JPH0453007A - 金属薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は金属薄膜で磁気回路を形成し、記録再生！流用
導体部分を巻線で構成した金属薄膜磁気ヘッドおよびそ
の製造方法に関する。

（従来技術） 薄膜磁気ヘッドは一般にインピーダンスが低く高周波記
録再生に適しており、例えば浮動スライダ型の磁気ヘッ
ドにおいて記録再生電流用導体部分（入出力部分）およ
び磁気回路を構成する一方の磁性材部分を磁性薄膜で形
成したものが知られている。例えば浮動スライダを兼ね
た磁性基板の端面にパターン状の螺旋溝を形成し、該溝
内に基板端面と同一面になるように導体膜を付着せしめ
、さらにその上面に絶縁膜を介しかつ前記導体膜をまた
ぐように基板端面の中心から磁気媒体対接面まで帯状に
磁性膜を付着させたものがある。

（発明が解決しようとする課題） 従来の薄膜磁気ヘッドは、磁気回路を構成する磁性体膜
の間に記録再生電流用の導体をノくターン状の薄膜で形
成し、しかも異種導体１朦を何層にも積層したり、フォ
トレジスト、エツチング等の方法でパターン状に形成し
なければならないので多くの工程を要し、信頼性も低い
という問題がある。また電流用導体薄膜を形成する基板
はスライダを兼ねた磁性材（コア、）であり、所定のト
ラック中を得るため該コアの磁気媒体対接面をテーバ状
に細くしているので、コアのテーバ状先端の縁部からの
磁束の漏洩、いわゆるフリンジング現象が生じ、またコ
アのテーバ状先端の強度も弱く、毀損を起し易い、特に
前述した従来の薄膜磁気ヘッドのように記録再生電流用
の導体膜を印刷技術等の方法でコア本体たるレール状磁
性基板に直接形成することは製造上きわめて能率が悪く
、１個１個コア端面に印刷形成するのは精度上の点でも
問題がある。

本発明は上述した従来の不具合をなくし、磁性あるいは
非磁性のＣ形部材および非磁性スライダの間に薄膜の磁
気回路を形成し、電流用の導体は一般の巻線と同じ工程
で装着し、これによって低インピーダンスで高周波記録
再生に適した、かつ製造容易な金属薄膜磁気ヘッドおよ
びその製造方法を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明による金属薄膜磁気ヘッドは、レール状の浮上部
をもつ非磁性スライダと、前記非磁性スライダの片端部
に接合されるＣ形部材と、前記非磁性スライダと前記Ｃ
形部材との間に介在された金属薄膜と、前記Ｃ形部材に
巻き付けられたコイルとを有して成るものである。

本発明の金属薄膜磁気ヘッドを製造するには、非磁性ス
ライダの片端部に磁気媒体面に対して垂直方向に凹溝を
形成するとともに該片端部に金属磁性材を付着した徒歩
なくとも該凹溝内に前記金属磁性材が残るように旋削し
、Ｃ形部材の突端部に磁気媒体面に対して垂直な凹溝を
形成しがつ該突端部からＣ形部材の内側面にかけて金属
磁性材を付着した徒歩なくとも該凹溝内に該金ＷＡｌｉ
！ｉ性材が残るように該突端部を旋削し、この状態で前
記非磁性スライダと前記Ｃ形部材とをそれらの凹溝位置
を合せて接合し、前記Ｃ形部材に巻線を施すことにより
得られる。

（実施例） 次に、本発明を実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の実施例に係る金属薄膜磁気ヘッドの部
分的な斜視図である。セラミックス等の非磁性材で製作
されたスライダ１は磁気媒体に対接する面に２〜３本の
浮上部となる突条２が形成され、そのうちの１つの突条
例えば中央の突条２に対応する位置のスライダ片端部に
Ｃ形コア３が接合されている。スライダ１とＣ形コア３
の接合面の中央には磁気媒体面に対して垂直にのびる凹
溝４が形成され、この凹溝４内に磁性薄膜、例えばアモ
ルファス、パーマロイ、センダストその地鉄系材料の金
属薄膜５が埋め込まれている０Ｍ１気媒体に対接する側
の金属薄膜５の間、つまりスライダ側薄膜とＣ形コア側
薄膜との間にガラス等の薄膜状の非磁性材が介在され、
この部分が磁気ギャップ６となる。凹溝４の巾ｔはトラ
ック中を画成し、また凹溝４内に埋め込まれる金属薄膜
５の厚みは０．５〜４μｍ１好ましくは１〜２μｍであ
り、磁気ギャップ６のガラス膜厚は０．３〜１．５μｍ
。

通常は０．６μｍである。スライダ１とＣ形コア３を固
着するために磁気ギャップ６の！−ペックス部分を埋め
込むように溶着ガラス７が埋め込まれる。Ｃ形コア３の
接合固着後、Ｃ形コア３とスライダ１間の窓孔部８を利
用してＣ形コア３に記録再生電流用のコイル９が巻き付
けられる。

第２図（ａ）〜（Ｃ）および第３図（ａ）〜（Ｃ）はそ
れぞれ本発明による薄膜磁気ヘッドを製造するｌこ際し
てのスライダ１およびＣ形コア３の凹溝に金属薄膜を付
着させる工程を示した図である。まずスライダ１側につ
いては、第２図（ａ）に示すように、中央の突条２の位
置でスライダ端部１ａに適当な深さのスライダ側凹溝１
０が加工され、この凹溝１０およびスライダ端部１ａの
全面に、スパッタ、蒸着メツキあるいは溶着等の方法で
前述したようなアモルファス、パーマロイ、センダスト
等の金属磁性材１１が付着される（第２図（ｂ））、そ
の後スライダ側凹溝１０内の金属磁性材が所定厚みの薄
膜となっ°ζ残るように、第２図（し））の仮想線で示
ずイ装置までスライダ端部の金属磁性材１１からスライ
ダ端部にかけて研磨し７て削り落し、第２図（Ｃ）に示
すような凹溝１０内にスライダ側合ＩＫ］ｌｔ！！５ａ
を有する非磁性スライダ１が得られる。

Ｃ形コア３側については第３図（ａ）に示すように、Ｃ
形コア３０両先端つまりスライダ・＼の接合面３ａ、３
ｂの中央部に縦方向（磁気媒体面番コ対して垂直方向）
にトラック巾ｔで適当な深さのＣ形コア側凹溝１２が形
成され、スライダ１の場合と同様にごの凹溝１２を含む
Ｃ形コア接合面およびＣ形コア内側面３Ｃに第３図（ｂ
）の如く金属磁性材１３がスパッタ、蒸着、メツキある
いは溶着等の方法で付着される。その後第３回（＋））
の仮想線で示すようにＣ形コア側凹溝１２内に所定厚み
の金属薄膜が残るようにＣ形コア接合面を研磨加重で削
り、第３図（Ｃ）のようなＣ形コア内側面全域および接
合面の凹溝１２に金属磁性材１３およびＣ形コア側金属
薄膜５ｂが形成されたＣ形コア３を得る。

なお凹溝１２を除くＣ形コア接合面の金に磁性材１３の
除去はエツチング技術を用いてもよいにのようにして得
られた非磁性スライダ１　（第２図（Ｃ））、ｔｊヨび
Ｃ形コ°ア３（第３図（Ｃ））はそれらの凹溝内の金属
薄膜！〕ａ、５ｈを合せるよ・）にし５てかつ磁気媒体
対接側の接合面間にガラススバンタあるいはＳｉＯｘ　
　ＡｆｌｚＯｓ等の」１磁性ギヤツプ材を介して接合し
、Ｃ形コア３に巻線を施して第１図に示すような金属薄
膜磁気−＼ノドが得られる。

上記の実施例ではＣ形部材とし７てＣ形のコア部材を用
いたが、本発明ではＣ形部材はその内側面から凹溝内に
かけて金属磁性材が付着され、この部分で磁気回路を形
成するので、Ｃ形部材自体は非磁性材で形成してもよい
。Ｃ形部材は第４図に示すように縦断面がＣ形を成し横
方向に連なったバー状部材１５を用意し、このバー状部
材１５に所定間隔で複数個の凹溝１２を形成し、金属磁
性材を内側面に付着しかつＣ形両先端部の研磨によって
凹溝内に金属薄膜を形成し、同図の仮ｇ線て示すように
横方向にスライス切断して一度に多数のＣ形部材を得る
ようにしてもよい。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、全体の形状として
は従来の浮動スライダ型の形状を成し、磁気回路の部分
のみを金属磁性薄膜としたのでインピーダンスが低く、
高周波記録再生に適した磁気ヘッドが得られる。スライ
ダの形状自体として一般のフェライトによる浮動スライ
ダと同じ形状でよいので、従来の作業工程をそのまま利
用でき、しかも非磁性であるため加工の容易な材料を選
定できる。Ｃ形部材も磁性材のほか非磁性材で形成して
もよいのでフリンジングの問題が起らず、さらに記録再
生用の導体は従来のように異種薄膜を何層にも積層した
りフォトレジスト、エツチング等多くの工程を必要とせ
ず、薄膜による磁気回路部分以外は一般の巻線工程と同
じ工程で行えるので作業が容易でかつ信頼性も高い等多
くの効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例による金属薄膜磁気ヘッドの部
分的な斜視図、第２図（ａ）〜（Ｃ）は本発明に係る非
磁性スライダの製作工程を示す斜視図、第３図（ａ）〜
（Ｃ）は本発明に係るＣ形コアの製作工程を示す斜視図
、第４図は本発明の実施例でスライス加工前のバー状に
連なったＣ形部材を示す斜視図である。 １・・・非磁性スライダ、３・・・Ｃ形コア、４・・・
凹溝、５・・・金属薄膜、５ａ・・・スライダ側合ｒＩ
Ａ薄膜、５ｂ・・・Ｃ形コア側金属薄膜、６・・・磁気
ギヤツブ、９・・・コイル、１０・・・スライダ側凹溝
、１１．１３・・・金属磁性材、 １２・・・Ｃ形コア側凹溝。 代理人　弁理士　染　川　利　吉 第 図 訃ん扛↑ｔスライ２゛′ 第 図（０） 第 図（Ｃ） 第 図 （ｂ） 第 図 ｂ ＊−侶［有］ 第 図（Ｃ） 第 図 （ｂ） 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）、レール状の浮上部をもつ非磁性スライダと、前
   記非磁性スライダの片端部に接合されるＣ形部材と、前
   記非磁性スライダと前記Ｃ形部材との間に介在された金
   属薄膜と、前記Ｃ形部材に巻き付けられたコイルとを有
   することを特徴とする金属薄膜磁気ヘッド。
2. （２）、非磁性スライダとＣ形部材の接合面にそれぞれ
   磁気媒体に対して垂直にのびる凹溝を形成するとともに
   これらの凹溝および前記両接合面に金属磁性材を付着し
   、少なくとも両凹溝内に前記金属磁性材が残るようにそ
   れぞれの前記接合面を旋削し、この状態で前記両凹溝を
   合せて前記非磁性スライダと前記Ｃ形部材を接合しかつ
   該Ｃ形部材に巻線を施すことを特徴とする金属薄膜磁気
   ヘッドの製造方法。