KR970023630A - 반도체 소자 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 층간절연막 평탄화방법에 관한 것으로, 반도체 기판상에 형성된 하부 도전층 패턴을 제1층간절연막으로 덮는 단계와; 상기 층간절연막 상에 상기 하부 도전층 패턴과 위상이 반전된 형태의 마스크 패턴을 형성하는 단계와; 상기 마스크 패턴을 식각마스크로 사용하여 상기 제1층간절연막을 습식식각하는 단계와; 상기 마스크 패턴을 제거하는 단계 및; 상기 제1층간절연막 상에 소정 두께의 제2층간절연막을 덮는 단계를 구비하여 소자 제조를 완료하므로써, 복잡한 공정없이도 수월하게 소자의 평탄화를 실현할 수 있게 되어 다층 배선 공정을 용이하게 수행할 수 있을 뿐 아니라 공정단순화를 통해 제조원가를 절감할 수 있는 고신뢰성의 반도체 소자를 구현할 수 있게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1(가)도 내지 제1(라)도는 본 발명에 따른 반도체 소자 제조방법을 도시한 공정수순도.
Claims (1)
- 반도체 기판상에 형성된 하부 도전층 패턴을 제1층간절연막으로 덮는 단계와; 상기 층간절연막 상에 상기 하부 도전층 패턴과 위상이 반전된 형태의 마스크 패턴을 형성하는 단계와; 상기 마스크 패턴을 식각마스크로 사용하여 상기 제1층간절연막을 습식식각하는 단계와; 상기 마스크 패턴을 제거하는 단계 및; 상기 제1층간절연막 상에 소정 두께의 제2층간절연막을 덮는 단계를 구비하여 형성되는 것을 특징으로하는 층간절연막 평탄화방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035467A KR970023630A (ko) | 1995-10-14 | 1995-10-14 | 반도체 소자 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035467A KR970023630A (ko) | 1995-10-14 | 1995-10-14 | 반도체 소자 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970023630A true KR970023630A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66583798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950035467A KR970023630A (ko) | 1995-10-14 | 1995-10-14 | 반도체 소자 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970023630A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100311495B1 (ko) * | 1999-07-05 | 2001-10-18 | 김영환 | 반도체소자의 절연막 평탄화방법 |
-
1995
- 1995-10-14 KR KR1019950035467A patent/KR970023630A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100311495B1 (ko) * | 1999-07-05 | 2001-10-18 | 김영환 | 반도체소자의 절연막 평탄화방법 |
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