JPH04115144A - 画像処理装置とそれを用いた自動光学検査装置 - Google Patents

画像処理装置とそれを用いた自動光学検査装置

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JPH04115144A
JPH04115144A JP2235234A JP23523490A JPH04115144A JP H04115144 A JPH04115144 A JP H04115144A JP 2235234 A JP2235234 A JP 2235234A JP 23523490 A JP23523490 A JP 23523490A JP H04115144 A JPH04115144 A JP H04115144A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、画像処理装置とそれを用いた自動光学検査装
置に利用する。本発明は、特に、印刷配線板等の外観の
自動光学検査装置とそれに用いる画像処理装置に関する
。
〔概要〕
本発明は、印刷配線板等のパターンの外観検査のための
画像データの処理を行う画像処理装置とそれを用いた自
動光学検査装置において、画像処理装置として、複数種
類の画像処理回路と、この画像処理回路と画像記憶回路
との接続を自由に制御できる画像分配回路とを設けるこ
とにより、 欠陥検出精度および処理速度の向上を図ったものである
。
〔従来の技術〕
従来の印刷配線板の自動光学検査装置等の画像処理装置
は、印刷配線板の導体パターンの第１４図に示すピンホ
ール、島、突起、欠損、断線、ブリッジ、配線幅太り、
配線幅細り、および間隙小などの欠陥を検査する画像記
憶回路と画像処理回路とを含んで構成されていた。
第１５図に示す、第一従来例の自動光学検査装置は、画
像入力手段４により入力された画像データの欠陥検査に
、導体パターンの画像の特徴を検出し特徴の違いによっ
て欠陥を検出する特徴認識回路６ｄを用いていた。
第１６図に示す、第二従来例の自動光学検査装置は、中
央制御回路１０が制御記憶回路１１からの制御手順に従
って画像記憶回路５の画像１画素ごとに画像を読み出し
、画像を所定の手順に従って走査し欠陥を検出するもの
であった。
第１７図に示す、第三従来例の自動光学検査装置は、印
刷配線板の画像の特徴を特徴認識回路６ｄで検出し特徴
点画像記憶回路４３に記憶し、その他の印刷配線板を検
査する際に同様に画像の特徴を検出し、それを特徴比較
回路４４が記憶した特徴と比較して欠陥を検出するもの
であった。
第１８図に示す第四従来例の自動光学検査装置は、画像
記憶回路５と、制御記憶回路１１と、中央制御回路１０
と、画像処理回路６とを有し、中央制御回路１０が、制
御記憶回路１１の制御により、画像処理回路６に画像記
憶回路５から画像データを読み出し画像を細らせ処理、
太、らせ処理、およびその他の処理を行い結果を画像記
憶回路５に記憶させるものであった。
〔発明が解決しようとする課題〕
前述した従来の自動光学検査装置の第一および第三従来
例の画像処理装置では、画像を高速に連続的に処理でき
るが、画像の特徴の検出方法が専用の特徴認識回路によ
って単純な手順に固定してしまうので、欠陥に類似の微
妙な形状、例えば、ランドと配線の接点における間隔小
を欠陥として判定してしまう誤りをおかす等の欠点があ
った。
また、第二従来例の画像処理装置では、中央制御回路は
画像の１画素を読み出すごとに制御記憶回路から制御手
順を読み出し、その制御手順により読み出し記憶番地を
発生するので、画像を走査するのに多くの処理時間を必
要とする欠点があっまた、第四従来例の画像処理装置で
は、多くの画像処理回路を持っていても一度に一つの画
像処理回路しか働かせられないので、画像処理により欠
陥検出するのに多くの時間を必要とする欠点があった。
本発明の目的は、前記の欠点を除去することにより、厳
密に欠陥を判断でき、かつ処理時間を短縮できる画像処
理装置とそれを用いた自動光学検査装置を提供すること
にある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の画像処理装置は、入力された画像データを記憶
する画像記憶回路と、この画像記憶回路に記憶された画
像データの処理を行う画像処理回路とを備えた画像処理
装置において、前記画像処理回路は、それぞれ定められ
た異なる処理を行う複数の画像処理回路を含み、これら
複数の画像処理回路と前記画像記憶回路との接続の制御
を行う手段を含む画像分配回路を備えたことを特徴とす
る。
また、本発明の画像処理装置は、前記複数の画像処理回
路は、パターン幅および間隙の測定を行うパターン幅測
定回路、パターンの形状を部分的に細らせまたは太らせ
る処理を行う細らせ太らせ処理回路、細線化処理を行う
細線化処理回路、画像の特徴点の位置を検出して出力す
る特徴認識回路、画像の合成を行う画像合成回路および
画像の縮小を行う画像縮小回路のうち少なくとも二つ以
上を含むことができる。
また、本発明の画像処理装置は、前記特徴認識回路で検
出された画像の特徴点を記憶する特徴点画像記憶回路を
備えることができる。
また、本発明の自動光学検査装置は、前記画像処理装置
と、対象物の画像データを光学的に読み込む画像入力手
段とを備えたことを特徴とする。
また、本発明の自動光学検査装置は、前記画像処理装置
と、対象物の画像データを作成出力する画像データ作成
手段とを備えたことを特徴とする。
また、本発明の自動光学検査装置は、前記画像処理装置
と、前記画像入力手段と、前記画像データ作成手段とを
備えたことを特徴とする。
また、本発明の自動光学検査装置は、前記画像処理装置
と、前記画像入力手段とを備えたことを特徴とする。
〔作用〕
画像処理装置は、画像処理回路として、例えば、パター
ン幅作成回路、細らせ太らせ処理回路、細線化処理回路
、特徴認識回路、画像合成回路および画像縮小回路を含
み、画像分配回路によりこれら画像処理回路と画像記憶
回路との間の接続組合わせを自由に制御する。
これにより、きめの細かい欠陥判定ができるとともに、
処理速度を向上させることができる。
また、画像処理装置として、特徴点画像記憶回路を含む
ことにより、この特徴点画像記憶回路に記憶された特徴
点データと後で同様に処理された特徴点データとを比較
することにより欠陥検出精度を向上させることができる
。
そして、これら画像処理装置と、画像入力手段、画像デ
ータ作成手段またはこれら両手段とを組み合わせること
により、所望の自動光学検査装置を得ることができる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
第１図は本発明の自動光学検査装置の第一実施例の要部
を示すブロック構成図、および第２図はその画像処理装
置を示すブロック構成図である。
本第−実施例の自動光学検査装置は、印刷配線板１ある
いは原画２を設置し移動するテーブル３と、印刷配線板
１あるいは原画２の導体画像を読み込むＣＣＤカメラあ
るいはレーザースキャナからなる画像入力手段４を備え
、読み込んだ画像を記憶する画像記憶回路５と、画像処
理回路６と、それらを並行に動作させる画像分配回路７
とから構成される画像処理装置５０を備えている。
次に、画像処理装置５０の構成の詳細とその動作の概要
について説明する。
画像分配回路７は、画像処理回路６の一つあるいは複数
を選んで、それに画像データを与えるデータ分配回路８
と、画像記憶回路５から画像データを読み出す記憶番地
と書き込む記憶番地とを発生する記憶番地発生回路９と
、それらの動作を設定し制御する中央制御回路１０と、
それらの手順を記憶する制御記憶回路１１とを含んでい
る。
データ分配回路８は、中間バス１３ごとに、データ受入
光選択回路１２で、画像記憶回路５の並列な各出力端子
および各画像処理回路６の出力端子の内の一つを選び中
間バス１３に接続する。また、中間バス１３に画像デー
タを出力する際に反転処理も選択できるようにする。
さらにデータ分配回路８は、画像処理回路６および画像
記憶回路５の各画像データ入力端子ごとに、中間バス選
択回路１４で、複数の中間バス１３の一つを選択しそれ
らの入力端子に接続する。ただし、画像処理回路６等に
中間バス１３を接続しない選択も可能にする。
中間バス１３の数をＮとすると、画像記憶回路５から画
像データを取り出し、Ｎ−１個の画像処理回路６を直列
に接続し、最終結果の画像データを画像記憶回路５に送
るパイプライン処理を実行させることができる。
各データ受入光選択回路１２と中間バス選択回路１４の
データ選択処理は、中央制御回路１０がデータバスを介
して設定する。
第３図に記憶番地発生回路９のブロック構成図を示す。
記憶番地発生回路９は、書込み記憶番地カウンタ１５と
、読出し記憶番地カウンタ１６とを含み、書込み記憶番
地カウンタ１５と読出し記憶番地カウンタ１６の出力端
子をデータ選択回路１７０入力端子に接続し、データ選
択回路１７の出力端子を画像記憶回路５の記憶番地端子
に接続する。これにより、画像記憶回路５の記憶番地を
切り替えて交互に読み書きさせる。またその読み書きの
つど、記憶番地を増加させ、各画像処理回路６および画
像記憶回路５とデータ分配回路８との間で画素を一つ送
受させる。
中央制御回路１０は、制御記憶回路１１に記憶する手順
を読み出しそれに従って動作する。また、中央制御回路
ＩＱは、そのデータバスを介してデータ受入光選択回路
１２および中間バス選択回路１４にその動作状態を設定
し、記憶番地発生回路９に画像を読み出す記憶番地と画
像を書き込む記憶番地を設定し、記憶番地発生回路９の
動作開始を指令し、その他面像処理回路６が必要とする
パラメータの設定を行う。
画像処理回路６は、第４図に示すように、パターン幅測
定回路６ａ、細らせ太らせ処理回路６ｂ、細線化処理回
路６ｃ、特徴認識回路６ｄおよび画像合成回路６ｅを含
み、これにより欠陥を認識する基本動作を行う。そして
、各回路は基本回路としてテーブルルックアップタイプ
の画像処理回路を含み、３Ｘ３の窓内の画像のテーブル
ルックアップ処理を基本単位とする。
第５図にテーブルルックアップ処理回路のブロック構成
図を示す。このテーブルルックアップ処理を画像取り込
みと同期して自動的に行うように、２走査分の画像を記
憶する走査記憶回路１８と、３ビツトのシフトレジスタ
１９を３個と、このシフトレジスタ１９の出力端子をテ
ーブルルックアップ用記憶回路２０の記憶番地端子に接
続した回路を基本回路２１とする。このテーブルルック
アップ用記憶回路２０の出力端子は二つあり、一つは画
像の細線化等の画像変形をした結果の出力端子２０ａで
あり、次の基本単位の入力端子に接続する。もう一つは
画像の特徴を抽出した結果の出力端子２０ｂとして用い
る。
以下の画像処理回路６は、この基本単位の画像変形結果
を次の基本単位の入力として複数個合わせて一つとし、
多段階の画像処理を並行に動作させるように構成される
。
このテーブルルックアップ処理は、テーブルルックアッ
プ用記憶回路２０の内容により変えられるので、以下に
示すように、画像の細線化、配線の端点抽出等変化に富
んだ処理を行わせることができる。
第６図にパターンの幅および間隔を測定するパターン幅
測定回路６ａのブロック構成図を示す。
パラメータ幅測定回路６ａは、このテーブルルックアッ
プ処理によりパターンを１画素ずつ細らせてその都度１
画素幅の線状のパターン（ストリング）を特徴抽出処理
で判定する。ストリングを検出したパターンの細らせ数
がパターン幅である。
各細らせ数の基本回路２１の特徴抽出処理の出力端子２
０ｂを選択的遮へい回路２２に接続し許されるパターン
幅の範囲を遮へいさせた後の結果を論理和回路２３で論
理和をとってその出力端子２３ａからパターン幅欠陥デ
ータを出力する。選択的遮へい回路２２の遮へいパラメ
ータは中央制御回路１０が設定する。
細らせ太らせ処理回路６ｂは、画像の任意量の細らせ（
あるいは太らせ）処理を行い、細線化処理回路６Ｃは細
線化処理を行う。また、特徴認識回路６ｄは、テーブル
ルックアップ処理により配線の走行方向、端点、分岐点
および孤立点等様々の画像の特徴の位置を検出して出力
する。
第７図に画像合成回路６ｅのブロック構成図を示す。画
像合成回路６ｅは、二つの入力端子を持ち、そこから入
力する二つの画像データの位置を合わせるために、画像
データを指定した画素数で遅延する遅延回路２４を含む
画像合成回路６ｅは、遅延回路２４の出力と他の画像デ
ータとを論理積回路２５と排他的論理和回路２６の入力
端子に接続し、その演算結果を出力させ、る。また、画
像合成回路６ｅへの二つの入力画像データの片方あるい
は両方をデータ分配回路８で反転させて、さらにその演
算結果も反転できるので結局１６６種類演算を実行する
ことができる。
本発明の特徴は、第１図において、自動光学検査装置と
して、画像入力手段４と画像処理装置５０とを備え、 画像処理装置５０は、５種類の回路６ａ〜６ｅを含む画
像処理回路６と、画像分配回路７とを設けたことにある
。
次に、本第−実施例の全体的な動作について各項目ごと
に説明する。ここで、画像データは第８図に示すように
、画像記憶回路５に記憶されているものとする。
（１）間隙欠陥の検出 画像分配回路７が、画像記憶回路５の第１ビツトから元
画像を読み出し、パターン幅測定回路６ａに送付して処
理させ、その結果のパターン幅（間隙）欠陥データを画
像記憶回路５の第２ビツトへ送付する。この第２ビツト
に書き込む記憶番地は、後に疑似欠陥を除外する処理に
合わせるために、元画像の書込まれている記憶番地を避
けた記憶番地に書き込む。
（２）　　ランドの配線パターンの接点における間隙欠
陥検出の除外 （２−１）、処理（１）と同様に、画像記憶回路５の第
一ビットから元画像を読み出し、細らせ太らせ処理回路
６ｂに送付し、細らせ太らせ処理回路６ｂには画像を回
路幅以上に細らせ、配線パターンを消去し細らせたラン
ドと幅広パターンを残したランド画像データを作り、画
像記憶回路５の第３ビツトへ送付する。こうすると、ラ
ンド等と配線パターンを区別することが可能になる。
なお、この第３ビツトに書き込む記憶番地は、後に元画
像とこの画像を合成処理する処理に合わせて元画像の書
き込まれている記憶番地に合わせた記憶番地に書き込む
。
（２−２）、ランド画像データ、すなわち画像記憶回路
５の第３ビツトの画像データと元の画像すなわち第１ビ
ツトの画像データとを同時に読み出して画像合成回路６
ｅに送り、後者のデータは反転したものを用い、前者の
データと論理積回路２５で合成する。
これにより、その画像からランド画像データを引算して
、ランドをくり抜いた形の画像が合成される。この出力
を画像記憶回路５に送り、その第１ビツトで元画像の記
憶されている記憶番地を避けた記憶番地に記憶させる。
（２−３）　、この合成画像を細線化処理回路６Ｃに送
り細線化させ、その結果を画像記憶回路５の第２ビツト
でパターン幅（間隙）欠陥データの記憶されている記憶
番地を避けた記憶番地に記憶させる。
こうすると、配線およびランドの輪郭線がストリングに
、ランドと配線の接点が分岐点になる細線化画像が作ら
れる。
（２−４）、この細線化画像を画像記憶回路５の第２ビ
ツトから読み出して特徴認識回路６ｄに送付し、それに
分岐点を抽出させ、その位置を点であられした分岐点画
像を作らせ中間バス１３に取り畠す。
分岐点画像を中間バス１３から細らせ太らせ処理回路６
ｂに送付し太らせる。これは、間隙判定マスク画像であ
る。
これを画像記憶回路５の第３ビツトでパターン幅（間隙
）欠陥データの８己憶されている記憶番地に合わせた記
１．貴番地に記憶させる。
なお、これらの処理では、特徴認識回路６ｄと細らせ太
らせ処理口２８６ｂとを同時に直列に動作させている。
（２−５）、画像記憶回路５の第３ビツトから間隙判定
マスク画像を第２ビッ−トからパターン幅（間隙）欠陥
データを同時に読出し画像合成回路６ｅに送付し、前者
は反転したものを用い、それと後者を論理積回路２５で
合成した結果を得る。
これは、ランドと配線パターンの接点を間隙率と判定し
た疑似欠陥を除外した欠陥判定画像である。
これを画像記憶回路５の第１ビツトで、既存の画像が記
憶されている箇所を避けた記憶番地に記憶する。
第９図は本発明の自動光学検査装置の第二実施例の要部
を示すブロー）り構成図である。
本第二実施例の自動光学検査装置は、印刷配線板の印刷
パターンの画像データを作成し出力する画像データ作成
手段２７と、その画像データを画像記憶回路回路５に記
１ｏする画像群込み丁１段２８とを備え、さらに、複数
の記１．☆回路ブロック３２を含む画像記１．０回路５
と、複数の画像処理間Ｆ１８　（ｉと、それらをｄｆｊ
行に動作させる画像分配回路７とを含む画像処理装置を
備えている。
画像１分配回路７１ま、第一実施例と同じ構成の中火側
（和回路１ｏと、制ｉ卸記憶回路１１と、以下に説明す
る構成のデータ分配回路２９と、記憶番地発生口Ｆ１８
３０と、割り込み（やＩＬ回路３１とを含んでいる。
データ分配回路２９は、各記憶回路ブロック３２と各画
１象処理回Ｆ１８６の出カ端了を中間バス１３に接続す
る仲介をするゲート回路３３を含む。
中央側？ＩＩＩ　回Ｖ８　Ｊ　ＯＭ、ｉ’　ｎｕ　ハス
１３　コｅ！：　ニ、Ｉ１０制ｉ卸信号とアドレスバス
の信号で、それに接続する全ゲート間Ｆ１８３３を指定
し、データバスの４ｆｊ号でその内の一つのケート回１
ｉ！８３３を指定して中間バス１３吉通じさせる。
さらにデータ分配回路２９は、各画１象処理回路６と各
記憶回路ブロック３２の画像データ人カ端了ごとに中間
バス選択回路１４を含む。中央側ｉ卸回路１゜は、中間
バス選択回路１４のデータ選択レジスタを設定し、中間
バス１３の一つの信号端子を画像処理回路６等に接続す
る。ただし、画像処理回路６等に中間バス１３を接続し
ない選択も可能にする。また、画像データ入力端子を中
間バス１３に接続する記憶回路ブロック３２には書き込
み制御信号も接続する。それ以外の記憶回路ブロフク３
２には読み出し制御信号を接続する。
第１０図に記憶番地発生回路３０のブロック構成図を示
す。
記憶番地発生回路３０は、読み書き記憶ブロック選択レ
ジスタ３４と、記憶ブロック記１．キ番地カウンタ３５
と信号選択回路４４とを含み、各記憶回路ブロック３２
に読み書きする記憶番地は記憶ブロック記憶番地カウン
タ３５で指定する。記憶ブロック記憶番地カウンタ３５
は、その読み書きのつど、記憶番地を増加させ、また、
各画像処理回路６および画像記憶回路５とデータ分配回
路８との間で画像を１画素送受させる。
画像分配回路７は、中間バス１３の画像データを読み出
し、そのデータが「１」であれば記１．キブロック記憶
番地カウンタ３５の動作を停止させる割り込み停止回路
３１を含む。中央制御回路１０がこの記憶ブロック記憶
番地カウンタ３５を指定し、その値を読み出す。
本第二実施例において、画像処理回路６は、第一実施例
の回路と、それに加えて画像縮小回路を含み、これらに
より欠陥認識動作を行う。
第１Ｉ図に画像縮小回路３６のブロック構成図を示す。
画像縮小回路３６は、主走査方向の縮小画素数の画素デ
ータを第一の加算回路３７で加算し、その結果を一走査
記憶回路３８で１走査分記憶させる。
縮小画素数分の一走査記憶回路３８の対応する画素デー
タ同士を第二の加算回路３９で加算し、その結果を縮小
画像記憶ブロック４０に記憶させる。縮小画像記憶ブロ
ック４０に書き込む記憶番地は、始めに中央制御回路１
０が記憶番地カウンタ４１に値を設定し、縮小画像記憶
ブロック４０にデータを書き込むごとに記憶番地カウン
タ４１の値を増加させていく。縮小画像記憶ブロック４
０を読み出しのために中間バス１３に接続する場合は、
記憶番地分配回路４２が記憶番地発生回路３０の記憶ブ
ロック記憶番地カウンタ３５を記憶番地カウンタ４１に
替えて接続する。
本発明の特徴は、第９図において、自動光学検査装置は
、画像書込み手段２Ｂを含む画像データ作成手段２７と
、画像処理装置とを備え、画像処理装置は、第一実施例
の画像処理装置を基本とし、画像縮小回路３６を含んで
構成したことにある。
次に、本第二実施例の全体的な動作について各項目ごと
に説明する。
（１）間隙欠陥の検出 画像分配回路７が、記憶回路ブロック３２から元画像を
読み出し、バター、ン幅測定回路６ａに送付して処理さ
せ、その結果のパターン幅（間隙）欠陥データを他の記
憶回路ブロック３２へ送付する。
（２）画像データの縮小 画像縮小回路３６で元画像データとパターン幅（間隙）
欠陥データの画像を縮小する。縦横Ｍ　画素を１画素に
縮小された画像データは、画像のデータ数が取り込まれ
た画像データの１／Ｍ２に少なくなるので、画像処理回
路６は、画像取り込みと同時間にＭ２回程度の処理を行
える。この縮小画像データを用いて、第一実施例と同様
にしてランドと配線パターンの接点における間隙欠陥検
出を除外する。
（３）パターン幅（間隙）欠陥データの座標読出し 中央制御回路１０が、画像分配回路７に記憶回路ブロッ
ク３２からパターン幅（間隙）欠陥データを読み出させ
、割り込み停止回路３１にその画像データに欠陥データ
「１」がある場合に記憶ブロック記憶番地カウンタ３５
を停止させ、その記憶番地を読み出し欠陥データの座標
とする。これにより欠陥データの座標読出しを高速に実
行できる。
第１２図は本発明の自動光学検査装置の第三実施例の要
部を示すブロック構成図である。
本第三実施例の自動光学検査装置は、印刷配線板の印刷
パターンの画像データを作成し出力する画像データ作成
手段２７と、その画像データを読み込み画像記憶回路５
に記憶する画像書込み手段２８と、印刷配線板の導体画
像を読み込み画像記憶回路５に記憶する画像入力手段４
とを備え、さらに、画像記憶回路５と複数の画像処理回
路６と、画像分配回路７とを含む画像処理装置を備える
。
本発明の特徴は、第１２図において、自動光学検査装置
は、画像入力手段４と、画像書込み手段２８を含む画像
データ作成手段２７と、第一実施例の画像処理装置とを
備えたことにある。
次に、本第三実施例の全体的な動作について各項目ごと
に説明する。
（１）画像書込みと画像入力 画像書込み手段２８で画像記憶回路５に書き込んだ画像
データから、第一実施例と同様にして、パターン幅測定
回路６ａでパターン幅（間隙）欠陥データの画像を得、
細らせ太らせ処理回路６ｂと画像合成回路６ｅと細線化
処理回路６Ｃとで配線およびランドの輪郭線をストリン
グにした画像を作成し、特徴認識回路６ｄを用いて特徴
点の画像を作成する。同様にして、画像入力手段４で入
力した画像データから、それらの画像データを作成する
。
（２）画像同士の比較消去 画像書込み手段２８による特徴点等の画像データを細ら
せ太らせ処理回路６ｂで数画素太らせてマスク画像とし
、それと画像入力手段４による特徴点等の画像データを
画像合成回路６ｅで合成することにより、両者が一致す
る画像を消去する。この処理の後に残った画像が第一の
欠陥画像である。
同様にして、画像書込み手段２８による画像データを画
像入力手段４による画像でマスクし、第二の欠陥画像を
得る。この第一と第二の欠陥画像を合わせて、全欠陥と
する。
第１３図は本発明の自動光学検査装置の第四実施例の要
部を示すブロック構成図である。
本第四実施例は、画像入力手段４を備え、さらに、画像
記憶回路５、画像縮小回路３６を有する画像処理回路６
、画像分配回路７および特徴点画像記憶回路４３を含む
画像処理装置を備えている。
本発明の特徴は、第１３図において、自動光学検査装置
は、画像入力手段４と、画像処理装置とを備え、画像処
理装置は、第一実施例の画像処理装置を基本として、画
像縮小回路３６および特徴点画像記憶回路４３を設けた
ことにある。
次に、本第四実施例の全体的な動作について説明する。
印刷配線板の画像データを始めに読み込み、第三実施例
と同様に画像の特徴点等を抽出し、その画像を画像縮小
回路３６で縮小し特徴点画像記憶回路４３に記憶する。
次に、印刷配線板の画像データを読み込み、第三実施例
と同様に画像の特徴点等を抽出し、その画像を画像縮小
回路３６で縮小する。その画像と特徴点画像記憶回路４
３の画像データを画像合成回路６ｅを用いて比較し、欠
陥画像を得る。
〔発明の効果〕
本発明は、自由に画像を読出し書込みする融通性のある
画像分配回路と各画像処理回路とにより、画像を変形し
その後に特徴を抽出できるので、欠陥パターンと微妙に
ちがう正常パターンをはっきりと判別できる効果がある
。また、複数の画像処理回路を自由に直列に接続して同
時に動作させる融通性と高速性を兼ね備える効果がある
。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の自動光学検査装置の第一実施例の要部
を示すブロック構成図。 第２図はその画像処理装置を示すブロック構成図。 第３図はその記憶番地発生回路のブロック構成図。 第４図はその画像処理回路のブロック構成図。 第５図はその画像処理回路のテーブルルックアップ処理
回路のブロック構成図。 第６図はそのパターン幅測定回路のブロック構成図。 第７図はその画像合成回路のブロック構成図。 第８図はその画像処理回路の画像データのブロック構成
図。 第９図は本発明の自動光学検査装置の第二実施例の要部
を示すブロック構成図。 第１０図はその記憶番地発生回路のブロー７り構成図。 第１１図はその画像縮小回路のブロック構成図。 第１２図は本発明の自動光学検査装置の第三実施例の要
部を示すブロック図。 第１３図は本発明の自動光学検査その第四実施例の要部
を示すブロック構成図。 第１４図は自動光学検査装置が検査する欠陥の種別を示
す図。 第１５図は本発明の自動光学検査装置の第一従来例の要
部を示すブロック構成図。 第１６図は本発明の自動光学検査装置の第二従来例の要
部を示すブロック構成図。 第１７図は本発明の自動光学検査装置の第三従来例の要
部を示すブロック構成図。 第１８図は本発明の自動光学検査装置の第四従来例の要
部を示すブロック構成図。 １・・・印刷配線板、２・・・原画、３・・・テーブル
、４・・・画像入力手段、５・・・画像記憶回路、訃・
・画像処理回路、６ａ・・・パターン幅測定回路、６ｂ
・・・細らせ太らせ処理回路、６Ｃ・・・細線化処理回
路、６ｄ・・・特徴認識回路、６ｅ・・・画像合成回路
、７・・・画像分配回路、８−データ分配回路、９・・
・記憶番地発生回路、１０・・・中央制御回路、１１・
・・制御記憶回路、１２、・・データ受入光選択回路、
１３・・・中間バス、１４・・・中間バス選択回路、１
５・・・書込み記憶番地カウンタ、１６・・・読出し記
憶番地カウンタ、１７・・・データ選択回路、１８・・
・走査記憶回路、１９・・・シフトレジスタ、２０・・
・テーブルルックアップ用記憶回路、２Ｑａ　、　２０
ｂ・・・出力端子、２１・・・基本回路、２２・・・選
択的遮へい回路、２３・・・論理和回路、２４・・・遅
延回路、２５・・・論理積回路、２６・・・排他的論理
和回路、２７・・・画像データ作成手段、２８・・・画
像書込み手段、２９・・・データ分配回路、３０・・・
記憶番地発生回路、３１・・・割込み停止回路、３２・
・・記憶回路ブロック、３３・・・ゲート回路、３４・
・・読み書き記憶ブロック選択レジスタ、３５・・・記
憶ブロック記憶番地カウンタ、３６・・・画像縮小回路
、３７．３９・・・加算回路、３８・・・−走査記憶回
路、４０・・・縮小画像記憶ブロック、４１・・・記憶
番地カウンタ、４２・・・記憶番地分配回路、４３・・
・特徴点画像記憶回路、４４・・。 特徴比較回路、５０・・・画像処理装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、入力された画像データを記憶する画像記憶回路と、 この画像記憶回路に記憶された画像データの処理を行う
    画像処理回路と を備えた画像処理装置において、 前記画像処理回路は、それぞれ定められた異なる処理を
    行う複数の画像処理回路を含み、 これら複数の画像処理回路と前記画像記憶回路との接続
    の制御を行う手段を含む画像分配回路を備えたことを特
    徴とする画像処理装置。 ２、前記複数の画像処理回路は、パターン幅および間隙
    の測定を行うパターン幅測定回路、パターンの形状を部
    分的に細らせまたは太らせる処理を行う細らせ太らせ処
    理回路、細線化処理を行う細線化処理回路、画像の特徴
    点の位置を検出して出力する特徴認識回路、画像の合成
    を行う画像合成回路および画像の縮小を行う画像縮小回
    路のうち少なくとも二つ以上を含む請求項１記載の画像
    処理装置。 ３、請求項１または請求項２に記載の画像処理装置にお
    いて、 前記特徴認識回路で検出された画像の特徴点を記憶する
    特徴点画像記憶回路を 備えたことを特徴とする画像処理装置。 ４、請求項１または請求項２に記載の画像処理装置と、 対象物の画像データを光学的に読み込む画像入力手段と を備えたことを特徴とする自動光学検査装置。 ５、請求項１または請求項２に記載の画像処理装置と、 対象物の画像データを作成出力する画像データ作成手段
    と、 を備えたことを特徴とする自動光学検査装置。 ６、請求項１または請求項２に記載の画像処理装置と、 前記画像入力手段と、 前記画像データ作成手段と を備えたことを特徴とする自動光学検査装置。 ７、請求項３に記載の画像処理装置と、 前記画像入力手段と を備えたことを特徴とする自動光学検査装置。
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