KR960704303A - 자기헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

자기헤드 및 그 제조방법

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KR960704303A
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film coil
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히로유키 오모리
야스나리 스기야마
데스야 야마모토
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이데이 노부유키
소니 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은 코일을 박막공정에 의하여 형성하여 이루어지는 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 기판상의 자성막에 성막된 서로 대향하는 1쌍의 자기코어반체(半體)를 가지고, 상기 자기코어반체의 맞댐면의 최소한 한쪽의 면에 박막코일이 형성되어 이루어지는 자기헤드에 있어서, 상기 기판상에 자기코어반체의 자로(磁路)형상에 대응하는 형상의 요부(凹部)가 형성되고, 상기 요부에 상기 자성막이 성막되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드 및 상기 자기헤드의 제조방법에 있어서, 상기 기판상에 상기 자성막을 성막함에 있어서, 미리 상기 기판에 요부를 형성하고, 상기 요부에 상기 자성막을 성막하는 것을 특징으로 한느 자기헤드의 제조방법이다.

Description

자기헤드 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제13도는 실시예 1에서 얻어지는 자기헤드를 나타낸 개략 사시도이다.

Claims (20)

  1. 기판상에 자성막이 성막된 서로 대향하는 1쌍의 자기코어반체(半體)를 가지고, 상기 자기코어반체의 맞댐면의 최소한 한쪽의 면에 박막코일이 형성되어 이루어지는 자기헤드에 있어서, 상기 기판상에 자기코어반체의 자로(磁路) 형상에 대응하는 형상의 요부(凹部)가 형성되고, 상기 요부에 상기 자성막이 성막되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 요부가 이온밀링에 의하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  3. 제1항에 있어서, 상기 자성막이 서로 직교하는 자화용이축(磁化容易軸)을 가지는 2종의 자성막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  4. 제3항에 있어서, 서로 직교하는 자화용이축을 가지는 2종의 자성막중, 한쪽의 자성막의 자화용이축이 자기갭의 뎁스방향인 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  5. 제1항에 있어서, 상기 박막 코일이 자기코어반체에 코일패턴형으로 형성된 요부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  6. 제5항에 있어서, 상기 박막코일이 1쌍의 자기코어반체의 쌍방에 형성되고, 이들 박막 코일끼리가 전기적으로 접속되어 1개의 코일이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  7. 제5항에 있어서, 상기 코일패턴형으로 형성된 요부의 개구에 달하지 않는 레벨까지 박막코일이 매설되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  8. 제1항에 있어서, 상기 자기코어반체의 최소한 한쪽에 형성되어 있는 박막코일이 제1의 박막코일과 제2의 박막코일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1의 박막코일과 제2의 박막코일이 서로 다른 면상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제1의 박막코일과 제2의 박막코일이 전기적으로 접속되어 1개의 코일이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  11. 제8항에 있어서, 상기 제1의 박막코일과 제2의 박막코일이 절연층을 개재하여 절연분리되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  12. 제8항에 있어서, 자기코어반체의 박막코일형성측의 면에 요부가 배설되고, 이 요부내에 제1 및 제2의 박막코일이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  13. 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 양 박막코일이 1쌍의 자기코어반체의 쌍방에 형성되고, 상기 양 박막코일에 의하여 구성된 1개의 코일단자부가 각 자기코어반체의 쌍방으로부터 취출되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  14. 제13항에 있어서, 1쌍의 자기코어반체의 각각에 있어서, 제1 및 제2의 박막코일의 권선방향이 동일 방향인 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  15. 제13항에 있어서, 자기갭면으로부터 보았을 때, 양 자기코어반체에 있어서의 제1 및 제2의 박막코일의 권선방향이 서로 동일 방향인 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  16. 제13항에 있어서, 하층의 박막코일을 제1의 박막코일로 하고, 상층의 박막코일을 제2의 박막코일로 했을 때, 제1의 자기코어반체의 제1의 박막코일의 외측 종단이 제1의 단자부에 접속되고, 상기 제1의 자기코어반체의 제1의 박막코일의 내측 종단이 제2의 자기코어반체의 제2의 박막코일의 내측 종단에 접속되고, 상기 제2의 자기코어반체의 제2의 박막코일의 외측 종단이 제1의 자기코어반체의 제2의 박막코일의 외측 종단에 접속되고, 상기 제1의 자기코어반체의 제2의 박막코일의 내측 종단이 제2의 자기코어반체의 제1의 박막코일의 내측 종단에 접속되고, 상기 제2의 자기코어반체의 제1의 박막코일의 외측 종단이 제2의 단자부에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  17. 기판상에 자성막이 성막된 서로 대향하는 1쌍의 자기코어반체를 가지고, 상기 자기코어반체의 맞댐면의 최소한 한쪽의 면에 박막코일이 형성되어 이루어지는 자기헤드의 제조방법에 있어서, 상기 기판상에 상기 자성막을 성막함에 있어서, 미리 상기 기판에 요부를 형성하고, 상기 요부에 상기 자성막을 성막하는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 요부를 이온밀링에 의하여 형성하는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.
  19. 제17항에 있어서, 상기 자성막의 성막이 1방향으로 자화용이축을 가지는 자성막과, 상기 자화용이축과 직교하는 자화용이축을 가지는 자성막과의 2종의 자성막의 성막인 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.
  20. 제19항에 있어서, 서로 직교하는 자화용이축을 가지는 2종의 자성막의 성막에 있어서, 한쪽의 자성막의 자화용이축을 자기갭의 뎁스방향으로 하는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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