JPH0676221A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 子基板を母基板へセッティングする作業時間
を短縮し、同時に母基板と子基板のすき間を薄くするこ
と。 【構成】 ラミネート層を有する磁気ヘッドの製造方法
であって、金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層した子基板
を母基板にセッティングする時に、あらかじめ子基板を
所定ピッチに並べて耐熱性の固着剤で固定し、母基板に
セッティングする。そしてすき間にガラスを流し込んで
両者を接着させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は情報の記録及び再生を行
う磁気ヘッドの製造方法に関し、高飽和磁束密度を有す
る金属磁性膜と絶縁薄膜とを交互に積層した磁気ヘッド
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の磁気ヘッドの製造方法
は、本出願人が先に提案した以下の工程からなるもので
あった。［特願平３−３４０６９２号］まず図９に示す
ように非磁性体からなる角棒状の子基板２を用意し、そ
の子基板の片面に、高飽和磁束密度を有する金属磁性膜
と絶縁薄膜とを交互に積層したラミネート層１を被着形
成する。

【０００３】一方、図１０に示すように非磁性体からな
る平板状の基板に複数の収納溝を所定のピッチで設けた
母基板４を準備する。そして図１１に示すようにラミネ
ート層１が形成された複数の子基板２を母基板４の各収
納溝にセットし、ガラスを流し込む。

【０００４】このようにして、子基板を母基板に接着さ
せる。

【０００５】その後、図示しないが、溶着用溝の加工、
溶着用溝へのガラスモールド、巻線用溝の加工を実施し
た後、図１１中鎖線で示すように切断することにより一
対のコアブロックを切り出す。そしてこのコアブロック
をギャップスペーサーとなる非磁性体薄膜を介して突き
合わせて接合一体化する。次に接合されたコアブロック
５を図１２中鎖線で示すようにチップスライスし、媒体
摺動面研磨、巻線等することにより、この種の磁気ヘッ
ドが製造される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
の製造方法では、以下に示すような問題点があった。

【０００７】（１）複数個の子基板を母基板に１本づつ
セッティングしているため、セッティング作業に多くの
時間を費やされなければならない。

【０００８】（２）母基板に子基板をセッティングする
時、両者のすき間があるためラミネート層のピッチを一
定にできない。従ってチップスライスを各チップ毎に目
合わせして行わなければならないので煩雑である。

【０００９】（３）子基板のメタル層を母基板の溝の側
面Ｉ押しあてることができないため、ラミネート層と母
基板間のガラス接着層を薄くすることができない。従っ
て、媒体摺動面に厚いガラス層が表出することになり媒
体摺動面研磨時にガラス部が凹状となり、結果として良
好な媒体との摺動を得られない。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の技術的手段は、
ラミネート層が形成された複数の子基板をあらかじめ所
定のピッチにセット固定し、その状態で母基板にラミネ
ート層を母基板の対面する側面に押し当てて固定し、接
着するようにしたことである。

【００１１】

【作用】本発明では、メタル層を形成した複数個の子基
板を所定のピッチで固定したことから、一度に複数個の
子基板を母基板の溝にセッティングすることができ、ま
たセッティングによりピッチが変化することもない。さ
らに、子基板のラミネート層を容易に母基板の溝側面に
押し当てて接着することができる。

【００１２】

【実施例】本発明の実施例を図１〜８に示して説明す
る。

【００１３】まず図１（ａ）に示すように金属磁性膜と
絶縁膜とを交互に積層したラミネート層１を形成した非
磁性体からなる角棒状の子基板２を所定のピッチに並べ
る。次に図１（ｂ）に示すように所定のピッチに並べら
れた子基板の両端を耐熱性の固着剤３を用いて固定す
る。

【００１４】一方、図４に示すように非磁性体からなる
平板状の基板に複数の溝を所定のピッチで加工した母基
板４を用意する。この時のピッチは先述した子基板を並
べたピッチと同一である。そして図５に示すように、固
定された複数個の子基板２を母基板４の溝の側面に押し
あててセットし、すき間にガラスを流し込むことにより
両者を接着させる。

【００１５】その後、図６に示すように一対のコアブロ
ック４を切り出す。そして図７に示すように巻線窓用溝
７を加工し、ギャップスペーサとなるSiO₂等の非磁性膜
を介して突き合わせて接合一体化する。その後コアブロ
ック５を短手方向にチップスライスすることにより図８
のような磁気ヘッドが製造される。

【００１６】図２は本願第２の発明の実施例である。こ
の実施例は前記第１の発明の実施例で、固着剤による子
基板の固定を子基板の片側のみで実施している点を除い
ては同様である。

【００１７】この実施例では子基板の片側のみを固着剤
により固定することにより、子基板を母基板にセットす
るときに母基板の側面よりセットできるため、セッティ
ング作業が容易になり、作業性が向上するという利点が
ある。

【００１８】図３はこの発明第３の発明の実施例であ
る。この実施例は前記第１の発明の実施例において、子
基板の固定を子基板の両端を角棒状のブロック６によっ
て固着剤で固定することにより実施する点を除いては同
様である。

【００１９】この実施例では子基板の磁性膜が成膜され
た面に固着剤が接しないため、成膜された子基板を有効
に利用できるという利点がある。

【００２０】

【発明の効果】従って、下記に示すような効果がある。

【００２１】（１）一度に複数個の子基板を母基板にセ
ッティングすることによりセッティング時間が短縮さ
れ、作業性が向上する。

【００２２】（２）子基板が定ピッチで固定されてコア
ブロックが作られるためラミネート層を基準としたチッ
プスライス加工が容易にできるようになる。

【００２３】（３）子基板を母基板の側面に押しあてな
がらすき間にガラスを流し込んでコアブロックが作れる
ことにより、ラミネート層と母基板の接着層が薄くでき
るようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明を説明するためのもので、（ａ）はラ
ミネート層を形成した子基板を所定のピッチで並べた斜
視図、（ｂ）は子基板を固着剤で固定した斜視図。

【図２】 本発明の第２実施例を説明するためのもの
で、子基板を固着剤で固定した斜視図。

【図３】 本発明の第３実施例を説明するためのもの
で、子基板を角棒状のブロックで固着剤を用いて固定し
た斜視図。

【図４】 複数の溝を加工した母基板を示す斜視図。

【図５】 子基板をセッティングした母基板を示す斜視
図。

【図６】 母基板から切り出されたコアブロックを示す
斜視図。

【図７】 一対のコアブロックを接合一体化した状態を
示す斜視図。

【図８】 コアブロックから切り出されたコアチップを
示す斜視図。

【図９】 従来製法の説明するための斜視図。

【図１０】 従来製法の説明するための斜視図。

【図１１】 従来製法の説明するための斜視図。

【図１２】 従来製法の説明するための斜視図。

【符号の説明】

１ ラミネート層 ２ 子基板 ３ 固着剤 ４ 母基板 ５ コアブロック ６ 角棒状のブロック ７ 巻線溝

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層したラミ
   ネート層を有する非磁性体からなる複数個の子基板を、
   複数の溝が所定のピッチで加工された非磁性体からなる
   母基板にセット・接着し、この母基板を切り出すことに
   よりコアチップを成す磁気ヘッドの製造方法において、
   複数の子基板をあらかじめ所定のピッチにセット固定
   し、子基板の両端を耐熱性の固着剤を用いて固定し、そ
   の後固定一体化された子基板のラミネート層を母基板の
   溝の側面に押しあててセットし、接着することを特徴と
   する磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法であ
   って、複数の子基板の片側のみを固定し、母基板の横側
   よりセットすることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
   法。
3. 【請求項３】請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法であ
   って、複数の子基板の両端を角棒状のブロックを用いて
   はさみこみ、固定することを特徴とする磁気ヘッドの製
   造方法。