KR970062806A - 알루미늄 상의 포토레지스트 마스크 패터닝 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 알루미늄층 상에 산화막을 형성하여 얇은 알루미늄의 패터닝을 형성하는 알루비늄 상의 포토레지스트 마스크 패터닝 방법에 관한 것이다.
본 발명은 알루미늄층 상에 산화막 및 포토레지스트층을 증착한 후 상기 포토레지스트층을 패터닝 함으로서 상기 알루미늄층의 난반사를 약화시켜 패턴의 넥킹(Necking)또는 브리지(Bridge)를 방지하고 일정한 사이즈의 균일한 패턴을 얻을 수 있는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 의한 포토레지스트 마스크 패터닝시 단면도이다.
Claims (2)
- 알루미늄층 상에 산화막 및 포토레지스트층을 증착한 후 상기 포토레지스트층을 패터닝 함으로서 상기 알루미늄층의 난반사를 약화시키는 것을 특징으로 하는 알루미늄 상의 포토레지스트 마스크 패터닝 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 알루미늄층의 두께는 4000Å 이상이고, 상기 산화막의 두께는 100~1000Å이고, 상기 포토레지스트의 두께는 0.6㎛이하인 것을 특징으로 하는 알루미늄 상의 포토레지스트 마스크 패터닝 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004475A KR970062806A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 알루미늄 상의 포토레지스트 마스크 패터닝 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004475A KR970062806A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 알루미늄 상의 포토레지스트 마스크 패터닝 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970062806A true KR970062806A (ko) | 1997-09-12 |
Family
ID=66221601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960004475A KR970062806A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 알루미늄 상의 포토레지스트 마스크 패터닝 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970062806A (ko) |
-
1996
- 1996-02-24 KR KR1019960004475A patent/KR970062806A/ko not_active Application Discontinuation
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