KR970022555A - 포토마스크의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
포토마스크 제조에 유용한 스핀-스프레이 공정을 개선하여 정밀한 선폭 조절을 기할 수 있는 포토마스크의 제조방법에 개시되어 있다.
본 발명은 회전 분사(Spin-Spray)방식을 이용하여 미세 패턴을 갖는 포토마스크를 제작하는 방법에 있어서, 일정 방향으로의 원심력에 따른 패턴 균일도의 영향을 줄이기 위해, 포토마스크의 회전방향이 양쪽 방향으로 균등 배분될 수 있도록 마스크의 회전방향을 주기적으로 반대 방향으로 반복 바꾸어가며 감광막 도포공정, 건조 공정, 린스 공정, 현상 및 식각 공정 등을 수행하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 통상적인 포토마스크의 스핀-스프레이(Spin-Spray) 공정을 설명하기 위한 도면이다.
Claims (1)
- 회전 분사(Spin-Spray)방식을 이용하여 미세 패턴을 갖는 포토마스크를 제작하는 방법에 있어서, 일정방향으로의 원심력에 따른 패턴 균일도의 영향을 줄이기 위해, 포토마스크의 회전방향이 양쪽 방향으로 균등 배분될 수 있도록 마스크의 회전방향을 주기적으로 반대 방향으로 반복 바꾸어 주는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034923A KR970022555A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 포토마스크의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034923A KR970022555A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 포토마스크의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022555A true KR970022555A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66583646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950034923A KR970022555A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 포토마스크의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022555A (ko) |
-
1995
- 1995-10-11 KR KR1019950034923A patent/KR970022555A/ko not_active Application Discontinuation
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