JPH03248305A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＶＴＲの回転ヘッドシリンダー等に装備され
る磁気ヘッドに関するものである。

（従来の技術） 従来、磁気ヘッドのコイルは、コイル導線をヘッドチッ
プのコイル窓を通して巻回することによって形成され、
特に小形の磁気ヘッドにおいては前記巻回工程は手作業
に頼らざるを得なかったため、生産能率向上の際のネッ
ク工程となっていた。

又、自動巻線機を使用するには、コイル窓を大きく開設
する必要があるため、磁路長の増大によって磁気効率が
低下する問題があった。

そこで、コイルを薄膜形成工程によって形成する磁気ヘ
ッドが提案されている（特開昭６３−１２３１７１３号
［：Ｇ１１Ｂ５／３１］　）。

例えば第８図及び第９図に示す磁気ヘッドは、一対のコ
ア半体（９）（９０）の突合せ部に磁気ギャップ部（９
５）を設け、両コア半体（９）（９０）は夫々、第１の
非磁性基板（９１）上に積層金属磁性膜（９２）を形成
し、該積層金属磁性膜（９２）の表面に接合層（９３）
を介して第２の非磁性基板（９４）を固定したものであ
って、両コア半体（９）（９０）は低融点ガラス（９８
）によって互いに接合固定されている。

第９図は、第８図に示す積層金属磁性膜（９２）（９２
）の縦断面を示しており、一方のコア半体（９）に、コ
イル導体層（９９）が薄膜形成技術によって渦巻き状の
パターンに形成され、該導体層は絶縁層（９６）によっ
て覆われている。又、コイル導体層（９９）は２層構造
とし、巻数の増加によってコイル出力を増大させている
。

コイル導体層（９９）の両端部には第８図の如く外部回
路と接続すべき端子部（１００）　（１００）が形成さ
れている。

（解決しようとする課題） ところが、第８図及び第９図に示す磁気ヘッドに於いて
は、コイル導体層（９９）を２層に形成するために薄膜
形成工程が極めて複雑となり、却って生産能率の低下を
来す問題があった。

本発明の目的は、コイルが薄膜形成技術によって形成さ
れた磁気ヘットであって、コイル巻数か多く、然も簡単
な工程で製造出来る構造の磁気ヘッドを提供することで
ある。

（課題を解決する為の手段） 本発明に係る磁気ヘッドは、一対のコア半体（１ａ）（
１ｂ）（ｌｂ）の接合面間に、記録媒体との対向面に近
接して磁気ギャップ部（２）を形成すると共に、前記接
合面と略平行な面内にコイル導体層（３）を渦巻き状に
形成して構成され、前記コイル導体層（３）は両コア半
体（１ａ）（１ｂ）　（ｌｂ）の夫々に形成されている
。

両コア半体（１ａ）（１ｂ）（ｌｂ）のコイル導体層（
３）（３）間には絶縁層（４）が介在し、各コア半体の
コイル導体層（３）には、一方の端部に、前記絶縁層（
４）中を相手側のコア半体へ向って伸び該コア半体のコ
イル導体層（３）と接触する連結部（３１）が形成され
ると共に、他方の端部には、外部回路と接続されるべき
端子部（３２）が形成されている。

（作　用） 上記磁気ヘッドの製造工程では、両コア半体（１ａ）（
１ｂ）（ｌｂ）が互いに同一の構造を具えているから、
単一の工程によってコア半体となるコア半体ブロックを
複数個製造した後、２つのコア半体ブロックをギャップ
スペーサを介して互いに接合固定して、一体のヘッドブ
ロックを作製し、その後、該ヘッドブロックをスライス
することによって、複数の磁気ヘッドを同時に得ること
が出来る。

前記コア半体ブロックの製造工程において、コイル導体
層（３）を薄膜形成技術によって形成する際、連結部（
３１）となる部分は他のコイル部分よりも厚く形成して
、絶縁層（４）の表面から導体端面を露出せしめること
によって、２つのコア半体ブロックを接合する際、両ブ
ロックの前記導体端面が互いに密着して、両コイル導体
層（３）　（３）が直列に接続され、少なくとも２層か
らなるコイルが形成されることになる。

（発明の効果） 本発明に係る磁気ヘッドの構造によれば、上記の如〈従
来の単一のコイル導体層を具えた磁気ヘッドの場合と同
様の簡単な工程によって、少なくとも２層構造のコイル
導体を具えた磁気ヘッドを容易に製造出来、コイル巻数
の増加によってコイル出力を増大させることが出来る。

（実施例） 実施例は本発明を説明するためのものであって、特許請
求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲を減縮する様
に解すべきではない。

第１図に示す如く、磁気ヘッドは一対のコア半体（Ｉａ
）　（Ｉｂ）の突合せ部に磁気ギャップ部（２）を設け
ている。両コア半体（Ｉａ）　（ｌｂ）は夫々、第１の
非磁性基板（１１）上に複数の金属磁性薄膜（１２）を
形成し、該金属磁性薄膜（１２）の表面に接合層（１３
）を介して第２の非磁性基板（１４）を固定したもので
あって、両コア半体（１ａ）（１ｂ）　（ｌｂ）は低融
点ガラス（６）によって互いに接合固定されている。

第２図は、第１図に示す金属磁性薄膜（１２）（１２）
での縦断面を示しており、両コア半体（１ａ）（１ｂ）
　（ｌｂ）には夫々、コイル導体層（３）が薄膜形成技
術によって渦巻き状のパターンに形成され、該導体層は
絶縁層（４）によって覆われている。

両コア半体（１ａ）（１ｂ）（ｌｂ）のコイル導体層（
３）（３）は連結部（３１）にて互いに直列に接続され
、巻数の増加によってコイル出力を増大させている。

各コイル導体層（３）の前記連結部（３１）とは反対側
の端部は、第１図の如くヘッド後部へ延長し、該延長端
に端子部（３２）を形成している。

以下、第３図乃至第７図に沿って、上記磁気ヘッドの製
造方法を説明する。

先ず、結晶化ガラスからなる厚さ略１ｍｍの非磁性基板
（７）の表面に、Ｆｅ−Ａｌ−５ｉ系合金からなる厚さ
略５μｍの金属磁性薄膜（７１）と、Ｓｉｎ、からなる
厚さ略０．１ｍｍの絶縁膜を交互に積層して積層金属磁
性層（７１）を形成し、これによって得られた複数の積
層基板をガラス接合層（８１）を介して接合固定し、第
３図に示す積層ブロック（７０）を作製する。

次に前記積層ブロック（７０）に対してイオンビームミ
リング法等によるエツチングを施して、第４図の如く各
非磁性基板（７）に跨がって伸びる凸条部（７２）と、
各積層金属磁性層（７１）と重なる位置にて突出する複
数の軸部（７３）とを形成する。

その後、第５図の如く前記エンチング面にＳｉｎ。

の絶縁膜（７４）を形成する。更に該絶縁膜（７４）の
表面に周知の薄膜形成技術によって厚さ略２〜６μｍの
銅薄膜を形成し、該Ｃｕ薄膜にイオンビームミリング法
等によるエツチングを施して、図示の如く軸部（７３）
を包囲する所定のコイルパターンを有する導体膜（７５
）を形成する。該導体膜（７５）には、方の端部に連結
部（７６）、他方の端部に端子部（７７）が形成される
。尚、連結部（７６）は、その表面が軸部（７３）より
も高く突出する様、導体膜（７５）の他の部分よりも厚
く形成される。

前記絶縁膜（７４）及び導体膜（７５）の表面には、第
６図の如く各端子部（７７）の端部を除く領域に、Ｓｉ
ｎ、の絶縁膜（７８）を形成した後、各軸部（７３）の
両側にガラス溝（７９）を凹設し、更に絶縁膜（７８）
の表面に対して鏡面研磨を施す。これによって、絶縁膜
（７８）、軸部（７３）及び連結部（７６）の表面（ギ
ャップ接合面）が同一平面に揃ったコア半体ブロック（
１０）が得られる。

その後、互いに接合すべき一対のコア半体ブロック（１
０）　（１０）の内、一方のコア半体ブロック（１０）
の凸条部（７２）の表面に、５１０２からなる厚さ０２
〜０，３μｍのギャップスペーサ（８０）を形成し、第
７図に示す様にこれら一対のコア半体ブロック（１０）
　（１０）を、積層金属磁性層（７１）どうしが同一位
相で突き合う様に接合し、各ガラス溝（７９）に低融点
ガラス（８）を充填して、両コア半体ブロック（１０）
（１０）を互いに固定し、一体のヘッドブロックを得る
。この際、第６図に示すコア半体ブロック（１０）の連
結部（７６）が相手側のコア半体ブロック（１０）の連
結部（７６）と密着し、両コア半体ブロック（１０）（
１０）の導体膜（７５）　（７５）が互いに直列に接続
されることになる。

最後に、上記ヘッドブロックを第７図の鎖線に沿ってス
ライスし、更に磁気テープとの摺接面を曲面に加工する
ことによって、第１図及び第２図の磁気ヘッドが完成す
る。

ここで、第７図に示す非磁性基板（７）が第１図の非磁
性基板（１１）に、積層金属磁性層（７１）か金属磁性
薄膜（１２）（１２）（１２）に、絶縁膜（７４）　（
７５）が夫々絶縁層（５）　（４）に、ギャップスペー
サ（８ｏ）が磁気ギャップ部（２）に対応する。又、第
６図に示す連結部（７６）が第２図の連結部（３１）と
なる。

上記磁気ヘッドにおいては、コイルを薄膜形成技術によ
って形成しているから、従来の手作業による巻線工程が
不要であるばかりでなく、磁気回路の磁路長の短縮が可
能であり、これによって磁気効率を改善出来る。又、コ
イル導体層（３）は２層に形成されているから、十分な
コイル出力が得られる。

上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであ
って、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲
を減縮する様に解すべきではない。

又、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。

例えば、コイル巻数を更に増大するべく、両コア半体（
１ａ）（１ｂ）　（ｌｂ）に夫々複数層のコイル導体層
（３）を形成することも可能であって、この場合も、方
のコア半体にのみ多層のコイル導体層を形成した従来の
磁気ヘッドよりも製造が容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は該
磁気ヘッドの縦断面図、第３図乃至第７図は磁気ヘッド
の製造方法を示す一連の斜視図、第８図は従来の磁気ヘ
ッドの斜視図、第９図は従来の磁気ヘッドの縦断面図で
ある。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ［１］一対のコア半体（１ａ）（１ｂ）の接合面間に、
   記録媒体との対向面に近接して磁気ギャップ部（２）を
   形成すると共に、前記接合面と平行或いは傾斜する面内
   にコイル導体層（３）を渦巻き状に形成して構成される
   磁気ヘッドにおいて、前記コイル導体層（３）は両コア
   半体（１ａ）（１ｂ）の夫々に形成され、両コア半体（
   １ａ）（１ｂ）のコイル導体層（３）（３）間に絶縁層
   （４）が介在し、各コア半体のコイル導体層（３）には
   、一方の端部に、前記絶縁層（４）中を相手側のコア半
   体へ向って伸び該コア半体のコイル導体層（３）と接触
   する連結部（３１）が形成されると共に、他方の端部に
   は、外部回路と接続すべき端子部（３２）が形成され、
   両コイル導体層（３）（３）は前記連結部（３１）（３
   １）にて互いに直列に接続されていることを特徴とする
   磁気ヘッド。