JPH04167205A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ビデオテープレコーダの回転ヘッドシリンダ
ー等に装備される磁気ヘッドに関するものである。

（従来の技術） 斯種磁気ヘッドにおいて、磁性コア部及びコイルを薄膜
形成工程によって形成することが提案されている（特開
昭６３−１２３１７１３号〔Ｇ１１Ｂ５／３１）　’Ｉ
。

例えば第９図及び第１０図に示す磁気ヘッドは、一対の
コア半体（９）（９０）の突合せ部に磁気ギヤ・ツブ部
（９５）を設け、両コア半体（９）（９０）は夫々、−
対の非磁性基板（９１）　（９４）の間に金属磁性薄膜
（９２）と非磁性薄膜（９３）を交互に積層してなる磁
性コア部を介在せしめて構成され、両コア半体（９）（
９０）は低融点ガラス（９８）によって互いに接合固定
されている。

第１Ｏ図は、第９図に示す金属磁性薄膜（９２）におけ
る磁気ヘッドの縦断面を示しており、各コア半体（９）
（９０）には、コイル導体層（９９）が薄膜形成技術に
よって渦巻き状のパターンに形成され、該導体層は絶縁
層（９６）によって覆われている。又、コイル導体層（
９９）の両端部はヘッド後部側へ向って伸び、その先端
に端子部（１００）　（１００）が形成されている。

（解決しようとする課題） 第９図及び第１θ図に示す磁気ヘッドの製造工程におい
ては、コア半体（９）（９０）となる一対のコア半体ブ
ロックを、金属磁性薄膜（９２）どうしが互いに同一位
相でズレのない位置で対向する様に接合する必要があり
、このために、磁気テープとの対接面に露出した各金属
磁性薄膜（９２）及び非磁性薄膜（９３）の端面を顕微
鏡等にて観察して、両コア半体（９）（９０）の位置合
せが行なわれている。

しかしながら、テープ対接面の観察のみによる位置合せ
では、テープ対接面での位置合せは正確に行なうことが
出来ても、テープ対接面に露出していないコア接合面の
中央部については、ズレの確認、補正が困難であり、ズ
レが存在したまま接合固定される虞れがあった。

又、左右の端子部（１００）（１００）が、第１０図の
如く互いに対向する両コア半体（９）（９０）の間に挟
まれているから、外部回路からのリード線を端子部（１
００）に接続する作業が困難である問題があった。

本発明の目的は、両コア半体の接合を正確且つ容易に行
なうことが出来る構造の磁気ヘッドを提供することであ
る。

本発明の他の目的は、コイル導体層の端子部を外部回路
へ接続する作業を容易に行なうことが出来る構造の磁気
ヘッドを提供することである。

（課題を解決する為の手段） 本発明に係る磁気ヘッドにおいて、各コア半体（ｌａ）
（Ｉｂ）は、一対の非磁性基板（１１）　（１４）間に
、金属磁性薄膜（１２）と非磁性薄膜（１５）とを交互
に積層してなる磁性コア部（１６ａ）　（１６ｂ）を介
在せしめて構成されている。各磁性コア部（１６ａ）（
１６ｂ）は、ヘッド頭部側の領域へとヘッド後部側の領
域Ｂに分離され、両分離領域の間に非磁性部（８１ａ）
が介在している。又、ヘッド頭部側の領域Ａには、相手
側の磁性コア部と直接に接触する軸部（７３）を具える
と共に、両磁性コア部（１６ａ）（１６ｂ）は、ヘッド
後部側の領域Ｂの端部にて互いに直接に接触している。

更に前記軸部（７３）を包囲してコイル導体層（３）が
形成されている。

前記軸部（７３）は、磁性コア部（１６ａ）　（１６ｂ
）の積層方向に、磁性コア部（１６ａ）　（１６ｂ）の
積層厚さよりも犬なる幅を有する磁性薄膜によって形成
することが可能である。

又、本発明に係る磁気ヘッドにおいて、コイル導体層（
３）は両コア半体（ｌａ）　（ｌｂ）の夫々に形成され
、各コイル導体層（３）の一端に、相手側のコイル導体
層（３）と接触する連結部（３１）が形成されると共に
、コイル導体層の他端はヘッド後部へ向って伸び、その
先端に端子部（３２）を具えている。又、各コア半体（
ｌａ）　（ｌｂ）の端子部（３２）と対向する相手側の
コア半体には、前記接合面とは略直交する向きに伸びる
溝（１７）が形成され、該溝（１７）を通して端子部（
３２）が露出している。

（作用及び効果） 各磁性コア部（１６ａ）　（１６ｂ）がヘッド頭部側の
領域Ａとヘッド後部側の領域Ｂに分離された磁気ヘララ
ドにおいては、両磁性コア部（１６ａ）　（１６ｂ）の
ヘッラド頭部側の領域Ａが軸部（７３）にて互いに連結
され、磁気ギャップ部（２）を介した磁気回路が構成さ
れる。両磁性コア部（１６ａ）　（１６ｂ）は、ヘッド
後部側の領域Ｂの端部にて互いに直接に接触しているが
、磁性コア部（１６ａ）（１６ｂ）の２つの分離領域は
非磁性部（８１ａ）によって互いに磁気的に分離されて
いるから、ヘッド後部側の領域Ｂは磁気回路を構成しな
い。

尚、前記軸部（７３）を、磁性コア部（１６ａ）　（１
６ｂ）の積層厚さよりも大なる幅を有する磁性薄膜によ
って形成すれば、軸部（７３）どうしの連結部、即ちバ
ックギャップ部における磁気抵抗が低減され、記録再生
効率が改善される。

上記磁気ヘッドの製造工程では、両磁性コア部（１６ａ
）　（１６ｂ）となる一対のコア半体ブロックどうしを
接合する際、ヘッド頭部の記録媒体との対接面を観察し
て、該対接面における両磁性コア部（１６ａ）（１６ｂ
）の位相合せを行なうと共に、ヘッド後部側の領域の端
部の表面に露出した磁性コア部（１６ａ）（１６ｂ）の
位相を合せることにより、両コア半体（１ａ）（１ｂ）
の接合を正確且つ容易に行なうことが出来る。

又、コイル導体層（３）の端部がヘッド後部側へ向って
伸び、その先端に端子部（３２）を具えた磁気ヘッドに
おいては、両コア半体（ｌａ）　（ｌｂ）に設けた溝（
１７）を通して端子部（３２）が露出しているから、該
連結部（３１）に外部回路を接続する作業は容易に行な
うことが出来る。

（実施例） 実施例は本発明を説明するためのものであって、特許請
求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲を減縮する様
に解すべきではない。

第１図に示す如く、磁気ヘッドは一対のコア半体（１ａ
）（１ｂ）の突合せ部に磁気ギャップ部（２）を設けて
いる。両コア半体（ｌａ）　（ｌｂ）は夫々、結晶化ガ
ラス等からなる第１の非磁性基板（１１）上に、Ｆｅ−
Ａ１−５ｉ等からなる厚さ略５μｍの金属磁性薄膜（１
２）と、５ｉ（ｈ等からなる厚さ０．１μｍの非磁性薄
膜（１５）とを交互に積層して、厚さ略２０μｍの磁性
コア部（１６ａ）　（１６ｂ）を形成している。磁性コ
ア部（１６ａ）（１６ｂ）の表面には、ガラス製の接合
層（１３）を介して、結晶化ガラス等からなる第２の非
磁性基板（１４）を固定している。

両コア半体（１ａ）（１ｂ）の後部には、磁性コア部（
１６ａ）（１６ｂ）を含む領域に、突出部（７２ａ）　
（７２ａ）が夫々形成され、両突出部（７２ａ）　（７
２ａ）は互いに直接に接合されている。両非磁性基板（
１１）の対向面には、突出部（７２ａ）の側部に、後述
するコイル導体層の端子部（３２）が形成されている。

又、両コア半体（Ｉａ）（ｌｂ）の後部には、互いに食
違いの位置に、相手側のコア半体の端子部（３２）を露
出せしめる溝（１７）が凹設されている。

両コア半体（１ａ）（１ｂ）は、磁性コア部（１６ａ）
（１６ｂ）が同一位相となる位置、即ち金属磁性薄膜（
１２）どうし、非磁性薄膜（１５）どうしが突き合う位
置にて、低融点ガラス（６）によって互いに接合固定さ
れている。

第２図は、第１図に示す金属磁性薄膜（１２）　（１２
）での縦断面を示しており、両コア半体（ｌａ）　（ｌ
ｂ）の接合部には、ヘッド頭部側の領域Ａに、前記磁性
コア部の領域から相手側のコア半体へ向って突出する軸
部（７３）が磁性薄膜によって形成され、両軸部（７３
）　（７３）は互いに直接に接合されている。

両コア半体（ｌａ）　（ｌｂ）には夫々、コイル導体層
（３）が前記軸部（７３）を包囲する渦巻き状のパター
ンに形成され、該導体層は絶縁層（４）によって覆われ
ている。両コア半体（ｌａ）　（Ｉｂ）のコイル導体層
（３）（３）は連結部（３１）にて互いに直列に接続さ
れている。一方、各コイル導体層（３）の前記連結部（
３１）とは反対側の端部は、第１図の如くヘッド後部へ
延長し、該延長端に端子部（３２）を、相手側の端子部
（３２）とは食違い位置となる様に形成している。

又、両コア半体（１ａ）（１ｂ）の磁性コア部は、ガラ
スからなる非磁性部（８１ａ）　（８１ａ）によってヘ
ッド頭部側の領域Ａとヘッド後部側の領域Ｂに分離され
ている。

以下、第３図乃至第８図に沿って、上記磁気ヘッドの製
造方法を説明する。

先ず、第３図の如く結晶化ガラスからなる厚さ略１ｍｍ
の非磁性基板（７）の表面に、ｐｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金
からなる厚さ略５μｍの金属磁性薄膜と、Ｓｉｎ。

からなる厚さ略０．１μｍの絶縁膜を交互に４層ずつ積
層して積層金属磁性膜（７１）を形成し、該積層金属磁
性膜（７１）に対してイオンビームミリング法によるエ
ツチングを施し、図示の如く幅略１０μｍの溝（７１ａ
）を凹設する。

これによって得られた複数の積層ブロック（７０）を第
４図の如くガラス接合層（８１）を介して接合固定し、
この際、前記溝（８１ａ）にもガラスを充填し、非磁性
部（８１ａ）を形成する。更に該積層ブロック（７０）
に対して、イオンビームミリング法等によるエツチング
を施して、ブロック上端部には、各非磁性基板（７）に
跨がって伸びる凸条部（７２）を形成すると共に、ブロ
ック下端部には、各積層金属磁性膜（７１）と重なる位
置から突出する複数の突出部（７２ａ）を形成する。

次に、第５図の如く積層ブロック（７０）の前記エツチ
ング面に対し、積層金属磁性膜（７１）のヘッド頭部側
の端面領域と重なる位置に、Ｆｅ−Ａｌ−５Ｌの磁性薄
膜からなる軸部（７３）を形成する。該軸部（７３）は
、凸条部（７２）及び突出部（７２ａ）の高さよりも大
なる厚さと、積層金属磁性膜（７１）の積層厚さよりも
犬なる幅に形成される。本実施例では、第５図に示す軸
部（７３）の横幅を略１００μｍ１縦方向の長さを略２
００μｍに形成した。

その後、第６図の如く前記エツチング面にＳｉｎ。

の絶縁膜（７４）を形成する。更に接絶ＲＭ　（７４）
の表面に厚さ略２〜６μｍの銅薄膜を形成し、該Ｃｕ薄
膜にエツチングを施して、図示の如く軸部（７３）を包
囲する所定のコイルパターンを有する導体膜（７５）を
形成する。該導体膜（７５）には、一方の端部に連結部
（７６）、他方の端部に端子部（７７）が形成される。

尚、連結部（７６）は、その表面が軸部（７３）よりも
高く突出する様、導体膜（７５）の他の部分よりも厚く
形成される。

前記絶縁膜（７４）及び導体膜（７５）の表面に、第７
図の如く各端子部（７７）の端部を除く領域へ、ＳｉＯ
□の絶縁膜（７８）を形成した後、各軸部（７３）の両
側にガラス溝（７９）を凹設すると共に、各突出部（７
２ａ）を挟んで端子部（７７）とは反対側の側部に、絶
縁膜（７４）及び非磁性基板（７）を貫通する溝（１７
）を加工する。前記ガラス溝（７９）に接合用のガラス
（第８図に示すガラス（８））を充填する。

更に前記絶縁膜（７８）の表面に対して鏡面研磨を施し
て、絶縁膜（７８）、軸部（７３）、連結部（７６）及
び突出部（７２ａ）の表面（ギャップ接合面）が同一平
面、に揃ったコア半体ブロック（１０）を得る。

その後、互いに接合すべき一対のコア半体ブロック（１
０）　（１０）の内、一方のコア半体ブロック（１０）
の凸条部（７２）の表面に、Ｓｉｎ、からなる厚さ０．
２〜０．３μｍのギャップスペーサ（８０）を形成し、
第８図に示す様にこれら一対のコア半体ブロック（１０
）　（１０）を、積層金属磁性層（７１）どうしが同一
位相で突き合う様に接合し、各ガラス溝（７９）のガラ
ス（８）を溶融、固化せしめることによって、両コア半
体ブロック（１０）（１０）を互いに固定し、一体のヘ
ッドブロックを作製する。

上記の両コア半体ブロック（１０）　（１０）の接合位
置を調整する作業では、第８図に示すヘッドブロックの
上端面及び下端面に積層金属磁性膜（７１）の端面が露
出しているから、これらの端面を顕微鏡で観察すること
により、両ブロック（１０）　（１０）を正確な相対位
置で接合固定することが可能である。これによって、両
コア半体ブロック（１０）　（１０）の積層金属磁性膜
（７１）（７１）が全領域に亘って同一位相で突き合さ
れる共に、両連結部（７６）　（７６）が互いに密着し
て、両導体膜（７５）　（７５）が互いに直列に接続さ
れることになる。

最後に、上記ヘッドブロックを第８図の鎖線に沿ってス
ライスし、更に磁気テープとの摺接面を曲面に加工する
ことによって、第１図及び第２図の磁気ヘッドが完成す
る。

ここで、第７図に示す非磁性基板（７）が第１図の非磁
性基板（１１）（１４）に、積層金属磁性層（７Ｉ）が
磁性コア部（１６ａ）　（１６ｂ）に、絶縁膜（７４）
（７Ｂ）が夫々絶縁層（５）（４）に、ギャップスペー
サ（８０）が磁気ギャップ部（２）に対応する。

上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであ
って、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲
を減縮する様に解すべきではない。

又、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は該
磁気ヘッドの縦断面図、第３図乃至第８図は磁気ヘッド
の製造方法を示す一連の斜視図、第９図は従来の磁気ヘ
ッドの斜視図、第１０図は従来の磁気ヘッドの縦断面図
である。 （１ａ）（１ｂ）・・・コア半体 （１６ａ）　（１６ｂ）−磁性コア部 （１７）・・・溝　　　　　　　（２）・・・磁気ギャ
ップ部（３）・・・コイル導体層　−（３２）・・・端
子部（７３）・・・軸　部　　　　　（７２ａ）・・・
突出部（８１ａ）・・・非磁性部　　　（６）・・・ガ
ラス第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 〔１〕一対のコア半体（１ａ）（１ｂ）の接合面に磁気
   ギャップ部（２）が介在し、前記接合面と略平行な面内
   にコイル導体層（３）を渦巻き状に形成して構成される
   磁気ヘッドにおいて、各コア半体（１ａ）（１ｂ）は、
   一対の非磁性基板（１１）（１４）間に、金属磁性薄膜
   （１２）と非磁性薄膜（１５）とを交互に積層してなる
   磁性コア部（１６ａ）（１６ｂ）を介在せしめて構成さ
   れ、各磁性コア部（１６ａ）（１６ｂ）は、磁気ギャッ
   プ部（２）が介在するヘッド頭部側の領域Ａとヘッド後
   部側の領域Ｂに分離され、両分離領域の間に非磁性部（
   ８１ａ）が介在し、ヘッド頭部側の領域Ａには、相手側
   の磁性コア部と直接に接触する軸部（７３）を具えると
   共に、両磁性コア部（１６ａ）（１６ｂ）は、ヘッド後
   部側の領域Ｂの端部にて互いに直接に接触し、前記軸部
   （７３）を包囲してコイル導体層（３）が形成されてい
   ることを特徴とする磁気ヘッド。 〔２〕軸部（７３）は磁性薄膜によって形成され、磁性
   コア部（１６ａ）（１６ｂ）の積層方向に、磁性コア部
   （１６ａ）（１６ｂ）の積層厚さよりも大なる幅を有し
   ている請求項１に記載の磁気ヘッド。 〔３〕一対のコア半体（１ａ）（１ｂ）の接合面に磁気
   ギャップ部（２）が介在し、前記接合面と略平行な面内
   にコイル導体層（３）を渦巻き状に形成して構成される
   磁気ヘッドにおいて、コイル導体層（３）は両コア半体
   （１ａ）（１ｂ）の夫々に形成され、各コイル導体層（
   ３）の一端に、相手側のコイル導体層（３）と接触する
   連結部（３１）が形成されると共に、コイル導体層の他
   端は磁気ギャップ部（２）とは反対側のヘッド後部へ向
   って伸び、その先端に端子部（３２）を具え、各コア半
   体（１ａ）（１ｂ）の端子部（３２）と対向する相手側
   のコア半体には、前記接合面とは略直交する向きに伸び
   る溝（１７）が形成され、該溝（１７）を通して端子部
   （３２）が露出していることを特徴とする磁気ヘッド。