JPH043271A - パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はパターン検査装置、特に、プリント基板等のパ
ターンの検査において、良品と被検査品を比較すること
により被検査品の断線とショートと黒点とピンホールの
検出を行うパターン検査装置に間する。

〔従来の技術〕

従来の技術としては例えば、２組の光学系を用いた比較
装置により、良品パターンと被検査パターンとをハード
ウェアを主体で比較するものかあった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のパターン検査装置は、比較検査を行うた
めに、精密な位置合わせを行なわなくてはならず、この
ため位置合わせに必要な検出系や駆動系などの膨大なハ
ードウェアが必要であるという欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のパターン検査装置は、画像を入力するための光
電変換回路と、入力された画像を二値化する二値化回路
と、二値化された画像の細線化処理を行う細線化回路と
、細線化処理した画像から端点を検出するための端点検
出回路と、端点のデータを入力画像が基準となる良品の
パターンのときには記憶回路に、被検査品のパターンの
ときには拡大ラベリング回路に出力する端点信号切り替
え回路と、基準となる良品パターンの端点信号を記憶す
る記憶回路と、検査品の端点を拡大処理しラベリングす
る拡大ラベリング回路と、拡大しラベリングされた端点
を各ラベリング毎に良品パターンの端点と論理積をとる
ことにより断線を検出する断線検出回路と、細線化処理
した画像から分岐点を検８するための分岐点検出回路と
、分岐点のデータを入力画像が基準となる良品のパター
ンのときには記憶回路に、被検査品のパターンのときに
は拡大ラベリング回路に出力する分岐点信号切り替え回
路と、基準となる良品パターンの分岐信号を記憶する記
憶回路と、検査品の分岐点を拡大処理しラベリングする
拡大ラベリング回路と、拡大しラベリングされた分岐点
を各ラベル毎に良品パターンの分岐点と論理積をとるこ
とによりショートを検出するショート検出回路と、細線
化処理した画像から孤立点を検出するための孤立点検出
回路と、孤立点のデータを入力画像が基準となる良品の
パターンのときには記憶回路に、被検査品のパターンの
ときには拡大ラベリング回路に出力する孤立点信号切り
替え回路と、基準となる良品パターンの孤立点信号を記
憶する記憶回路と、検査品の孤立点を拡大処理しラベリ
ングする拡大ラベリング回路と、拡大しラベリングされ
た孤立点を各ラベル毎に良品パターンの孤立点と論理積
をとることにより黒点を検出する黒点検出回路と、二値
化処理した画像を反転する反転回路と、反転させた画像
を細線化する細線化回路と、細線化した画像から孤立点
を検出するための孤立点検出回路と、孤立点のデータを
入力画像が基準となる良品のパターンのときには記憶回
路に、被検査品のパターンのときには拡大ラベリング回
路に出力する孤立点信号切り替え回路と、基準となる良
品パターンの孤立点信号を記憶する記憶回路と、検査品
の孤立点を拡大処理しラベリングする拡大ラベリング回
路と、拡大しラベリングされた孤立点を各ラベル毎に良
品パターンの孤立点と論理積をとることによりピンホー
ルを検出するピンホール検出回路とを含んで構成される
。

〔実施例〕

次に、本発明について１図面を参照して詳細に説明する
。

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。

第１図に示すパターン検査装置は、ビデオ信号ｆを出力
する光電変換回路１と、ビデオ信号ｆを入力し二値化信
号ｇを出力する二値化回路２と、二値化信号ｇを入力し
細線化信号りを出力する細線化処理回路３と、細線化信
号りを入力し、端点信号ｉを出力する端点検出回路４と
、検出した端点が基準となる良品のパターンの場合には
端点数信号ｉを記憶回路６へ、被検査品パターンの場合
には拡大ラベリング回ＦＩ＠７へ出力するように切り替
える働きをする端点信号切り替え回路５と、端点信号ｉ
を入力し、端点読み出し信号ｊを出力する記憶回路６と
、被検査品の端点数信号ｉを入力し拡大ラベリング信号
ｋを出力する拡大ラベリング回路７と、端点読みだし信
号ｊと拡大ラベリング信号ｋを入力し断線検出信号ｌを
出力する断線検出回路８と、細線化信号りを入力し、分
岐点信号ｍを出力する分岐点検出回路９と、検出した分
岐点が基準となる良品のパターンの場合には分岐点数信
号ｍを記憶回路１］へ、被検査品パターンの場合には拡
大ラベリング回路１２へ出力するように切り替える働き
をする分岐点信号切り替え回路１０と、分岐点信号ｍを
入力し、分岐点読み出し信号ｎを出力する記憶回路１１
と、被検査品の分岐点数信号ｍを入力し拡大ラベリング
信号。を出力する拡大ラベリング回路１２と、分岐点読
みだし信号ｎと拡大ラベリング信号０を入力しショート
検出信号ｐを出力するショート検出回路１３と、細線化
信号りを入力し、孤立点信号ｑを出力する孤立点検出回
路１４と、検出した孤立点が基準となる良品のパターン
の場合には孤立点数信号ｑを記憶回路１６へ、被検査品
パターンの場合には拡大ラベリング回路１７へ出力する
ように切り替える働きをする孤立点信号切り替え回路１
５と、孤立点信号ｑを入力し、孤立点読み出し信号ｒを
出力する記憶口ｉ１６と、被検査品の孤立点数信号ｑを
入力し拡大ラベリング信号Ｓを入力する拡大ラベリング
回路１７と、孤立点読みだし信号ｒと拡大ラベリング信
号Ｓを入力し黒点検出信号ｔを出力する黒点検出回路】
８と二値化信号ｇを入力し、反転二値化信号Ｕを出力す
る反転回路１９と、反転二値化信号Ｕを入力し細線化信
号■を出力するｍ線化回路２０と、細線化信号Ｖを入力
し、孤立点信号Ｗを出力する孤立点検出回路２１と、検
出した孤立点が基準となる良品のパターンの場合には孤
立点数信号Ｗを記憶回路２３へ、被検査品パターンの場
合には拡大ラベリング回路２４へ出力するように切き替
える働きをする孤立点信号切り替え回路２２と、孤立点
信号Ｗを入力し、孤立点読み出し信号Ｘを出力する記憶
回路２３と、被検査品の孤立点数信号Ｗを入力し拡大ラ
ベリング信号ｙを出力する拡大ラベリング回路２４と、
孤立点読みだし信号Ｘと拡大ラベリング信号ｙを入力し
ピンホール検出信・号２を出力するピンホール検出回路
６を含んで構成される。

光電変換回路１は画像を入力し、ビデオ信号ｆを出力す
る。二値化回路２ではビデオ信号ｆを入力し、パターン
を黒、背景を白とするように二値化を行い二値化信号ｇ
を出力する。

第２図（ａ＞は基準となる良品のパターンを二値化した
一例を示す図、第２図（ｂ）は断線、ショート、黒点、
ピンホールを含む被検査品のパターンを二値化した一例
を示す図である。

細線化回路３では二値化信号ｇを入力し、二値化された
パターンを細線化処理し細線化信号りを出力する。細線
化は図形を芯線化する処理のことをいい、図形の特徴点
を、検出する時に有効な手段として用いられる。

第３図（ａ）は第２図（ａ）の良品のパターンを細線化
処理した結果をあられしている。第３図（ｂ）は第２図
（ａ）の断線、ショート、黒点。

ピンホールを含むパターンを５細線化処理した結果をあ
られしている。

端点検出回路４では細線化信号りを入力し端点の検出を
行い端点信号ｉを出力する。端点は３×３のマスクを用
いて検出する。端点とは、画像を画素単位に考えたとき
の連結数が１となる画素のことをさす。第７図は端点の
一例を示す図である。

第４図（ａ＞に良品のパターンの端点Ｔ１を、第４図（
ｂ）に断線を含む被検査品のパターンの端点Ｔ１．〜Ｔ
３．を示す。

端点信号ｉは端点切り替え回路５によって基準となる良
品パターンの場合は記憶回路６へ、被検査品のパターン
の場合は拡大ラベリング回路７へ出力される。

記憶回路６では基準となる良品のパターンの端点信号ｉ
を記憶する６記憶された端点信号ｉは端点読みだし信号
ｊとして読み出される。

拡大ラベリング回路７では被検査パターンの端点信号ｉ
を入力し、端点を拡大処理してさらにそれらのラベリン
グを行い、拡大ラベリング信号ｋを出力する。

拡大処理とは、一般に３×３のマスクを用い、着目して
いる画素を周辺の画素のうち、１つでも黒画素があると
きには着目している画素を黒に変換する処理のことをい
う。

ラベリングとは、連続して存在する図形を１つの集合と
考えた時、各集合に一般には左上から順番を付けていく
処理のことをいい、付けられた番号のことをラベルと呼
ぶ。

第５図は第４図（ｂ）に示す被検査パターンの端点を拡
大処理した後、ラベルＬｌ〜Ｌ３にラベリングした図で
ある。

断線検出回路８では基準となる良品パターンの端点読み
だし信号ｊと拡大ラベリング信号ｋを入力する。

被検査パターンの端点を拡大処理したものと良品のパタ
ーンの端点を重ね合わせた時、基準となる良品パターン
と被検査パターンの多少の位置ずれを考慮しても、被検
査パターンの端点が断線が原因で生じたものでなければ
、被検査パターンの端点を拡大処理したもののなかに良
品の端点か含まれる。

第５図で断線部分でないラベルＬ３のなかには良品パタ
ーンの端点Ｔ１が含まれている。

これにより拡大処理した被検査パターンの端点をラベル
毎に良品パターンの端点と論理積を取る。この結果、黒
として残る点があるときには正常部分、すべて白となる
ときはその被検査品の端点部分が断線であると判定し断
線検出信号１を出力する。（論理積をとるとき黒を１、
白を０と考える。） 第６図は第５図の良品の端点と被検査品の端点を拡大し
またものを各ラベル毎に論理積をとった結果をあられし
ており、ラベルＬ１とＬ２の端点部分子１．．Ｔ２．に
断線があると判定したものである。

分岐点検出回路９では細線化信号りを入力し分岐点の検
出を行い分岐点信号ｍを出力する。分岐点は３×３のマ
スクを用いて検出する。分岐点とは、画像を画素単位に
考えたときの連結数が３となる画素のことをさす。

第１１図は分岐点の一例を示す図である。

第８図＜ａ）に良品のパターンの分岐点Ｂ１を、第８図
（ｂ）にショートを含む被検査品のパターンの分岐点Ｂ
１．〜Ｂ３．．を示す。

分岐点信号ｍは分岐点切り替え回路１０によって基準と
なる良品パターンの場合は記憶回路１１へ、被検査品の
パターンの場合は拡大ラベリング回Ｎ１２へ出力される
。

記憶回路１１では基準となる良品のパターンの分岐点信
号ｍを記憶する。記憶された分岐点信号ｍは分岐点読み
だし信号ｎとして読み出される。

拡大ラベリング回路１２では被検査パターンの分岐点信
号ｍを入力し　分岐点を拡大処理してさらにそれらのラ
ベリングを行い、拡大ラベリング信号０を出力する。

第９図は第８図（ｂ）に示す被検査パターンの分岐点を
拡大処理した後、ラベル１１〜１３にラベリングした図
である。

ショート検出回路１３では基準となる良品パターンの分
岐点読みだし信号ｎと拡大ラベリング信号０を入力する
。

被検査パターンの分岐点を拡大処理したものと良品のパ
ターンの分岐点を重ね合わせた時、基準となる良品パタ
ーンと被検査パターンの多少の位置ずれを考慮しても、
被検査パターンの分岐点がショートが原因で生じたもの
であければ、被検査パターンの分岐点を拡大処理しだの
のなかに良品の分岐点が含まれる。

第９図でショート部分でないラベル１１のなかには良品
パターンの分岐点Ｂ１が含まれている。

これにより拡大処理した被検査パターンの分岐点をラベ
ル毎に良品パターンの分岐点と論理積を取る。この結果
、黒として残る点があるときには正常部分、すべて白と
なるときはその被検査品の分岐点部分がショートである
と判定しショート検出信号ｐを出力する。（論理積をと
るとき黒を１、白をＯと考える。） 第１０図は第９図の良品の分岐点と被検査品の分岐点を
拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果をあら
れしている。ラベル１２と１３の分岐点部分Ｂ２．、Ｂ
３．にショートがあると判定したものである。

孤立点検出回路１４では細線化信号りを入力し孤立点の
検出を行い孤立点信号ｑを出力する。孤立点は３×３の
マスクを用いて検出する。孤立点とは、画像を画素単位
に考えたときの連結数がＯとなる画素のことをさす。第
１５図は孤立点の一例である。

第１２図（ａ）に良品のパターンの孤立点Ｋｌ〜に２を
、第１２図（ｂ）に黒点を含む被検査品のパターンの孤
立点Ｋ１．〜に２．を示す。

孤立点信号ｑは孤立点信号切り替え回路１５によって基
準となる良品パターンの場合は記憶回路１６へ、被検査
品のパターンの場合は拡大ラベリング回路１７へ出力さ
れる。

記憶回路１６では基準となる良品のパターンの孤立点信
号ｑを記憶する。記憶された孤立点信号ｑは孤立点読み
だし信号ｒとして読み出される。

拡大ラベリング回路１７では被検査パターンの孤立点信
号ｒを入力し、孤立点を拡大処理してさらにそれらのラ
ベリングを行い、拡大ラベリング信号Ｓを出力する。

第１３図は第１２図（ｂ）に示す被検査パターンの孤立
点を拡大処理した後、ラベルＬ１．〜Ｌ２６にラベリン
グした図である。

黒点検出回路１８ては基準となる良品パターンの孤立点
読みだし信号ｒと拡大ラベリング信号Ｓを入力する。

被検査パターンの端点を拡大処理したものと良品のパタ
ーンの端点を重ね合わせた時、基準となる良品パターン
と被検査パターンの多少の位置ずれを考慮しても、被検
査パターンの孤立点が黒点が原因で生じたものでなけれ
ば、被検査パターンの孤立点を拡大処理したもののなか
に良品の孤立点が含まれる。

第１３図で黒点部分でないラベルＬ１．のなかには良品
パターンの孤立点に１が含まれているにれにより拡大処
理した被検査パターンの孤立点をラベル毎に良品パター
ンの孤立点と論理積を取る。この結果、黒として残る点
があるときには正常部分、すべつ白となるときはその被
検査品の孤立点部分が黒点であると判定し黒点検出信号
ｔを出力する。（論理積をとるとき黒を１、白を０と考
える。） 第１４図は第１３図の良品の孤立点と被検査品の孤立点
を拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果をあ
られしており、ラベルＬ２．の孤立点部分に２．に黒点
があると判定したものである。

反転回路１９では二値化信号ｇを入力して画像の白黒を
反転させて、反転二値化信号Ｕを出力する。細線化回路
２０では、反転二値化信号Ｕを入力して白黒反転した画
像の細線化を行い、細線化信号■を出力する。

第１６図（ａ＞は第２図（ａ）の良品パターンを白黒反
転し、細線化処理した結果をあられしている。第１６図
（ｂ）は第２図（ｂ）の断線、ショート、黒点、ピンホ
ールを含むパターンを白黒反転し、細線化処理した結果
をあられしている。

孤立点検出回路２１では細線化信号Ｖを入力し孤立点の
検出を行い孤立点信号Ｗを出力する。

第１７図（ａ）に良品のパターンの孤立点Ｐ１を、第１
７図（ｂ）にピンホールを含む被検査品のパターンの孤
立点Ｐ１．〜Ｐ２．を示す。

孤立点信号Ｗは孤立点切り替え回路２２によって基準と
なる良品パターンの場合は記憶回路２３へ、被検査品の
パターンの場合は拡大ラベリング回路２４へ出力される
。

記憶回路２３では基準となる良品のパターンの孤立点信
号Ｗを記憶する。記憶された孤立点信号Ｗは孤立点読み
だし信号Ｘとして読み出される。

拡大ラベリング回路２４では被検査パターンの孤立点信
号Ｗを入力し、孤立点を拡大処理してさらにそれらのラ
ベリングを行い、拡大ラベリング信号ｙを出力する。

第１８図は第１７図（ｂ）に示す被検査パターンの孤立
点を拡大処理した後、ラベル１１．〜ｆＬ２．にラベリ
ングした図である。

ピンホール検出回路２５では基準となる良品パターンの
孤立点読みだし信号Ｘと拡大ラベリング信号ｙを入力す
る。

被検査パターンの端点を拡大処理したものと良品のパタ
ーンの端点を重ね合わせた時、基準となる良品パターン
と被検査パターンの多少の位置ずれを考慮しても、被検
査パターンの孤立点がピンホールが原因で生したもので
なければ、被検査ノ＜ターンの孤立点を拡大処理したも
ののなかに良品の孤立点が含まれる。

第１８図でピンホール部分でないラベルＩｌ］、。

のなかには良品パターンの孤立点Ｐ１が含まれている。

これにより拡大処理した被検査パターンの孤立点をラベ
ル毎に良品パターンの孤立点と論理積を取る。この結果
、黒として残る点があるときには正常部分、すべて白と
なるときはその被検査品の孤立点部分がピンホールであ
ると判定しピンホール検出信号Ｚを出力する。（論理積
をとるとき黒を１、白を０と考える。） 第１９図は第１８図の良品の孤立点と被検査品の孤立点
を拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果をあ
られしており、ラベルｐ２．の孤立点部分Ｐ２．にピン
ホールがあると判定したものである。

〔発明の効果〕

本発明のパターン検査装置は、被検査品のパターンの端
点、分岐点、孤立点を拡大しラベリングして、基準とな
る良品のパターンの端点、分岐点、孤立点と比較するこ
とにより断線部分の判定を行うので、精密な位置合わせ
のための膨大なＡ−ドウェアが必要なく、断線、ショー
ト、黒点ピンホールの検出が行えるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図（
ａ＞は基準となる良品パターンの一例を示す図、第２図
（ｂ）は断線とショートとピンホールの欠陥を含む被検
査品のパターンの一例を示す図、第３図（ａ）は第２図
（ａ）のパターンを細線化処理した図、第３図（ｂ）は
第２図（ｂ）のパターンを細線化処理した図、第４図（
ａ）は第３図（ａ）に示すパターンの端点を示した図、
第４図（ｂ）は第３図（ｂ）に示すパターンの端点を示
した図、第５図は第４図（ｂ）の端点を拡大しラベル付
けした図、第６図は断線を検出した図、第７図は端点の
一例を示した図、第８図（ａ）は第３図（ａ）に示すパ
ターンは分岐点を示した図、第８図（ｂ）は第３図（ｂ
）に示すパターンの分岐点を示した図、第９図は第８図
（ｂ）の分岐点を拡大しラベル付けした図、第１０図は
ショートを検出した図、第１１図は分岐点の一例を示し
た図、第１２図（ａ）は第３図（ａ）に示すパターンの
孤立点を示した図、第１２図（ｂ）は第３図（ｂ）に示
すパターンの孤立点を示した図、第１３図は第１２図（
ｂ）の孤立点を拡大しラベル付けした図、第１４図は黒
点を検出した図、第１５図は孤立点の一例を示した図、
第１６図（ａ）は第２図（ａ）に示す良品のパターンの
二値化画像の白黒を反転させ細線化した図、第１６図（
ｂ）は第２図（ｂ）に示す被検査品のパターンの二値化
画像の白黒を反転させ、細線化した図、第１７図（ａ）
は第１６図（ａ）に示すパターンの孤立点を示した図、
第１７図（ｂ）は第１６図（ｂ）に示すパターンの孤立
点を示した図、第１８図は第１７図（ｂ）の孤立点を拡
大しラベル付けした図、第１９図はピンホールを検出し
た図である。 １・・・光電変換回路、２・・・二値化回路、３・・・
細線化回路、４・・・端点検出回路、５・・・端点信号
切り替え回路、６・・・記憶回路、７・・・拡大ラベリ
ング回路、８・・・断線検出回路、９・・・分岐点検出
回路、１０・・・分岐点信号切り替え回路、１１・・・
記憶回路、１２・・・拡大ラベリング回路、１３・・・
ショート検出回路、１４・・・孤立点検出回路、１５・
・・孤立点信号切り替え回路、１６・・・記憶回路、１
７・・・拡大ラベリング回路、１８・・・黒点回路、１
９・・・反転回路、２０・・・細線化回路、２１・・・
孤立点検出回路、２２・・・孤立点信号切り替え回路、
２３・・・記憶回路、２４・・・拡大ラベリング回路、
２５・・・ピンホール検出回路、 ｆ・・・ビデオ信号、ｇ・・・二値化信号、ｈ・・・細
線化信号、ｉ・・・端点信号、ｊ・・・端点読みだし信
号、ｋ・・・拡大ラベリング信号、１・・・断線検出信
号、ｍ・・・分岐点信号、ｎ・・・分岐点読みだし信号
、０・・・拡大ラベリング信号、ｐ・・・ショート検出
信号、ｑ・・・孤立点信号、ｒ・・・孤立点読みだし信
号、Ｓ・・・拡大ラベリング信号、ｔ・・・黒点検出信
号、Ｕ・・・反転二値化信号、■・・・細線化信号、Ｗ
・・・孤立点信号、Ｘ・・・孤立点読みだし信号、ｙ・
・・拡大ラベリング信号、２・・・ピンホール検出信号
、 Ｔ１・・・端点、Ｔ１１〜Ｔ３．・・・端点、Ｌ１〜Ｌ
３・・・ラベル、Ｂ１・・・分岐点、Ｂ１．〜Ｂ３．・
・・分岐点、１１〜Ｌ３・・・ラベル、Ｋ１−に２・・
・孤立点、Ｋ１．〜に２．・・・孤立点、Ｌｌ、〜Ｌ２
１．・・ラベル、Ｐｌ・・・孤立点、ＰＬ、〜Ｐ２．・
・・孤立点、１１、〜１２．・・・ラベル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 画像を入力するための光電変換回路と、入力された画像
   を二値化する二値化回路と、二値化された画像の細線化
   処理を行う細線化回路と、細線化処理した画像から端点
   を検出するための端点検出回路と、端点のデータを入力
   画像が基準となる良品のパターンのときには記憶回路に
   、被検査品のパターンのときには拡大ラベリング回路に
   出力する端点信号切り替え回路と、基準となる良品パタ
   ーンの端点信号を記憶する記憶回路と、検査品の端点を
   拡大処理しラベリングする拡大ラベリング回路と、拡大
   しラベリングされた端点を各ラベリング毎に良品パター
   ンの端点と論理積をとることにより断線を検出する断線
   検出回路と、細線化処理した画像から分岐点を検出する
   ための分岐点検出回路と、分岐点のデータを入力画像が
   基準となる良品のパターンのときには記憶回路に、被検
   査品のパターンのときには拡大ラベリング回路に出力す
   る分岐点信号切り替え回路と、基準となる良品パターン
   の分岐信号を記憶する記憶回路と、検査品の分岐点を拡
   大処理しラベリングする拡大ラベリング回路と、拡大し
   ラベリングされた分岐点を各ラベル毎に良品パターンの
   分岐点と論理積をとることによりショートを検出するシ
   ョート検出回路と、細線化処理した画像から孤立点を検
   出するための孤立点検出回路と、孤立点のデータを入力
   画像が基準となる良品のパターンのときには記憶回路に
   、被検査品のパターンのときには拡大ラベリング回路に
   出力する孤立点信号切り替え回路と、基準となる良品パ
   ターンの孤立点信号を記憶する記憶回路と、検査品の孤
   立点を拡大処理しラベリングする拡大ラベリング回路と
   、拡大しラベリングされた孤立点を各ラベル毎に良品パ
   ターンの孤立点と論理積をとることにより黒点を検出す
   る黒点検出回路と、二値化処理した画像を反転する反転
   回路と、反転させた画像を細線化する細線化回路と、細
   線化した画像から孤立点を検出するための孤立点検出回
   路と、孤立点のデータを入力画像が基準となる良品のパ
   ターンのときには記憶回路に、被検査品のパターンのと
   きには拡大ラベリング回路に出力する孤立点信号切り替
   え回路と、基準となる良品パターンの孤立点信号を記憶
   する記憶回路と、検査品の孤立点を拡大処理しラベリン
   グする拡大ラベリング回路と、拡大しラベリングされた
   孤立点を各ラベル毎に良品パターンの孤立点と論理積を
   とることによりピンホールを検出するピンホール検出回
   路とを含むことを特徴とするパターン検査装置。