KR900003202B1 - 패턴 검사장치 - Google Patents

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KR900003202B1
KR900003202B1 KR1019870003685Q KR870009685Q KR900003202B1 KR 900003202 B1 KR900003202 B1 KR 900003202B1 KR 1019870003685 Q KR1019870003685 Q KR 1019870003685Q KR 870009685 Q KR870009685 Q KR 870009685Q KR 900003202 B1 KR900003202 B1 KR 900003202B1
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야시히고 하라
히데기 도이
고이찌 가라사기
아기라 사세
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가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼
미다 가쓰시게
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Abstract

내용 없음.

Description

패턴 검사장치
제 1 도는, 본 발명의 패턴 검사장치의 1실시예를 도시한 구성도.
제 2 도는, 제 1 도에 도시하는 정보의 압축기억 및 신장시키는 회로의 구체적인 구성도.
제 3 도(a)는 2차원적으로 주사되는 것에 의해 촬영수단 및 2진화소화 수단에서 얻어지는 패턴 영상을 도시하는 도면.
제 3 도(b)는 2차원적으로 주사되는 상황을 도시한 도면..
제 4 도는, 제 2 도에 있어서 제 1 의 버퍼메모리 및 제 2 의 버퍼메모리로 기억되는 데이타를 도시하는 도면.
제 5 도는, 정보 압축 신장소자에 의해 정보 압축 신장 상황을 도시하는 도면이다.
본 발명은 패턴(pattern) 검사장치에 관하여, 다시 상세히 기술하면 프린트(print)기판 패턴의 단선, 凹凸 등의 외관결합을 자동적으로 검사하는 패턴 검사장치에 관한 것이다.
종래, 프린트기판 등의 패턴검사를 행하기 위해서, 일본국 특허 공보 소 59-24361호에 기재되어 있는 것과 같이, 2장의 패턴을 비검사하는 검사방식이 제안되어 있고, 실용되어 있다. 그 이외의 특허공개공보 소 53-83768호 및 특허 공개 공보 소 58-125826호에 기재되어 있는 것과 같이, 1장의 패턴으로 검사를 행할 수 있는 검사장치가 제안되고 있다. 또 1장의 패턴의 검사를 행하기에는, 특허 공보 공보 소 52-42790호에 기재되어 있는 것과 같이, 패턴의 설계 데이타와 비교검사하는 방식이 있다. 실물의 패턴을 기억하여 검사하는 수단으로서 일본국 「텔레비젼 학회지」(36권 1호 pp 38∼44, 1982년)는, 동일 기판상에 있는 2조의 패턴을 비교할때에, 한쪽의 패턴의 일부를 일시적으로 기억하여, 다른쪽의 패턴과 비교하는 말하자면 2조의 실물 패턴을 비교하는 방식의 변형적인 수법이 제안되어 있다.
상기한 종래기술인 특허 공보 소 59-24361호에 기재되어 있는 2장의 패턴을 비교하여 검사하는 방법에서는, 2장의 패턴이 필요하고, 특허 공개 공보 소 53-83768호 및 특허 공개 공보 소 58-125826호에 기재된 검사장치에서는, 정상패턴에 유사한 패턴을 결함으로서 검출할 수가 없고, 1장의 패턴의 검사를 행하는 비교검사 방법인 특허 공개 공보 소 52-42790호 기재의 방법에서는 설계 데이타에서 패턴의 발생 전개에 대규모인 전기회로가 필요하고, 데이타의 전송보관에 대해서도 번거롭고 또, 실물의 패턴을 기억하여 검사하는 수법으로서 일본국 「텔레비젼 학회지」기재의 방법은 한정된 용도에 대해서는 유효하더라도 일반적이 아닌 결점이 있다.
본 발명의 목적은, 프린트 기판의 회로 패턴과 같이 비교적 여러개인 회로 패턴의 비교해야할 기준 회로패턴의 발생을 용이하게 하고, 더우기 이 검사하려고 하는 기판이 1장이라도 용이하게 비교 검사할 수 있도록 한 프린트 기판용 패턴 검사장치를 제공하는데 있다.
즉, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 프린트 기판을 얹어놓고, 2차원적으로 이동하는 테이블과, 그 테이블을 이동시켜서 회로 패턴을 2차원적으로 주사하여 촬영하고, 영상신호로 변환하는 촬영수단과, 그 촬영수단에서 얻어지는 영상신호를 2진화 패턴 정보로 변환하는 2진화소화 수단(binary pixel forming mean)과, 상기 주사에 동기한 동기 신호를 발생시키는 동기 신호 발생수단과, 상기 2진화소화 수단에서 얻어지는 2진 패턴을 주사선 방향(X방향)에 직각인 방향에 차례로 분할된 소정영역마다 각각 기억하는 제 1 의 버퍼 메모리(buffer memory)와, 압축된 2진 패턴 정보를 프린트 기판에 걸쳐서 기억하는 기억수단과, 상기 동기 신호 발생수단에서 얻어지는 X방향 및 Y방향에 대해서의 좌표에 대해서, 상기 제 1 의 버퍼메모리에서 리드한 각 영역마다 대해서, Y방향에 동일 2진 패턴이 반복되는 경우, 연속성을 표시하는 신호를 남기고 소거하는 등을 행하고 2진 패턴 정보를 압축 반대로 입력하여 신장하는 정보 압축 신장수단과, 그 정보 압축신장수단에 의해서 압축된 2진 패턴 정보 및 상기 기억수단에서 얻어지는 2진 패턴 정보를 상기 각 영역마다 기억하는 제 2 의 버퍼 메모리와, 상기 제 1의 버퍼 메모리에서 얻어지는 기준이 되는 2진 패턴 정보와 상개 2진화소화 수단에서 얻어지는 검사대상의 2진 패턴 정보를 상기 동기 신호 발생수단에서 얻어지는 동기 신호에 따라서 동일 화소(pixel)에 대해서 비교하여 결함을 검출하는 비교 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 프린트 기판 패턴 검사장치이다.
본 발명의 프린트 기판 패턴 검사장치에서는, 기준이 되는 패턴 기판과 피검사용 패턴 기판을 X-Y 스테이지(stage)에 바꾸어 얹어놓고, 상기 X-Y 스테이지를 이동시는 것과 동시에 촬영 수단의 주사에 의해 2차원적으로 주사하여 촬영하고, 2진화소화 수단에 의해 2진화 패턴 정보를 얻어서, 이 2진화 패턴 정보를 각 영역마다 제 1 의 버퍼메모리에 기억하여, 이 제1의 버퍼메모리에 기억된 패턴 정보를 MH/MR(Modified Huffman/Modified Relative Element Address Designation)부호 압축 신장 처리수단에서 압축하여, 이 압축된 패턴 정보를 각 영역마다 제 2 의 버퍼 메모리에 기억하여, 이 제 2 의 버퍼메모리에 차례로 리드하여 프린트 기판 1장에 걸쳐서 반도체 메모리, 자기 디스크, 광 디스크등의 기억수단에 기억하고, 다음에 반대로 기억 수단에 기억된 패턴 정보를 차례로 리드하여 각 영역마다 상기 제 2 의 버퍼메모리에 기억하고, 제2의 버퍼메모리에서 압축된 패턴 정보를 리드하여 상기 MH/MR 부호 압축 신장처리수단으로 신장하여, 그것을 상기 제1의 버퍼메모리에 기억하고, 이 제 1 의 버퍼메모리에 끄집어낸 기준 2진 패턴정보와, 다음에 X-Y 스테이지에 설치된 피 검사용 프린트 기판을 촬영수단으로 촬영하고, 2진 화소화 수단에서 얻어지는 피검사 2진 패턴 정보를 비교수단에 의해 비교 검사하고, 회로패턴에 결함이 있는가 없는가를 판정하는 것이다. 이것에 의해, 프린트 기판의 회로 패턴과 같이 직선 성분의 다른 곡선 성분도 갖는 여러개 패턴에 대해서, 기준 2진 패턴을 비교적 작은 용량을 갖는 기억수단에 기억시켜, 이것을 피검사 패턴을 촬영수단으로 주사 촬영하여 2진 화소화 신호를 얻는데 동기시켜서 상기 기억수단에서 동일신호 형태로 변환하여 비교할 수 있게 하여, 1장의 프린트 기판이라도 간편하게 검사할 수 있도록 했다.
본 발명의 패턴 검사장치는, 막대한 정보량을 갖는 패턴을 고속과 동시에 능력좋게 기억하는 수단과, 기억한 패턴을 고속으로 발생하여, 실물 검사 패턴과 비교검사를 하는 수단이 필요하고, 제 1 도는 본 발명에 의한 검사장치의 구성을 도시한다. 1a는 사전에 기억되어야할 기준 패턴을 갖는 기준 인쇄회로기판이다. 패턴 기판 1a는 XY 스테이지 2위에 설치된다. 패턴은 수렴 렌즈(convergent lens) 3에 의해 영상 센서(image sensor) 4위에 투영된다(조명장치는 생략되어 있다). XY 스테이지 2는 스테이지 제어장치 5에 의해 위치가 제어되기 때문에, 영상 센서 4에 의해 임의의 위치의 패턴을 검출할 수 있다. 영상 센서 4는 TV 카메라, 선형 영상 센서와 같은 자기 주사형의 영상 센서이며, 그 자기 주사는 스테이지 제어장치 5에서 발생되는 동기 신호 7a에 의해서 제어된다. 영상센서 4에서 끄집어내는 테스핑 영상신호 11a는 2진화회로 15를 거쳐서, 정보 압축기 6에 의해서 MH 방식, 혹은 MR 방식 또는 M2R 방식에 의해 정보 압축되어 기억장치 8에 기억된다.
기억장치 8로서 반도체 메모리, 자기 디스크, 자기 테이프, 광 디스크 등을 사용할 수가 있다. 대량의 패턴을 기억하기에는 광 디스크가 적당하다.
다음에 기준패턴 기판 1a를 없애고, 검사 대상 패턴기판 1b를 설치한다. 검사 대상 패턴 기판 1b의 검사를 행하기 위해서는, 영상센서 4에서 특정위치의 패턴을 검출하여 얻은 검출신호 11a와 사전에 기억한 동일부분의 기준패턴 신호 11a과를 비교검사회로 10에서 비교하여 행한다. 비교 검사회로 10에 대해서는 구체적으로는 미국 특허 No, 4, 148, 065에 기재되어 있다. 패턴 기판 1a의 기준패턴 신호 11a는 정보 압축된 형태로 기억장치 8에 기억되어 있기 때문에 검출신호 11b와 비교하기 위해서는, 정보 신장장치 9에 의해, 정보 압축전의 검출신호의 상태로 되돌린다. 이때, 패턴기판 1b의 패턴과 동일부분의 패턴을 정보 신장장치 9에 의해 발생하도록, 스테이지 제어장치 5에서, 동기 신호 7b를 얻어 패턴신장을 행한다. 정보신장된 기준패턴 신호 11a와 검출신호 11b는 패턴의 비교검사회로 10에 있어서 비교 검사된다. 이와 같은 것을 기준패턴 신호 11a와 검출신호 11b는 패턴의 비교검사회로 10에 있어서 비교 검사된다. 이와 같은 것을 2∼3장의 정상적인 패턴기판에 실시하는 것에 의해, 정상패턴 정보가 기억장치에 기억된 것을 확인하여 그후 그것을 기준패턴으로 하고 그 후는 차례로 같은 것을 반복하는 것으로서 패턴의 검사를 행할수가 있다.
또한 상기 정보 압축기 6과, 정보신장장치 9는 동일한 것으로 구성할 수 있다.
여기에서 상술한 정보신장된 기준패턴 신호 11c와 검출신호 11b의 동기에 대하여 기술한다.
검출신호 11b는 제 3 도(b)에 도시하는 것과 같이 영상센서 4에서 패턴기판면 1a를 지그재그(zig zag)상태로 왕복 주사해서 얻어진다. 영상센서 4는 스테이지 제어장치 5에서 발생하는 동기 신호 7a에 의해서, 스테이지 2가 1화소(크기 P)진행하면 영상센서 4가 1회 자기주사를 행하는 구성으로 되어 있다. 따라서 영상센서 4가 촬영하고, 2진화회로 15에서 2진화소화 신호로 변환하면, 제 3 도(a)의 영상을 거둬들이게 되어, 정보 압축되어 기억된 영상의 Y방향의 화소크기(좌표값)도 마찬가지로 일정(P)의 크기로, 더욱이 소정의 주사선 R이 늦어진 좌표(Y+R)(즉 동기 신호 발생수단에서 발생하는 주사선 좌표)에서 기억되게 된다. 이와 같이 X, Y 방향에 화소마다 좌표, 즉 번지가 지정된다.
다음에, 기억한 영상을 신장한 기준패턴신호 11a와 검사대상기판 1b에서 얻어진 검출신호 11b를 비교검사할 경우에는 다음과 같이 행한다. 즉, 스테이지 2가 1화소(크기 P)진행할때마다 발생하는 주사선 동기 신호 7b에 의해, 영상센서 4가 자지주사를 행하고 동시에 정보의 신장을 행하기 때문에, 2개의 신호 11c와 11b는 완전히 동기된다.
즉 기억수단에서는 현재 주사하고 있는 주사선에서 소정의 수 R의 주사선 앞(Y+R-R=Y)의 패턴 정보가 리드되어, 정보 압축신장에 시간을 요하더라도 비교수단에서는 동기하게 된다.
기준패턴기판 1a에 대해서 입력할때는, 기판위에 마련된 위치 조절마크(mark)등을 사용하여 소정의 위치의 패턴을 기억할 수 있다. 검사대상 패턴기판 1b의 검사개시때의 위치조절은, 기판상에 마련된 동일위치의 위치조절 마크등을 사용하여 위치조절을 하면, 기준패턴 기판 1a와 검사대상 패턴기판 1b를 완전히 위치조절을 할 수 있다.
다음에 상술한 기준패턴 신호 11a의 정보 압축, 기억, 정보 신장장치에 대해서 설명한다. 본 장치는 근래 시판되기 시작한 패턴 정보의 압축, 신장용소자(일경 electronics 1985년 1월 28호, pp.193)를 적용한 것으로, 제2도에 도시하는 것과 같이 기준패턴 신호 11a는 리드/라이트(read/write) 스위치 13(도면은 라이트 상태로 되어 있다)을 통해서 A1/A2선택스위치 14로 보내진다.
A1/A2선택스위치 14는, 2진화소화된 기준패턴신호 11a를 버퍼메모리 A1(혹은 A2)로 보내져, 이것이 가득차게 되면 다음의 다른쪽의 메모리 A2(혹은 A1)로 입력을 전환한다. 버퍼메모리 A1, A2중에 축적된 패턴은 정보 압축, 신장소자 12에 의해 예를 들면 제 5 도에 도시하는 것과 같이 정보를 압축한다. 제 5 도의 좌측엔은 2진화회로 15에서 출력되어, 버퍼 메모리 A1,A2로 기억되는 2진화영상을 도시한다.
사선부분은 예를 들면 회로패턴인 "1"이 되는 부분을 표시하고, 백색부분은 이외의 "0"이 되는 부분을 표시한다. 제 5 도의 우측은 정보 압축후의 패턴데이타이다.
제 5 도에 도시하는 것과 같이, Ym-1은 패턴이 존재하지 않기 때문에 압축후의 패턴데이타는 예를 들면 0으로 한다. Ym의 주사선에 있어서 Xn+3에 "1"인 신호가 출현되어 스타트 어드레스(start address) Xn+3, 엔드 어드레스(end address) Ym+3에 대응하는 부호 데이타 A가 정보 압축 처리결과로서 얻어진다. 다음에 Ym+1의 주사선에 있어서는, Xn+2∼Xn+4까지 "1"이 연속해서 있지만, Ym의 주사선의 2진 영상과 틀리기 때문에, X방향으로 정보 압축하여 스타트 어드레스 Xn+2, 엔드 어드레스 Xn+4에 대응하는 예를 들면 부호 데이타 B를 출력한다. 다음에 주사선 Ym+2에 대해서도 정보 압축 처리하여, 예를 들면 부호 데이타 C를 출력한다. 주사선 Ym+3에 대해서는, 정보 압축처리로서 패턴의 스타트 어드레스 Xn, 엔드 어드레스 Xn+6에 대응한 예를 들면 부호데이타 D를 출력한다. 다음의 주사선 Ym+4에 대해서는, 스타트 어드레스 Xn, 엔드 어드레스 Xn+6에서 1개전의 주사선, 즉 Ym+3의 주사선과 내용이 동일하기 때문에 전과 같은 것을 표시하는 부호, 예를 들면 α를 출력한다. 다음의 주사선 Ym+s에 있어서는, Ym+4의 내용과 다르기 때문에 스타트 어드레스 Xn+1, 엔드 어드레스 Xn+s에 대응한 부호 데이타 C를 출력한다(주사선 Yn+2와 동일). 다음의 주사선 Ym+6으로 되면, 정보 압축하여 부호 데이타 B를 출력한다. 그후 주사선 Ym+9까지 각 주사선에서의 패턴은 스타트 어드레스 Xn+2, 엔드 어드레스 Xn+4이기 때문에 주사선 Yn+4때와 마찬가지로 앞의 주사선과 동일내용인 것을 표시하는 부호 α를 출력한다. 그후, 주사선 Ym+10으로 되면, 스타트 어드레스 Xn+1, 엔드 어드레스 Xn+s에 대응하는 부호 데이타 C를 출력한다. 주사선 Ym+11이후의 주사선에는 패턴이 없기 때문에, 정보 압축후의 패턴 데이타로서 0를 출력한다. 상기 정보 압축에 있어서, 상기 α는 가장 짧은 부호 예를들면 1을 사용하면 가장 좋은 경우이다.
또, 각 부호 A,B…등은 각 패턴의 발생빈도에 따라서 발생할 확률이 높은 패턴에는 짧은 부호를, 발생확률이 낮은 패턴에는 긴 부호를 할당시키는 것에 의해 정보 압축후의 데이타량을 작은 것으로 할 수 있다. 단 기억장치 8에 기억되는 Y좌표에 대해서는, 상기 주사선 Ym-1∼Ym+11에 전부 +R된 것으로 된다. 상기 +R은 정보 압축 기억하는데 요하는 주사선의 수이다.(동기 신호 발생수단에서 출력된다). 이와같은 정보압축을 하는 것에 의해, 본래의 기준패턴 신호 11a의 정보량을 약 4%까지 저감할 수가 있다.
이것은 프린트 기판의 회로패턴의 경우, 주사선 방향(X방향) 및 이것에 직각인 방향(Y방향)으로 직선성분을 향하게 한 패턴부가 상당량 있어 이 부분은 소거되어 정보 압축되는 관계로 상기와 같이 약 4%의 정보량이 저감하게 된다. 또한 정보 압축 신장용소자 12는 최대처리속도가 5MHz이끼 때문에, 4개의 소자를 병렬로 사용하는 것에 의해 최대 20MHz의 속도의 기준패턴 신호 11a를 정보 압축할 수가 있다. 정보 압축된 기준 2진영상신호는, 제 4 도에 도시하는 것과 같이 각 영역(P, Q ,R…)마다 일시적 버퍼메모리 B1(혹은 B2)에 기억된다.
B1/B2선택스위치 15는 버퍼메모리 B1,B2의 내용을 교대로 전환하면서, 정보 압축후의 기준 2진 영상신호를 인터페이스(interface) 16을 거쳐서 정보기억수단 8로 전송한다. 검사대상 패턴기판 1b를 검사할 경우는, 정보기억수단 8에 기억된 기준 2진 영상을 반대로 신장시켜, 버퍼메모리 A1,A2에 기준패턴 신호 11a를 기억시킨다. 이 신장은, 정보 압축용의 회로를 반대의 순서로 사용하는 것에 의해서 달성할 수가 있다. 이들의 회로는 스테이지 제어장치 5에서 얻어지는 동기 신호(스테이지 2가 1화소 P 진행하면 영상센서 4가 1회 자기 주사하는 동기 신호)에 의해서 제어된다. 다음에 검출된 영상을 정보 압축하여, 기억수단 8에 격납하는 상황에 대해서 제 4 도에 따라서 설명한다.
기준패턴 영상 20내의 ℓ라인(line) 주사한 영상 P가 버퍼메모리 A1에 전송된다. 본 전송은 구체적으로는, 제 2 도에 도시하는 기준패턴 신호 11a의 입력이다. 정보 압축 장치 12는 A1의 데이타에 대하여, 정보 압축 처리를 행하지만, 이때 스테이지가 연속적으로 이동하고 있으면, 기준패턴 신호 11a는 계속 전송되기 때문에, A1/A2선택스위치 14를 A2측으로 접속을 전환하고, 제4도에 도시하는 Q의 데이타는, 버퍼메모리 A2로 전송한다.
이하 이 동작을 반복하는 것에 의해, 검출영상 20은 손실되는 일없이 연속적으로 정보 압축되기 때문에, 고속 처리가 가능하게 된다. 또 본 실시예에서는 버퍼메모리 A1,A2,B1 및 B2를 각각 4분할하여, A1→B1의 정보 압축 혹은 A2→B2의 정보 압축에 있어서 병렬처리를 행하고, 또한 고속화를 도모하고 있다. 정보압축후의 영상데이타 21은, 제2도에 도시하는 B1/B2선택스위치 15, 인터페이스 16을 통해서 기억수단 8에 기억된다.
제 4 도에서 명확한 것과 같이, 정보 압축전의 기준패턴의 영상 20과 정보 압축후의 영상데이타 21은, 1대 1로 대응하고 있기 때문에, 상기 기준패턴신호 11a와 검출신호 11b의 동기화 되어 있으면, 기준패턴 1a와 검사대상 패턴 1b는, 완전히 위치 조절되므로 비교검사회로 10으로서 양자를 비교하여 결함을 검출하는 것이 가능하다.
상기 실시예는 버퍼메모리와 정보 압축, 신장소자를 2조 사용했지만, 더욱 다수 준비하면 보다 한층 고속화를 도모하는 것이 가능하다는 것은 물론이며, 반대로 버퍼메모리와 정보 압축, 신장소자를 1조만 하는 것도 가능하다.
또 정보 압축, 신장소자를 또 다수병렬화하거나, 반대로 적게하여 1개의 소자만으로 행하는 것도 가능하다.
또, 장치 제작상의 용이함 혹은 검사신뢰성 향상을 목적으로 하여, 예를 들면 기준패턴영상 20의 각 영역(Y방향에 각각 소정의 폭으로 분할한다)(P,Q.R…)마다 스타트 화소 22의 좌표를 정보 압축후의 데이타에 부가해 두는 것도 할 수 있다. 또한 상기 스타트화소 22의 좌표는, 제 1 도에 도시하는 스테이지 제어장치 5에 의해 얻어진다. 본 실시예에 의하면 기준패턴 기판 1a와 검사대상 패턴기판 1b와의 위치 조절 신뢰성은 더욱 향상하고, 또, 정보 압축후의 영상데이타 2가 각 단(각 영역)마다 좌표 정보를 갖고 있기 때문에, 영상 데이타를 신장하여 2형상을 눈으로 보고 확인하는 기능을 용이하게 구성할 수 있다은 효과가 있다.
이상 설명한 것과 같이 본 발명에 의하면, 예를 들면 크기 600×500mm의 크기의 패턴기판(인쇄회로기판)에 대해서 10㎛ 화소로 기억하는 경우에 있어서, 정보 압축을 하지 않는 경우 375M 바이트(byte)의 기억 용량이 필요하지만 약 15M 바이트로 저감할 수 있다.
1면당 1.31G 바이트의 광 디스크를 사용하면 1장에서 150면 이상의 프린트 기판의 패턴 데이타가 기억가능하게 된다.
기억 면수가 적어도 좋은 경우는 반도체 메모리, 자기 테이프 등이 사용 가능하다.
또, 본 발명의 장치를 도입하는 것에 의해, 다품종 소량 생산의 패턴기판 정보를 사전에 기억해 둔은 것에 의해, 비교해야할 프린트 기판이 생산되는 것을 기다릴 것없이 검사를 실행할 수 있다. 특히 다품종 소량생산의 프린트 기판의 검사에 가장 적합하다. 또 패턴의 비교 검사를 행하기 때문에 고신뢰도의 검사를 할 수 있다. 또, 동일형상의 프린트 기판이 다수 계속해서 흘러가는 제조공정에 있어서도, 최초의 1장의 프린트 기판(인쇄회로기판)을 기억하면 이후의 기판의 검사에 적용할 수 있다.

Claims (5)

  1. 기준이 되는 프린트 기판과, 검사대상의 프린트 기판을 바꾸어서 얹어놓고, 2차원적으로 이동한은 테이블과 그 테이블을 움직여서 회로패턴을 2차원적으로 주사하여 촬영하고, 영상신호로 변환하는 촬영수단과, 그 촬영수단에서 얻어지는 영상신호를 2진화 패턴정보를 변환하는 2진화소화 수단과, 상기 주사에 동기한 동기 신호를 발생시키는 동기 신호 발생수단과, 상기 2진화소화 수단에서 얻어지는 2진 패턴, 또 반대로 입력된 2진 패턴을 주사선 방향으로 직각인 방향에 차례로 분할하여 소정의 영역마다 각각 기억하는 제 1 의 버퍼메모리와, 압축된 2진 패턴 정보를 적어도 기준이 되는 프린트 기판에 걸쳐서 기억하는 기억수단과, 상기 동기 신호 발생수단에서 얻어지는 X방향 및 Y방향에 대해서의 좌표에 따라서, 상기 제 1 의 버퍼메모리에서 리드된 각 영역마다에 대해서, 2진 패턴정보를 압축하고, 반대로 입력하여 신장하는 정보 압축 신장수단과, 그 정보 압축 신장수단에 의해서 압축된 2진 패턴정보 및 상기 기억수단에서 2진 패턴정보를 상기 각 영역마다 기억하는 제 2 의 버퍼메모리와, 상기 제 1 의 버퍼메모리에서 얻어지는 기준이 되는 2진 패턴 정보와 상기 2진화소화 수단에서 얻어지는 검사대상의 2진 패턴 정보를, 상기 동기 신호발생 수단에서 얻어지는 동기 신호에 따라서 동일 화소화 부분을 비교하여 결함을 검출하는 비교수단을 구비한 것을 특징으로 하는 프린트 기판 패턴 검사장치.
  2. 상기 제1의 버퍼메모리, 정보 압축, 신장수단 및 제 2 의 버퍼메모리를 여러개조 마련하여, 상기 2진 화소화 수단 및 비교수단과 제 1 의 버퍼메모리와의 사이, 그리고 기억수단과 제2의 버퍼메모리와의 사이에 각 영역의 영상정보를 차례로 라이트 및 리드하는 선택스위치를 설치한 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제 1 항 기재의 프린트 기판 패턴 검사장치.
  3. 상기 정보 압축 신장은, 상기 제 1 의 버퍼메모리와 제 2 버퍼메모리와의 사이에 여러개의 정보 압축 신장소자를 병렬로 접속한 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제 1 항 기재의 프린트 기판 패턴 검사장치.
  4. 상기 촬영수단은 상기 X방향으로 자기 주사하도록 구성한 선형 영상센서로 구성한 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제 1 항, 제 2 항, 제 3 항 기재중 하나의 프린트 기판 패턴 검사장치.
  5. 상기 제 1의 버퍼메모리, 제 2의 버퍼메모리 및 기억수단에 있어서 각 영역마다 정해진 좌표를 기억하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제 1 항 기재의 프린트 기판 패턴 검사 장치.
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