JPH09222312A - パターン検査装置および方法 - Google Patents
パターン検査装置および方法Info
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- JPH09222312A JPH09222312A JP8052539A JP5253996A JPH09222312A JP H09222312 A JPH09222312 A JP H09222312A JP 8052539 A JP8052539 A JP 8052539A JP 5253996 A JP5253996 A JP 5253996A JP H09222312 A JPH09222312 A JP H09222312A
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
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- G06T2207/30141—Printed circuit board [PCB]
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＴＡＢテープの配線パターンのようなパター
ンの欠陥の有無を容易に検査することができる、最適化
された論理に基づくパターン検査装置および方法を提供
する。 【解決手段】 被検パターン２１および基準パターン３
１の少なくともいずれかのパターン幅を細くしあるいは
太くしたパターンを用意することによって被検パターン
のパターン幅より基準パターンのパターン幅が細い状態
とし、その状態において被検パターンと基準パターンと
を重ねた場合に基準パターンのみが存する部分２２、２
３、２４を欠陥として抽出するとともに、被検パターン
および基準パターンの少なくともいずれかのパターン幅
を細くしあるいは太くしたパターンを用意することによ
って被検パターンのパターン幅より基準パターンのパタ
ーン幅が太い状態とし、その状態において被検パターン
と基準パターンとを重ねた場合に被検パターンのパター
ンのみが存する部分を欠陥として抽出する。
ンの欠陥の有無を容易に検査することができる、最適化
された論理に基づくパターン検査装置および方法を提供
する。 【解決手段】 被検パターン２１および基準パターン３
１の少なくともいずれかのパターン幅を細くしあるいは
太くしたパターンを用意することによって被検パターン
のパターン幅より基準パターンのパターン幅が細い状態
とし、その状態において被検パターンと基準パターンと
を重ねた場合に基準パターンのみが存する部分２２、２
３、２４を欠陥として抽出するとともに、被検パターン
および基準パターンの少なくともいずれかのパターン幅
を細くしあるいは太くしたパターンを用意することによ
って被検パターンのパターン幅より基準パターンのパタ
ーン幅が太い状態とし、その状態において被検パターン
と基準パターンとを重ねた場合に被検パターンのパター
ンのみが存する部分を欠陥として抽出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＴＡＢテープの配
線パターン等のパターンを検査するのに適用できるパタ
ーン検査装置および方法に関する。
線パターン等のパターンを検査するのに適用できるパタ
ーン検査装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＴＡＢテープの配線パターン等の
パターンの検査は、被検パターンと基準となるパターン
とを比較することにより行なわれている。
パターンの検査は、被検パターンと基準となるパターン
とを比較することにより行なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
パターン検査技術においては、ＴＡＢテープの配線パタ
ーンのようなパターンを検査するための、最適化された
比較論理が必ずしも確立されていない。
パターン検査技術においては、ＴＡＢテープの配線パタ
ーンのようなパターンを検査するための、最適化された
比較論理が必ずしも確立されていない。
【０００４】そこで本発明の目的は、ＴＡＢテープの配
線パターンのようなパターンの欠陥の有無を容易に検査
することができる、最適化された論理に基づくパターン
検査装置および方法を提供することにある。
線パターンのようなパターンの欠陥の有無を容易に検査
することができる、最適化された論理に基づくパターン
検査装置および方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明のパターン検査装置では、被検パターンの画像デ
ータを取得する手段と、この画像データと、基準パター
ンの画像データとに基づいて被検パターンの欠陥を検査
する画像処理手段とを備え、この画像処理手段は、被検
パターンの画像データで表現される被検画像のパターン
と、基準パターンの画像データで表現される基準画像の
パターンの少なくともいずれかのパターン幅を細くしあ
るいは太くした画像データを用意することによって被検
画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態
とし、その状態において被検画像と基準画像とを重ねた
場合に基準画像のパターンのみが存する部分を欠陥とし
て抽出し、あるいは、被検画像のパターンおよび基準画
像のパターンの少なくともいずれかのパターン幅を細く
しあるいは太くした画像データを用意することによって
被検画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が太い
状態とし、その状態において被検画像と基準画像とを重
ねた場合に被検画像のパターンのみが存する部分を欠陥
として抽出するための画像処理を行なうものであること
を特徴とする。
本発明のパターン検査装置では、被検パターンの画像デ
ータを取得する手段と、この画像データと、基準パター
ンの画像データとに基づいて被検パターンの欠陥を検査
する画像処理手段とを備え、この画像処理手段は、被検
パターンの画像データで表現される被検画像のパターン
と、基準パターンの画像データで表現される基準画像の
パターンの少なくともいずれかのパターン幅を細くしあ
るいは太くした画像データを用意することによって被検
画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態
とし、その状態において被検画像と基準画像とを重ねた
場合に基準画像のパターンのみが存する部分を欠陥とし
て抽出し、あるいは、被検画像のパターンおよび基準画
像のパターンの少なくともいずれかのパターン幅を細く
しあるいは太くした画像データを用意することによって
被検画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が太い
状態とし、その状態において被検画像と基準画像とを重
ねた場合に被検画像のパターンのみが存する部分を欠陥
として抽出するための画像処理を行なうものであること
を特徴とする。
【０００６】また、本発明のパターン検査方法は、被検
パターンおよび基準パターンの少なくともいずれかのパ
ターン幅を細くしあるいは太くしたパターンを用意する
ことによって被検パターンのパターン幅より基準パター
ンのパターン幅が細い状態とし、その状態において被検
パターンと基準パターンとを重ねた場合に基準パターン
のみが存する部分を欠陥として抽出し、あるいは、被検
パターンおよび基準パターンの少なくともいずれかのパ
ターン幅を細くしあるいは太くしたパターンを用意する
ことによって被検パターンのパターン幅より基準パター
ンのパターン幅が太い状態とし、その状態において被検
パターンと基準パターンとを重ねた場合に被検パターン
のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出すること
を特徴とする。
パターンおよび基準パターンの少なくともいずれかのパ
ターン幅を細くしあるいは太くしたパターンを用意する
ことによって被検パターンのパターン幅より基準パター
ンのパターン幅が細い状態とし、その状態において被検
パターンと基準パターンとを重ねた場合に基準パターン
のみが存する部分を欠陥として抽出し、あるいは、被検
パターンおよび基準パターンの少なくともいずれかのパ
ターン幅を細くしあるいは太くしたパターンを用意する
ことによって被検パターンのパターン幅より基準パター
ンのパターン幅が太い状態とし、その状態において被検
パターンと基準パターンとを重ねた場合に被検パターン
のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出すること
を特徴とする。
【０００７】ここで、前記基準画像（もしくは基準パタ
ーン；以下同様）のパターンのみが存する部分とは、例
えば、被検パターンの穴部分、欠けた部分、または切断
部分であり、前記被検画像（もしくは被検パターン；以
下同様）のパターンのみが存する部分とは、被検パター
ンにとって不要な、接続部分、突出部分、または分離し
た部分に対応する。また、前記被検画像のパターン幅よ
り基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態にお
ける被検画像は、パターン幅を細くしてから太くしたも
の、またはパターン幅を太くしてから細くしたものであ
ってもよい。前記被検パターンとしては、ＴＡＢテープ
上の配線パターン等が該当する。
ーン；以下同様）のパターンのみが存する部分とは、例
えば、被検パターンの穴部分、欠けた部分、または切断
部分であり、前記被検画像（もしくは被検パターン；以
下同様）のパターンのみが存する部分とは、被検パター
ンにとって不要な、接続部分、突出部分、または分離し
た部分に対応する。また、前記被検画像のパターン幅よ
り基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態にお
ける被検画像は、パターン幅を細くしてから太くしたも
の、またはパターン幅を太くしてから細くしたものであ
ってもよい。前記被検パターンとしては、ＴＡＢテープ
上の配線パターン等が該当する。
【０００８】パターン幅を太くしたり、細くしたりする
ことは、例えば、パターン形状の輪郭に対して一定幅の
形状を付加しもしくは削除したりすることにより行なう
ことができる。
ことは、例えば、パターン形状の輪郭に対して一定幅の
形状を付加しもしくは削除したりすることにより行なう
ことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態に係
るパターン検査装置を示す概略図である。この検査装置
は、被検パターンの画像データを取得するためのＴＶカ
メラ１と、この画像データと、基準パターンの画像デー
タとに基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理
装置２、被検パターンを照明する照明装置５とを備え
る。被検パターンは、矢印４方向に搬送されるＴＡＢテ
ープ３上の配線パターンである。照明装置５は、電子シ
ャッタを備える。ＴＶカメラ１は、被検パターンの走行
速度が６６ｍｍ／ｓｅｃまで対応するすることができる
ものである。
るパターン検査装置を示す概略図である。この検査装置
は、被検パターンの画像データを取得するためのＴＶカ
メラ１と、この画像データと、基準パターンの画像デー
タとに基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理
装置２、被検パターンを照明する照明装置５とを備え
る。被検パターンは、矢印４方向に搬送されるＴＡＢテ
ープ３上の配線パターンである。照明装置５は、電子シ
ャッタを備える。ＴＶカメラ１は、被検パターンの走行
速度が６６ｍｍ／ｓｅｃまで対応するすることができる
ものである。
【００１０】被検パターンの検査は、ＴＡＢテープ３を
矢印４方向に一定速度で走行させながら、ＴＡＢテープ
３上の各被検パターンがＴＶカメラ１の視野内の所定位
置に到達する時と、照明手段５のシャッタ開閉タイミン
グと、画像処理装置２がＴＶカメラ１を介して画像デー
タを取り込むタイミングとを同期させて行なう。
矢印４方向に一定速度で走行させながら、ＴＡＢテープ
３上の各被検パターンがＴＶカメラ１の視野内の所定位
置に到達する時と、照明手段５のシャッタ開閉タイミン
グと、画像処理装置２がＴＶカメラ１を介して画像デー
タを取り込むタイミングとを同期させて行なう。
【００１１】図２および図３はＴＶカメラ１を介して取
り込んだ各被検パターンの画像データに対する画像処理
装置２における処理の様子を示す。図２に示すように、
画像処理装置２は、まず、被検パターンの画像データで
表現される被検画像２０のパターン２１と、基準パター
ンの画像データで表現される基準画像３０のパターン３
１の少なくともいずれかのパターンの幅を細くしあるい
は太くした画像データを用意することによって、被検画
像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態と
し、その状態にある被検画像２０と基準画像３０′とを
重ねて画像４０とした場合に基準画像のパターン３２の
みが存する部分２２、２３、２４を欠陥として抽出す
る。ここでは、被検画像２０のパターン２１の幅はその
ままとし、基準画像３０のパターン３１の幅（３５μ
ｍ）を細くしたパターン３２を用意する。そして、被検
画像２０と、パターン３２を有する基準画像３０′とを
重ねて画像４０を得ることにより、パターン３２のみが
存する部分として、被検パターンの穴部分２２、欠けた
部分２３、および切断部分２４を抽出している。
り込んだ各被検パターンの画像データに対する画像処理
装置２における処理の様子を示す。図２に示すように、
画像処理装置２は、まず、被検パターンの画像データで
表現される被検画像２０のパターン２１と、基準パター
ンの画像データで表現される基準画像３０のパターン３
１の少なくともいずれかのパターンの幅を細くしあるい
は太くした画像データを用意することによって、被検画
像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態と
し、その状態にある被検画像２０と基準画像３０′とを
重ねて画像４０とした場合に基準画像のパターン３２の
みが存する部分２２、２３、２４を欠陥として抽出す
る。ここでは、被検画像２０のパターン２１の幅はその
ままとし、基準画像３０のパターン３１の幅（３５μ
ｍ）を細くしたパターン３２を用意する。そして、被検
画像２０と、パターン３２を有する基準画像３０′とを
重ねて画像４０を得ることにより、パターン３２のみが
存する部分として、被検パターンの穴部分２２、欠けた
部分２３、および切断部分２４を抽出している。
【００１２】なお、パターン３１を細くしてパターン３
２とするには、パターン３１の形状を、その輪郭から一
定の厚さだけ削り取る処理を行なえばよい。また、画像
３０、２０、３０′の画像データとしては、二値化デー
タを用いることができる。その場合、パターン３２およ
び２１部分のデータが１他の部分が０として表現されて
いるとすれば、画像２０と３０′を重ね合わせた場合に
パターン３２のみが存する部分は、画像２０のデータの
反転データと画像３０′のデータとの論理積が１となる
データの部分として得ることができる。
２とするには、パターン３１の形状を、その輪郭から一
定の厚さだけ削り取る処理を行なえばよい。また、画像
３０、２０、３０′の画像データとしては、二値化デー
タを用いることができる。その場合、パターン３２およ
び２１部分のデータが１他の部分が０として表現されて
いるとすれば、画像２０と３０′を重ね合わせた場合に
パターン３２のみが存する部分は、画像２０のデータの
反転データと画像３０′のデータとの論理積が１となる
データの部分として得ることができる。
【００１３】次に、画像処理装置２は、図３に示すよう
に、被検画像２０のパターン２１および基準画像５０の
パターン５１の少なくともいずれかのパターン幅を細く
しあるいは太くした画像データを用意することによって
被検画像のパターンの幅より基準画像のパターン幅が太
い状態とし、その状態にある被検画像２０と基準画像５
０′とを重ねた場合に被検画像のパターンのみが存する
部分２５、２６、２７を欠陥として抽出する画像処理を
行なう。
に、被検画像２０のパターン２１および基準画像５０の
パターン５１の少なくともいずれかのパターン幅を細く
しあるいは太くした画像データを用意することによって
被検画像のパターンの幅より基準画像のパターン幅が太
い状態とし、その状態にある被検画像２０と基準画像５
０′とを重ねた場合に被検画像のパターンのみが存する
部分２５、２６、２７を欠陥として抽出する画像処理を
行なう。
【００１４】ここでは、被検画像２０のパターン２１の
幅はそのままとし、基準画像５０のパターン５１の幅
（３５μｍ）を太くしたパターン５２の画像データ５
０′を用意する。そして、被検画像２０と、パターン５
２を有する基準画像５０′とを重ねて画像６０を得るこ
とにより、パターン２１のみが存する部分として、被検
パターンにとって不要な、接続部分２５、突出部分２
６、または分離した部分２７を抽出している。
幅はそのままとし、基準画像５０のパターン５１の幅
（３５μｍ）を太くしたパターン５２の画像データ５
０′を用意する。そして、被検画像２０と、パターン５
２を有する基準画像５０′とを重ねて画像６０を得るこ
とにより、パターン２１のみが存する部分として、被検
パターンにとって不要な、接続部分２５、突出部分２
６、または分離した部分２７を抽出している。
【００１５】なお、パターン５１を太くしてパターン５
２とするには、パターン５１の形状に対し、一定の厚さ
を加える処理を行なえばよい。また、画像５０′のデー
タはパターン５２部分のデータを０、そのバックグラウ
ンドを１で表現した二値化データであり、画像２０と５
０′を重ね合わせた場合にパターン２１のみが存する部
分は、画像２０のデータと画像５０′のデータとの論理
積が１となるデータの部分として得ることができる。
２とするには、パターン５１の形状に対し、一定の厚さ
を加える処理を行なえばよい。また、画像５０′のデー
タはパターン５２部分のデータを０、そのバックグラウ
ンドを１で表現した二値化データであり、画像２０と５
０′を重ね合わせた場合にパターン２１のみが存する部
分は、画像２０のデータと画像５０′のデータとの論理
積が１となるデータの部分として得ることができる。
【００１６】なお、照明手段５による照明をＴＡＢテー
プ３の下から行ない、透過光で照明する等により、被検
パターンの画像データにおいてパターン２１部分が０、
その他の部分が１で表現されている場合は、被検画像の
データは反転させずにそのまま画像３０′のデータとの
論理積を行ない、また、画像５０′のデータとの論理積
を得る際には、被検画像のデータを反転させたデータを
用いれば良い。
プ３の下から行ない、透過光で照明する等により、被検
パターンの画像データにおいてパターン２１部分が０、
その他の部分が１で表現されている場合は、被検画像の
データは反転させずにそのまま画像３０′のデータとの
論理積を行ない、また、画像５０′のデータとの論理積
を得る際には、被検画像のデータを反転させたデータを
用いれば良い。
【００１７】図４および図５は画像処理装置２における
別の処理形態を示す。この場合は、図４に示すように、
基準画像３０はパターン幅を変更させずにそのまま用
い、被検画像２０は、そのパターン２１を細くしてパタ
ーン２８とした被検画像２０′としている。そして、基
準画像３０の反転データと、被検画像２０′のデータと
の論理積が１となる、突出部分２６や分離した部分２７
を欠陥として抽出する。また、図５に示すように、パタ
ーン部分を０とし、バックグラウンドを１で表現した基
準画像５０の反転データと、バックグラウンドを１で表
現した被検画像７０のパターン幅を太くした画像７０′
のデータとの論理積を演算することにより、穴部分２２
および切断部分２４を抽出している。
別の処理形態を示す。この場合は、図４に示すように、
基準画像３０はパターン幅を変更させずにそのまま用
い、被検画像２０は、そのパターン２１を細くしてパタ
ーン２８とした被検画像２０′としている。そして、基
準画像３０の反転データと、被検画像２０′のデータと
の論理積が１となる、突出部分２６や分離した部分２７
を欠陥として抽出する。また、図５に示すように、パタ
ーン部分を０とし、バックグラウンドを１で表現した基
準画像５０の反転データと、バックグラウンドを１で表
現した被検画像７０のパターン幅を太くした画像７０′
のデータとの論理積を演算することにより、穴部分２２
および切断部分２４を抽出している。
【００１８】図６および図７は画像処理装置２における
他の処理形態を示す。この場合は、図６に示すように、
被検画像９０のパターン９１の幅を細くしてから太くす
ることにより画像９０′を得る。そして画像９０′の反
転データと、基準画像３０のパターン３１の幅を細くし
たデータとの論理積を求めることにより、被検パターン
の穴部分２２、欠けた部分２３、および切断部分２４を
欠陥として抽出する。次に、図７に示すように、被検画
像９０のバックグラウンドを１で表現した画像のパター
ン幅を太くしてから細くすることにより、画像９０″を
得る。また、基準画像３０のバックグラウンドを１で表
現した画像１００のパターン幅を太くして画像１００′
を得る。そして、画像９０″の反転データと画像１０
０′のデータとの論理積を求めることにより、被検パタ
ーンにとって不要な、接続部分２５、突出部分２６、お
よび分離した部分２７を欠陥として抽出している。
他の処理形態を示す。この場合は、図６に示すように、
被検画像９０のパターン９１の幅を細くしてから太くす
ることにより画像９０′を得る。そして画像９０′の反
転データと、基準画像３０のパターン３１の幅を細くし
たデータとの論理積を求めることにより、被検パターン
の穴部分２２、欠けた部分２３、および切断部分２４を
欠陥として抽出する。次に、図７に示すように、被検画
像９０のバックグラウンドを１で表現した画像のパター
ン幅を太くしてから細くすることにより、画像９０″を
得る。また、基準画像３０のバックグラウンドを１で表
現した画像１００のパターン幅を太くして画像１００′
を得る。そして、画像９０″の反転データと画像１０
０′のデータとの論理積を求めることにより、被検パタ
ーンにとって不要な、接続部分２５、突出部分２６、お
よび分離した部分２７を欠陥として抽出している。
【００１９】また、画像９０′と１００′との論理積を
演算することにより、図８に示すように、突出部分２６
および分離部分２７を抽出することができる。
演算することにより、図８に示すように、突出部分２６
および分離部分２７を抽出することができる。
【００２０】このように、被検画像のパターン幅を細く
した後に太くしたり、太くした後に細くしたりすること
により、欠陥部分を強調し、欠陥の抽出を確実にするこ
とができる場合がある。
した後に太くしたり、太くした後に細くしたりすること
により、欠陥部分を強調し、欠陥の抽出を確実にするこ
とができる場合がある。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、パ
ターンの欠陥の有無を容易に検査することができる、最
適化された論理に基づくパターン検査装置および方法を
提供することができる。また、パターン検出の自動化に
も容易に対応することができる。
ターンの欠陥の有無を容易に検査することができる、最
適化された論理に基づくパターン検査装置および方法を
提供することができる。また、パターン検出の自動化に
も容易に対応することができる。
【図１】 本発明の一実施形態に係るパターン検査装置
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図２】 図１の装置の画像処理装置における処理の様
子を示す図である。
子を示す図である。
【図３】 図１の装置の画像処理装置における処理の様
子を示す図である。
子を示す図である。
【図４】 図１の装置の画像処理装置における別の処理
形態の様子を示す図である。
形態の様子を示す図である。
【図５】 図１の装置の画像処理装置における別の処理
形態の様子を示す図である。
形態の様子を示す図である。
【図６】 図１の装置の画像処理装置における他の処理
形態の様子を示す図である。
形態の様子を示す図である。
【図７】 図１の装置の画像処理装置における他の処理
形態の様子を示す図である。
形態の様子を示す図である。
【図８】 図１の装置の画像処理装置におけるさらに他
の処理形態の様子を示す図である。
の処理形態の様子を示す図である。
１：ＴＶカメラ、２：画像処理装置、５：照明装置、
３：ＴＡＢテープ、２０，７０，９０：被検画像、２
１，９１：被検画像のパターン、２２，２３，２４，２
５，２６，２７：欠陥部分、３０，５０，１００：基準
画像、３０′：パターン幅を細くした基準画像、３１，
５１：基準画像のパターン、３２：細くした基準画像の
パターン、４０：被検画像と基準画像を重ねた画像、５
０′，７０′，１００′：パターン幅を太くした基準画
像、５２：幅を太くした基準画像のパターン、６０：被
検画像と基準画像とを重ねた画像、９０′：パターン幅
を細くしてから太くした被検画像、９０″：パターン幅
を太くしてから細くした被検画像。
３：ＴＡＢテープ、２０，７０，９０：被検画像、２
１，９１：被検画像のパターン、２２，２３，２４，２
５，２６，２７：欠陥部分、３０，５０，１００：基準
画像、３０′：パターン幅を細くした基準画像、３１，
５１：基準画像のパターン、３２：細くした基準画像の
パターン、４０：被検画像と基準画像を重ねた画像、５
０′，７０′，１００′：パターン幅を太くした基準画
像、５２：幅を太くした基準画像のパターン、６０：被
検画像と基準画像とを重ねた画像、９０′：パターン幅
を細くしてから太くした被検画像、９０″：パターン幅
を太くしてから細くした被検画像。
Claims (10)
- 【請求項１】 被検パターンの画像データを取得する手
段と、この画像データと、基準パターンの画像データと
に基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理手段
とを備え、この画像処理手段は、被検パターンの画像デ
ータで表現される被検画像のパターンと、基準パターン
の画像データで表現される基準画像のパターンの少なく
ともいずれかのパターンの幅を細くしあるいは太くした
画像データを用意することによって被検画像のパターン
幅より基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態
とし、その状態において被検画像と基準画像とを重ねた
場合に基準画像のパターンのみまたは被検画像のパター
ンのみが存する部分を欠陥として抽出するための画像処
理を行なうものであることを特徴とするパターン検査装
置。 - 【請求項２】 被検パターンの画像データを取得する手
段と、この画像データと、基準パターンの画像データと
に基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理手段
とを備え、この画像処理手段は、被検パターンの画像デ
ータで表現される被検画像のパターンと、基準パターン
の画像データで表現される基準画像のパターンの少なく
ともいずれかのパターンの幅を細くしあるいは太くした
画像データを用意することによって被検画像のパターン
幅より基準画像のパターン幅が細い状態とし、その状態
において被検画像と基準画像とを重ねた場合に基準画像
のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出するとと
もに、被検画像のパターンおよび基準画像のパターンの
少なくともいずれかのパターンの幅を細くしあるいは太
くした画像データを用意することによって被検画像のパ
ターン幅より基準画像のパターン幅が太い状態とし、そ
の状態において被検画像と基準画像とを重ねた場合に被
検画像のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出す
るための画像処理を行なうものであることを特徴とする
パターン検査装置。 - 【請求項３】 前記基準画像のパターンのみが存する部
分は、被検パターンの穴部分、欠けた部分、または切断
部分であり、前記被検画像のパターンのみが存する部分
は、被検パターンにとって不要な、接続部分、突出部
分、または分離した部分であることを特徴とする請求項
１または２記載のパターン検査装置。 - 【請求項４】 前記被検画像のパターン幅より基準画像
のパターン幅が細い状態または太い状態における被検画
像は、パターン幅を細くしてから太くしたもの、または
パターン幅を太くしてから細くしたものであることを特
徴とする請求項１〜３記載のパターン検査装置。 - 【請求項５】 前記被検パターンはＴＡＢテープ上の配
線パターンであることを特徴とする請求項１〜４記載の
パターン検査装置。 - 【請求項６】 被検パターンおよび基準パターンの少な
くともいずれかのパターン幅を細くしあるいは太くした
パターンを用意することによって被検パターンのパター
ン幅より基準パターンのパターン幅が細い状態または太
い状態とし、その状態において被検パターンと基準パタ
ーンとを重ねた場合に基準パターンのみまたは被検パタ
ーンのパターンのみが存する部分を欠陥として抽出する
ことを特徴とするパターン検査方法。 - 【請求項７】 被検パターンおよび基準パターンの少な
くともいずれかのパターン幅を細くしあるいは太くした
パターンを用意することによって被検パターンのパター
ン幅より基準パターンのパターン幅が細い状態とし、そ
の状態において被検パターンと基準パターンとを重ねた
場合に基準パターンのみが存する部分を欠陥として抽出
するとともに、被検パターンおよび基準パターンの少な
くともいずれかのパターン幅を細くしあるいは太くした
パターンを用意することによって被検パターンのパター
ン幅より基準パターンのパターン幅が太い状態とし、そ
の状態において被検パターンと基準パターンとを重ねた
場合に被検パターンのパターンのみが存する部分を欠陥
として抽出することを特徴とするパターン検査方法。 - 【請求項８】 前記基準パターンのパターンのみが存す
る部分は、被検パターンの穴部分、欠けた部分、または
切断部分であり、前記被検パターンのパターンのみが存
する部分は、被検パターンにとって不要な、接続部分、
突出部分、または分離した部分であることを特徴とする
請求項６または７記載のパターン検査方法。 - 【請求項９】 前記被検パターンのパターン幅より基準
パターンのパターン幅が細い状態または太い状態におけ
る被検パターンは、パターン幅を細くしてから太くした
もの、またはパターン幅を太くしてから細くしたもので
あることを特徴とする請求項６〜８記載のパターン検査
方法。 - 【請求項１０】 前記被検パターンはＴＡＢテープ上の
配線パターンであることを特徴とする請求項６〜９記載
のパターン検査方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052539A JPH09222312A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置および方法 |
| US08/794,391 US5982922A (en) | 1996-02-16 | 1997-02-06 | Pattern inspection apparatus and method |
| KR1019970004591A KR100268976B1 (ko) | 1996-02-16 | 1997-02-15 | 패턴검사장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052539A JPH09222312A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置および方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09222312A true JPH09222312A (ja) | 1997-08-26 |
Family
ID=12917592
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP8052539A Pending JPH09222312A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置および方法 |
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|---|---|
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| JP (1) | JPH09222312A (ja) |
| KR (1) | KR100268976B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009198311A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Toyota Motor Corp | Ｆｉｐｇ塗布ラインの検査方法 |
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1996
- 1996-02-16 JP JP8052539A patent/JPH09222312A/ja active Pending
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1997
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- 1997-02-15 KR KR1019970004591A patent/KR100268976B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|
| KR100268976B1 (ko) | 2000-12-01 |
| KR970063623A (ko) | 1997-09-12 |
| US5982922A (en) | 1999-11-09 |
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