JPH01106180A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH01106180A JPH01106180A JP62264604A JP26460487A JPH01106180A JP H01106180 A JPH01106180 A JP H01106180A JP 62264604 A JP62264604 A JP 62264604A JP 26460487 A JP26460487 A JP 26460487A JP H01106180 A JPH01106180 A JP H01106180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- product
- points
- circuit
- feature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 15
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 7
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野」
本発明はパターン検査装置、％にグリント基板寺のパタ
ーンの慣査において、良品と被検食品を比較することに
よ）被検査品が良品であるか、またけショートや断線が
ある不良品かどうかの判定を行うパターン検量装置に関
する。
ーンの慣査において、良品と被検食品を比較することに
よ）被検査品が良品であるか、またけショートや断線が
ある不良品かどうかの判定を行うパターン検量装置に関
する。
従来のパターン検査装置は、外観横歪の自動化（８５９
年、電気学会発行）の５６ページに示されるようなパタ
ーン比較法がある。
年、電気学会発行）の５６ページに示されるようなパタ
ーン比較法がある。
第５図は、従来のパターン検査装置の原理図を示す。
従来のパターン検査装置は、第５図において被検食品の
パターンＡと、基準となる良品のパターンＢとの精密な
位置合わせを行った後、両者を比較し、一致しない部分
を欠陥として検出するととＫよシ良品、不良品の判定を
している。
パターンＡと、基準となる良品のパターンＢとの精密な
位置合わせを行った後、両者を比較し、一致しない部分
を欠陥として検出するととＫよシ良品、不良品の判定を
している。
上述した従来のパターン検査装置は、比較検量を行うた
めに、精密な位置合わせを行なわなくてはならず、この
ため位置合わせのために検出系や駆動系などの膨大なハ
ードフェアが必要であシ、また位置合わせ精度以下の微
細な欠陥が検出できないという欠点があった。
めに、精密な位置合わせを行なわなくてはならず、この
ため位置合わせのために検出系や駆動系などの膨大なハ
ードフェアが必要であシ、また位置合わせ精度以下の微
細な欠陥が検出できないという欠点があった。
本発明のパターン検査装置は画像を入力するための光電
変換回路と入力された画像を二値化するための二値化回
路と二値化された画像から端点、分岐点の特徴点の数を
検出するための特徴点数検出回路と特徴点の数のデータ
を入力画像が基準となる良品のパターンのとき罠は記憶
回路に、被検査品のパターンのときには比較回路に切り
換えて出力するための切り替え回路と検出された特徴点
の数と検査結果を記ｔｅ″″ｒるための記憶回路と基準
となる良品のパターンの特徴点の数と被伐査品のパター
ンの特徴点の数を比較し良品、不良品の判定を行う比較
回路とを営んで構成される。
変換回路と入力された画像を二値化するための二値化回
路と二値化された画像から端点、分岐点の特徴点の数を
検出するための特徴点数検出回路と特徴点の数のデータ
を入力画像が基準となる良品のパターンのとき罠は記憶
回路に、被検査品のパターンのときには比較回路に切り
換えて出力するための切り替え回路と検出された特徴点
の数と検査結果を記ｔｅ″″ｒるための記憶回路と基準
となる良品のパターンの特徴点の数と被伐査品のパター
ンの特徴点の数を比較し良品、不良品の判定を行う比較
回路とを営んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すプロ、り図である。ｙ
Ｊ２図（ａ）は基準となる良品のパターンの入力図形の
一例である。第２図（ｂ）はショートと断線の欠陥な宮
む被検査品のパターンの一例で、第２図（ａ）のパター
ンと同じ部分に相当する。第３図（ａ）は第２図（ａ）
に示す基準となる良品のパターンを細線化し、端点、分
岐点を示した図である。第３図ｔｂ）は、第２図（ｂ）
に示す被検査品のパターンを細線化し、端点、分岐点を
示した図である。第４図（ａ）は端点の一例を示した図
である”。第４図（ｂ）は分岐点の一例を示した図であ
る。第４図（Ｃ）は、孤立点を示した図である。第４図
（ｄ）は欠点の一例を示した図である。
Ｊ２図（ａ）は基準となる良品のパターンの入力図形の
一例である。第２図（ｂ）はショートと断線の欠陥な宮
む被検査品のパターンの一例で、第２図（ａ）のパター
ンと同じ部分に相当する。第３図（ａ）は第２図（ａ）
に示す基準となる良品のパターンを細線化し、端点、分
岐点を示した図である。第３図ｔｂ）は、第２図（ｂ）
に示す被検査品のパターンを細線化し、端点、分岐点を
示した図である。第４図（ａ）は端点の一例を示した図
である”。第４図（ｂ）は分岐点の一例を示した図であ
る。第４図（Ｃ）は、孤立点を示した図である。第４図
（ｄ）は欠点の一例を示した図である。
第１図に示すパターン検査装置は、ビデオ信号ａを出力
する光電変換回路ｌと、ビデオ信号ａを入力し二値化信
号すを出刃する二値化回路２と、二値化信号すな入力し
特徴点数信号Ｃを出力する特徴点数検出回路３と、検出
したｔｆ＃徴点の数が、基準となる良品のパターンの場
合には→像点信号Ｃを記憶装置５へ、被検査品パターン
の場合罠は比較回路６へ出力するように切り替える働き
をする切り替え回路４と、特徴点数信号Ｃと検量結果信
号ｅを入力し、特徴点数読み出し信号ｄを出力する記憶
回路５と、被検食品の特徴点数信号Ｃと特徴点数読み出
し信号ｄを入力し検査結果信号ｅを出力する比較回路６
とを含んで構成される。
する光電変換回路ｌと、ビデオ信号ａを入力し二値化信
号すを出刃する二値化回路２と、二値化信号すな入力し
特徴点数信号Ｃを出力する特徴点数検出回路３と、検出
したｔｆ＃徴点の数が、基準となる良品のパターンの場
合には→像点信号Ｃを記憶装置５へ、被検査品パターン
の場合罠は比較回路６へ出力するように切り替える働き
をする切り替え回路４と、特徴点数信号Ｃと検量結果信
号ｅを入力し、特徴点数読み出し信号ｄを出力する記憶
回路５と、被検食品の特徴点数信号Ｃと特徴点数読み出
し信号ｄを入力し検査結果信号ｅを出力する比較回路６
とを含んで構成される。
ここで、光電変羨回！＃ｔ１１は画像を入力し、ビデオ
信号ａを出力する。二値化回路では、ビデオ信号ａを入
力し、パターンを黒、背景を白とするような適切なスレ
、シュホールドレベルをもってこ値化を行い二負化信号
すを出力する。特徴点数検出回路３では二値化信号すを
入力し、二値化された画像のＭ線化（細−化は図形を芯
線化する処理のことをいい、図形の特徴点を検出すると
きに有効な中段として用いられる）を行う。第３図（ａ
）は第２図１８１の基準となる良品のパターンを細線化
した結果を示しておシ第３図（ｂ）は第２図（１））の
欠陥がある被検査品のパターンを細線化した結果を示し
ている。
信号ａを出力する。二値化回路では、ビデオ信号ａを入
力し、パターンを黒、背景を白とするような適切なスレ
、シュホールドレベルをもってこ値化を行い二負化信号
すを出力する。特徴点数検出回路３では二値化信号すを
入力し、二値化された画像のＭ線化（細−化は図形を芯
線化する処理のことをいい、図形の特徴点を検出すると
きに有効な中段として用いられる）を行う。第３図（ａ
）は第２図１８１の基準となる良品のパターンを細線化
した結果を示しておシ第３図（ｂ）は第２図（１））の
欠陥がある被検査品のパターンを細線化した結果を示し
ている。
次に、−１′８ｗ１．点数検出回路３では細線化した画
像の端点、分岐点の特徴点を３×３のマスクを用いて検
出し、その数をもとめる。端点、分岐点とは、画像を画
素単位に考えたときの連結数がそれぞれｌと３になる画
素のことをさす。第４図（ａ）は端点の一例、第４図１
ｂｌは分岐点の一例である。
像の端点、分岐点の特徴点を３×３のマスクを用いて検
出し、その数をもとめる。端点、分岐点とは、画像を画
素単位に考えたときの連結数がそれぞれｌと３になる画
素のことをさす。第４図（ａ）は端点の一例、第４図１
ｂｌは分岐点の一例である。
第３図１８）Ｋ基準となる良品のパターンのＭ点Ｔ１〜
Ｔ２、分岐点Ｂ１−８２を、第３図（ｂ）Ｋ欠陥を含む
被検査品のパターンの端点Ｔ’ １〜Ｔ／４、分岐点Ｂ
／１〜Ｂ’４を示す。
Ｔ２、分岐点Ｂ１−８２を、第３図（ｂ）Ｋ欠陥を含む
被検査品のパターンの端点Ｔ’ １〜Ｔ／４、分岐点Ｂ
／１〜Ｂ’４を示す。
これＫよ１特徴点の数は、良品のパターンの端点の数が
２、分岐点の数が２、被検食品のパターンの端点の数が
４、分岐点の数が４となる。この特徴点数信号Ｃは切り
替え回路４によって基準となる良品パターンの場合は記
憶回路５へ、被＠食品のパターンの場合は比較回路６へ
出方される。
２、分岐点の数が２、被検食品のパターンの端点の数が
４、分岐点の数が４となる。この特徴点数信号Ｃは切り
替え回路４によって基準となる良品パターンの場合は記
憶回路５へ、被＠食品のパターンの場合は比較回路６へ
出方される。
なお、第４図ｔｃ） Ｋ示す連結数０の孤立点は、端点
の数が２とし、第４図（ｄ）に示す連結数４の交点は、
分岐点の数が２とする。
の数が２とし、第４図（ｄ）に示す連結数４の交点は、
分岐点の数が２とする。
比較回路６は記憶装置５から出力される特徴点数読み出
し信号ｄと、特徴点数検出回路３から出力される被検食
品のパターン特徴点数信号Ｃを入力し、それぞれのパタ
ーンの端点と分岐点の数を比較し、両刀とも数が一致す
れば、被検査品が良品、一致しなければ、不良品である
と判定し、検査結果信号ｅを記憶回路５へ出力する。
し信号ｄと、特徴点数検出回路３から出力される被検食
品のパターン特徴点数信号Ｃを入力し、それぞれのパタ
ーンの端点と分岐点の数を比較し、両刀とも数が一致す
れば、被検査品が良品、一致しなければ、不良品である
と判定し、検査結果信号ｅを記憶回路５へ出力する。
第２図（ｂ）に示す被検査品のパターンは、分岐点の数
と、端点の数が、第２図１８）に示す基準となる良品の
パターンの分岐点の数、端点の数と一致しないので不良
品と判定される。
と、端点の数が、第２図１８）に示す基準となる良品の
パターンの分岐点の数、端点の数と一致しないので不良
品と判定される。
本発明のパターン検査装置は、被検査品のパターンを細
線化し、端点、分岐点の％微意の数を検出し、基準とな
る良品のパターンの特徴点の数と比較して良品、不良品
の判定を行うことによシ、精密な位置合わせのための膨
大なハード９エアが必要なく、また微細なショートや、
断線の欠陥のある不良品の検出が行えるという効果があ
る。
線化し、端点、分岐点の％微意の数を検出し、基準とな
る良品のパターンの特徴点の数と比較して良品、不良品
の判定を行うことによシ、精密な位置合わせのための膨
大なハード９エアが必要なく、また微細なショートや、
断線の欠陥のある不良品の検出が行えるという効果があ
る。
第２図（ａ）は基準となる良品のパターンの入力図形の
一例を示した図、ｔバ２図（ｂ口ま欠陥がある被検食品
のパターンの入力図形の一例を示した図、第３図（ａｌ
ｌ第２図ｔａ）に示す良品のパターンを６１４１化し、
端点と分岐点を示した図、第３図（ｂ）は第２図（ｂ）
Ｋ示す被検食品のパターンを細線化し端点と分岐点を示
した図、第４図１８）は端点の一例を示した図、第４図
（ｂ）は分岐点の一例を示した図、第４図１ｃ）は孤立
点を示した図、ｇ４図（ｄ）は交点の一例を示した図、
第５図は従来のパターン検量装置の原理図である。
一例を示した図、ｔバ２図（ｂ口ま欠陥がある被検食品
のパターンの入力図形の一例を示した図、第３図（ａｌ
ｌ第２図ｔａ）に示す良品のパターンを６１４１化し、
端点と分岐点を示した図、第３図（ｂ）は第２図（ｂ）
Ｋ示す被検食品のパターンを細線化し端点と分岐点を示
した図、第４図１８）は端点の一例を示した図、第４図
（ｂ）は分岐点の一例を示した図、第４図１ｃ）は孤立
点を示した図、ｇ４図（ｄ）は交点の一例を示した図、
第５図は従来のパターン検量装置の原理図である。
１・・・・・・光電変換回路、２・・・・・・二値化回
路、３・・・・・・特徴点数検出回路、４・・・・・・
切プ替え回路、５・・・・・・記憶回路、６・・・・・
・比較回路、ａ・・・・・・ビデオ信号、ｂ・・・・・
・二値化信号、Ｃ・・・・・・特徴点数信号、ｄ・・・
・・・％微意数読み出し信号、ｅ・・・・・・検査結果
信号、Ａ・・・・・・従来例の被検査品のパターン、Ｂ
・・・・・・従来例の基準となる良品のパターン、Ｔ１
〜Ｔ２・・・・・・端点、Ｔ′ １〜Ｔ′ ４・・・・
−・端点、８１〜Ｂ２・・・・・・分岐点、Ｂ’ｌ〜Ｂ
’４・・・・・・分岐点。 代理人 弁理士 内
原 晋（α） （６） （Ｃ） （ａ） 帛Ｓ 図
路、３・・・・・・特徴点数検出回路、４・・・・・・
切プ替え回路、５・・・・・・記憶回路、６・・・・・
・比較回路、ａ・・・・・・ビデオ信号、ｂ・・・・・
・二値化信号、Ｃ・・・・・・特徴点数信号、ｄ・・・
・・・％微意数読み出し信号、ｅ・・・・・・検査結果
信号、Ａ・・・・・・従来例の被検査品のパターン、Ｂ
・・・・・・従来例の基準となる良品のパターン、Ｔ１
〜Ｔ２・・・・・・端点、Ｔ′ １〜Ｔ′ ４・・・・
−・端点、８１〜Ｂ２・・・・・・分岐点、Ｂ’ｌ〜Ｂ
’４・・・・・・分岐点。 代理人 弁理士 内
原 晋（α） （６） （Ｃ） （ａ） 帛Ｓ 図
Claims (1)
- 画像を入力するための光電変換回路と、入力された画
像を二値化するための二値化回路と、二値化された画像
から端点、分岐点の特徴点の数を検出するための特徴点
数検出回路と、特徴点の数のデータを入力画像が基準と
なる良品のパターンのときには記憶回路に被検査品のパ
ターンのときには比較回路に切り換えて出力するための
切り替え回路と、検出された特徴点の数と検査結果を記
憶するための記憶回路と、基準となる良品のパターンの
特徴点の数と被検査品のパターンの特徴点の数を比較し
良品、不良品の判定を行う比較回路とを含むことを特徴
とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62264604A JPH01106180A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62264604A JPH01106180A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01106180A true JPH01106180A (ja) | 1989-04-24 |
Family
ID=17405626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62264604A Pending JPH01106180A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01106180A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04138344A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線パターン検査装置 |
| WO2012057198A1 (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 画像処理装置およびコンピュータプログラム |
| JP2013002957A (ja) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Ihi Corp | 塗布状態検査装置及び方法並びにプログラム |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP62264604A patent/JPH01106180A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04138344A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線パターン検査装置 |
| WO2012057198A1 (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 画像処理装置およびコンピュータプログラム |
| JP2013002957A (ja) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Ihi Corp | 塗布状態検査装置及び方法並びにプログラム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6332666A (ja) | パタ−ン欠陥検出方法 | |
| JPS59157505A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| JPH01224881A (ja) | パターン検査装置 | |
| JP3409670B2 (ja) | 外観検査方法およびその装置 | |
| JPS61212708A (ja) | 多層パターン欠陥検出方法及びその装置 | |
| JPH01106180A (ja) | パターン検査装置 | |
| JP2804047B2 (ja) | パターン検査方法およびその装置 | |
| JP2710527B2 (ja) | 周期性パターンの検査装置 | |
| JPH03170930A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPS61205811A (ja) | 欠陥検出方法 | |
| JPS6186638A (ja) | 配線パターン欠陥検査方法 | |
| JPH0429041A (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JP3198105B2 (ja) | 自動外観検査装置 | |
| JP2765339B2 (ja) | スルーホール検査装置 | |
| JPS6135303A (ja) | パタ−ン欠陥検査装置 | |
| JPS63124945A (ja) | パタ−ン欠陥検出方法 | |
| JPH03154808A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH0353382A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPS62150143A (ja) | パタ−ン欠陥検出方法 | |
| JPH01121709A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH043271A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH0580028B2 (ja) | ||
| JPH03252546A (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JPH0564857B2 (ja) | ||
| JPH03252875A (ja) | パターン検査装置 |