JPH03272007A - マルチトラック磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＶＴＲの回転ヘッドシリンダー等に装備され
る磁気ヘッドに関し、特に複数の磁気ギャップ部を具え
たマルチトラック磁気ヘッド及びその製造方法するもの
である。

（従来の技術） 映像信号をデジタル信号として記録するＶ　Ｔ　Ｒ。

特にハイビジョン用のデジタルＶＴＲにおいては、記録
信号のビットレートか数百乃至数千Ｍｂ／ｓと極めて高
くなるため、記録信号を４乃至８チヤンネルに分割して
磁気テープ上の複数トラックに同時記録することが行な
われる。

この場合、従来のＶＴＲにおいては、回転ヘッドシリン
ダーに、チャンネル数に応した複数の磁気ヘッドを配設
していた。

（解決しようとする課題） ところが、従来のＶＴＲでは、前述の如く複数の磁気ヘ
ッドを回転ヘッドシリンダーに取り付ける際の相対的な
位置決めを極めて高い精度で行なわなければならず、こ
のための作業が煩雑となる問題があった。

そこで出願人は、第８図に示す如きダブルトラック磁気
ヘッドを発明した。該磁気ヘッドは一対のコア半体（８
）（８０）の突合せ部に、２つの磁気ギャップ部（９）
（９１）を形成したもので、各コア半体（８）（８０）
は、一対の非磁性基板（８１）（８５）と、両弁磁性基
板の内面に形成された磁気コア層（８２）（８２）と、
両磁気コア層の内面に形成された非磁性層（８３）　（
８３）と、両弁磁性層を互いに固定する接合ガラス層（
８４）とから構成されている。両コア半体（８）（８０
）は、夫々の磁気コア層（８２）（８２）が互いに突き
合う様に位相が合わされ、接合ガラス（９４）によって
一体化されている。又、各コア半体（８）（８０）には
、磁気ギャップ部（９）（９１）毎の磁気回路を構成す
るためのコイル導線（９３）（９３）が、コイル窓（９
２）（９２）を通して巻回されている。

該磁気ヘッドによれば、必要なチャンネル数の半数の磁
気ヘッドを回転ヘッドシリンダーに装備すれば可く、組
立時の労力が従来よりも軽減される。

しかしながら、第８図の磁気ヘッドでは、コイル窓（９
２）にコイル巻線（９３）を巻回して磁気ギャップ部将
の磁気回路を形成しているから、構造上、３チャンネル
以上のマルチチャンネル化を図ることが困難であった。

そこで、本発明の目的は、コイルを薄膜形成術により形
成することによって、容易に３チャンネル以上のマルチ
チャンネル化を図ることが出来る構造の磁気ヘッド及び
その製造方法を提供することにある。

（課題を解決する為の手段） 本発明に係るマルチトラック磁気ヘッドにおいて、第１
及び第２コア半体（１）（１０）は夫々、第１非磁性基
板（１１）と、該非磁性基板（１１）上に磁気コア層（
１２）及び非磁性層（１３）をトラック幅方向に交互に
夫々複数層ずつ積層してなる主コア部と、該主コア部上
に接合ガラス層（１４）を介して固定された第２非磁性
基板（１５）とを具えており、両コア半体（１）（１０
）の各磁気コア層（１２）か互いに突き合わされている
。

各磁気コア層（１２）の突合せ部には、記録媒体との対
接面側の端部に磁気ギャップ部（２）（２１）が夫々介
装されると共に、該磁気ギャップ部とは離れた位置に、
相手側の磁気コア層（１２）へ向って突出する軸部（６
５）が夫々形成され、該軸部（６５）を包囲して薄膜コ
イル（５）か渦巻き状に形成されている。

又、本発明に係るマルチトラック磁気ヘッドの製造方法
において、第１の工程では、第１の非磁性基板（７）の
表面に磁性膜（７１）と非磁性膜（７２）を交互に夫々
複数層ずつ積層した後、該積層表面に接合層を介して第
２の非磁性基板（７）を固定して積層体（６）が作製さ
れる。

第２の工程では、前記積層体（６）の接合面にエツチン
グを施して、記録媒体との対接面側の端部に、各磁性膜
（７１）及び非磁性膜（７２）に跨がってトラック幅方
向に伸びる突条部（６４）と、該突条部（６４）とは離
れた位置にて各磁性膜（７１）毎に突出する軸部（６５
）とが形成される。

第３の工程では、前記エツチング面に絶縁膜（７４）を
形成すると共に、該磁性膜（７１）の表面に軸部（６５
）を包囲して薄膜コイル（５）を形成する。

第４の工程では、前記絶縁膜（７４）及び薄膜コイル（
５）の表面に絶縁膜（７５）を形成して、該絶縁膜（７
５）、前記突条部（６４）及び軸部（６５）の表面が同
一平面に揃ったコア半体ブロック（６１）が作製される
。

第５の工程では、前記４工程を経て得られた一対のコア
半体ブロック（６１）（６２）をギャップスペーサ（２
４）を介して゛ガラス接合し、両コア半体ブロックの各
磁性膜（７１）が突き合されたコアブロック（６３）を
作製する。

第６の工程では、前記コアブロック（６３）に機械加工
を施して、互いに突き合う一対の磁性膜（７１）間に介
在するギャップスペーサ（２４）によって複数の磁気ギ
ャップ部（２）（２１）か形威された磁気ヘッドが作製
される。

（作　用） 上記マルチトラック磁気ヘッドにおいては、各磁気ギャ
ップ部（２＞　（２１）（２２）　（２３）毎の磁気回
路は夫々、一方のコア半体（１）の磁気コア層（１２）
から軸部（６５）を経て他方のコア半体（１０）の磁気
コア層（１２）へ至る経路に形成され、各軸部（６５）
の周囲に形威された薄膜コイル（５）に夫々通電するこ
とによって、各磁気ギャップ部が作動することになる。

又、上記製造方法においては、第１工程での磁性膜（７
１）及び非磁性膜（７２）の形成、第３工程での絶縁膜
（７４）及び薄膜コイル（５）の形成等の全ての成膜工
程が周知の薄膜形成技術によって行なわれる。

（発明の効果） 本発明に係るマルチトラック磁気ヘッド及びその製造方
法によれば、３以上の磁気回路を周知の薄膜形成技術に
よって容易に形成出来、各磁気ギヤツブ部将のコイルも
同様に薄膜形成技術によって容易に形成、従来の如きコ
イル窓に巻線を施す構造ではない。従って、３チャンネ
ル以上のマルチチャンネル化が可能である。

又、本発明に係るマルチトラック磁気ヘッドにおいては
、各磁気ギャップ部（２）（２１）（２２）（２３）間
の非磁性層（１３）の厚さを薄膜形成技術によって正確
に規定することが可能であり、これによって各磁気ギャ
ップ部の相対位置が高精度に規定される。

従って、回転ヘッドシリンダーへの取り付ける際の労力
は、多数の磁気ヘッドを個別に位置決めしていた従来に
比べて著しく軽減される。

（実施例） 実施例は本発明を説明するためのものであって、特許請
求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲を減縮する様
に解すべきではない。

第１図及び第２図に示す如く、マルチトラック磁気ヘッ
ドは、一対のコア半体（１）（１０）の突合せ部に、多
数の磁気ギャップ部（２Ｘ２１）（２２）（２３）を設
けている。両コア半体（１）（１０）は夫々、第１の非
磁性基板（１１）上に磁気コア層（１２）と非磁性層（
１３）を交互に夫々複数層ずつ形威し、最上層の磁気コ
ア層（１２）の表面に接合ガラス層（１４）を介して第
２の非磁性基板（１５）を固定している。尚、各磁気コ
ア層（１２）は、金属磁性薄膜と絶縁膜との積層構造に
形成して、渦電流損失の軽減が図られている。

両コア半体（１）（１０）は、夫々の磁気コア層（１２
）と非磁性層（１３）を突き合わせた位相で、両弁磁性
基板（１１）（１５）の接合部に設けた低融点ガラス部
（３）（３）によって互いに固定されている。

第２図に示す如く、両コア半体（１）（１０）には、夫
々薄膜コイル（５）が後述の如く薄膜形成技術によって
渦巻き状のパターンに形成され、これらの薄膜コイル（
５）＜５）は絶縁層（４）（４１）　（４２）（４３）
よって覆われている。

両コア半体（１）（１０）の接合面Ｓは磁気コア層（１
２）の形成面に対して傾斜しており、第１図に示す各磁
気ギャップ部（２）（２１）（２２）（２３）に所定の
アジマス角度が付与されている。

以下、第３図乃至第７図に沿って、上記磁気ヘッドの製
造方法を説明すると共に、磁気ヘッドの更に細部の構造
について言及する。

先ず、第３図に示す様に、結晶化ガラスからなる厚さ略
１ｍｍの非磁性基板（７）の表面に、Ｆｅ−Ａｌ−５ｉ
系合金からなる厚さ略５μにの金属磁性薄膜（７１）と
５ｉＯｚからなる厚さ略０．１ｍｍの絶縁膜を交互に積
層して積層磁性膜（７１）を形成し、更に該磁性膜の表
面に、アルミナ等からなる非磁性膜（７２）を前記磁性
膜（７１）の厚さと同−若しくは僅かに大なる厚さ（例
えば２１μｍ）に形成する。その後、同様にして磁性膜
（７１）と非磁性膜（７２）を交互に積層し、これによ
って得られた複数の積層基板をガラス層（７３）を介し
て接合固定し、第３図に示す積層体（６）を作製する。

尚、薄膜の形成には、周知の複数ターゲットを用いた高
速スパッター装置を用いることが出来る。

次に前記積層体（６）に対してイオンビームミリング法
等によるエツチングを施して、第４図の如く非磁性基板
（７）上の各薄膜に跨がって伸びる突条部（６４）を形
成すると同時に、該突条部（６４）の下方位置には、各
磁性膜（７１）を含む領域に夫々軸部（６５）を形成す
る。

その後、第５図の如く前記エンチング面に５ｉｎｓの絶
縁膜（７４）を形成する。更に該絶縁膜（７４）の表面
に薄膜形成技術によって厚さ略２〜６μｍの銅薄膜を形
成し、該Ｃｕ薄膜にイオンビームミリング法等によるエ
ツチングを施して、図示の如く軸部（６５）を包囲する
所定のコイルパターンの薄膜コイル（５）を形成する。

該薄膜コイル（５）の両端には端子部（５１）（５１）
が形成される。尚、薄膜コイル（５）は、全ての軸部（
６５）に形成することも可能であるが、ここでは１つお
きに間欠的に形成される。これは、後述の如く該積層体
（６）と接合されるべき相手側の積層体の軸部（６５）
に対しても、前記薄膜コイル（５）と補間する位置関係
で薄膜コイルが間欠的に形成されるからである。

前記絶縁膜（７４）及び薄膜コイル（５）の表面には、
第６図の如く各端子部（５１）を除く領域に、Ｓｉｎ、
の絶縁膜（７５）を形成した後、最終的に１つの磁気ヘ
ッドとなる部分の両側に夫々ガラス溝（６６）を凹設し
、更に絶縁膜（７５）の表面に対して鏡面研磨を施す。

これによって、絶縁膜（７５）、突条部（６４）、軸部
（６５）の表面が同一平面に揃ったコア半体ブロック（
６１）が得られる。

一方、上記同様の工程を経て、第６図に示すガラス溝（
６６）が凹設されたいない略同−構造のコア半体ブロッ
クを作製する。尚、該コア半体ブロックには、前述の如
く第５図の薄膜コイル（５）を補間する位置関係で、間
欠的に薄膜コイルが形成される。

第６図に示すコア半体ブロック（６１）の表面には、突
条部（６４）を含み且つ軸部（６５）は含まない領域に
、５ｉｎ２からなる厚さ０２〜０３μｍのギャップスペ
ーサ（２４）か形成される（第７図参照）。

その後、第６図のコア半体ブロック（６１）と、ガラス
溝（６６）が凹設されていない前記コア半体ブロック（
６２）とを第７図の如く磁性膜（７Ｉ）どうしか同一位
相で突き合う様に接合し、各ガラス！　（６６）に低融
点ガラス（３１）を充填して、両コア半体ブロック（６
１）（６２）を互いに固定し、一体のコアブロック（６
３）を得る。これによって、両コア半体ブロック（６１
）（６２）の各軸部（６５）どうしが互いに密着するこ
とになる。又、両コア半体ブロック（６１）（６２）に
間欠的に形成された薄膜コイル（５）が互いに補間し合
って、全ての軸部（６５）に対して配備されることとな
り、チャンネル毎の磁気回路を動作させることが可能と
なる。

最後に、上記コアブロック（６３）を第７図の鎖線に沿
ってスライスし、更に磁気テープとの対接面を曲面に加
工することによって、第１図及び第２図の磁気ヘッドが
完成する。

ここで、第７図に示す非磁性基板（７）が第１図の非磁
性基板（１１）（１５）に、磁性膜（７１）が磁気コア
層（１２）に、非磁性膜（７２）が非磁性層（１３）に
、絶縁膜（７４）（７５）（７６）　（７７）が絶縁層
（４）（４１）（４２）（４’３）に対応することにな
る。又、第７図のギャップスペーサ（２４）によって、
第１図の磁気ギャップ部（２）（２１）（２２）（２３
）が形成されることになる。

上記磁気ヘッドにおいては、コイル及び磁気コア層が薄
膜形成技術によって形成されるから、３チャンネル以上
のマルチチャンネル化が容易であり、回転ヘッドシリン
ダーへ取り付ける際、各磁気ギャップ部の相対位置は高
精度のまま維持される。又、従来の手作業による煩雑な
巻線工程が不要となり、これによって生産能率の改善が
図られる。然も、コイル窓が不要となることから磁気回
路の磁路長の短縮が可能であり、これによって記録再生
効率を改善出来る。

更に又、第５図に示す薄膜コイルの形成においては、隣
り合う２つの軸部（６５）の一方にのみ薄膜コイル（５
）が形成されるから、磁性膜（７１）のピッチが小さい
場合においても、十分なコイル巻数を確保出来る利点が
ある。

上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであ
って、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲
を減縮する様に解すべきではない。

又、本発明の各部構成は上記実施例に限らす、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は第
１図ｎ−ｎ線に沿う断面図、第３図乃至第７図は磁気ヘ
ッドの製造方法を示す一連の斜視図、第８図は従来の磁
気ヘッドの斜視図である。 （１）（１０）・・・コア半体　（１２）・・・磁気コ
ア層（１３）・・・非磁性層　　　（５）・・・薄膜コ
イル（２）（２１）（２２）（２３）・・・磁気ギャッ
プ部手続補正書（自発） 平底２年９月１９日 １、事件の表示 特願平２−７４２２５ （２）明細書第１１頁９行目 ｒｏ、１ｍｍＪを １０１μｍ」に補正。 （３）明細書第１３頁９行目 「されたいない」を 「されていない」に補正。 ３、補正をする者 事件との関係

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］一対のコア半体（１）（１０）の接合面間に、記
   録媒体との対接面へ達する磁気ギャップ部を形成した磁
   気ヘッドにおいて、各コア半体（１）（１０）は、第１
   非磁性基板（１１）と、該非磁性基板（１１）上に磁気
   コア層（１２）及び非磁性層（１３）をトラック幅方向
   に交互に夫々複数層ずつ積層してなる主コア部と、該主
   コア部上に接合層を介して固定された第２非磁性基板（
   １５）とを具え、両コア半体（１）（１０）の各磁気コ
   ア層（１２）が互いに突き合わされ、該突合せ部には、
   前記対接面側の端部に磁気ギャップ部（２）（２１）が
   夫々介装されると共に、該磁気ギャップ部とは離れた位
   置に、相手側の磁気コア層（１２）へ向って突出する軸
   部（６５）が夫々形成され、該軸部（６５）を包囲して
   薄膜コイル（５）が形成されていることを特徴とするマ
   ルチトラック磁気ヘッド。 ［２］一対のコア半体（１）（１０）の接合面間に、記
   録媒体との対接面へ達する複数の磁気ギャップ部を形成
   したマルチトラック磁気の製造方法において、第１の非
   磁性基板（７）の表面に磁性膜（７１）と非磁性膜（７
   ２）を交互に複数層ずつ積層した後、該積層表面に接合
   層を介して第２の非磁性基板（７）を固定して積層体（
   ６）を作製する第１の工程と、前記積層体（６）の接合
   面にエッチングを施して、前記対接面側の端部に各磁性
   膜（７１）及び非磁性膜（７２）に跨がってトラック幅
   方向に伸びる突条部（６４）と、該突条部（６４）とは
   離れた位置に各磁性膜（７１）毎に突出する軸部（６５
   ）とを形成する第２の工程と、前記エッチング面に絶縁
   膜（７４）を形成すると共に、該磁性膜（７１）の表面
   に軸部（６５）を包囲して薄膜コイル（５）を形成する
   第３の工程と、前記絶縁膜（７４）及び薄膜コイル（５
   ）の表面に絶縁膜（７５）を形成して、該絶縁膜（７５
   ）と前記突条部（６４）及び軸部（６５）の表面が同一
   平面に揃ったコア半体ブロック（６１）を作製する第４
   の工程と、前記工程を経て得られた一対のコア半体ブロ
   ック（６１）（６２）をギャップスペーサ（２４）を介
   してガラス接合し、両コア半体ブロックの各磁性膜（７
   １）が突き合されたコアブロック（６３）を形成する第
   ５の工程と、該コアブロック（６３）に加工を施して、
   複数の磁気ギャップ部（２）（２１）を具えた磁気ヘッ
   ドを作製する第６の工程とからなることを特徴とするマ
   ルチトラック磁気ヘッドの製造方法。