JPH0260265B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

〔発明の利用分野〕 本発明は、印刷回路パターンなどのパターンを
検査する方法に係り、特に電気的導通に関する欠
陥を非接触かつ高速に検出するに好適な配線パタ
ーン欠陥検出方法に関する。 〔発明の背景〕 従来、厳密な位置合わせを必要としないパター
ン検査方法としては、特開昭58−179343に示され
た方法があつた。この方法は、検出した２値パタ
ーンあるいはその細めたパターンあるいはその太
めたパターンの特定の範囲内のパターン数を検
出、標準パターンから求めるパターン数と比較
し、一致しない場合、欠陥があると判定するもの
である。これによつて検出画素毎の厳密なパター
ン位置合わせは不要となる。 しかし、この方式では、欠陥の発生位置を厳密
には指摘できない。また、パターン数を計数する
特定の範囲内に、パターンの分離（断線）とパタ
ーンの融合（短絡）が同時におこつた場合、パタ
ーン数が標準パターン数と変わらず、これを見逃
す可能性があるという問題点があつた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、多数の着目点を有する印刷回路パターン等
の配線パターンに対して、基準となる循環リスト
構造の基準接続データを容易に得て、断線、短
絡、配線パターン幅小（断線に近い状態）、配線
パターン間隔小（短絡に近い状態）などの欠陥を
非接触で且つ高速で検査することができるように
した配線パターン欠陥検査方法を提供することに
ある。 〔発明の概要） 即ち、本発明は、上記目的を達成するために、
予め正しい配線パターンについてその光学像を撮
像手段で撮像して映像信号に変換し、該映像信号
を２値化手段により２値化信号に変換して２値化
画像を抽出し、この抽出された２値化画像上にお
いて位置が指定された複数の着目点について連結
性処理手段によりこれら着目点間の配線パターン
が連結しているか否かの連結関係を検出すると共
に連結していると検出された各配線パターンにつ
いて、各配線パターン内に存在する着目点（パツ
ド）の各々に付与された番号と連結した各配線パ
ターンを代表する代表点番号（親パツド番号）と
を対として基準接続データを生成し、この生成さ
れた基準接続データから着目点の各々に付与され
た番号をアドレスとして同じ代表点番号が付与さ
れた連結した配線パターン毎に着目点番号を一巡
させた循環リスト構造の基準接続データに変換し
て基準データメモリに記憶させて循環リスト構造
の基準接続データを準備する工程と、その後被検
査配線パターンについてその光学像を撮像手段で
撮像して映像信号に変換し、該映像信号を２値化
手段により２値化信号に変換して２値化画像を抽
出し、この抽出された２値化画像上において位置
が指定された複数の着目点について連結性処理手
段によりこれら着目点間の配線パターンが連結し
ているか否かの連結関係を検出すると共に連結し
ていると検出された各配線パターンについて、各
配線パターン内に存在する着目点の各々に付与さ
れた番号と連結した各配線パターンを代表する代
表点番号とを対として被検査接続データを生成
し、この生成された被検査接続データと基準デー
タメモリに記憶された循環リスト構造の基準接続
データとを、比較処理手段により比較照合して上
記循環リストの一巡の着目点における上記被検査
接続データから得られる該一巡の着目点に拘る代
表点の数（０も含む）に基いて被検査パターンの
断線状態・短絡状態の欠陥の存否を検出する欠陥
検出工程とを有することを特徴とする配線パター
ン欠陥検査方法である。なお、循環リスト構造の
基準接続データを準備する際、正しい配線パター
ンに一部に欠陥等の間違いがある場合、この部分
のみを手直しによつて修正して正しい循環リスト
構造の基準接続データを得ても良いことは明らか
である。また、本発明は、上記配線パターン欠陥
検査方法における欠陥検出工程において、被検査
接続データを生成する際、被検査配線パターンの
２値化画像に対して断線に近い配線パターンを切
断する縮小画像処理を施すか又は短絡に近い配線
パターン同志を短絡させる拡大画像処理を施すこ
とを特徴とするものである。 〔発明の実施例〕 まず、本発明の原理について第１図乃至第８図
に基いて説明する。即ち、回路パターンの電気的
導通を非接触で検出するには、配線パターンが平
面上に存在することを考慮してこの被検査配線パ
ターンについてその光学像を撮像装置２１で撮像
して映像信号に変換し、該映像信号を２値化装置
２２により２値化信号に変換して２値化画像を抽
出し、この抽出された２値化画像上において、パ
ツド位置データ・メモリ２７に記憶されたパツド
位置データに基いて指定された複数のパツド（着
目点）について連結性処理装置２３によりこれら
着目点間の配線パターンが連結しているか否かの
連結関係を調べて被検査接続データを接続デー
タ・メモリ２４に生成し、この生成された被検査
接続データと、予め正しい配線パターンについて
抽出された２値化画像上において位置が指定され
た複数の着目点（パツド）についてこれら着目点
間の配線パターンが連結しているか否かの連結関
係を調べて基準接続データを接続データ・メモリ
２４に生成し、処理装置２５においてこの生成さ
れた基準接続データから連結した配線パターン毎
に着目点番号を一巡させた循環リスト構造の基準
接続データに変換して設計データ・メモリ（基準
データメモリ）２６に記憶さて得られる循環リス
ト構造の基準接続データ（以降、設計データと称
す。）とを比較することによつて、被検査配線パ
ターンにおける断線、短絡等の検査を行うことが
できる。なお、基準となる設計データの一部に誤
りが有つた場合、この誤りを手直しで修正しても
良いことは明らかである。ところで連結性処理装
置２３の出力である接続データ構造としては、被
検査配線パターン及び正しい配線パターンについ
て同様に、着目パツド（着目点）番号をアドレス
とし、それに接続している代表である親パツド
（代表点）番号をデータ内容としている。そして
処理装置２５における比較検査は、設計データ・
メモリ（基準データメモリ）２６に記憶された設
計データを基準にして循環リストの一巡のパツド
（着目点）毎に、接続データ・メモリ２４に記憶
された被検査接続データからデータを取り出して
参照して親パツド番号の数（０も含む）（属性デ
ータ）を調べ、この親パツド番号の数（０も含
む）に基いて被検査配線パターンの断線状態・短
絡状態の欠陥の存否を検査する方式である。これ
によつて、基準となる循環リスト構造の設計デー
タを容易に準備することができると共に、循環リ
スト構造にしたことにより設計データ量と、欠陥
判定する際全設計データを１回参照すればよいの
で処理量とについて大幅な低減を実現することが
できる。 まず接続データについてさらに詳しく説明す
る。第４図は接続データを示す。同図に示すよう
に、接続データは、着目パツド番号をアドレスと
し、データ内容は着目パツド番号と連結関係にあ
る親パツド番号とする対なる構成になつている。
パツド番号とは、回路パターン上で導通関係等を
検査する必要のあるパツドに特定の規則にしたが
つて付された番号（アドレス）である。例えば、
第５図に示すように、上から下、左から右へとい
う順に１から番号付けする。パツドのうち親パツ
ドとは、連結した個々の回路パターンを代表する
特定の１個のパツドである。親パツドの決定法
は、例えば、回路パターン上で最も左上にあるも
のをいうように特定の規準を定めておけばよい。
第６図のパターンを例とした接続データを第１表
に示す。同図で、親パツドはパツド番号１，４で
ある。 次に、基準となる正しい接続関係を示す設計デ
ータ（循環リスト構造の基準接続データ）につい
て更に詳しく説明する。設計データは、各アドレ
ス、即ち各着目パツド番号に対して順次接続関係
にある最初の着目パツド番号が付与されていき、
最後に接続関係にある最初の着目パツド番号が付
与され、一つの接続された回路（配線）パターン
に対して唯一つの一巡する循環リストで表現され
たデータ構造を持つている。即ち、この一巡する
循環リストは、一つの接続された回路パターン上
にある全ての着目パツド番号を循環させて示した
ものであり、基準となる正しい回路（配線）パタ
ーンの接続関係を示す。ここで、接続関係とは、
パツド相互間の単なる連結関係のみを意味し、幾
何的な位置関係を示すものではない。ポインテイ
ング順は番号の若い順または古い順とする。第６
図のパターンを例とした設計データを第２表に示
す。 この設計データは、欠陥のない正しい基準検査
対象パターンから連結性処理を行なうことにより
得られた接続データを循環リスト構造に変換して
得るか、または、予め目視等で特定できる少量の
欠陥を有してもその基準検査対象パターンから得
られた接続データをまず循環リスト構造に変換
し、その後に循環リスト構造に変換され

【表】

【表】 たデータの誤り部分を一部手直し修正して得るも
のである。 つぎに、接続データを循環リスト構造に変換す
る方法について述べる。接続データは、データ・
テーブル内に、アドレス１からｎまでに格納され
ているものとする。これを、第７図に示すフロー
チヤートの手順に従つて内容を書き換えることに
よつて循環リストが得られる。 次に処理装置２５において、以上説明した接続
データと設計データとを比較して属性データを得
る。この属性データを、各循環リスト毎に調べ、
断線、短絡、パツドなし等の欠陥を検出する。こ
こで、循環リストの区分は、循環リストを作成さ
れた段階で既にわかつている。従つて、属性デー
タはこの循環リストの区分に従つて選び出し、そ
の区分内の属性データのみを利用して欠陥判定を
行う。属性データの求め方及び欠陥検出方法につ
いて述べる。該処理において、中間データ（属性
データ）を属性データ・メモリ２８に格納するた
めに、設計データの各アドレス（着目パツド番
号）に２ビツトの属性データを付加する。そのた
めのアルゴリズムを以下に示す。 欠陥検出アルゴリズム 段階１ 属性データをすべて０にクリアする。 段階２ 全ての属性データを以下の手順で設計デ
ータと比較し、属性データを付与し、その
属性データを属性データ・メモリ２８に格
納する。 即ち、もし接続データの着目パツドと親
パツドのパツド番号が等しいときは、属性
データとして１を付与し、そうでないとき
は、設計データ上の一巡する循環リスト上
に、接続データの親パツド番号（代表点番
号）があるかどうかを調べ、もし親パツド
番号があるときは属性データとして２を付
与し、親パツド番号がないときは属性デー
タとして３を付与する。 段階３ 設計データをもとに一巡する各循環リス
トについて属性データを調べ、次に示す基
準に従つて欠陥を判定する。 ケース１ ０が一つ以上あつた場合 →パツドに欠陥がある（パツドなし） ケース２ １が一つで他はみな２の場合 →正常 ケース３ １が二つ以上あつた場合 →断線 ケース４ ３が一つ以上あつた場合 →短絡 段階４ 各循環リスト（連結した回路パターン）
の欠陥判定結果を出力する。 以下に、図面を参照しながら、実施例を用いて
本発明を一層詳細に説明するが、それらは例示に
過ぎず、本発明の枠を越えるとなしにいろいろな
変形や改良があり得ることは勿論である。 まず、本発明の最も基本的な実施例を説明す
る。本実施例を具体的に実行する装置の構成を第
８図に示す。同図に示すように、まず、撮像装置
２１によつて、被検査パターンの光学像を電気信
号に変換する。撮像装置２１にはTVカメラなど
の２次元画像撮像装置を用いてもよいし、リニア
センサと一方向駆動機構との組合せによる撮像装
置を用いてもよい。電気信号は、２値化装置２２
によつて２値信号（２値パターン）に変換され
る。２値化方式には、固定閾値方式を用いてもよ
いし、安定なパターンを得るため、浮動閾値方式
を用いたり、シエーデイング補正の手段を用いて
もよい。２値信号は、連結性処理装置２３に入力
され、第４図に示した接続データを作成する。パ
ツド番号を連結性処理の際に知るため、予め設計
情報もしくは、パツド間隔と個数よりパツド位置
とパツド番号の対応関係を作成し、パツド位置デ
ータ・メモリ２７に格納しておく、連結性処理装
置は、より具体的には本出願人が先に提出した
「連結関係検出法（特願昭59−104571号：特開昭
60−250480号）」と題する出願明細書に示された
方法を具現する装置である。 一方、設計データは、あらかじめ欠陥を含まな
い検査対象パターンから得られた接続データもし
くは欠陥を含む検査対象パターンから得られたも
のを修正した接続データを、接続データ・メモリ
２４から読み出し、処理装置２５上で先に述べた
変換方法により循環リスト構造に変換し、設計デ
ータ・メモリ（基準データメモリ）２６に格納し
ておく。そして、検査対象のすべての回路パター
ンの接続データを作成した後（撮像装置によるす
べての回路パターンの撮像後）、処理装置２５に
よつて先に述べた欠陥検出アルゴリズムを実行
し、属性データを属性データ・メモリ２８に出
力、欠陥判定を行なう。 第９図に示す被検査パターンを例に実際の欠陥
検出処理過程を示す。２値化処理、連結性処理を
経て、接続データ・メモリ２４に格納された接続
データの内容を第４表に示す。親パツドが０とな
つているのは、そのアドレス番号に相当するパツ
ドが見つからなかつたことを示す。一方、第１０
図に示す正常なパターンから得られた設計データ
を第５表に示す。第５表の左コラムはアドレス、
中央コラムはパツド番号（ポインタ）、右コラム
は属性データを示す。属性データは０に初期化し
ておく。まず、接続データ・メモリ２４の先頭の
データを調べると左右のパツド番号とも１である
ので、設計データのアドレス１の属性データを１
とする。つぎの接続データも左右のパツド番号と
も２であるので、

【表】

【表】

【表】 設計データのアドレス２の属性データを１とす
る。つぎの接続データは左パツド番号が３、親パ
ツド番号は２である。まず、設計データのアドレ
ス３のデータ（ポインタ）を調べると１であり、
親パツド番号２と一致しない。そこで、つぎにポ
インタの指しているアドレス１のデータを調べ
る。データは２であり親パツド番号と一致したの
でアドレス３の属性データを２とする。つぎの接
続データの左パツド番号は４、親パツド番号は２
である。設計データのアドレス４のデータを調べ
ると５であり、親パツド番号２と一致しない。そ
こでアドレス５のデータを調べると４であり、親
パツド番号２と一致しないばかりか、データが接
続データの左のパツド番号４に一致し、循環リス
トを一巡しても親パツドが発見できなかつたこと
になる。そこで、アドレス４の属性データを３と
する。つぎの接続データに関しても、同様に循環
リストを一巡しても親パツドが発見できないの
で、アドレス５の属性データを３とする。つぎの
接続データは左のパツド番号６、親パツド番号６
であるので、アドレス６の属性データを１とす
る。つぎの接続データは左のパツド番号が８、親
パツド番号が６であり、設計データのアドレス８
のデータを調べると６なので、アドレス８の属性
データを２とする。以上で、この場合のすべての
接続データのサーチが終り、属性データが作成さ
れたことになる。そこで、今度は属性データを各
循環リスト毎に調べ、欠陥判定を行なう。まず、
パツド番号１，２，３より成るパターンは、属性
データに１が二つあるので、断線と判定される。
つぎにパツド番号４，５より成るパターンは、属
性データがすべて３であるので、短絡と判定され
る。また、パツド番号６，７，８より成るパター
ンは、属性データに０があるので、パツドなし不
良が存在する（パツド番号７）。このように、判
定結果はパターン上の欠陥を正しく指摘してい
る。ただし短絡しているパターンのうち一つは判
定結果に表われない。しかし、これは重大な欠点
とはなり得ない。 このように、本実施例によれば比較的簡単な構
成で、非接触でパターンの短絡、断線を検出でき
る。 つぎに本発明による第２の実施例について説明
する。本実施例を具体的に実行する装置の構成を
第１１図に示す。先に示した実施例（第８図）と
の相違は２値化装置２２と連結性処理装置２３と
の間に縮小処理装置２９が入つている点であり、
他の構成は全く同じである。縮小処理装置２９の
一実施例を第１２図に示す。装置はｎビツトのシ
フト・レジスタ３１（m₂−１）本とm₁ビツトの
シフト・レジスタ３２m₅本から成る。これらの
シフト・レジスタは同一のサンプリング・クロツ
クにより駆動される。ｎは撮像装置２１の水平方
向のサンプリング点数に一致させる。また、m₁，
m₂はサンプリング時間間隔、撮像装置の垂直方
向分解能、検出したい欠陥の大きさにより決定さ
れる。例えばサンプリング時間間隔、垂直方向分
解能がそれぞれ10μmに相当し、欠陥の大きさが
30μm角であればm₁＝m₂＝３とする。（第１３
図）。そして、m₁×m₂のシフトレジスタ３２の
出力をAND回路３３に導き、連結性処理装置２
３に対して出力する。第１２図では、すべてのシ
フト・レジスタの出力を取り出しているが、検出
したい欠陥の形によつて選択的に取り出してもよ
い。第１３図に示す２値パターンの第１２図の装
置による縮小処理結果を第１４図に示す。最も短
い線分を一辺とする正方形は１画素を表わす。第
１５図に示す被検査パターンの縮小処理後のパタ
ーンを第１６図に、連結性処理で生成された接続
データを第６表に、設計データを第７表に示す。
さらに、先に述べた第１の実施例と同様に生成し
た属性データと欠陥判定結果を第７表

【表】

【表】

【表】 の右の欄に示す。この結果から明らかなように、
規定値（この例では30μm）以下のパターン幅小
を断線として検出できている。ただし、断線とパ
ターン幅小の区別はできないし、微細な短絡を見
逃す可能性がある。このように、本実施例によれ
ば、断線およびパターン幅小を区別なしに検出さ
えすればよい場合に、比較的簡単な構成でパター
ン欠陥検出装置を実現できる。 つぎに第３の実施例について説明する。本実施
例を具体的に実行する装置の構成を第１７図に示
す。同図より明らかなように、本実施例は、第１
の実施例と第２の実施例の複合である。第１５図
に示す被検査パターンより検出された属性データ
および欠陥判定結果を設計データとともに第８表
に示す。

【表】 第１７図に示す装置は第８図に示す装置と第１
１図に示す装置を合わせたものであり、それらの
図と共通する引用番号はそれらの図におけるもの
と同じ部分を表わし、引用番号に添えられたａは
原パターンを処理する系列に属することを表わ
し、ｂは縮小パターンを処理する系列に属するこ
とを表わす。各系列における処理は、前２例と全
く同じであり、最後に、原パターンより得られた
判定結果と縮小パターンより得られた判定結果を
総合的に判断する処理を加える。すなわち、第８
表に示すように、二つの判定結果より、断線とパ
ターン幅小の区別が可能になるとともに、微細な
短絡の見逃しもなくなる。このように、本実施例
によれば、断線とパターン幅小を区別して検出で
きる。 つぎに、本発明による第４の実施例について説
明する。本実施例を具体的に実行する装置の構成
を第１８図に示す。第１の実施例（第８図）との
相違は、２値化装置２２と連結性処理装置２３と
の間に、拡大処理装置３０が入つている点であ
り、他の構成は全く同じである。拡大処理装置３
０の一実施例を第１９図に示す。装置はｎビツト
のシフト・レジスタ３１（m₂−１）本とm₁ビツ
トのシフト・レジスタ３２m₂本から成る。これ
らのシフト・レジスタは同一のサンプリング・ク
ロツクで駆動される。ｎは撮像装置の水平方向の
サンプリング点数に一致させる。また、m₁，m₂
はサンプリング時間間隔、撮像装置２１の垂直方
向分解能、検出したい欠陥の大きさにより決定さ
れる。例えば、サンプリング時間間隔、垂直方向
分解能がそれぞれ10μmに相当し、欠陥の大きさ
が30μm角であれば、m₁＝m₂＝３とする（第１９
図）。そして、m₁×m₂のシフト・レジスタ３２
の出力をOR回路３４に導き、連結性処理装置２
３に対して出力する。第１９図では、すべてのシ
フト・レジスタ３２の出力をOR回路３４に導い
ているが、検出したい欠陥の形によつて、選択的
に取り出してもよい。第１３図に示す２値パター
ンの第１９図の装置により拡大処理結果を第２０
図に示す。また、第１５図に示す被検査パターン
の拡大処理後のパターンを第２１図に、連結性処
理で生成された接続データを第９表に示す。さら
に、第１の実施例と同様に生成した属性データと
欠陥判定結果を設計データとともに第10表に示
す。

【表】

【表】 この結果より明らかなように、規定値（この例
では30μm）以下のパターン間隔小を短縮として
検出できている。ただし、短絡パターン間隔小の
区別はできないし、微細な断線を見逃す可能性が
ある。このように、本実施例によれば、短絡およ
びパターン間隔小を区別なしに検出さえすればよ
い場合に、比較的簡単な構成でパターン欠陥検査
装置を実現できる。 つぎに第５の実施例について説明する。本実施
例を具体的に実行する装置の構成を第２２図に示
す。同図より明らかなように、本実施例は、第１
の実施例と第４の実施例の複合である。第１５図
に示した被検査パターンより検出された属性デー
タおよび欠陥判定結果を第11表に示す。第２２図
に示す装置は第８図に示す装置と第１８図に示す
装置を合わせたものであり、それらの図と共通す
る引用番号はそれらの図におけるものと同じ部分
を表わし、引用番号に添えられたａは、第１７図
におけると同様に、原パターンを処理する系列に
属することを表わし、ｃは拡大パターンを処理す
る系列に属することを表わす。各系列における処
理は、第１および第４の例における処理と全く同
じであるが、最後に、第３の例と同様、原パター
ンより得られた判定結果と拡大パターンより得ら
れた判定結果を総合的に判断する処理を加える。 すなわち、第11表に示すように、二つの判定結
果より、短絡パターン間隔小の区別が可能になる
とともに、微細な断線の見逃しもなくなる。この
ように、本実施例によれば、短絡とパターン間隔
小を区別して検出できる。

【表】 つぎに本発明による第６の実施例について説明
する。本実施例を具体的に実行する装置の構成を
第２３図に示す。同図より明らかなように、本実
施例は、第２の実施例と第４の実施例の複合であ
る。第１５図に示した被検査パターンより検出さ
れた属性データおよび欠陥判定結果を設計データ
とともに第12表に示す。ここに至る処理は第２，
第４の例と全く同じである。ただし、最後に、縮
小パターンより得られた判定結果と拡大パターン
より得られた判定結果を総合的に判断する処理を
加える。すなわち、第13表に示すように、二つの
判定結果より、パターン間隔小と微細な短絡、パ
ターン幅小と微細な断線の区別は付かないが、そ
の他に関しては、完全に区別して検出が可能であ
るとともに、見逃しもない。このように本実施例
によれば、完全な短絡、完全な断線、パターン間
隔小または微細な短絡、パターン幅小または微細
な断線を区別して検出できる。

【表】

【表】

【表】 つぎに本発明による第７の実施例について説明
する。本実施例を具体的に実行する装置の構成を
第２４図に示す。同図より明らかなように、本実
施例は、第１，第２，第４の実施例の複合であ
る。第１５図に示した被検査パターンより検出さ
れた属性データおよび欠陥判定結果を設計データ
とともに第14表に示す。

【表】 ここに至る処理は、第１，第２，第４の例と全
く同じである。ただし、最後に縮小パターンより
得られた判定結果と拡大パターンより得られた判
定結果と原パターンより得られた判定結果を総合
的に判断する処理を加える。すなわち、第15表に
示すように、三つの判定結果より、完全な断線、
完全な短絡、微細な断線、微細な短絡、パターン
幅小、パターン間隔小を完全に区別して検出が可
能であるとともに、見逃しもない。このように、
本実施例によれば、完全に欠陥の種類を区別した
検出が可能である。

【表】

〔発明の効果〕

以上説明した通り、本発明によれば、光学的手
段を用いて非接触にパターンを検出し、パツド間
の接続関係を画像処理で求めているので、対象パ
ターンの多少の変動に影響を受けず、かつパター
ンを傷つけることなく、高い信頼性で、高速に欠
陥検査を行なうことができる。 特に、接続関係を表す設計データにリスト構造
を用いているので、接続マトリクスで表現する場
合に比べ、例えば256×256パツドの場合、256²×
256²≒2.56×10⁹bitから1.05×10⁶bitへのデータ圧
縮が実現でき、かつ処理時間も大幅に低減でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は原パターンの１例の平面図、第２図は
第１図に示されたパターンに縮小処理を施して得
られるパターンの平面図、第３図は第１図に示さ
れたパターンに拡大処理を施して得られるパター
ンの平面図、第４図は接続データの構造を示す図
表、第５図および第６図は回路パターンの２つの
異つた例を示す平面図、第７図は接続データを循
環リスト構造に変換するフローチヤート、第８図
は本発明の第１の実施の態様による方法を実施す
るための装置の構成を示すブロツク図、第９図は
被検査パターンの１例の平面図、第１０図は第９
図に示された被検査パターンに対応する正常なパ
ターンの平面図、第１１図は本発明の第２の実施
の態様による方法を実施するための装置の構成を
示すブロツク図、第１２図は縮小処理装置の構成
を示すブロツク図、第１３図は２値パターンの一
例を示す図、第１４図は第１３図に示されたパタ
ーンに縮小処理を施して得られるパターン図、第
１５図は被検査パターンの他の一つの例の平面
図、第１６図は第１５図に示されたパターンに縮
小処理を施して得られるパターンの平面図、第１
７図は本発明の第３の実施の態様による方法を実
施するための装置の構成を示すブロツク図、第１
８図は本発明の第４の実施の態様による方法を実
施するための装置の構成を示すブロツク図、第１
９図は拡大処理装置の構成を示すブロツク図、第
２０図は第１３図に示されたパターンに拡大処理
を施して得られるパターン図、第２１図は第１５
図に示されたパターンに拡大処理を施して得られ
るパターンの平面図、第２２図、第２３図および
第２４図はそれぞれ本発明の第５，第６，および
第７の実施の態様による方法を実施するための装
置の構成を示すブロツク図である。 符号の説明、２１……撮像装置、２２……２値
化装置、２３，２３ａ，２３ｂ，２３ｃ……連結
性処理装置、２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ……
接続データ・メモリ、２５……処理装置、２６…
…設計データ・メモリ、２７……パツド位置デー
タ・メモリ、２８……属性データ・メモリ、２９
……縮小処理装置、３０……拡大処理装置、３
１，３２……シフト・レジスタ、３３……AND
回路、３４……OR回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 予め正しい配線パターンについてその光学像
   を撮像手段で撮像して映像信号に変換し、該映像
   信号を２値化手段により２値化信号に変換して２
   値化画像を抽出し、この抽出された２値化画像上
   において位置が指定された複数の着目点について
   連結性処理手段によりこれら着目点間の配線パタ
   ーンが連結しているか否かの連結関係を検出する
   と共に連結していると検出された各配線パターン
   について、各配線パターン内に存在する着目点の
   各々に付与された番号と連結した各配線パターン
   を代表する代表点番号とを対として基準接続デー
   タを生成し、この生成された基準接続データから
   着目点の各々に付与された番号をアドレスとして
   同じ代表点番号が付与された連結した配線パター
   ン毎に着目点番号を一巡させた循環リスト構造の
   基準接続データに変換して基準データメモリに記
   憶させて循環リスト構造の基準接続データを準備
   する工程と、その後被検査配線パターンについて
   その光学像を撮像手段で撮像して映像信号に変換
   し、該映像信号を２値化手段により２値化信号に
   変換して２値化画像を抽出し、この抽出された２
   値化画像上において位置が指定された複数の着目
   点について連結性処理手段によりこれら着目点間
   の配線パターンが連結しているか否かの連結関係
   を検出すると共に連結していると検出された各配
   線パターンについて、各配線パターン内に存在す
   る着目点の各々に付与された番号と連結した各配
   線パターンを代表する代表点番号とを対として被
   検査接続データを生成し、この生成された被検査
   接続データと基準データメモリに記憶された循環
   リスト構造の基準接続データとを、比較処理手段
   により比較照合して上記循環リストの一巡の着目
   点における上記被検査接続データから得られる該
   一巡の着目点に拘る代表点の数（０も含む）に基
   いて被検査配線パターンの断線状態・短絡状態の
   欠陥の存否を検出する欠陥検出工程とを有するこ
   とを特徴とする配線パターン欠陥検査方法。 ２ 上記欠陥検出工程において、被検査接続デー
   タを生成する際、被検査配線パターンの２値化画
   像に対して断線に近い配線パターンを切断する縮
   小画像処理を施すことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の配線パターン欠陥検査方法。 ３ 上記欠陥検出工程において、被検査接続デー
   タを生成する際、被検査配線パターンの２値化画
   像に対して短絡に近い配線パターン同志を短絡さ
   せる拡大画像処理を施すことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の配線パターン欠陥検査方
   法。