JPH05234019A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドおよびその製造方法

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JPH05234019A
JPH05234019A JP3515792A JP3515792A JPH05234019A JP H05234019 A JPH05234019 A JP H05234019A JP 3515792 A JP3515792 A JP 3515792A JP 3515792 A JP3515792 A JP 3515792A JP H05234019 A JPH05234019 A JP H05234019A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic head
glass
substrate
core
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3515792A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumito Koike
文人 小池
Hideji Araki
秀司 荒木
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Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH05234019A publication Critical patent/JPH05234019A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 テープタッチが良好で、しかも、容易に、か
つ、効率よく製造することのできる磁気ヘッドおよびそ
の製造方法を提供する。 【構成】 非磁性材料からなる一対の基板1を接合して
なるコア6の磁気テープ摺動面にギャップ7を形成し、
前記コア6の内側に金属磁性膜2と絶縁膜3とを交互に
積層してなる積層膜4を前記ギャップ6形成方向に対し
て直交する方向に延び、両端部分が前記基板1の表面お
よび裏面側に露出されるようにS字状に形成したことを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドおよびその製
造方法に係り、特にビデオテープデッキ等の記録、再生
等に好適な積層膜型の磁気ヘッドおよびその製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、ビデオテープデッキにおいて
は、磁気テープへの記録、再生あるいは消去を行なうた
めの磁気ヘッドが搭載されている。
【0003】図10はこのような従来の一般的な磁気ヘ
ッドを示したもので、非磁性材料からなる一対の基板
1,1の間には、金属磁性膜2および絶縁膜3からなる
積層膜4がスパッタリング等の手段により交互に複数層
積層形成されており、このように形成された2つのコア
ブロック5の端面を前記金属磁性膜2および絶縁膜3が
互いに接続されるように接合することにより、磁気ヘッ
ドのコア6を形成するようになされている。
【0004】また、前記コア6の磁気テープの摺動面側
であって前記各コアブロック5の境界部分には、ギャッ
プ7が形成されており、前記一方のコアブロック5の接
合面側には、前記コア6にコイルを巻回するための巻き
線溝8が形成されている。
【0005】このような従来の磁気ヘッドにおいては、
図示しない磁気テープを磁気ヘッドのコア6のギャップ
7部分に所定速度で摺動させることにより、このギャッ
プ7部分を通過する磁気テープに磁界を付与して記録を
行なったり、磁気テープの通過により生じる磁界を取出
して再生を行なうようになっている。
【0006】しかし、このような従来の磁気ヘッドにお
いては、基板1に対して金属磁性膜2および絶縁膜3を
個々に積層形成し、これコアブロック5をそれぞれ接合
することにより、磁気ヘッドを形成する必要があるの
で、製造に手間がかかり、製造が極めて困難であり、製
造効率が極めて悪いという問題があった。
【0007】そのため、従来から、製造効率を高めるた
め、図11に示すような製造方法により、磁気ヘッドを
製造することが行なわれている。
【0008】このような磁気ヘッドにおいては、基板1
の一面側に複数のV字状のトラック溝9を形成し、この
トラック溝9の一面側に金属磁性膜2および絶縁膜3を
交互に積層してなる積層膜4を形成した後、このトラッ
ク溝9にガラス等の充填材10を充填し、このように形
成された2つの基板1を前記金属磁性膜2および絶縁膜
3が互いに接続されるようにガラスボンディング等の手
段により接合する。その後、この基板1を所定幅でスラ
イスすることにより、個々の磁気ヘッドを形成するよう
になっている。
【0009】これにより、一対の基板1から多数の磁気
ヘッドを形成することが可能となり、磁気ヘッドの製造
効率を高めることができるものである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の磁
気ヘッドにおいては、磁気ヘッドに形成されたギャップ
7に対して直交する方向に磁気テープを摺動させなが
ら、所定の記録、再生を行なうようになっているが、ギ
ャップ7部分の積層膜4により構成されるトラックが磁
気テープの摺動方向に対して傾斜しているので、テープ
タッチが悪いという問題を有している。
【0011】また、トラック溝9の一面側のみに選択的
に積層膜4を形成する必要があるため、製造が極めて困
難であり、しかも、一対のトラック溝9に対して1つの
磁気ヘッドを製造するものであるため、トラック溝9当
たりの磁気ヘッドの形成効率が悪く、製造効率が極めて
悪いという問題を有している。
【0012】本発明は前記した点に鑑みてなされたもの
で、テープタッチが良好で、しかも、容易に、かつ、効
率よく製造することのできる磁気ヘッドおよびその製造
方法を提供することを目的とするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項1に記載の発明に係る磁気ヘッドは、非磁性材料
からなる一対の基板を接合してなるコアの磁気テープ摺
動面にギャップを形成し、前記コアの内側に金属磁性膜
と絶縁膜とを交互に積層してなる積層膜を前記ギャップ
形成方向に対して直交する方向に延び、両端部分が前記
基板の表面および裏面側に露出されるようにS字状に形
成したことを特徴とする。
【0014】また、請求項2に記載の発明に係る磁気ヘ
ッドの製造方法は、非磁性材料からなる基板の表面に断
面形状ほぼU字状のトラック溝を形成するとともに、前
記基板の前記トラック溝形成側面に金属磁性膜と絶縁膜
とを交互に積層してなる積層膜を形成し、前記積層膜が
形成された基板の表面にガラスモールドによりガラスを
盛り付け、その後、ラッピング等により前記トラック溝
の内部のガラスを残して基板の表面側のガラスおよび積
層膜を除去してコアブロックを形成し、前記構成の2つ
のコアブロックをそのトラック溝が互いに対向するとと
もに、各コアブロックのトラック溝の積層膜が連続する
ように接合し、その後、前記コアブロックを各積層膜の
間でスライスすることにより、磁気ヘッドのコアを形成
するようにしたことを特徴とするものである。
【0015】
【作用】本発明によれば、磁気ヘッドのギャップ部分に
おける積層膜をギャップ形成方向に対して直交する方向
に配設するようにしているので、磁気テープに磁気ヘッ
ドを摺動させた場合に、この磁気テープの摺動方向と積
層膜の形成方向とが一致することになり、磁気ヘッドに
対する磁気テープのテープタッチを著しく高めることが
できる。
【0016】また、基板に形成された複数のトラック溝
に積層膜を形成し、この基板を接合して、スライスする
ことにより、磁気ヘッドを形成するようにしているの
で、多数の磁気ヘッドを量産することができ、しかも、
二対のトラック溝に対して3つの磁気ヘッドを製造する
ことができるため、トラック溝当たりの磁気ヘッドの形
成効率を向上させることができ、さらに、トラック溝全
体に積層膜を形成するものであるため、膜形成を容易に
行なうことができるので、容易に製造することができ、
製造効率を著しく高めることができるものである。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1乃至図9を参照
して説明する。
【0018】図1および図2は本発明に係る磁気ヘッド
の一実施例を示したもので、結晶化ガラス、非磁性セラ
ミックス等の非磁性材料からなる基板1にこの基板1の
1つの角部を曲線状に切り欠いてなるトラック溝9を形
成し、この基板1のトラック溝9の内側には、金属磁性
膜2および絶縁膜3を交互に積層形成してなる積層膜4
が形成されている。また、この積層膜4の内側には、ガ
ラス11が充填されており、このガラス11により前記
基板1を平面形状四角形状に形成するようになされてい
る。
【0019】そして、前記構成のコアブロック5を接合
して磁気ヘッドのコア6を形成し、このコア6の磁気テ
ープの摺動面側には、ギャップ7が形成されている。こ
のように形成されたコア6の積層膜4は、前記コア6の
磁気テープ摺動面の前記ギャップ7部分において、ギャ
ップ7形成方向に対して直交する方向に延び、両端部分
が前記基板1の表面側および裏面側に露出されるように
S字状に形成されている。
【0020】また、前記各コアブロック5の接合境界部
分には、前記コア6に図示しないコイルを巻回するため
の巻き線溝12が形成されるとともに、前記各コアブロ
ック5を接合するためのガラス11を充填する接着溝1
3が形成されている。
【0021】次に、本実施例における前記磁気ヘッドの
製造方法について図3乃至図9を参照して説明する。
【0022】本実施例においては、まず、図3に示すよ
うに、結晶化ガラス等の非磁性材料からなる基板1の一
面を鏡面仕上げした後、この基板1の前記鏡面仕上げの
面に、図4に示すように、この基板1の一端部から他端
部に至る断面形状ほぼU字状のトラック溝9を切削加工
する。
【0023】その後、図5に示すように、前記基板1の
前記トラック溝9形成側面に、積層膜4を形成する。こ
の積層膜4は、Fe79−Ta9−C12(at%)等
からなりほぼ5μm程度の膜厚とされた金属磁性膜2お
よびSiO2 等からなりほぼ0.1μm程度の膜厚とさ
れた絶縁膜3を交互に8層積層することによりに形成さ
れている。この積層膜4は、例えば、基板1に対して対
向ターゲットを配置してスパッタリングを行なう対向タ
ーゲット型スパッタ装置や処理容器の中央にターゲット
を配置してスパッタリングを行なうカルーセル型スパッ
タ装置等を用いて膜形成を行なうことにより、前記基板
1のトラック溝9の内面に対しても適正な膜形成を行な
うことができるものである。この場合、前記基板1の表
面側には、約40μmの積層膜4が形成されるものであ
るが、前記基板1のトラック溝9の内面に対しては、ス
パッタリングによる膜の堆積方向と同方向となるので、
膜の堆積量が少なくなるため、積層膜4の膜厚は、約2
0μm程度に形成されるものである。
【0024】そして、図6に示すように、前記積層膜4
が形成された基板1の表面にガラスモールドを行ない、
前記基板1のトラック溝9の内部および基板1の表面に
ガラス11を盛り付け、次に、前記トラック溝9に対し
て直交する方向に前記トラック溝9に対してそれぞれ浅
い溝深さを有する巻き線溝12および接着溝13を互い
に平行に形成する。
【0025】その後、図7に示すように、ガラスラッピ
ングを行ない、前記トラック溝9の内部のガラス11を
残して基板1の表面側のガラス11および積層膜4を除
去し、これにより、コアブロック5が形成される。
【0026】そして、図8に示すように、前記構成の2
つのコアブロック5をそのトラック溝9が互いに対向す
るとともに、一方のコアブロック5の1つのトラック溝
9の積層膜4の両端部が他方のコアブロック5の隣接す
るトラック溝9の積層膜4のそれぞれ一端部に接続され
て前記積層膜4が蛇行しながら連続するよう突き合わせ
た状態で、前記巻き線溝12および接着溝13の内側に
溶着用ガラスファイバー14を挿入し、このガラスファ
イバー14を加熱溶着することにより、各コアブロック
5を接合する。その後、前記コアブロック5をスライス
することにより、磁気ヘッドのコア6を形成するように
なっている。その後、前記コア6の巻き線溝12部分に
図示しないコイルを巻回することにより、磁気ヘッドが
完成する。
【0027】次に、本実施例の作用について説明する。
【0028】本実施例においては、前記磁気ヘッドのギ
ャップ7部分における積層膜4をギャップ7形成方向に
対して直交する方向に配設するようにしているので、磁
気テープに磁気ヘッドを摺動させた場合に、この磁気テ
ープの摺動方向と積層膜4の形成方向とが一致すること
になり、磁気ヘッドに対する磁気テープのテープタッチ
を著しく高めることができる。
【0029】また、前記基板1に形成された複数のトラ
ック溝9に積層膜4を形成し、この基板1を接合して、
スライスすることにより、磁気ヘッドを形成するように
しているので、多数の磁気ヘッドを量産することがで
き、しかも、二対のトラック溝9に対して3つの磁気ヘ
ッドを製造することができるため、従来のように一対の
トラック溝9に対して1つの磁気ヘッドを製造する場合
に比較して、トラック溝9当たりの磁気ヘッドの形成効
率を向上させることができる。
【0030】したがって、本実施例においては、磁気ヘ
ッドに対する磁気テープのテープタッチを著しく高める
ことができ、また、トラック溝9当たりの磁気ヘッドの
形成効率を高めることができ、しかも、トラック溝9全
体に積層膜4を形成するものであるため、膜形成を容易
に行なうことができるので、容易に製造することがで
き、製造効率を著しく高めることができる。
【0031】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて種々変更することができるも
のである。
【0032】
【発明の効果】以上述べたように本発明に係る磁気ヘッ
ドおよびその製造方法は、磁気ヘッドに対する磁気テー
プのテープタッチを著しく高めることができ、また、ト
ラック溝当たりの磁気ヘッドの形成効率を高めることが
でき、しかも、トラック溝全体に積層膜を形成するもの
であるため、膜形成を容易に行なうことができるので、
容易に製造することができ、製造効率を著しく高めるこ
とができる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す平面
【図2】図1の正面図
【図3】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法による鏡面
仕上げ工程を示す斜視図
【図4】本発明によるトラック溝形成工程を示す斜視図
【図5】本発明による積層膜形成工程を示す断面図
【図6】本発明によるガラスモールド工程を示す断面図
【図7】本発明によるガラスラッピング工程を示す断面
【図8】本発明によるガラスボンディング工程を示す斜
視図
【図9】従来の磁気ヘッドを示す斜視図
【図10】従来の磁気ヘッドの製造手段を示す平面図
【符号の説明】
1 基板 2 金属磁性膜 3 絶縁膜 4 積層膜 5 コアブロック 6 コア 7 ギャップ 9 トラック溝 11 ガラス 12 巻き線溝 13 接着溝

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性材料からなる一対の基板を接合し
    てなるコアの磁気テープ摺動面にギャップを形成し、前
    記コアの内側に金属磁性膜と絶縁膜とを交互に積層して
    なる積層膜を前記ギャップ形成方向に対して直交する方
    向に延び、両端部分が前記基板の表面および裏面側に露
    出されるようにS字状に形成したことを特徴とする磁気
    ヘッド。
  2. 【請求項2】 非磁性材料からなる基板の表面に断面形
    状ほぼU字状のトラック溝を形成するとともに、前記基
    板の前記トラック溝形成側面に金属磁性膜と絶縁膜とを
    交互に積層してなる積層膜を形成し、前記積層膜が形成
    された基板の表面にガラスモールドによりガラスを盛り
    付け、その後、ラッピング等により前記トラック溝の内
    部のガラスを残して基板の表面側のガラスおよび積層膜
    を除去してコアブロックを形成し、前記構成の2つのコ
    アブロックをそのトラック溝が互いに対向するととも
    に、各コアブロックのトラック溝の積層膜が連続するよ
    うに接合し、その後、前記コアブロックを各積層膜の間
    でスライスすることにより、磁気ヘッドのコアを形成す
    るようにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
JP3515792A 1992-02-21 1992-02-21 磁気ヘッドおよびその製造方法 Withdrawn JPH05234019A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007216544A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Toshiba Tec Corp インクジェットプリントヘッド

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007216544A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Toshiba Tec Corp インクジェットプリントヘッド

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Effective date: 19990518