拡大処理し、ラベリング
し、拡大ラベリング信号を出力する拡大ラベリング回路
、 （Ｉ）前記分岐点読み出し信号と拡大ラベリング信号と
にもといづいて、拡大しラベリングされた分岐点を、各
ラベル毎に良品パターンの分岐点と論理積をとることに
より、ショートを検出し、欠陥検出信号を出力するショ
ート検出回路、 とを含むことを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189450A JPH0353382A (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189450A JPH0353382A (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353382A true JPH0353382A (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=16241455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1189450A Pending JPH0353382A (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353382A (ja) |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP1189450A patent/JPH0353382A/ja active Pending
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