KR970060445A - 금속 기판의 제작 방법 - Google Patents
금속 기판의 제작 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970060445A KR970060445A KR1019960001041A KR19960001041A KR970060445A KR 970060445 A KR970060445 A KR 970060445A KR 1019960001041 A KR1019960001041 A KR 1019960001041A KR 19960001041 A KR19960001041 A KR 19960001041A KR 970060445 A KR970060445 A KR 970060445A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- metal substrate
- insulating material
- hole
- manufacturing
- applying
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/74—Making of localized buried regions, e.g. buried collector layers, internal connections substrate contacts
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/44—Manufacturing insulated metal core circuits or other insulated electrically conductive core circuits
- H05K3/445—Manufacturing insulated metal core circuits or other insulated electrically conductive core circuits having insulated holes or insulated via connections through the metal core
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
본 발명은 금속 기판의 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명은 금속 기판의 쓰루 홀을 가공하는 단계; 절연 물질로 상기 쓰루 홀을 메운 후 진공 흡입하여 쓰루 홀 내벽에 절연물질을 도포하는 단계; 및 금속 표면 전체를 절연 물질로 도포하는 단계를 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 금속 기판의 제작 방법을 나타낸 도면이다.
Claims (6)
- 금속 기판의 쓰루 홀을 가공하는 단계; 절연 물질로 상기 쓰루 홀을 메운 후 진공 흡입하여 쓰루 홀 내벽에 절연물질을 도포하는 단계; 및 금속 표면 전체를 절연 물질로 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 기판의 제작 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속 기판의 쓰루 홀은 에칭 또는 펀칭 작업에 의해 가공되는 것을 특징으로 하는 금속 기판의 제작 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 절연물질을 도포한 후 양생하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 기판의 제작 방법.
- 금속 기판 전체의 표면을 절연 물질로 도포하는 단계; 금속 기판의 쓰루 홀을 가공하는 단계; 및 절연 물질로 상기 쓰루 홀을 메운 후 진공 흡입하여 쓰루 홀 내벽에 절연 물질을 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 기판의 제작 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 금속 기판의 쓰루 홀은 레이저 가공으로 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 기판의 제작 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 절연 물질 도포 후 양생하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 기판의 제작 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960001041A KR0176436B1 (ko) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 금속 기판의 제작 방법 |
JP9001071A JPH09205263A (ja) | 1996-01-18 | 1997-01-08 | Pcb用金属基板の製作方法 |
CN97101827A CN1159133A (zh) | 1996-01-18 | 1997-01-18 | 印制线路板的金属基片的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960001041A KR0176436B1 (ko) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 금속 기판의 제작 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970060445A true KR970060445A (ko) | 1997-08-12 |
KR0176436B1 KR0176436B1 (ko) | 1999-04-15 |
Family
ID=19449708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960001041A KR0176436B1 (ko) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 금속 기판의 제작 방법 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09205263A (ko) |
KR (1) | KR0176436B1 (ko) |
CN (1) | CN1159133A (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102076165A (zh) * | 2011-01-30 | 2011-05-25 | 乐健线路板(珠海)有限公司 | 双层高散热夹芯金属基印刷电路板 |
CN109587953A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-04-05 | 东莞市若美电子科技有限公司 | 厚铜铜基板蚀孔工艺 |
-
1996
- 1996-01-18 KR KR1019960001041A patent/KR0176436B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-01-08 JP JP9001071A patent/JPH09205263A/ja active Pending
- 1997-01-18 CN CN97101827A patent/CN1159133A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1159133A (zh) | 1997-09-10 |
KR0176436B1 (ko) | 1999-04-15 |
JPH09205263A (ja) | 1997-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR890007373A (ko) | 반도체장치의 제조방법 | |
KR970060510A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
KR960039290A (ko) | 반도체 장치 | |
KR950001901A (ko) | 콘택홀 제조방법 | |
KR900013605A (ko) | 반도체 기판상의 가용성 링크 제작방법 | |
KR970060445A (ko) | 금속 기판의 제작 방법 | |
KR980005592A (ko) | 자기 정렬 콘택 홀 형성 방법 | |
KR980005619A (ko) | 반도체 소자의 콘택홀 형성방법 | |
KR970072319A (ko) | 반도체 장치의 층간절연막 형성 방법 | |
KR970072098A (ko) | 반도체 소자의 금속배선 형성 방법 | |
KR970077523A (ko) | 다중금속막 형성방법 | |
KR920015470A (ko) | 반도체 장치 및 반도체 장치용 절연 막 제조방법 | |
KR970063494A (ko) | 반도체장치의 콘택홀 형성방법 | |
KR980005675A (ko) | 반도체 소자의 콘택홀 형성방법 | |
KR970072248A (ko) | 반도체소자 제조방법 | |
KR980005600A (ko) | 반도체장치의 금속콘택 형성방법 | |
KR980006058A (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
KR970063493A (ko) | 반도체장치의 콘택홀 형성방법 | |
KR970077195A (ko) | 반도체장치의 콘택홀 형성방법 | |
KR980005352A (ko) | 플래쉬 메모리 소자 제조방법 | |
KR970077495A (ko) | 트렌치 식각 공정을 적용한 필드 산화막의 형성 방법 | |
KR940027071A (ko) | 시각베리어층을 이용한 텅스텐 배선 형성방법 | |
KR970077736A (ko) | 반도체 소자의 구조 및 제조방법 | |
KR980005511A (ko) | 콘택홀 형성 방법 | |
KR970072176A (ko) | 반도체장치의 층간절연막 형성방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20111028 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |